Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Физические основы рентгеноспектрального локального анализа

..pdf
Скачиваний:
10
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
15.53 Mб
Скачать

ресценции имеет место только для ограниченного числа составов образцов, нет необходимости в общем рассмот­ рении распространения ошибок. Для К — йГ-взаимо- действия наш интерес ограничивается парами элементов с атомными номерами от 22 до 35. Таким образом, доста­ точно рассматривать ошибки, возникающие в такой си­ стеме как сплавы железо — никель; другие системы с сильной К — ІІГ-флуоресценцией вполне аналогичны в смысле распространения ошибок.

Расчет ошибок по модели Рида для системы железо— никель было осуществлено при помощи вычислительной машины. Для каждой совокупности параметров (сд, V и її) мы рассчитали значение г/ (рис. 1) и изменение рассчи­

танной концентрации

элемента А

 

при изменении значений

авг—-

,—•

:

• . г--,

Л град

Рис. 1. Зависимость множителя rf для поправки на флуоресценцию от угла

выхода рентгеновских лучей i>, вычисленная для ускоряющего напряжения 15 и 30 кв соответственно. Значения даны для анализа железа в сплаве, содер­ жащем 1 0 % Fe и 9 0 % N i ; для расчета использовались модели Рида и Кастена.

массовых коэффициентов поглощения и скачка поглоще­ ния на 10% от первоначального. Для расчетов в системе железо — никель мы ввели следующие сокращенные обо­ значения для массовых коэффициентов ослабления:

М1

=

М

(Fe,

Fe Ka);

Мг

=

М ( N i ,

Fe

Ka);

M3

=

M

(Fe,

N i Ka);

МІ

=

AT(Ni,

N i

Ka).

Ошибка

в

скачке

поглощения

обозначена

через А / .

Аналогично было получено влияние вариации выхода флуоресценции ю и коэффициента ослабления электронов а на 2 0 % , ускоряющего напряжения на 1 кв и угла выхода

8* 227

рентгеновских лучей г) на 1 градус. График результирую­ щей абсолютной ошибки в рассчитанной концентрации элемента А при 15 кв и при угле выхода 52,5° показан на рис. 2. Видно, что наиболее важным источником ошибок являются неопределенности в выходе флуоресценции. Влияние ошибки в V я ъ М (А, В К а) при указанных ус­ ловиях меньше, чем 0,2% при всех концентрациях; все

І

і

і

і Г

і

 

I

і

I

О

 

0,211

0,40

 

0,60

0,80

 

1,00

Рис. 2. Зависимость абсолютной ошибки в составе при анализе железа в сплаве

Ре —

N i

от

частных

ошибок

исходных

параметров.

Обозначения: 1 —

Mt

(А,

АКа),

2 — Мг

(В, АКа),

3

М,

(А,

ВКа),

4 - М ,

(В, ВКа),

ДМ =

=

+ 1 0 % ;

5 — скачок поглощения

AJ

=

+ 1 0 % ,

6

— со =

0,378, Дш =

2 0 % ;

 

 

 

 

7 V =

15 кв, ДУ

=

1 кв;

S — в

=

52,5°,

Д» = 1°.

 

остальные ошибки меньше, чем 0 , 1 % , и ими вполне мож­ но пренебречь. Относительно важное значение эти ошиб­ ки имеют, вероятно, вблизи концентраций СА 10. По­ этому вариация ошибок в зависимости от напряжения и угла выхода рентгеновских лучей была рассчитана для сплава, содержащего 10% железа (рис. 3 и 4). Как и ожи­ далось, влияние ошибки в ускоряющем напряжении умень­ шается с увеличением напряжения, в то время как все остальные эффекты ошибок медленно увеличиваются с увеличением напряжения. Так как не представляет труд­ ностей откалибровать ускоряющее напряжение с точно­ стью лучшей, чем 1 кв, то можно заключить, что влияние изменения ускоряющего напряжения на такого типа ошиб­ ки не существенно. Как показано на рис. 4, два наиболее

важных вклада в ошибку за счет юв и М

(А, ВКа) уве­

личиваются с увеличением угла выхода.

Это увеличение,

Напряжение, кб

Рис. 3. Зависимость от ускоряющего напряжения абсолютной ошибки в соста­ ве при анализе железа в сплаве 10% Ре — 9 0 % N i , являющейся результатом частных ошибок исходных параметров.

