СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
4.6. Контактный Метод Рассогласования
4.6.1. Краткая характеристика метода
В процессе сканирования в соответствии с рельефом поверхности образца изменяется величина изгиба кантилевера. Следящая система стремится поддержать заданный уровень величины изгиба кантилевера (Set Point), точнее, уровень сигнала, связанного с изгибом (в нашем случае это сигнал DFL). Однако следящая система не может мгновенно вернуть текущее значение DFL к заданному уровню, поскольку обладает некоторой инерционностью (характеризуемой постоянной времени обратной связи).
При сканировании текущее значение сигнала DFL (сигнала связанного с изгибом кантилевера) является сигналом рассогласования системы обратной связи и содержит дополнительную информацию о рельефе поверхности. Этот сигнал может быть использован для более точного воспроизведения рельефа. Метод, в котором одновременно с получением изображения рельефа поверхности по методу постоянной силы, производится измерение сигнала рассогласования (в нашем случае сигнала DFL) называется контактным методом рассогласования.
Контактный метод рассогласования можно рассматривать как промежуточный между методом постоянной силы и методом постоянной высоты, если отрегулировать скорость отработки сигнала рассогласования (в нашем случае коэффициент усиления обратной связи) так, чтобы система обратной связи успевала отслеживать плавные изменения рельефа и не успевала отслеживать резкие изменения. Тогда, во время прохождения зондом небольших неоднородностей поверхности образца сканирование будет происходить при почти постоянной длине пьезосканера. В результате на сканированном изображении будут слабо проявляться медленные изменения рельефа и с высоким контрастом - резкие. Это может быть полезно для отыскания мелких неоднородностей на фоне крупных и относительно гладких особенностей рельефа.
4.6.2. Подготовка к измерениям
Метод постоянной высоты основан на методе постоянной силы, который подробно описан в разделе 4.1 «Метод Постоянной Силы» на стр. 74.
Предварительно, должна быть выполнена подготовка и проведены измерения рельефа поверхности по методу постоянной силы.
Основные операции при работе по методу постоянной высоты
1.Переключение прибора для работы по контактным методам
(п. 4.1.2 на стр. 75).
2.Установка начального уровня сигнала DFL (п. 4.1.3 на стр. 75).
3.Подвод образца к зонду (п. 4.1.4 на стр. 77).
4.Установка рабочего уровня коэффициента усиления обратной связи
(п. 4.1.5 на стр. 80).
106
Глава 4. Контактная атомно-силовая микроскопия
9. Установка параметров сканирования (п. 4.1.6 на стр. 81).
5.Сканирование (п. 4.1.7 на стр. 85).
6.Сохранение полученных данных (п. 4.1.8 на стр. 89).
7.Завершение работы (п. 4.1.9 на стр. 89).
После того, как были проведены предварительные измерения рельефа поверхности по методу постоянной силы, необходимо произвести настройку параметров для работы по контактному методу рассогласования.
4.6.3. Настройки параметров
Для проведения измерений по контактному методу рассогласования, включите измерение сигнала DFL на вход второго измерительного канала, выполнив следующие действия:
1.Откройте диалоговое окно Scan Setup (Рис. 4-51), щелкнув на кнопку Settings на панели управления окна Scan.
Рис. 4-51
2.Щелкните мышью на поле ввода сигнала второго канала.
3.В открывшемся меню сигналов выберите DFL.
107