Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Физические основы рентгеноспектрального локального анализа

..pdf
Скачиваний:
10
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
15.53 Mб
Скачать

9.

С о s s I с t t ,

V.

E. Brit . , J . Appl. Phys. 15,

107— 109 (1964).

10.

С о s s 1 с t t

V. E.,

Optique

des

Rayons X

ct Microanalyse,

11.

Orsay 1965, Hermann, Paris, 85—96 (1966).

J . Appl. Phys.

C o s s l e t t

V. E.,

T h o m a s

R. N . ,

Brit.

12.

15,

883—907,

1283—1300;

16,

779—796

(1964).

D a s h e n R .

F.,

Phys. Rev. 134, A1025—A1032 (1964).

13.

D e r i

a n

J . С.,

Rapport

CEA

R3052

(1966).

 

14.

D u n c

u m b

P.,

Частное сообщение; см. также статью Дан­

15.

камба

и

Рида в

этом

сборнике.

 

 

G r e e n

М.,

Thesis. University of Cambridge (1962).

16.

N e 1 m s

А. Т.,

NBS,

Circ. 577 (1956),

Supplement (1958).

17.

R e e d

S. J . В.,

Brit.

J . Appl.

Phys.

16, 913-926 (1965).

18.

T h o m a s

P. M . ,

A E R E ,

R4593 (1964).

 

19.

W a 1 s k e

M . C ,

Phys. Rev. 88, 1283-1289 (1952); Phys. Rev.

20.

101,

940—944 (1956).

 

T о m 1 і n S. G.,

Proc. Phys. Soc.

W o r t h i

 

n g t o n

С. Б.,

 

59,

401-412

(1956).

 

 

 

 

 

 

РАСЧЕТ ВЛИЯНИЯ АТОМНОГО НОМЕРА И ПОГЛОЩЕНИЯ РЕНТГЕНОВСКИХ ЛУЧЕЙ НА РЕЗУЛЬТАТЫ МИКРОАНАЛИЗА

ПРИ ПОМОЩИ ЭЛЕКТРОННЫХ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫХ МАШИН

Г. 1'апзетта, В. Скотт

Количественный рентгеноспектральний микроанализ базируется на определении отношения интенсивности ли­ нии характеристического рентгеновского спектра атомов интересующего нас элемента в образце к интенсивности той же линии в стандарте, которым обычно является чи­ стый элемент, при идентичных условиях возбуждения. Это отношение, однако, часто не служит непосредственной мерой концентрации, так как образец и стандарт могут вести себя совершенно по-разному по отношению к погло­ щению падающих электронов и возбужденных рентгенов­ ских лучей; поэтому для получения истинных количест­ венных значений результаты должны быть исправлены. Отклонение от линейности графика зависимости интенсив­ ности от концентрации становится особенно большим, когда анализируется элемент с малым атомным номером в матрице намного более тяжелого элемента. Такая ситуа­ ция часто встречается при микроанализе легких элементов.

Для того чтобы учесть эти эффекты, был предложен ряд методов введения поправок. Однако большинство из них являются неудовлетворительными в экстремальных слу­ чаях, когда присутствуют элементы, значительно отли­ чающиеся по атомному номеру, или когда предпочтитель­ ным является малое ускоряющее напряжение (например, при анализе легких элементов). Недавно разработанный метод Арчарда и Мулви [1], по-видимому, сделал возмож­ ным расчет точных поправок в широкой области экспери­ ментальных условий. В настоящей работе изучены воз­ можности применения этого метода в некоторых трудных случаях.

Чтобы получить точную поправку на поглощение, была рассчитана серия / (^)-кривых для целого диапазона эле­ ментов и ускоряющих напряжений и изучены способы ис­ пользования этих кривых для получения поправки. Раз-

ница между рассчитанными величинами, полученными с учетом поправки на поглощение, и экспериментальными была отнесена на счет эффекта атомного номера и сравни­ валась с величинами, предсказанными расчетом на вычис­ лительной машине.

