СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
2.Увеличивая величину FB Gain, следите за уровнем сигнала Mag при помощи программного осциллографа.
3.Определите значение коэффициента FB Gain, при котором начинается генерация. Начало генерации регистрируется по резкому увеличению переменной составляющей сигнала Mag (см. Рис. 5-16).
4.Уменьшая параметр FB Gain, установите в качестве рабочей величины значение равное 0.5÷0.7 от значения коэффициента усиления FB Gain, при котором начинается генерация сигнала Mag.
#ПРИМЕЧАНИЕ. Иногда после подвода зонда возникает неустойчивый режим работы системы обратной связи типа «генерации», которую не удается устранить путем уменьшения величины коэффициента усиления FB Gain. Этот тип неустойчивости связан с эффектом «залипания». Данный тип неустойчивости обычно можно устранить в результате увеличения амплитуды колебаний кантилевера. Для этого необходимо выключить обратную связь, увеличить амплитуду колебаний кантилевера (величину параметра Amplitude) и величину параметра Set Point примерно на 30%, затем вновь включить обратную связь.
5.1.6. Установка параметров сканирования
Перейдите в окно Scan (кнопка Scan на панели основных операций) (Рис. 5-18).
Рис. 5-18
В верхней части окна Scan находится панель управления. Под ним находится осциллограф, в котором при сканировании будет построчно отображаться измеряемый сигнал. Под осциллографом находится окно, в котором будет отображаться сканируемое изображение.
130
Глава 5. Полуконтактная атомно-силовая микроскопия
Установка СЗМ метода
На панели управления в списке Mode (выбор методов сканирования) выберите метод Semicontact Topography (для полуконтактного метода) (Рис. 5-19). При этом в приборе автоматически будут выполнены соответствующие переключения.
Рис. 5-19
Выбор области сканирования
Рекомендации по выбору начального размера области сканирования:
−если о свойствах поверхности образца имеется некоторая предварительная информация, и есть уверенность в том, что перепад высот ожидаемого рельефа не выходит за пределы диапазона Z-сканера, можно установить максимальное поле сканирования;
−в случае образца, о свойствах поверхности которого ничего не известно, рекомендуется начинать сканирование с области, имеющей небольшие размеры, например, около 0.5÷1 мкм. По результатам сканирования небольшой области можно подобрать и установить оптимальные значения таких параметров, как скорость сканирования, Set Point, FB Gain. Затем можно изменить область сканирования.
По умолчанию, устанавливается максимальный размер области сканирования
(параметр Scan Size):
− для 3-х микронного сканера: |
3x3 мкм2; |
|
− |
для 10-микронного сканера: |
10x10 мкм2; |
− |
для 50-микронного сканера: |
50x50 мкм2. |
131
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
Чтобы изменить размер и выбрать область сканирования в пределах максимально возможной, выполните следующие действия:
1.Включите режим изменения размера и выбора области щелкнув на кнопку
на панели инструментов окна просмотра сканированных изображений
(Рис. 5-20).
Рис. 5-20. Окно просмотра сканированных изображений 1 – границы выбранной области сканирования;
2 – курсор, показывающий положение зонда относительно поверхности образца
2.При помощи мыши измените размер и положение области сканирования
(поз. 1 на Рис. 5-20).
#ПРИМЕЧАНИЕ. Изменение размера области сканирования будет автоматически отражаться в полях ввода параметра Scan Size.
3.Щелкните на кнопке 
. Проверьте, что в пределах выбранной области сканирования зонд всюду достает до поверхности и нигде не «врезается» в нее. Для этого нажав левую клавишу мыши и удерживая ее, перемещайте курсор (поз. 2 на Рис. 5-20) в пределах выбранной области сканирования. Перемещение курсора отражает реальное перемещение зонда относительно поверхности образца. Степень выдвижения пьезосканера контролируйте по индикатору в нижней части окна (см. Рис. 5-14).
132
Глава 5. Полуконтактная атомно-силовая микроскопия
Установка размера сканированного изображения, числа точек, шага сканирования
Число точек по осям X и Y (Point Number), размер сканированного изображения (параметр Scan Size) и шаг сканирования (Step Size) задаются при помощи кнопки с выпадающим списком выбора параметра (Рис. 5-21).
Рис. 5-21
При установке параметров Point Number, Scan Size, Step Size следует иметь ввиду что:
−При изменении Point Number:
−При изменении Scan Size:
−При изменении Step Size:
Scan Size изменяется; Step Size не меняется. Step Size изменяется;
Point Number не меняется.
Scan Size изменяется;
Point Number не меняется.
Установка скорости сканирования
Рекомендуется установить частоту сканирования строк (параметр Frequency) в пределах 0.5÷2 Гц (Рис. 5-21). Именно в этих пределах частота сканирования устанавливается автоматически при запуске программы и происходящей при этом загрузке стандартных параметров.
133