книги из ГПНТБ / Физические основы рентгеноспектрального локального анализа
..pdf10. D u n с u m b |
P., |
M e 1 f о г d D. A., Tube Inv. Res. Labs. |
Tech. Rept. |
195, |
27 (1965). |
11.S t a i n e r H . M . , U . S. Bur Mines Inf. Circ. IC-8166, 124 (1963).
12. |
P i c k l e s i m e r M . L . , |
H a l l e r m a n G., |
U . S. Atomic |
||||||||||||
13. |
Energy Comm. Rept. ORNL-TM-1591, |
46 |
(1966). |
Press. |
|
||||||||||
Y а к о w і t z |
H . , |
ASTM |
Spec. Tech. |
Publ.— |
I n |
H . , |
|||||||||
14. |
G o l d s t e i n |
J . |
I . , M a j e s k e F . |
J . , Y a k o w i t z |
|||||||||||
15. |
Advances |
i n |
X-ray |
Analysis 10.— I n |
Press. |
(1962). |
|
|
|||||||
G r e e n |
M . , |
Thesis, University of |
Cambridge |
Xet |
Mic- |
||||||||||
16. |
C a s t a i n g |
|
R., |
|
H e n о с J . , |
Optique |
des Rayons |
||||||||
|
roanalyse |
(Proc. |
Fourth |
I n t ' l . |
Symp., |
Orsay |
— |
R. Castaing, |
|||||||
|
P. Descamps |
|
and |
J . Philibert, |
eds.), |
Editions |
Scientifiques, |
||||||||
17. |
Hermann, Paris |
(1966).— |
I n Press. |
|
Microprobe |
Analysis, |
|||||||||
T h e i s e n |
R., |
Quantitative |
Electron |
||||||||||||
18. |
Springer |
— Verlag, New York, |
1965, p. 32. |
|
Interscience, |
||||||||||
В i r k s |
L . S., |
|
Electron |
Probe |
Microanalysis, |
||||||||||
|
New York, 1963, |
p. 202. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
13 |
ТАБЛИЦЫ КОЭФФИЦИЕНТОВ |
|
|
ПОГЛОЩЕНИЯ |
|
ДЛЯ |
РЕНТГЕНОВСКОГО |
|
|
МИКРОАНАЛИЗА |
|
|
И. Адлер, |
Дж. Голдстейн |
Филибер [1] получил аналитическое выражение для по правки на поглощение:
|
/ (х) = |
(1 + |
h) І (і + -f) [ l + h ( l + |
-J -)] , |
(1) |
|
где |
a — модифицированный |
коэффициент |
Ленарда, h = |
|||
= |
1,2 {A/Z2), |
А |
и Z — средний атомный |
вес и |
средний |
|
атомный номер; |
% имеет в |
микроанализе |
свое |
обычное |
значение. Выражение (1) приведено в соответствие с экс периментальными кривыми Кастена [2] путем подбора значений а и h. В этом выражении о зависит только от рабочего напряжения V0, ah — только от A/Z2.
Полученное Филибером выражение пригодно для рабо чего напряжения, значительно большего потенциала воз буждения Vc, и для экстраполяции между различными значениями Z. Однако его точность лимитирована точно стью кривых Кастена. Грин [31 показал, что параметр по глощения / (%) сильно зависит от разницы между V0 и Vc. Таким образом, в выражение, полученное Филибером, необходимо вводить соответствующую поправку.
Арчард и Мулви [4] указали на то, что измеренная Кастеном / (х)-кривая для алюминия ошибочна. Эта ошибка связана с тем, что Кастен в качестве меченого слоя для алюминия использовал излучение меди, а потенциал воз
буждения меди (9 кв) существенно |
отличается |
от |
потен |
||||
циала |
возбуждения |
алюминия |
(1,6 |
кв) |
(см. |
статью на |
|
стр. 85 |
настоящего |
сборника). |
Поэтому |
кривая, |
изме |
ренная Кастеном, дает во всей области завышенные зна чения / (х). Это также подтверждается измерениями Гри на. Поэтому выражение Филибера, параметры которого получены из кривых Кастена. для малых значений Z при водит к существенным ошибкам.