Эксперимент. Бинарные сплавы точно известного со­ става, шлифы которых были приготовлены непосредствен­ но перед микроанализом, были проанализированы при ряде ускоряющих напряжений на приборе «Микроскан» (угол выхода рентгеновских лучей 20°); рентгеновское излучение от образца сравнивалось с излучением от стан­

дартов из чистых металлов.

 

 

 

Специальное

исследование

показало,

что

все образ­

цы, кроме медно-никелевых сплавов, были

гомогенны.

Для выявления возможных

выделений

было

проведено

сканирование

участка поверхности образца

размером

250 X 250 мкм. Для удобства все результаты даны в виде «фактора интенсивности» (к/с), т. е. отношения измерен­ ной (к) к истинной (с) концентрации, и графически пред­ ставлены в виде зависимости от ускоряющего напряже­ ния У0 .

Для получения величин / (%) в случае чистых металлов, установления величины эффекта атомного номера в опре­ деленных сплавах и расчета полной поправки (на пог­ лощение и на атомный номер) для тех же сплавов была использована программа для вычислительной машины, любезно предоставленная Арчардом и Мулви.

Результаты.

Поправка на поглощение рентгеновских лучей. Получен­ ные в настоящей работе кривые / (%) относятся к погло­ щению отдельных линий характеристического рентгенов­ ского спектра (К~, L - или ilf-серий) данного элемента в нем самом. Из них непосредственно получается поправка на поглощение для стандарта (т. е. чистого металла). Труд­ ности возникают, однако, при выборе подходящей / (%)- кривой для определения поправочного множителя для сплава. В идеальном случае нужно было бы использовать кривую / (%), рассчитанную для подходящих излучения и состава сплава. Однако это является непрактичным приемом, так как требует бесконечного числа кривых и поэтому альтернативно можно предложить использовать имеющиеся кривые для чистых металлов. При решении вопроса о том, какую именно кривую / (%) использовать, необходимо принять во внимание два фактора: потенциал

возбуждения рассматриваемой серии спектра и состав образца.

Рассматривая влияние потенциала возбуждения и сравнивая кривые / (у) для близких длин волн от сущест­ венно отличающихся по атомному номеру материалов, например, для излучения Ті К ъ титане (2,74 А) (рис. 1, а) и для излучения Ва L в барии (2,77 А) (рис. 1, б), можно

і - —

Рис. 1. а)

Кривые / (х) для линии Ті К

в титане

к

= 4,96

кэв;

Z = 22)

б)

Кривые / (х) для линии Ва L B

барии (Ец

Ъ,2Ь кэв,

Z, =

56).

заметить близкое сходство этих кривых. Тремя парамет­ рами, входящими в расчет, являются атомный номер эле­ мента, его атомный вес и потенциал возбуждения рентге­ новской серии. Однако обычно оказывается, что кривые / (%) почти не зависят от атомного номера и атомного ве­ са, но сильно зависят от потенциала возбуждения. Это наводит на мысль использовать кривые / (х), рассчитан­ ные для поглощения интересующей нас длины волны рент­ геновского излучения в веществе излучателя, для нахож­ дения поправки на поглощение для той же длины волны в сплаве. Это приближение было изучено прежде всего. Величины, измеренные для сплава медь + 11,7 вес. % алюминия, сравниваются на рис. 2 с результатами, полу­ ченными из расчета рентгеновского поглощения (на рисун­ ке приведена также поправка на поглощение, предусмот­ ренная полной программой для вычислительной машины, причем интересно отметить их сходство с рассчитанной выше кривой). Если теперь представить рассчитанную по­ правку и экспериментальные величины в полулогарифми­ ческом масштабе (рис. 3), расхождение между ними будет являться прямой мерой поправки на атомный номер. Не­ сколько удивительным является наличие точки перегиба на рассчитанной кривой, так как несмотря на то, что уро­ вень наших знаний об эффекте атомного номера является

неполным, можно было бы ожидать, что расхождение между этими двумя кривыми будет монотонно увеличи­ ваться с уменьшением ускоряющего напряжения.

