СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
2.Установите защитный колпак на опорную планшайбу блока подвода.
3.Заземлите защитный колпак. Для этого подсоедините специальный провод, имеющийся на блоке подвода, к гнезду заземления на колпаке (Рис. 3-52).
Рис. 3-52. Защитный колпак установлен на блок подвода 1 – гнездо заземления
3.6.Подготовка прибора для конфигурации «Сканирование зондом»
Общая процедура подготовки и установки сканирующей измерительной головки и образца состоит из следующей последовательности основных операций и процедур:
1.Запуск программы управления, включение прибора.
2.Установка зондового датчика.
3.Настройка оптической системы регистрации изгибов кантилевера.
4.Подготовка и установка образца.
5.Установка сканирующей измерительной головки.
Ниже приводится более подробное описание перечисленных выше основных операций и процедур.
58
Глава 3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
3.6.1. Установка зондового датчика
Для установки зондового датчика или его замены выполните следующие действия:
1.Возьмите сканирующую измерительную головку, переверните ее и поставьте в перевернутом положении на стол (Рис. 3-53).
Рис. 3-53 |
Рис. 3-54 |
2.Поднимите прижимную пружину держателя зондового датчика. Для этого поверните вниз поворотный рычажок в открытое состояние при помощи пинцета (Рис. 3-54). Рычажок имеет трапециевидную форму и расположен сбоку на корпусе держателя зондового датчика.
*ВНИМАНИЕ! Следует приподнимать прижимную пружину только поворотом рычажка. Не отгибайте ее пинцетом или рукой, это может привести к необратимой деформации.
*ВНИМАНИЕ! Держатель зондового датчика крепится на сканере и слишком большие усилия, прилагаемые к держателю, способны вызвать повреждение сканера.
3.Возьмите зондовый датчик из коробочки пинцетом (Рис. 3-55) с учётом того, что рабочая грань чипа с кантилеверами при установке будет обращена к Вам. Не переворачивайте чип, т. к. в коробочке зондовые датчики лежат остриями вверх.
Рис. 3-55 |
Рис. 3-56 |
59
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
4.Перенесите зондовый датчик на полочку держателя и поместите его слева от рабочего места (Рис. 3-56, Рис. 3-57). Рабочее место находится в углу полочки под прижимом держателя.
Рис. 3-57 |
Рис. 3-58 |
5.Передвиньте зондовый датчик на рабочее место пинцетом (Рис. 3-58), как это схематически показано на Рис. 3-57.
Рис. 3-59
6.После установки зондового датчика на рабочее место опустите прижимную пружину держателя для его фиксации. Для этого при помощи пинцета поверните рычажок в фиксирующее положение (Рис. 3-59).
60