Глава 3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
Образцы, имеющие линейные размеры более 20 мм и менее 100 мм можно устанавливать непосредственно на предметный столик держателя.
Можно также использовать какую-нибудь переходную плоскопараллельную пластину, имеющую достаточно большие размеры. На эту переходную пластину можно закрепить образец, а саму пластину установить на столик. В частности, на такую переходную пластину можно закреплять и образцы, имеющие небольшие линейные размеры.
3.6.4. Установка сканирующей измерительной головки
При выполнении данной операции необходимо:
1.Установить измерительную головку на блок подвода.
2.Проверить параллельность плоскости основания измерительной головки и плоскости образца.
3.Подвести образец к зонду на расстояние примерно 0.5-1 мм.
3.6.4.1.Установка измерительной головки на блок подвода
Перед установкой измерительной головки необходимо оценить, каким будет расстояние между зондом и поверхностью образца после установки измерительной головки. Нужно убедиться, что это расстояние будет достаточным (не менее 1-2 мм) для того, чтобы избежать повреждения зонда и поверхности образца. Если вы видите, что этого расстояния будет недостаточно, необходимо опустить образец на достаточное расстояние.
Для перемещения образца проще всего воспользоваться ручкой подвода, расположенной снизу на блоке подвода (Рис. 3-85). Образец перемещается вниз при вращении ручки по часовой стрелке (если смотреть со стороны этой ручки).
Рис. 3-85 |
Рис. 3-86 |
Измерительная головка устанавливается винтовыми опорами в посадочные гнезда (Рис. 3-86) так, чтобы передние опоры измерительной головки, зафиксированные контргайками, попали в гнезда с лункой и канавкой.
3.6.4.2.Проверка параллельности плоскости основания СЗМ головки и плоскости образца
71
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
#ПРИМЕЧАНИЕ. Данную процедуру необходимо выполнить только при первоначальной установке измерительной головки. Если ранее уже была выполнена регулировка параллельности плоскости основания измерительной головки и плоскости универсального основания блока подвода, и вы уверены, что длина опор измерительной головки не изменялась, то процедуру проверки параллельности основания измерительной головки и универсального основания можно не выполнять.
Для уменьшения «паразитного» наклона при сканировании, плоскость основания измерительной головки должна быть параллельна плоскости предметного столика. (В предположении, что форма исследуемого образца близка к плоскопараллельной).
Для проверки параллельности основания измерительной головки и плоскости предметного столика достаточно воспользоваться обычной линейкой.
Необходимо измерить расстояние между основанием измерительной головки и плоскостью универсального основания около каждой из трех опор, например, как это показано на Рис. 3-87.
Расстояния в этих точках необходимо выставить одинаковыми посредством регулировки длины опор. Использование линейки с миллиметровыми делениями обеспечивает установку расстояний с точностью 0.5 мм, что является вполне достаточным.
Рис. 3-87
3.6.4.3.Предварительный подвод образца к зонду
Проще всего предварительный подвод можно выполнить вручную при помощи ручки подвода (Рис. 3-85). Напомним, вращение ручки против часовой стрелки перемещает образец вверх (если смотреть со стороны ручки).
Глядя сбоку, подведите образец к зонду на расстояние 0.5-1 мм.
3.6.5. Установка защитного колпака
С защитным колпаком рекомендуется работать в случаях:
72
Глава 3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
−если необходимо получить высокое разрешение в плоскости XY или по Z;
−при проведении температурных измерений;
−для защиты от перепадов температуры;
−для уменьшения уровня акустических шумов.
Для установки защитного колпака выполните следующие действия:
1.Вставьте фиксатор кабеля измерительной головки в предназначенный для него держатель на блоке подвода (Рис. 3-88).
Рис. 3-88. Кабель измерительной головки зафиксирован в держателе
2.Установите защитный колпак на опорную планшайбу блока подвода.
3.Заземлите защитный колпак. Для этого подсоедините специальный провод, имеющийся на блоке подвода, к гнезду заземления на колпаке (Рис. 3-89).
Рис. 3-89. Защитный колпак установлен на блок подвода 1 – гнездо заземления
73