Ввиду этого неожиданного эффекта (рис. 3) были изу­ чены другие методы введения поправок на поглощение в сплаве, в которых сделаны попытки принять во внимание как состав сплава, вводя средний атомный номер, так и потенциал возбуждения Ус для рентгеновских лучей.

Рис. 2. Сравнение

рассчитанных и

Р ИС. 3. Зависимость рассчитанных и

измеренных значений при

разных

измеренных

значений от напряжения

напряжениях для

-сплава

11,7%

для сплава 11,7% А1 — Си в полулога­

А1 —

Си.

 

рифмическом масштабе. Разность меж­

 

 

 

ду этими кривыми является мерой эф­

 

 

 

фекта

атомного номера.

Один из таких методов [2] предполагает использовать кривые / (%), соответствующие среднему атомному номеру (рассчитанному на базе вес. % ) , и выделять из семейства этих кривых ту, которая соответствует заданному перена­

пряжению (У

0

Vc). Например,

в случае сплава Си

+

+ 11,7 вес.%

 

А1 средний атомный

номер равен ~ 2 7 ,

и

чтобы вычислить поправку на поглощение излучения А1 К

в сплаве, например, при ускоряющем

напряжении 6,5 кв

(т. е. Vc для А1 плюс 5 кв),

выбирается

кривая,

соответ­

ствующая перенапряжению

(V0

+ 5 ) , где

Vc является по­

тенциалом возбуждения (в

кв)

для

элемента с

атомным

номером 27. Ряд значений, рассчитанных таким путем для различных ускоряющих напряжений, представлен на рис. 4. Можно видеть, что этот второй метод дает большую поправку на поглощение, чем первый. Действительно, применение этого метода к другим системам сплавов дало слишком большую поправку на поглощение в том случае, когда атомные номера чистого стандарта и сплава сильно различались. В виду этого были изучены другие методы введения поправки.

в Под редакцией И. Б. Боровского

161

Рассматривая поглощение различных длин волн рент­ геновского излучения в чистом элементе-излучателе, на­ пример, Мо К и Mo L в молибдене или U L и U М в уране, мы пришли к третьему методу извлечения требуемой для сплава информации из данных для чистых металлов. При данном ускоряющем напряжении средняя глубина воз­

буждения, например, Мо if-излучения и Мо

L-излучения

 

в антикатоде

различна,

 

что приводит к двум раз­

 

личным кривым / (х)- Од­

 

нако при данном ускоряю­

 

щем напряжении для воз­

 

буждения ІІТ-серии суще­

 

ствует

некоторое

другое

 

ускоряющее

напряжение

 

для возбуждения L-серии,

Рис. 4. Применение трех различных

при котором средняя глу­

методов введения поправок на погло­

бина возбуждения излуче­

щение рентгеновских лучей для спла­

ния для L-серии та

же,что

ва 11,7% А1 — Си.

 

и для

if-серии. В этом слу­

чае кривые / (%) для if-серии и L-серии совпадут. Сравнение

кривых f (%) для Мо К

и Мо L показывает, что достаточ­

но

хорошим

критерием

совпадения является

равенство

значений (Vl — Vl) при

малых перенапряжениях ( ~ 4 кв)

и

(^о"

^с'7 ) при

больших

значениях

перенапряжения

( ~ 20

кв).

 

 

 

 

 

 

 

 

Для сравнимых

глубин

возбуждения

L -

и .М-излу-

чения

урана

значение

степени,

в которую

возводятся

V0

и Vc, должно быть меньше 1,5

при 20 кв. Эти практи­

чески экстремальные случаи определяют, по-видимому, максимальную ошибку, которая может возникнуть при таком сравнении. Предположив величину степени равной 1,7, сравним поправку на поглощение для сплава медь — алюминий с поправками, полученными названными выше методами (см. рис. 4). Новая кривая теперь имеет как буд­ то бы требуемый вид, т. е. эффект атомного номера, пред­ ставляющий собой на графике вертикальное смещение от экспериментальной кривой, монотонно увеличивается с уменьшением ускоряющего напряжения. Этот третий метод был поэтому применен при последующем исследовании эффекта атомного номера.

