Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Физические основы рентгеноспектрального локального анализа

..pdf
Скачиваний:
10
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
15.53 Mб
Скачать

10. D u n с u m b

P.,

M e 1 f о г d D. A., Tube Inv. Res. Labs.

Tech. Rept.

195,

27 (1965).

11.S t a i n e r H . M . , U . S. Bur Mines Inf. Circ. IC-8166, 124 (1963).

12.

P i c k l e s i m e r M . L . ,

H a l l e r m a n G.,

U . S. Atomic

13.

Energy Comm. Rept. ORNL-TM-1591,

46

(1966).

Press.

 

Y а к о w і t z

H . ,

ASTM

Spec. Tech.

Publ.—

I n

H . ,

14.

G o l d s t e i n

J .

I . , M a j e s k e F .

J . , Y a k o w i t z

15.

Advances

i n

X-ray

Analysis 10.I n

Press.

(1962).

 

 

G r e e n

M . ,

Thesis, University of

Cambridge

Xet

Mic-

16.

C a s t a i n g

 

R.,

 

H e n о с J . ,

Optique

des Rayons

 

roanalyse

(Proc.

Fourth

I n t ' l .

Symp.,

Orsay

R. Castaing,

 

P. Descamps

 

and

J . Philibert,

eds.),

Editions

Scientifiques,

17.

Hermann, Paris

(1966).—

I n Press.

 

Microprobe

Analysis,

T h e i s e n

R.,

Quantitative

Electron

18.

Springer

— Verlag, New York,

1965, p. 32.

 

Interscience,

В i r k s

L . S.,

 

Electron

Probe

Microanalysis,

 

New York, 1963,

p. 202.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

13

ТАБЛИЦЫ КОЭФФИЦИЕНТОВ

 

ПОГЛОЩЕНИЯ

ДЛЯ

РЕНТГЕНОВСКОГО

 

МИКРОАНАЛИЗА

 

И. Адлер,

Дж. Голдстейн

Филибер [1] получил аналитическое выражение для по­ правки на поглощение:

 

/ (х) =

(1 +

h) І + -f) [ l + h ( l +

-J -)] ,

(1)

где

a — модифицированный

коэффициент

Ленарда, h =

=

1,2 {A/Z2),

А

и Z — средний атомный

вес и

средний

атомный номер;

% имеет в

микроанализе

свое

обычное

значение. Выражение (1) приведено в соответствие с экс­ периментальными кривыми Кастена [2] путем подбора значений а и h. В этом выражении о зависит только от рабочего напряжения V0, ah — только от A/Z2.

Полученное Филибером выражение пригодно для рабо­ чего напряжения, значительно большего потенциала воз­ буждения Vc, и для экстраполяции между различными значениями Z. Однако его точность лимитирована точно­ стью кривых Кастена. Грин [31 показал, что параметр по­ глощения / (%) сильно зависит от разницы между V0 и Vc. Таким образом, в выражение, полученное Филибером, необходимо вводить соответствующую поправку.

Арчард и Мулви [4] указали на то, что измеренная Кастеном / (х)-кривая для алюминия ошибочна. Эта ошибка связана с тем, что Кастен в качестве меченого слоя для алюминия использовал излучение меди, а потенциал воз­

буждения меди (9 кв) существенно

отличается

от

потен­

циала

возбуждения

алюминия

(1,6

кв)

(см.

статью на

стр. 85

настоящего

сборника).

Поэтому

кривая,

изме­

ренная Кастеном, дает во всей области завышенные зна­ чения / (х). Это также подтверждается измерениями Гри­ на. Поэтому выражение Филибера, параметры которого получены из кривых Кастена. для малых значений Z при­ водит к существенным ошибкам.

