СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
3.6.3. Подготовка и установка образца
Прибор (в данной конфигурации) позволяет исследовать образцы, имеющие линейные размеры в плоскости до 100 мм и толщину до 15 мм.
3.6.3.1.Установка образцов небольших размеров
Стандартные подложки для крепления образцов
Образцы, имеющие небольшие размеры (менее 10-12 мм), рекомендуется закреплять на подложке, устанавливаемой на держателе образца.
В качестве подложек для крепления образца рекомендуется использовать стандартную подложку (Рис. 3-76), которая изготовлена из поликристаллического сапфира и имеет размеры 24х19х0.5 мм.
Образцы, имеющие размеры более 10-15 мм но менее 40-50 мм рекомендуется закреплять на специальной переходной подложке (Рис. 3-77). Можно также использовать стандартную подложку с наклеенной на нее переходной пластиной, толщиной около 2 мм. Толщина пластины должна быть достаточной, чтобы приподнять образец над клипсами держателя, а ширина должна быть меньше расстояния между клипсами. Образец закрепляется на переходную пластину.
Для закрепления образцов на подложках можно использовать двустороннюю липкую ленту.
Рис. 3-76 |
Рис. 3-77 |
Если необходимо обеспечить электрическое соединение образца с элементами прибора, рекомендуется использовать специальную подложку с пружинным контактом (Рис. 3-47).
Рис. 3-78
68
Глава 3. Подготовка прибора к работе по методам АСМ
При использовании специальной подложки электрическое соединение образца с прибором обеспечивается пружинным контактом, который соединительным проводом со штекером подключается к соответствующему гнезду, находящемуся на блоке подвода. На блоке подвода имеются два гнезда (Рис. 3-48): универсальное гнездо 1 для подачи заданного напряжения смещения (BV) или заземления образца, а также гнездо заземления 2.
*ВНИМАНИЕ! При работе с контроллером модели BL022MTM (BL022MRM), который используется в приборе Solver PRO-M, нельзя использовать гнездо BV для заземления образца, так как сигнал BiasVoltage подается одновременно на держатель зондового датчика и гнездо BV.
Рис. 3-79 1 – гнездо для подачи напряжения смещения на образец;
2 – гнездо заземления
Держатель образца:
Для установки образцов небольших размеров имеется специальный предметный столик (Рис. 3-80, Рис. 3-81), основание которого изготовлено из ферромагнитного материала.
Рис. 3-80
Предметный столик устанавливается на магнитный фиксатор (Рис. 3-82), расположенный на фланце держателя образца. Такая конструкция позволяет
69
СЗМ Solver PRO. Руководство пользователя. Основная часть
поворачивать предметный столик относительно вертикальной оси на любой угол, что обеспечивает установку любой необходимой ориентации образца в плоскости X,Y.
Рис. 3-81 |
Рис. 3-82 |
Подложка с закрепленным образцом устанавливается на предметный столик держателя образца. При установке подложка вдвигается сбоку под клипсы со стороны двух шариков (Рис. 3-83) таким образом, чтобы клипсы прижимали подложку, а нижняя поверхность подложки опиралась на три опорных шарика.
Рис. 3-83 |
Рис. 3-84 |
3.6.3.2.Установка образцов больших размеров
70