Поправка на атомный номер. Нами был проанализи­ рован ряд сплавов систем медь — алюминий, марганец —

золото, железо — плутоний, медь — никель, палладий — золото; здесь описывается только один состав для каждой системы; образцы перечислены в табл. 1.

 

 

 

Т а б л и ц а

1

 

Состав

 

Состав

Сплав

(% -

ве­

Сплав

(% -

ве­

 

совые)

 

совые)

Медь — алюминий

11,7%

А1

Медь — никель

10%

Ni

Золото — марганец

23,4 %

Мп

Золото—палладий

40%

Pd

Железо — плутоний

3,75% Fe

 

 

 

Расчетная поправка на поглощение была получена с использованием массовых коэффициентов поглощения, которые были сочтены наиболее надежными (табл. 2).

Т а б л и ц а 2

Излуче­

Погло­

v-lo

Литера­

Излуче­

Погло­

 

Литера­

ние

титель

тура

ние

титель

 

тура

А1 К

А1

395

[3]

Ye К

Ри

755

[41

А1 К

Си

5320

[3]

тк

Ni

61

[5]

МпК

Мп

80

[4]

тк

Си

65

[5]

ШК

Аи

470

[4]

VAL

Pd

556

[4]

 

Fe

71

[4]

P d L

Аи

2232

[4]

Разность между величинами, измеренными на микро­ анализаторе, и величинами, полученными после введения поправки на поглощение, была принята в качестве меры эффекта атомного номера и сравнена с расчетной вели­ чиной.

Результаты для сплава Си + 11,7 вес.% А1 показаны на рис. 5, откуда видно, что хотя машинный расчет зани­ жает эффект атомного номера, однако зависимость поправ­ ки на атомный номер от ускоряющего напряжения имеет ожидаемый вид, т. е. увеличивается с уменьшением на­ пряжения. Подобную же тенденцию имеют результаты, полученные для других систем (рис. 68). Эффект атом­ ного номера, определенный машинным расчетом, здесь также занижен, но это расхождение меньше для систем

Рис.

5.

Зависимость

отношения

к/с

от

ускоряющего

напряжения

 

для

линии

А1 К

в сплаве

 

 

 

11,7%

А 1 — Си.

 

lg(7tf к/с) для Fe

 

Эффект

 

'У.

 

 

 

 

 

 

 

атомного

 

1,2

 

 

 

' номера

 

 

 

 

(Л-В)

 

1,0

 

 

 

 

 

0,0

 

 

 

 

 

0,0

 

/О/Расшгная

 

0,4

 

20

30

10

 

 

 

 

 

 

 

кЯ

Р ИС . 7. Зависимость отношения k/c

от ускоряющего напряжения для линии Fe К в сплаве 3 , 7 5 % F e — P u .

%4\

1

О

10

Рис. 6. Зависимость отношения h/c от ускоряющего напряжения для линии Мп К в сплаве

23,4% Мп — Аи.

А/а Ом Ni

Изморенная

 

ЮГ

 

 

 

1,0

^Расчетная

 

 

 

0,0

20

30

10

 

 

 

 

нв

Рис. 8. Зависимость

отношения

k/c

от ускоряющего напряжения для ли­ нии N i К в сплаве 10% N i — Си.

1 1 1

20 30 40

кВ

Рис. 9. Зависимость отношения k/c от ускоряющего напряжения для линии Pd L в сплаве 4 0 % P d — A u .

из более тяжелых элементов, как, например, плутоний — железо.

Интересный случай представляют результаты для си­ стемы палладий — золото (рис. 9). Измеренные величины лежат ниже рассчитанной поправочной кривой и обнару­ живают отрицательный вклад атомного номера, в противо­ положность положительному эффекту, который ожидает­ ся из относительного положения элементов в периодиче­ ской таблице и предсказывается также машинным расче­ том. Состав сплава 40 + 0,5 вес.% Pd подтверждается микроанализом по золоту; более того, ряд других сплавов системы золото — палладий показывают то же самое.

