Глава 4. Контактная атомно-силовая микроскопия
#ПРИМЕЧАНИЕ. При выборе с сигнала DFL важно ограничивать его максимальное значение, то есть максимальную силу прижатия зонда к образцу.
Level – значение ограничивающего предела (Рис. 4-62) – максимальное возможное (для ограничения Limit Above) или минимальное возможное (для ограничения Limit Below) значение измеряемого сигнала.
Рис. 4-62
#ПРИМЕЧАНИЕ. В случае, когда силовая спектроскопия DFL(Height) проводится кантилевером, предназначенным для контактных методик, ограничивающее значение следует устанавливать таким, чтобы оно было на 5-10 нА больше, чем значение Set Point. В случае, когда измерения проводятся кантилевером, предназначенным для полуконтактных методик, ограничивающее значение следует устанавливать таким, чтобы оно было на 3-5 нА больше значения Set Point.
4.7.1.6.Выбор точек спектроскопии
Спектроскопические измерения можно проводить в одном из следующих режимов:
−в одной точке;
−в нескольких точках, лежащих на одной линии;
−по узлам сетки.
Выберите режим проведения спектроскопических измерений в поле выбора XY Point Set (в рассматриваемом примере измерения будут проводиться в одной точке – режим Point).
113
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
Спектроскопия в одной точке
В этом режиме будет производиться заданное количество измерений зависимости в выбранной точке поверхности:
1. Выберите режим Point (Рис. 4-63).
Рис. 4-63
2.С помощью мыши установите положение точки проведения спектроскопии.
3.Задайте требуемое количество измерений в поле ввода Curves.
Спектроскопия в нескольких точках, лежащих на одной линии
При выборе этого режима будут производиться последовательные измерения зависимости в точках поверхности, лежащих на выбранном отрезке прямой.
1. Выберите режим Line (Рис. 4-64).
Рис. 4-64
2. С помощью мыши установите положение линии (Рис. 4-65).
Рис. 4-65
#ПРИМЕЧАНИЕ. Точка, в которой в данный момент находится зонд, обозначена желтым цветом.
3.Задайте число точек на отрезке в поле ввода Positions.
114
Глава 4. Контактная атомно-силовая микроскопия
Спектроскопия по узлам сетки
При выборе этого режима будут производиться последовательные измерения зависимости в узлах выбранной сетки.
1. Выберите режим Grid (Рис. 4-66).
Рис. 4-66
2. С помощью мыши установите размер и положение сетки (Рис. 4-67).
Рис. 4-67
3. В полях ввода Positions задайте число узлов сетки вдоль осей X и Y.
#ПРИМЕЧАНИЕ. Размер и положение сетки ограничены размером последнего отсканированного участка.
4.7.1.7.Запуск измерений
Для запуска измерений нажмите кнопку Run (Рис. 4-68).
Рис. 4-68
Чтобы прервать процесс измерений, нажмите клавишу <Esc> или кнопку Stop
(Рис. 4-69).
Рис. 4-69
115
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
4.7.1.8.Просмотр данных спектроскопии
После завершения спектроскопических измерений на экране появляется окно, в котором изображен график зависимости. Либо, если спектроскопия проводилась несколько раз или в нескольких точках, отображается набор таких графиков, представленный в виде двумерной карты.
В рассматриваемом примере была измерена зависимость DFL(Heigth) в точке. Результат измерений представлен на графике (Рис. 4-70).
Рис. 4-70
Кривые соответствуют зависимостям, полученным при изменении аргумента от максимального значения до минимального (кривая красного цвета) и от минимального до максимального (кривая синего цвета).
#ПРИМЕЧАНИЕ. В случае, когда аргументом является Height, кривые называются кривой подвода (красная) и отвода (синяя).
#ПРИМЕЧАНИЕ. Кнопка 
позволяет отображать на графике одну из кривых или обе сразу.
Сохранение изображения производится стандартным образом (File Æ Save as). Сохраненные данные можно просмотреть в окне Data, произвести анализ и обработку изображений с помощью программного модуля обработки изображений (см. книгу «Программное обеспечение для СЗМ»).
116