СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
3.5.3.6.Подстройка положения лазерного луча
После наведения лазерного луча на кантилевер и настройки положения фотодиода следует выполнить более точное наведение лазерного луча на кончик кантилевера по величине суммарного сигнала фотодиода. Для этого:
1.Используя винты перемещения юстировочного столика 1 и 2, чуть-чуть перемещая луч относительно кантилевера, настройтесь на максимальное значение суммарного сигнала фотодиода (Laser). Значение сигнала Laser должно находиться в диапазоне 20-50 нА.
2.Проверьте, что лазерный луч действительно попадает на кантилевер. Характерным признаком того, что лазерный луч попадает на кантилевер является то, что при вращении винта 1, а также винта 2 сначала в одну сторону, затем в другую значение сигнала Laser уменьшается.
3.После подстройки положения лазерного луча повторите подстройку положения фотодиода при помощи винтов 3,4 (винтов перемещений фотодиода), поскольку луч может сместиться относительно фотодиода.
#ПРИМЕЧАНИЕ. Максимальное значение сигнала Laser не всегда соответствует положению луча на кончике кантилевера. Подстройку положения лазерного луча можно, при необходимости, выполнить с помощью системы видеонаблюдения.
3.5.4. Предварительная установка измерительной головки
После того, как произведена настройка положений юстировочного столика и фотодиода, а образец еще не установлен, рекомендуется выполнить предварительную установку измерительной головки.
Предварительная установка производится для того, чтобы:
−выставить измерительную головку относительно вертикальной оси сканера таким образом, чтобы зонд находился примерно на оси сканера;
−установить такое расстояние между зондом и предметным столиком,
чтобы |
после последующей |
установки предполагаемого |
образца, |
между |
поверхностью образца и |
зондом осталось достаточное |
расстояние |
(не менее 1-2 мм). |
|
|
|
52
Глава 3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
Выполнение процедуры предварительной установки измерительной головки:
1.Установите измерительную головку опорами на посадочные гнезда универсального основания (Рис. 3-41) таким образом, чтобы шлейф кабеля, выходящего из головки, находился напротив гнезда для него (Рис. 3-42).
* ВНИМАНИЕ! Перед установкой измерительной головки
необходимо оценить, каким будет расстояние между зондом и поверхностью образца (после его последующей установки), и убедиться, что это расстояние будет достаточным (не менее 2-3 мм), чтобы избежать повреждения. При необходимости, переместить предметный столик вниз при помощи ручки подвода.
Рис. 3-41 |
Рис. 3-42 |
2. Глядя сбоку и вращая в нужную сторону винт ручного подвода, расположенную снизу на блоке подвода (Рис. 3-43), переместите предметный столик относительно зонда в такое положение, чтобы после установки образца расстояние между поверхностью образца и зондом было не менее 2 мм.
Рис. 3-43. Винт ручного подвода
53
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
3.Наблюдая сверху за положением кантилевера в горизонтальной плоскости, переместите сканер при помощи микровинтов позиционера таким образам,
чтобы зонд находился примерно напротив центрального отверстия (Рис. 3-44) в предметном столике, которое соответствует точке пересечения плоскости столика с продольной осью сканера.
Рис. 3-44
#ПРИМЕЧАНИЕ. Установка зонда на вертикальной оси сканера необходима для того, чтобы уменьшить паразитные наклоны поверхности, который возникают при сканировании, если имеется некоторое смещение зонда относительно оси сканера.
4.После выполнения указанных выше процедур можно снять измерительную головку с блока подвода и перейти к процедуре подготовки и установки образца.
54
Глава 3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
3.5.5. Подготовка и установка образца
Случай использования сканера без датчиков
Прибор (в данной конфигурации) позволяет исследовать образцы с размерами до 40-50 мм при толщине до 10 мм. Образцы крепятся на подложке, которая устанавливается на предметный столик держателя образца. В качестве подложек для крепления образца рекомендуется использовать стандартную подложку (Рис. 3-45), которая изготовлена из поликристаллического сапфира и имеет размеры 24х19х0.5 мм. Для закрепления образцов на подложке можно использовать двустороннюю липкую ленту.
Рис. 3-45 |
Рис. 3-46 |
Образцы, имеющие размеры более 10-15 мм рекомендуется закреплять на переходной подложке (Рис. 3-46). Можно также использовать стандартную подложку с наклеенной на нее переходной пластиной, толщиной около 2 мм. Толщина пластины должна быть достаточной, чтобы приподнять образец над прижимными клипсами предметного столика, а ширина должна быть меньше расстояния между ними. Соответственно, образец закрепляется на переходную пластину.
Если необходимо обеспечить электрическое соединение образца с элементами прибора (например, при исследовании проводящих образцов с применением методов электро-силовой микроскопии), рекомендуется использовать специальную подложку с пружинным контактом (Рис. 3-47).
Рис. 3-47
При использовании специальной подложки электрическое соединение образца с прибором обеспечивается пружинным контактом, который соединительным проводом со штекером подключается к соответствующему гнезду, находящемуся на блоке подвода. На блоке подвода имеются два гнезда (Рис. 3-48): универсальное гнездо 1 для подачи заданного напряжения смещения (BV) или заземления образца и гнездо заземления 2.
55
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
*ВНИМАНИЕ! При работе с контроллером модели BL022MTM (BL022MRM), который используется в приборе Solver PRO-M, нельзя использовать гнездо BV для заземления образца, так как сигнал BiasVoltage подается одновременно на держатель зондового датчика и гнездо BV.
Рис. 3-48
1 – гнездо подачи напряжения смещения на образец (BV); 2 – гнездо заземления
При установке образца на предметный столик подложка вдвигается сбоку под прижимные клипсы со стороны двух опорных шариков (Рис. 3-49) таким образом, чтобы клипсы прижимали подложку, а нижняя поверхность подложки опиралась на три опорных шарика (Рис. 3-50).
Рис. 3-49 |
Рис. 3-50 |
56