W 50 гро.}

Рис 4 Зависимость от угла выхода рентгеновских лучей абсолютной ошибкой в составе при анализе железа в сплаве 10% F e — 9 0 % N i , являющейся резуль­ татом частных ошибок исходных параметров.

однако, меньше, чем у г), и не очень существенно при зна­ чениях выше 20°. Ввиду того, что большой угол выхода имеет преимущества при введении поправки на поглоще­ ние [1], этот небольшой недостаток при больших углах выхода можно, вероятно, считать вполне терпимым в большинстве случаев.

Сравнение уравнений (4), (5) и (7) показывает, что ошибки в сц и Pij распространяются так же, как и ошибки в сав. Так как ожидаемые ошибки в св в 10 раз меньше, чем в ate, то, следовательно, влиянием ошибок в Св мож­ но пренебречь. То же самое, однако, несправедливо для ошибок в Рц. Поскольку не имеется экспериментальных данных относительно флуоресценции других типов, кро­ ме К — К, то трудно установить величину этой ошибки. Мы думаем, однако, что эта ошибка может быть такая же или выше, чем ошибка в ав. Необходимо добавить, что выходы флуоресценции для L-уровня известны даже хуже, чем те же величины для if-уровня. Следовательно, следует ожидать серьезных ошибок в поправках на флуо­ ресценцию при других типах, чем К — ^-флуоресцен­ ция, вопреки тому факту, что абсолютные значения попра­ вок в этих случаях меньше. В этой области настоятельно требуется дальнейшая экспериментальная работа.

Так как формула Кастена отличается от формулы Рида только членом, зависящим от напряжения, влияние оши­ бок от наиболее существенных факторов, ак и М(А, ВКа), является идентичным. Однако необходимо отметить, что разница между результатами, полученными при помощи этих двух моделей, является существенной и увеличивает­ ся с уменьшением ускоряющего напряжения. При 15 кв эта разница в два раза больше ошибки, обусловленной 20%-ной ошибкой в выходе флуоресценции, и почти равна ей при 30 кв (рис. 5). Подходящий выбор модели расчета является, таким образом, более важным, чем улучшение исходных параметров. Несмотря на то, что не­ которые авторы (например, [7]) исследовали этот предмет экспериментально, нам кажется, что на основе имеющейся экспериментальной проверки нельзя сделать ясных выво­ дов относительно правильности модели расчета.

Расчеты были выполнены также для следующих би­ нарных систем: Fe — Cu, Fe — Zn, Fe — Ga, Fe — Ge, Fe As и Fe — Se. Предложенные условия были следую­ щие: CFe — 0,10, гт = 52,5°, V = 20 кв. Рис. 6 показывает, что влияние ошибок в М (А, ВКа) и в и, так же как и во

множителе r'f I (1 -f- r'f), быстро уменьшается с увеличением атомного номера возбуждающего элемента. і

Влияние флуоресценции в негомогенных | образцах. Дальнейшие сложности возникают|при введении поправ­ ки: флуоресцентное излучение возбуждается в большем объеме, чем первичное излучение, обусловленное этим возбуждением. Это приводит, в частности, к искажениям, если объектом исследования являются включения или выделения, анализируемые по элементу, которого много в окружающей матрице. Влияние флуоресцентного возбуж­ дения можно четко проследить на границе фазы или вбли­ зи нее; этот случай был изучен как экспериментально, так и теоретически несколькими авторами [911].

Чтобы показать величину эффекта, мы можем рассчи­ тать количество флуоресцентного излучения по отноше­ нию к первичной эмиссии от чистого элемента, возбужден­ ного в недиффундирующей паре, когда электронный зонд падает на флуоресцирующий элемент вблизи границы. Эта интенсивность равна, согласно Риду,

1 I

U B — 1 У ' 6 7

/ Г Л - М

Л

/1=1(1+и) , 1п(1 + »)\

Л

и.

1 )

 

 

 

 

 

 

и согласно

Кастену,

 

 

 

 

 

 

1

Ді

I г А

^ ^ „

Л

( In (1 + и)

,

hi (1 + V) \

Г'~~~^ГЖ

\~Tr~)

в

\

й

+

7—) •

Мы рассчитали этот вклад флуоресценции в зависимости от напряжения и угла выхода рентгеновских лучей. По­ казанные на рис. 7 результаты можно сформулировать так: интенсивность флуоресценции умеренно уменьшается при понижении ускоряющего напряжения, но улучшение при малых углах выхода рентгеновских лучей является едва заметным. Величины, полученные по модели Рида, заметно ниже, чем полученные по модели Кастена.

