Глава 3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
3.5.Подготовка прибора для конфигурации «Сканирование образцом»
Общая процедура подготовки и установки измерительной головки и образца состоит из следующей последовательности основных операций и процедур:
1.Начальная подготовка измерительной головки.
2.Установка зондового датчика.
3.Настройка оптической системы регистрации изгибов кантилевера.
4.Предварительная установка измерительной головки.
5.Установка образца.
6.Установка измерительной головки.
7.Установка защитного колпака.
Ниже приводится более подробное описание перечисленных выше основных операций и процедур
3.5.1.Начальная подготовка универсальной измерительной головки
Основные элементы универсальной измерительной головки показаны на Рис. 3-14, Рис. 3-15.
Рис. 3-14. Универсальная измерительная |
Рис. 3-15. Универсальная измерительная |
головка, вид спереди |
головка, вид сверху |
1,2 – винты X,Y перемещений юстировочного столика;
3,4 – винты X,Y перемещений фотодиода; 5 – ручка прижима; 6 – лазер; 7 – четырехсекционный фотодиод; 8 – разъем для подключения столика; 9 – опорная площадка из поликора; 10 – корпус; 11 – юстировочный столик; 12 – основание
41
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
Поставьте универсальную измерительную головку рядом с платформой прибора на ровную поверхность, предварительно подложив лист белой бумаги (Рис. 3-16).
Рис. 3-16 |
Рис. 3-17 |
#ПРИМЕЧАНИЕ. Предполагается, что кабель универсальной измерительной головки соединен с разъемом HEAD блока коммутации.
Если юстировочный столик уже установлен на универсальной измерительной головке, и необходимо только установить или заменить зондовый датчик, то снимите столик с измерительной головки и поместите его, не отсоединяя разъем, рядом с измерительной головкой, как это показано на Рис. 3-17.
Для снятия столика с универсальной измерительной головки необходимо:
1.Отвести прижим 5 (вращая винт прижима по часовой стрелке).
2.Снять столик.
Если юстировочный столик не установлен на измерительную головку, то:
1.Выберите столик, необходимый для проведения измерений.
2.Поместите столик в перевернутом положении рядом с измерительной головкой (Рис. 3-17).
3.Соедините разъем кабеля выбранного столика с разъемом на измерительной головке, предварительно открутив и сняв крышку разъема.
42
Глава 3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
3.5.2. Установка зондового датчика
1.Отожмите пружину держателя зондового датчика. Для этого при помощи острого пинцета поверните вниз поворотный рычажок, расположенный на внешней стороне корпуса держателя (Рис. 3-18).
Рис. 3-18 |
Рис. 3-19 |
2.Возьмите зондовый датчик из коробочки пинцетом (Рис. 3-19) с учётом того, что рабочая грань чипа с кантилеверами при установке будет обращена к Вам. Не переворачивайте чип, т. к. в коробочке зондовые датчики лежат остриями вверх.
3.Перенесите зондовый датчик на поликоровую подставку и поместите его слева от рабочего места (Рис. 3-20, Рис. 3-21), которое находится в углу столика под прижимной пружиной.
Рис. 3-20 |
Рис. 3-21 |
43
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
4.Передвиньте зондовый датчик на рабочее место пинцетом (Рис. 3-22), как это схематически показано на Рис. 3-21. Рабочее положение зондового датчика показано на Рис. 3-23.
Рис. 3-22 |
Рис. 3-23 |
5.После установки зондового датчика на рабочее место зафиксируйте его прижимной пружиной. Для этого при помощи пинцета поверните рычажок в прижимное положение (Рис. 3-24).
Рис. 3-24
6.Установите юстировочный столик в измерительную головку (Рис. 3-25). При этом:
−освободите прижим 3 (Рис. 3-25), вращая его ручку против часовой стрелки;
−опорные шарики столика (Рис. 3-26) должны встать на опорные площадки из поликора (Рис. 3-14);
−упоры винтов должны попасть в отведенные для них гнезда;
44