Недавно модель Филибера была усовершенствована Данкамбом и Шилдс *) для учета влияния перенапряя^е- ния. Это усовершенствование связано с тем, что эффек­ тивная длина пути, на котором возбуждается характери­ стическое излучение элемента, определяется не только рабочим напряжением, но и потенциалом возбуждения соответствующей серии рентгеновского спектра. Эта по­ правка введена путем расчета эффективного коэффициента Ленарда оЭфф из следующего выражения:

бэ ф ф = 2 , 3 9 . 1 0 5 / ( У Г - У П

(2)

Здесь, как и ранее, V0 — приложенное рабочее напряжение, Vc — критический потенциал возбуждения спектральных серий данного элемента (обе величины измерены в кв).

V0=30KS

<ы>

-

г-

L-линии

 

— 1 1 1 1 1

1 1 і 1 I 1

Є й ft 20 US 80 35 40 45 50 55 60 55 70 75 SO 85 90 fff

Рис. 1. Поправка на перенапряжение.

Поправка на перенапряжение приведена на рис. 1 (о"Эфф и У0эфф представлены на графике как функции атом­ ного номера анализируемого элемента). Расчет выполнен для рабочего напряжения У 0 = ЗО кв для К-, L - и М- спектров. Для і£-серии, где VJVC менее 1,5, эффективное рабочее напряжение У0офф меньше 25 кв и необходимо вво-

*) Расчеты взяты из работы П. Данкамба и Р. К. Шилдс «Влияние потенциала возбуждения на поправку на поглощение», представленной на симпозиум по микроанализу в Вашингтоне в 1964 г.

дить отрицательную поправку в / (х) порядка 15%. Хотя большинство работ по микроанализу проводится при VJVC больше 2,0, даже в этом случае поправка в / (%) мо­ жет быть порядка 10% . Поправка в / (х) для L - и М-се- рий много меньше поправки для А-серий. Кроме того, да­ же в том случае, когда поправка на перенапряжение в / (х) большая, суммарный эффект в поправке на поглоще­ ние гораздо меньше, так как в микроанализе обычно поль­ зуются выражением / (х)//°(х)-

Поскольку / (х) зависит, во-первых, от элемента, из­

лучающего К-,

L - или Ж-серию,

во-вторых,

от

среднего

атомного номера

 

поглотителя Z,

в-третьих, от

перенапря­

жения V0/Vc,

в-четвертых, от

рабочего

напряжения

и,

в пятых, от

параметра поглощения

х, мы приготов или

три

 

 

 

 

 

 

 

серии

таблиц,

которые

 

 

 

 

 

 

 

учитывают

эти пять

пара­

 

 

 

 

 

 

 

метров. Для

сплавов

ис­

 

 

 

 

 

 

 

пользуется

среднее

значе­

 

 

 

 

 

 

 

ние

Z [1], a h затем

полу­

 

 

 

 

 

 

 

чают из табл.1 * ) . В табл.1

 

 

 

 

 

 

 

даны

значения h

для

93

 

 

 

 

 

 

 

элементов (h =

1,2

 

(A/Z*)).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В

табл.

2

приведены

 

 

 

 

 

 

 

значения

а^фф для

всех

 

 

 

 

 

 

 

элементов

при нескольких

 

 

 

 

 

 

 

рабочих напряжениях

V0;

 

 

 

 

 

 

 

К-, L - и Af-спектры рас­

 

 

 

 

 

 

 

сматриваются

отдельно.

Рис.

2.

Кривые

для L-излучения зо­

В табл. 3

приведены

зна­

лота

в

золоте, К-излучения меди в ме­

чения / (х) для выбранных

ди и алюминии

при

29 кэв. 1

Кас­

интервалов

аЭфф

для

по­

тен, 2 — Адлер и Голдстейн, 3 — Дан-

 

 

камб и Шилдс.

 

глотителей

с

различными

 

 

 

 

 

 

 

средними

атомными номе­

рами.

Значенияг»

с / \

даются

через малые

интервалы

/ (х)

изменения и поэтому обычно нет необходимости в экстра­ поляции.