Математическая коррекция влияния этого эффекта флуоресценции является возможной только тогда, когда известна геометрия границы фазы [8]. Анализ малых вклю­ чений, окруженных матрицей, чувствительной к флуорес­ ценции, является, следовательно, искаженным из-за присущей такому анализу неопределенности. Эту неопределе.шость нельзя эффективно ликвидировать выбором параметров работы.

Выводы. 1. В случае флуоресцентного возбуждения К- липии if-липиями при настоящем уровне знаний главным источником ошибок являются неопределенности в пра­ вильности самой модели вычисления поправки и величи­ нах выхода флуоресценции. Влияние ошибок в массовых

ОМ

0,07

ОМ

0,05

ОМ

0,03

 

 

 

О

Ж

40 v„ 60

80

Рис. 7. Зависимость фактора флуоресценции Tf от угла вывода регтгеновских

лучей при различных напряжениях для недиффундирующей пары F e — N i .

коэффициентах поглощения и скачках поглощения мень­ ше или пренебрежимо мало.

2.Плохую точность следует ожидать при возбуждении

£-линии L-линиями, или наоборот. Очень желательными являются дальнейшие работы, касающиеся модели вы­ числения поправки и лучшего знания выходов флуорес­ ценции.

3.Некоторое преимущество дает использование низ­ кого напряжения. Недостатки большого угла выхода рентгеновского излучения были в прошлом преувеличе­ ны. Эти недостатки являются не слишком значитель­ ными.

4.При анализе малых по объему фаз, окруженных мат­ рицей, чувствительной к флуоресцентному возбуждению, существует значительная неопределенность. Эту неопре-

деленность нельзя устранить в сколько-нибудь значитель­ ной степени изменением режима работы установки. Ра­ бота при относительно низких напряжениях несколько улучшает ситуацию. Преимущество малых углов выхода имеет в этом случае второстепенное значение.

5. Даже в случаях, требующих значительной поправ­ ки на флуоресценцию, пет никаких противопоказаний к выбору параметров, предложенных ранее [1], т. е. к рабо­ те при больших углах выхода рентгеновских лучей (^>30°) и при низких напряжениях, при которых еще существует

достаточный выход рентгеновских

лучей.

 

 

 

 

ЛИТЕРАТУРА

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1.

Y a k o w i t z

Н.,

H o i n r i c h

К. F. J . ,

Quantitative elec­

 

tron probe microanalysis: Absorption correction

uncertainty,

2.

Mikrochim.

Acta

(in

press).

 

 

University

of

Paris,

1951,

C a s t a i n g

R.,

Doctoral Thesis,

3.

p. 83.

 

 

 

S h i e l d s P. K . ,

The

Electron

Micro-

D u n c u m b P . ,

4.

probe, J . Wiley and Sons, Inc., New York,

p. 284, 1966.

 

R e e d

S . J . В., Brit.

J . Appl. Phys. 16,

913 (1965).

X-ray

5.

D u n с u m b

P.,

S h і e 1 d s P. K . ,

X-ray

Optics and

6.

Microanalysis, Academic Press, New York, 1963, p. 329.

 

F і n k

R. W. et al . , Rev. Mod. Phys. 38, 513 (1966).

 

7.

C o l b y J . ,

 

National

Lead

Co.

of

Ohio

Report

NLCO-969

8.

(1965).

 

 

R.,

Advances i n X-ray

Analysis 4,

Plenum

Press,

C a s t a i n g

9.

New York,

1961,

p.

368.

 

 

X-ray

Optics

and

X-ray

R e e d S. J . В.,

L o n g J . V . P.,

10.

Microanalysis, Academic Press, New York, London, 1963, p. 317.

D і 1 s

R. R.,

Z e і t z, L . , H u g g і n s

R. A.,

X-ray

Optics

 

and X-ray Microanalysis, Academic Press, New York, London,

11.

1963, p. 341.

 

S e g u і n

R.,

IT ё n о с

J . , X-ray

Optics

M a u r i c e

F.,

 

and Microanalysis,

Hermann,

Paris,

1966,

p.