Обсуждение. Программа работ, частью которой яв­ ляется настоящее исследование, предназначалась для изу­ чения главным образом влияния атомного номера в си­ стемах, где это влияние должно быть велико. Метод ма­ шинного расчета Арчарда и Мулви был выбран для этой работы потому, что он кажется наиболее подходящим для широкого диапазона интересующих нас условий анализа.

Однако, как вскоре выяснилось, необходимая пред­ посылка для такого расчета, а именно, определение по­ правки на поглощение рентгеновских лучей, сама вызы­ вает ряд вопросов. Во-первых, величины ц./р, требуемые для подстановки в формулы, обычно недостаточно хорошо известны. Во-вторых, можно надеяться, что значительно более практичным будет использовать для введения по­ правки на поглощение семейства кривых / (%), получен­ ных для чистых металлов. Хотя было показано, что рас­ считанные кривые / (х) находятся в разумном согласии с определенными экспериментально [1], не был известен точный способ их использования для получения поправки на поглощение для сплавов. На основании общей оценки имеющихся данных мы решили использовать кривые, полученные для металла с атомным номером, близким к таковому для сплава, а затем фактор избытка напряжения V0 — Vc заменить на Vl'7 — Vl'~''. Это совпадает с мето­ дом, предложенным Данкамбом [6], хотя Данкамб пред­ почитает использовать фактор V\'a Vl'5, полученный им из рассмотрения пробега электронов в металлах.

В результате мы приходим к допущению, что разли­ чие между экспериментальным значением полной поправ­ ки и вычисленной поправкой на поглощение рентгенов­ ских лучей при микроанализе следует приписать эффекту

атомного номера. Во всех изученных системах, кроме си­ стемы Pd — A u , экспериментальное значение больше вы­ численного. Разумеется, это заключение должно основы­ ваться на точном вычислении поправки на поглощение, но нам представляется невероятным, чтобы любые ошиб­ ки, вносимые методом введения поправок, были бы столь велики, чтобы существенно повлиять на эту аргумента­ цию. Действительно, если бы какой-то другой способ вве­ дения поправок дал бы большую поправку на поглоще­ ние в некоторых случаях, то это должно было бы привести к еще большему экспериментальному эффекту атомного номера. Кроме того, эффект атомного номера оказывает­ ся большим, чем вычисленный, даже для сплава медь — никель, выбранного по той причине, что для него можно пренебречь эффектом поглощения.

Необходимо отметить, что в настоящей работе флуорес­ центное возбуждение рентгеновских лучей не принималось во внимание, но любое увеличение эмиссии рентгеновских лучей за счет флуоресценции должно быть мало по срав­ нению с величиной изученного здесь эффекта. Более того, неправдоподобно, чтобы во всех изученных системах результаты были искажены за счет флуоресценции на­ столько, насколько измеренные значения выше рассчи­ танных.

Результаты по сплавам системы палладий — золото обнаруживают отрицательный эффект атомного номера для более легкого элемента палладия, что неправдоподоб­ но. Полагая, что метод введения поправки на поглощение является корректным, нужно заключить, что использо­ ванные значения р/р слишком малы. Это подчеркивает необходимость получения более точных значений пара­ метров для выполнения полного расчета введения по­ правок.

В заключение можно сказать, что для определения эф­ фектов, встречающихся в количественном микроанализе, требуется еще большое число экспериментов, но, тем не менее, метод машинного расчета дает качественно правиль­ ные результаты для довольно широкой области систем сплавов и условий анализа. Только в наиболее экстре­ мальных случаях возникают большие расхождения между теорией и экспериментом, а незначительная модификация программы расчета в свете настоящей работы, касающейся поглощения электронов в металлах, могла бы, вероятно, окончательно ликвидировать имеющиеся трудности.

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