Табл. 2 рассчитана на основании соотношения (2). Значения Vc для К-, L - и ЛТ-краев поглощения взяты из таблиц длин волн рентгеновского излучения Бирдена [5]. Табл. 3 рассчитана на основании соотношения (1), в кото­ ром о заменено на аЭфф.

*) (Указанные таблицы приведены в NASA, Technical Note, D-2984.)

Приведенные в тексте рисунки иллюстрируют полез­ ность этих таблиц. Как наши расчеты, так и расчеты Данкамба и Шилдс проведены на основании комбинирования соотношения (1) и (2).

На рис. 2 приведены \gf (^)-кривые для L-излучения золота в золоте, ІТ-излучения меди в меди и алюминии при 29 кв. Кривые по Кастену [2] получены экспериментально, а кривые Данкамба и Шилдс — расчетным путем.

WW

і,г\—і—і—і—і—і—і—і—L

ХИтысячах

Рис. 3. Значения для / (х)

(по Фи­

Рис. 4. Изменение / (х)в зависимос­

либеру) и табулированные

значе­

ти от приложенного напряжения.

ния, полученные авторами,

нало­

1 — Грин, 2 — Адлер и Голдстейн,

женные на расчетные кривые Дан­

з — Данкамб и Шилдс, 4— Кастен

камба и Шилдс, и эксперименталь­

и Декамп, 5 — Филибер (А1 К/А\).

ные кривые

Кастена и Грина для

 

различных

материалов. 1

Дан­

 

камб и Шилдс, 2 — Адлер

и Голд-

 

стейн, 3 — Грин (20,5 кэв),

4—Грин

 

(9,8 кэв),

5 — Грин (5,9

кэв).

 

На графике также приведены табулированные значения. На рис. 3 приведены табулированные нами значения, кривые Данкамба и Шилдс для ІІГ-излучения алюминия и меди в алюминии при 29 кв и значения Филибера [1] для чистого А1. На графике приведены также кривые Ка­ стена [2] (Си К в А1) и Грина [3] (А1 К в А1). Эти кривые иллюстрируют преимущество наших таблиц, а именно тот факт, что с их помощью можно определять / (х)-кривые не только для чистых элементов, но и кривые для любого из­ лучения в любой интересующей нас матрице. На рис. 4 показано изменение / (%) в зависимости от приложенного напряжения. Соответствие между рассчитанными и из­ меренными значениями / (%) прекрасное. Очень хорошее

соответствие найдено также между табулированными зна­ чениями и данными Грина [3] для if-излучения углерода в углероде при 10 кв.

Превосходным является и соответствие между значе­ ниями, рассчитанными Данкамбом и Шилдс (см. в [6]), табулированными значениями настоящей работы и экс­ периментально полученными значениями. Это соответ­ ствие показывает, что таблицы с гарантией могут быть использованы для всех элементов и для интервала рабо­ чих напряжений от 5 до 35 кв.

ЛИТЕРАТУРА

 

 

 

 

 

 

 

1.

P h i l i b e r t

J . , A

Method

for Calculating

the

Absorption

 

Correction i n Electron Probe

Microanalysis, X-ray

Optics

and

 

X-ray

Microanalysis,

H . H . Pattee,

V . E.

Cosslett

and

 

A. Engstrom,

eds., New York, Academic

Press

Inc., pp. 379—

2.

392

(1963).

R., Electron Probe Microanalysis, Advances i n

C a s t a i n g

 

Electronics and Electron Physics 13 (L . Marton

and C. Marton,

3.

ed.),

New York, Academic Press Inc., 1960, pp.

317—386).

 

G r e e n

M . , The Target Absorption Correction

i n X-ray Micro­

 

analysis, X-ray Optics

and X-ray Microanalysis

( H . H . Pattee,

 

V. E. Cosslett

and A . Engstrom, eds.),

New York,

Academic

 

Press

Inc., 1963, pp. 361—377.