Недавно модель Филибера была усовершенствована Данкамбом и Шилдс *) для учета влияния перенапряя^е- ния. Это усовершенствование связано с тем, что эффек тивная длина пути, на котором возбуждается характери стическое излучение элемента, определяется не только рабочим напряжением, но и потенциалом возбуждения соответствующей серии рентгеновского спектра. Эта по правка введена путем расчета эффективного коэффициента Ленарда оЭфф из следующего выражения:
бэ ф ф = 2 , 3 9 . 1 0 5 / ( У Г - У П |
(2) |
Здесь, как и ранее, V0 — приложенное рабочее напряжение, Vc — критический потенциал возбуждения спектральных серий данного элемента (обе величины измерены в кв).
V0=30KS
<ы>
-
г- |
L-линии |
|
|
— 1 1 1 1 1 |
1 1 і 1 I 1 |
Є й ft 20 US 80 35 40 45 50 55 60 55 70 75 SO 85 90 fff
Рис. 1. Поправка на перенапряжение.
Поправка на перенапряжение приведена на рис. 1 (о"Эфф и У0эфф представлены на графике как функции атом ного номера анализируемого элемента). Расчет выполнен для рабочего напряжения У 0 = ЗО кв для К-, L - и М- спектров. Для і£-серии, где VJVC менее 1,5, эффективное рабочее напряжение У0офф меньше 25 кв и необходимо вво-
*) Расчеты взяты из работы П. Данкамба и Р. К. Шилдс «Влияние потенциала возбуждения на поправку на поглощение», представленной на симпозиум по микроанализу в Вашингтоне в 1964 г.
дить отрицательную поправку в / (х) порядка 15%. Хотя большинство работ по микроанализу проводится при VJVC больше 2,0, даже в этом случае поправка в / (%) мо жет быть порядка 10% . Поправка в / (х) для L - и М-се- рий много меньше поправки для А-серий. Кроме того, да же в том случае, когда поправка на перенапряжение в / (х) большая, суммарный эффект в поправке на поглоще ние гораздо меньше, так как в микроанализе обычно поль зуются выражением / (х)//°(х)-
Поскольку / (х) зависит, во-первых, от элемента, из
лучающего К-, |
L - или Ж-серию, |
во-вторых, |
от |
среднего |
||||||||||||
атомного номера |
|
поглотителя Z, |
в-третьих, от |
перенапря |
||||||||||||
жения V0/Vc, |
в-четвертых, от |
рабочего |
напряжения |
и, |
||||||||||||
в пятых, от |
параметра поглощения |
х, мы приготов или |
три |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
серии |
таблиц, |
которые |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
учитывают |
эти пять |
пара |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
метров. Для |
сплавов |
ис |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
пользуется |
среднее |
значе |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
ние |
Z [1], a h затем |
полу |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
чают из табл.1 * ) . В табл.1 |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
даны |
значения h |
для |
93 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
элементов (h = |
1,2 |
|
(A/Z*)). |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В |
табл. |
2 |
приведены |
||||
|
|
|
|
|
|
|
значения |
а^фф для |
всех |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
элементов |
при нескольких |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
рабочих напряжениях |
V0; |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
К-, L - и Af-спектры рас |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
сматриваются |
отдельно. |
||||||||
Рис. |
2. |
Кривые |
для L-излучения зо |
В табл. 3 |
приведены |
зна |
||||||||||
лота |
в |
золоте, К-излучения меди в ме |
чения / (х) для выбранных |
|||||||||||||
ди и алюминии |
при |
29 кэв. 1 — |
Кас |
интервалов |
аЭфф |
для |
по |
|||||||||
тен, 2 — Адлер и Голдстейн, 3 — Дан- |
||||||||||||||||
|
|
камб и Шилдс. |
|
глотителей |
с |
различными |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
средними |
атомными номе |
||||||||
рами. |
Значенияг» |
с / \ |
даются |
через малые |
интервалы |
|||||||||||
/ (х) |
изменения и поэтому обычно нет необходимости в экстра поляции.
Табл. 2 рассчитана на основании соотношения (2). Значения Vc для К-, L - и ЛТ-краев поглощения взяты из таблиц длин волн рентгеновского излучения Бирдена [5]. Табл. 3 рассчитана на основании соотношения (1), в кото ром о заменено на аЭфф.
*) (Указанные таблицы приведены в NASA, Technical Note, D-2984.)