357.

 

 

17. РЕНТГЕНОВСКАЯ ФЛУОРЕСЦЕНЦИЯ, ВОЗБУЖДЕННАЯ ТОРМОЗНЫМ СПЕКТРОМ ЭЛЕКТРОНОВ

Ж . 9 нок

Введение. Мишень при бомбардировке электронами соответствующей энергии испускает характеристическое рентгеновское излучение, линии которого отвечают эле­ ментному составу мишени. Это излучение возбуждается при ионизации внутренних оболочек атомов как электро­ нами пучка, так и квантами тормозного излучения, воз­ никающего в процессе замедления электронов в веществе. При тех условиях, которые имеют место в рентгеноспектральном микроанализе, обычно преобладает первый из указанных процессов возбуждения; однако при современ­ ных успехах этого вида анализа, особенно в области повы­ шения чувствительности спектрометров излучения, уже нельзя пренебрегать, как это делалось раньше, вторым из названных процессов.

Мы изложим далее метод расчета интенсивности флуо­ ресцентного излучения, возбужденного тормозным спек­ тром, и оценим поправку на этот эффект, которую^необходимо вводить в результаты рентгеноспектрального микро­ анализа. В первой, теоретической части статьи мы выведем формулу для интенсивности флуоресцентного излуче­ ния и выскажем соображения о методе расчета первичного излучения, непосредственно возбужденного электронами, для получения интересующего нас отношения интенсив­ ностей вторичного и первичного излучений. Во второй, практической части, мы опишем результаты эксперимен­ тальной проверки расчетов с целью сделать их более точ­ ными и изложим способ введения поправки на флуорес­ ценцию, возбужденную тормозным спектром, при практи­ ческих анализах.

Теория.

*

а) Расчет флуоресцентного

излучения. Расчет интен­

сивности флуоресцентного излучения, возбужденного тор­ мозным спектром, можно выполнить, основываясь на двух

упрощающих предположениях. Первое из них состоит в том, что тормозной спектр излучается на глубинах, пре­ небрежимо малых по сравнению с глубиной проникновения квантов этого излучения в образец; это позволяет считать

 

источник

первичного

 

излучения

 

точечным и расположенным на

по­

 

верхности

образца. Следует

отме­

 

тить, что, вообще, вид распределе­

 

ния интенсивности первичного из­

 

лучения

[по

глубине влияет

на

 

величину

флуоресценции,

но

это

 

влияние|"слабо,

и интенсивность

 

флуоресценции

зависит

лишь

от

 

суммарной интенсивности

первич­

Рис. 1. К испусканию флу

ного излучения. Второе

предполо­

жение

состоит в том,

что

угловое

оресцентного излучения.

 

распределение

тормозного

излу­

 

чения

изотропно:

 

 

 

 

 

Интенсивность выходящего

из

образца

флуоресцент­

ного излучения, возбужденного спектральной компонен­

той тормозного

излучения с

длиной

волны

Я, и

интенсив

Н О С Т Ь Ю

1°х

равна (рис. 1):

 

 

 

 

 

 

 

rf I А\

Q

1

Л / А ч ГА

~' 1 Zq(A)H

х

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

її; 2

ОО

 

 

U . A B

 

 

 

 

 

 

X

^ dcpjj tgcpexp j

— pz

 

 

 

d (pz)

=

COS ф

 

sin О

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Q

cA

COя (A)

 

•Zg(A)Il

 

x

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1ч(1 +

И

 

 

 

AB-,

 

 

 

 

 

X

В

c o s e c f l K * ] )

(1)

 

 

 

 

( 1 ^ B

 

 

AB

 

 

 

 

 

 

cosec fl/u.^

 

 

где Q — телесный угол,

в котором

регистрируется

излу­

чение,

сА — концентрация компонента

4 ,

[їх

и

\і\В

массовые коэффициенты поглощения излучения с длиной волны К в элементе Л и в сплаве АВ, со9 (А) — выход флуо­ ресценции элемента А, гА — скачок поглощения (в случае Я-серии гл =*гАК, В случае Lin-серии rA = r A L u v гА =

=^AL^ALi/ALyn) і (^АВ КОЭффиЦИвИТ ПОГЛОЩЕНИЯ ИЗЛу-

чения элемента А в сплаве, її — угол отбора этого излу-

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