 

 

 

 

4. A г с h а г d G. D., M u 1 v e у Т., The Present State of Quan­ titative X-ray Microanalysis. I I . Computational Methods, Brit . J. appl. Phys. 14 (10), 626—634 (1963).

5.

B e a r d e n J . A . ,

X-ray

Wavelengths, Final

Report, Balti ­

 

more: Johns Hopkins University, U . S. Atomic

Energy Commis­

6.

sion Report, NYO-10586

(1964).

 

NASA, Technical

Note,

D-2984.

 

МАССОВЫЕ КОЭФФИЦИЕНТЫ ПОГЛОЩЕНИЯ РЕНТГЕНОВСКИХ ЛУЧЕЙ

Г. Хьюз, Дж. Вудхауз

В трудах состоявшейся в 1964 году в Дельфте конференции [1] нами описан метод измерения массовых коэффициентов поглощения рентгеновских лучей и при­ ведены некоторые результаты. Целью настоящей статьи

является

сравнение

этих экспериментально получен­

ных коэффициентов

и некоторых вновь полученных [2 J с

таблицами

Гейнриха

[3].

На рис. 1 показаны области, где массовые коэффициен­ ты поглощения рентгеновских лучей «надежно» определе­ ны экспериментальным путем, а также исследованная на­ ми область длин волн от 1 до 10 А. Данные, полученные до 1963 г., были проанализированы на надежность Гейнрихом. Для этого он использовал метод, с помощью кото­ рого можно оценить внутреннее соответствие данной серии экспериментальных результатов, даже если нельзя вы­ делить какой-либо систематической ошибки.

Короче говоря, метод должен предполагать, что коэф­ фициенты для участка кривой поглощения между любой парой соседних краев поглощения следуют эмпириче­ скому закону

=Скп,

где р/р массовый коэффициент поглощения рентгенов­ ского излучения, X — длина волны рентгеновского излу­ чения, а С и п — константы. Если теперь данные нанести на график

то точки должны ложиться на прямую, параллельную оси X и пересекающую ось р/р в точке р/р = С. В действитель­ ности этого никогда не происходит, но плавный ход кривой, который дают нанесенные на график экспери-

70

150

30

-L

Рис. 1. Экспериментально определенные массовые коэффициенты поглощения рентгеновского излучения по Гейнриху: 1 — новые данные, г — перечислен­

ные данные, 3 — данные, полученные другими авторами до 1965 г

А, А

Рис. . Коэффициенты поглощения для меди: 1 — настоящая работа, 2 — Кук и Стюардсон, з — Аллен; сплошная линия — по Гейнриху.

ментальные точки, можно принять за доказательство сте­ пени взаимной согласованности коэффициентов С и п. После отбора данных с помощью такого графика можно, используя метод интерполяции, получить серию коэф­ фициентов С и п для всех элементов и рассчитать таблицу коэффициентов поглощения для всех длин волн.

Для девяти элементов этой таблицы можно провести непосредственное сравнение с экспериментальными дан­ ными, начиная с тех результатов, которые находятся в

наилучшем

соответствии.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а 1а

Медь

 

 

 

 

 

 

 

 

Длина

Дан­

Гейк-

Разность,

Длина

Дан­

Гейн-

Разность,

ная

ра­

ная ра­

волны

бота

рих

%

волны

бота

рих

о/

 

 

 

 

 

 

 

 

/0

1,277

246

 

246

0

2,749

261

260

+ 0 , 4

1,313

270

 

265

+ 1 , 9

3,032

342

340

+ 0 , 6

1,435

42,7

44,2

- 3 , 4

3,600

553

543

+ 1 , 8

1,542

52,2

53,7

—2,8

3,752

631

617

+ 2 , 3

1,658

64,6

65,5

- 1 , 7

4,368

896

921

- 2 , 8

1,789

80,1

80,6

- 0 , 7

5,406

1607

1648

- 2 , 5

1,936

99,7

100,0

- 0 , 3

5,725

1872

1926

- 2 , 8

2,102

125,4

125,2

+ 0 , 2

6,070

2170

2260

- 4 , 0

2,290

156,0

158,1

- 1 , 3

6,449

2520

2670

- 5 , 6

2,503

203

 