Приведенные в тексте рисунки иллюстрируют полез ность этих таблиц. Как наши расчеты, так и расчеты Данкамба и Шилдс проведены на основании комбинирования соотношения (1) и (2).
На рис. 2 приведены \gf (^)-кривые для L-излучения золота в золоте, ІТ-излучения меди в меди и алюминии при 29 кв. Кривые по Кастену [2] получены экспериментально, а кривые Данкамба и Шилдс — расчетным путем.
WW
і,г\—і—і—і—і—і—і—і—L
ХИтысячах
Рис. 3. Значения для / (х) |
(по Фи |
Рис. 4. Изменение / (х)в зависимос |
||
либеру) и табулированные |
значе |
ти от приложенного напряжения. |
||
ния, полученные авторами, |
нало |
1 — Грин, 2 — Адлер и Голдстейн, |
||
женные на расчетные кривые Дан |
з — Данкамб и Шилдс, 4— Кастен |
|||
камба и Шилдс, и эксперименталь |
и Декамп, 5 — Филибер (А1 К/А\). |
|||
ные кривые |
Кастена и Грина для |
|
||
различных |
материалов. 1 — |
Дан |
|
|
камб и Шилдс, 2 — Адлер |
и Голд- |
|
||
стейн, 3 — Грин (20,5 кэв), |
4—Грин |
|
||
(9,8 кэв), |
5 — Грин (5,9 |
кэв). |
|
На графике также приведены табулированные значения. На рис. 3 приведены табулированные нами значения, кривые Данкамба и Шилдс для ІІГ-излучения алюминия и меди в алюминии при 29 кв и значения Филибера [1] для чистого А1. На графике приведены также кривые Ка стена [2] (Си К в А1) и Грина [3] (А1 К в А1). Эти кривые иллюстрируют преимущество наших таблиц, а именно тот факт, что с их помощью можно определять / (х)-кривые не только для чистых элементов, но и кривые для любого из лучения в любой интересующей нас матрице. На рис. 4 показано изменение / (%) в зависимости от приложенного напряжения. Соответствие между рассчитанными и из меренными значениями / (%) прекрасное. Очень хорошее
соответствие найдено также между табулированными зна чениями и данными Грина [3] для if-излучения углерода в углероде при 10 кв.
Превосходным является и соответствие между значе ниями, рассчитанными Данкамбом и Шилдс (см. в [6]), табулированными значениями настоящей работы и экс периментально полученными значениями. Это соответ ствие показывает, что таблицы с гарантией могут быть использованы для всех элементов и для интервала рабо чих напряжений от 5 до 35 кв.
ЛИТЕРАТУРА |
|
|
|
|
|
|
|
|||
1. |
P h i l i b e r t |
J . , A |
Method |
for Calculating |
the |
Absorption |
||||
|
Correction i n Electron Probe |
Microanalysis, X-ray |
Optics |
and |
||||||
|
X-ray |
Microanalysis, |
H . H . Pattee, |
V . E. |
Cosslett |
and |
||||
|
A. Engstrom, |
eds., New York, Academic |
Press |
Inc., pp. 379— |
||||||
2. |
392 |
(1963). |
R., Electron Probe Microanalysis, Advances i n |
|||||||
C a s t a i n g |
||||||||||
|
Electronics and Electron Physics 13 (L . Marton |
and C. Marton, |
||||||||
3. |
ed.), |
New York, Academic Press Inc., 1960, pp. |
317—386). |
|
||||||
G r e e n |
M . , The Target Absorption Correction |
i n X-ray Micro |
||||||||
|
analysis, X-ray Optics |
and X-ray Microanalysis |
( H . H . Pattee, |
|||||||
|
V. E. Cosslett |
and A . Engstrom, eds.), |
New York, |
Academic |
||||||
|
Press |
Inc., 1963, pp. 361—377. |
|
|
|
|
4. A г с h а г d G. D., M u 1 v e у Т., The Present State of Quan titative X-ray Microanalysis. I I . Computational Methods, Brit . J. appl. Phys. 14 (10), 626—634 (1963).
5. |
B e a r d e n J . A . , |
X-ray |
Wavelengths, Final |
Report, Balti |
|
more: Johns Hopkins University, U . S. Atomic |
Energy Commis |
||
6. |
sion Report, NYO-10586 |
(1964). |
|
|
NASA, Technical |
Note, |
D-2984. |
|
МАССОВЫЕ КОЭФФИЦИЕНТЫ ПОГЛОЩЕНИЯ РЕНТГЕНОВСКИХ ЛУЧЕЙ
Г. Хьюз, Дж. Вудхауз
В трудах состоявшейся в 1964 году в Дельфте конференции [1] нами описан метод измерения массовых коэффициентов поглощения рентгеновских лучей и при ведены некоторые результаты. Целью настоящей статьи
является |
сравнение |
этих экспериментально получен |
ных коэффициентов |
и некоторых вновь полученных [2 J с |
|
таблицами |
Гейнриха |
[3]. |
На рис. 1 показаны области, где массовые коэффициен ты поглощения рентгеновских лучей «надежно» определе ны экспериментальным путем, а также исследованная на ми область длин волн от 1 до 10 А. Данные, полученные до 1963 г., были проанализированы на надежность Гейнрихом. Для этого он использовал метод, с помощью кото рого можно оценить внутреннее соответствие данной серии экспериментальных результатов, даже если нельзя вы делить какой-либо систематической ошибки.
Короче говоря, метод должен предполагать, что коэф фициенты для участка кривой поглощения между любой парой соседних краев поглощения следуют эмпириче скому закону
=Скп,
где р/р — массовый коэффициент поглощения рентгенов ского излучения, X — длина волны рентгеновского излу чения, а С и п — константы. Если теперь данные нанести на график
то точки должны ложиться на прямую, параллельную оси X и пересекающую ось р/р в точке р/р = С. В действитель ности этого никогда не происходит, но плавный ход кривой, который дают нанесенные на график экспери-
70
150
30
-L
Рис. 1. Экспериментально определенные массовые коэффициенты поглощения рентгеновского излучения по Гейнриху: 1 — новые данные, г — перечислен
ные данные, 3 — данные, полученные другими авторами до 1965 г
А, А
Рис. . Коэффициенты поглощения для меди: 1 — настоящая работа, 2 — Кук и Стюардсон, з — Аллен; сплошная линия — по Гейнриху.
ментальные точки, можно принять за доказательство сте пени взаимной согласованности коэффициентов С и п. После отбора данных с помощью такого графика можно, используя метод интерполяции, получить серию коэф фициентов С и п для всех элементов и рассчитать таблицу коэффициентов поглощения для всех длин волн.
Для девяти элементов этой таблицы можно провести непосредственное сравнение с экспериментальными дан ными, начиная с тех результатов, которые находятся в
наилучшем |
соответствии. |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а 1а |
|
Медь |
|
|
|
|
|
|
|
|
Длина |
Дан |
Гейк- |
Разность, |
Длина |
Дан |
Гейн- |
Разность, |
|
ная |
ра |
ная ра |
||||||
волны |
бота |
рих |
% |
волны |
бота |
рих |
о/ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
/0 |
1,277 |
246 |
|
246 |
0 |
2,749 |
261 |
260 |
+ 0 , 4 |
1,313 |
270 |
|
265 |
+ 1 , 9 |
3,032 |
342 |
340 |
+ 0 , 6 |
1,435 |
42,7 |
44,2 |
- 3 , 4 |
3,600 |
553 |
543 |
+ 1 , 8 |
|
1,542 |
52,2 |
53,7 |
—2,8 |
3,752 |
631 |
617 |
+ 2 , 3 |
|
1,658 |
64,6 |
65,5 |
- 1 , 7 |
4,368 |
896 |
921 |
- 2 , 8 |
|
1,789 |
80,1 |
80,6 |
- 0 , 7 |
5,406 |
1607 |
1648 |
- 2 , 5 |
|
1,936 |
99,7 |
100,0 |
- 0 , 3 |
5,725 |
1872 |
1926 |
- 2 , 8 |
|
2,102 |
125,4 |
125,2 |
+ 0 , 2 |
6,070 |
2170 |
2260 |
- 4 , 0 |
|
2,290 |
156,0 |
158,1 |
- 1 , 3 |
6,449 |
2520 |
2670 |
- 5 , 6 |
|
2,503 |
203 |
|
202 |
+ 0 , 5 |
|
|
|
|
Хорошее соответствие мы имеем для меди и никеля (табл. 1а и б). Результаты для меди в совокупности с дан ными, полученными Куком и Стюардсоном [4], представ лены на рис. 2, из которого очевидно хорошее соответствие между экспериментальными результатами и данными Гейнриха. На этот график мы нанесли также несколько значений коэффициентов поглощения, полученных Алленом и опубликованных в [5].