202

+ 0 , 5

 

 

 

 

Хорошее соответствие мы имеем для меди и никеля (табл. 1а и б). Результаты для меди в совокупности с дан­ ными, полученными Куком и Стюардсоном [4], представ­ лены на рис. 2, из которого очевидно хорошее соответствие между экспериментальными результатами и данными Гейнриха. На этот график мы нанесли также несколько значений коэффициентов поглощения, полученных Алленом и опубликованных в [5].

Подобным же образом обнаруживается хорошее соот­ ветствие между данными Гейнриха и экспериментальными результатами для Ті и Zr вплоть до Li-края (табл. 1в и г), Ag, Pd, Та и Аи (табл. 1д — Із) в тех областях длин волн, где были возможны измерения.

Для остальных коэффициентов — для алюминия и циркония — в интервале длин волн, больших длины вол­ ны Lm-края циркония (табл. 2), имеется некоторое

Никель

Длина

Данная

Гейн-

Раз­

Длина

Данная

Гейн-

Раз­

 

ность,

ность,

волны J

работа

рих

волны

работа

рих

 

 

 

%

 

 

 

%

 

1,144

168,7

166,9

-1-1,1

3,752

565

555

+ 2 , 2

 

1,205

195,0

193,0

+ 1 , 0

4,154

720

722

—0,3

 

1,313

246

242

+ 1 , 6

4,368

831

828

+ 0 , 3

 

1,542

49,6

48,3

+ 2 , 7

5,406

1447

1482 - 2 , 3

 

1,658

61,3

59,8

+ 2 , 5

5,725

1733

1733

0

1,936

92,0

90,0

+ 2 , 2

6,070

1980

2034 - 2 , 6

 

2,290

145,5

142,3

+ 2 , 3

6,449

2310

2400

- 3 , 7

 

2,749

240

234

+ 2 , 9

7,128

2990

3151

- 5 , 1

 

3,600

510

489

+ 4 , 3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а

Титан

 

 

 

 

 

 

 

 

Длина

Данная

Гейн-

Раз­

Длина

Данная

Гейн-

Раз­

 

ность,

ность ,

волны]

работа

рих

волны

работа

рих

 

 

 

о/

 

 

 

%

 

 

 

 

/0

 

 

 

 

 

1,144

91,3

89,7

+ 1 , 8

2,503

89,3

85,8

+ 3 , 9

1,175

99,1

96,9

+ 2 , 2

2,749

114

110,6

+ 3 , 1

 

1,313

133,7

131,5

+2,4

3,752

277

2J3

+ 5 , 2

1,542

206

203

+ 1 , 5

4,368

402

392

+ 2 , 5

1,658

251

247

+ 1 , 6

5,118

613

604

+ 1 , 5

1,936

377

377

0

5,406

722

701

+ 2 , 8

2,102

470

473

- 0 , 6

6,046

981

952

+ 2 , 9

2,290

593

597

- 0 , 7

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Т а б'л и ц а

Цирконий

 

 

 

 

 

 

 

 

Длина

Данная

Гейн-

Раз­

Длина

Данная

Гейн-

Раз­

волны

работа

рих

ность,

волны

работа

рих

ность,

 

 

 

%

 

 

 

%

 

1,542

137,8

138,0

- о д !

2,754

650

668 - 2 , 6

1,658

168,3

168,5

- 0 , 1

3,032

842

874 - 3 , 6

1,936

257

257

0

3,600

1329

1396

- 4 , 8

2,290

403

407

- 0 , 2

 

 

 

.1

 

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