Подобным же образом обнаруживается хорошее соот ветствие между данными Гейнриха и экспериментальными результатами для Ті и Zr вплоть до Li-края (табл. 1в и г), Ag, Pd, Та и Аи (табл. 1д — Із) в тех областях длин волн, где были возможны измерения.
Для остальных коэффициентов — для алюминия и циркония — в интервале длин волн, больших длины вол ны Lm-края циркония (табл. 2), имеется некоторое
Никель
Длина |
Данная |
Гейн- |
Раз |
Длина |
Данная |
Гейн- |
Раз |
|
|
ность, |
ность, |
||||||||
волны J |
работа |
рих |
волны |
работа |
рих |
||||
|
|
|
% |
|
|
|
% |
|
|
1,144 |
168,7 |
166,9 |
-1-1,1 |
3,752 |
565 |
555 |
+ 2 , 2 |
|
|
1,205 |
195,0 |
193,0 |
+ 1 , 0 |
4,154 |
720 |
722 |
—0,3 |
|
|
1,313 |
246 |
242 |
+ 1 , 6 |
4,368 |
831 |
828 |
+ 0 , 3 |
|
|
1,542 |
49,6 |
48,3 |
+ 2 , 7 |
5,406 |
1447 |
1482 - 2 , 3 |
|
||
1,658 |
61,3 |
59,8 |
+ 2 , 5 |
5,725 |
1733 |
1733 |
0 |
||
1,936 |
92,0 |
90,0 |
+ 2 , 2 |
6,070 |
1980 |
2034 - 2 , 6 |
|
||
2,290 |
145,5 |
142,3 |
+ 2 , 3 |
6,449 |
2310 |
2400 |
- 3 , 7 |
|
|
2,749 |
240 |
234 |
+ 2 , 9 |
7,128 |
2990 |
3151 |
- 5 , 1 |
|
|
3,600 |
510 |
489 |
+ 4 , 3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а |
1в |
||
Титан |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Длина |
Данная |
Гейн- |
Раз |
Длина |
Данная |
Гейн- |
Раз |
|
|
ность, |
ность , |
||||||||
волны] |
работа |
рих |
волны |
работа |
рих |
||||
|
|
|
о/ |
|
|
|
% |
|
|
|
|
|
/0 |
|
|
|
|
|
|
1,144 |
91,3 |
89,7 |
+ 1 , 8 |
2,503 |
89,3 |
85,8 |
+ 3 , 9 |
||
1,175 |
99,1 |
96,9 |
+ 2 , 2 |
2,749 |
114 |
110,6 |
+ 3 , 1 |
|
|
1,313 |
133,7 |
131,5 |
+2,4 |
3,752 |
277 |
2J3 |
+ 5 , 2 |
||
1,542 |
206 |
203 |
+ 1 , 5 |
4,368 |
402 |
392 |
+ 2 , 5 |
||
1,658 |
251 |
247 |
+ 1 , 6 |
5,118 |
613 |
604 |
+ 1 , 5 |
||
1,936 |
377 |
377 |
0 |
5,406 |
722 |
701 |
+ 2 , 8 |
||
2,102 |
470 |
473 |
- 0 , 6 |
6,046 |
981 |
952 |
+ 2 , 9 |
||
2,290 |
593 |
597 |
- 0 , 7 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Т а б'л и ц а |
1г |
||
Цирконий |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Длина |
Данная |
Гейн- |
Раз |
Длина |
Данная |
Гейн- |
Раз |
||
волны |
работа |
рих |
ность, |
волны |
работа |
рих |
ность, |
||
|
|
|
% |
|
|
|
% |
|
|
1,542 |
137,8 |
138,0 |
- о д ! |
2,754 |
650 |
668 - 2 , 6 |
|||
1,658 |
168,3 |
168,5 |
- 0 , 1 |
3,032 |
842 |
874 - 3 , 6 |
|||
1,936 |
257 |
257 |
0 |
3,600 |
1329 |
1396 |
- 4 , 8 |
||
2,290 |
403 |
407 |
- 0 , 2 |
|
|
|
.1 |
|