Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Физические основы рентгеноспектрального локального анализа

..pdf
Скачиваний:
10
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
15.53 Mб
Скачать

флуоресцентным возбуждением, равно

I (QISAB)dE

к А = СлА—т.

.

(13)

I (QISA)dE

где индексы АВ и А относятся соответственно к образцу и эталону. Соотношение (13) можно упростить без заметной потери точности, используя то обстоятельство, что SA/SAB очень медленно меняется в зависимости от Е. Следователь­ но, это отношение можно определить в средней точке интервала между Е0 и Ек [17] и вынести за знаки инте­ гралов; последние при этом сократятся. Таким образом, (13) можно записать в виде

,

RAB$A

кл^СА-тт-щ—,

(14)

где 3 — средняя тормозная способность, получаемая под­

становкой в (5) вместо

Е значения Ё, равного

 

Е

= ±-(Е0

+ ЕК).

(15)

В результате поправка

на атомный номер

сводится

к произведению двух множителей, один из которых учиты­ вает различие в обратном рассеянии, а второй — разли­ чие в средней тормозной способности между образцом и эталоном. Использовать для вычисления в (14) полное выражение нет необходимости, поскольку множители НЕ сокращаются. Поэтому этот множитель в (5) можно опустить.

Для

оценки ошибки,

вносимой заменой интегралов

в выражении (13) величиной S, были вычислены в большом

числе предельных случаев

относительные

различия в ве­

личинах

результирующей

поправки.

Сформулировать

четко условия, при которых это приближение справедливо, в общем нет возможности. Отметим поэтому следующие моменты.

1.Относительная ошибка наиболее велика при анали­ зе малых количеств одного элемента в другом и в общем возрастает с увеличением разницы в их атомных номерах.

2.Относительная ошибка наиболее велика при значе­ ниях U в интервале от 1,5 до 2, в основном вследствие

того, что эффективное сечение ионизации Q в этой

области

U меняется наиболее

быстро.

 

3. При U == 2 относительная ошибка, определенная как

1

k/c-(S)

 

 

(к/с)-(интеграл) '

 

отрицательна для элементов с меньшими Z в

матрице

с большими Z и положительна в обратном случае.

Для иллюстрации величины ошибки выберем резуль­ таты определения следов алюминия, меди и урана, каж­ дый в матрице других двух элементов, т. е. всего шесть систем. Для излучений Си А'а и U La ошибка оценивалась при наиболее неблагоприятном условии U = 2; для А1 Ка- излучения это соответствует слишком низкому напряже­ нию F 0 = 3 кв, и для него была взята энергия электронов Е0 10 кэв. Результаты приведены в табл. 2. Даже в этих

 

 

 

Т а б л и ц а

2

Ошибки, вносимые

поправкой в /S-приближении, для ряда

 

предельно неблагоприятных случаев анализа

 

 

Система

УСЛОВИЯ

возбуждения

Относительная

%

ошибка поправки,

U (La) Си

U =

2

+0,57

 

U (La) — А1

U =

2

+0,86

 

Си (Ka) — U

• 7 = 2

- 0 , 8 1

 

Си (Ka) А1

U =

2

+0,38

 

А1 (Ka.) — U

Ео =

10 кэв

+2,31

 

А1 (Ко) — Си

Ео=

10 кэв

+0,04

 

плохих условиях, как видно, ошибка была менее 1 % , за исключением случая А1 и U , где большая поправка на по­ глощение в любом случае не позволит провести анализ с точностью такого порядка. Для систем А1 Си и Си А1 ошибка оказывается очень малой. Мы, таким образом, при­ ходим к выводу, что в подавляющем большинстве анали­ зов на элементы с атомными номерами от 13 до 92 ошибка, вносимая использованием ^-приближения, пренебрежи­ мо мала. Это также относится к анализам тяжелого ком­ понента в большинстве карбидов и оксидов, но не к анали­ зам более легкого элемента, для которого поправка на поглощение всегда велика.

Томас [ 1 7 ] , предложившая описанное выше ^-прибли­ жение, ввела дальнейшее упрощение, впервые использо­ ванное Кастеном. Это упрощение состоит в объединении обоих множителей поправки на атомный номер в один ко­

эффициент

а. При таком

подходе, использованном

также

Зиболдом

и Огилви [ 1 9 ] ,

соотношение ( 1 4 ) принимает вид

 

Л А = С А - = ^ _ ,

( 1 6 )

г

где а; == Si/Ri. Такой подход приводит к результатам, несколько отличающимся от получаемых при раздельном усреднении S и R [формулы ( 4 ) и ( 1 2 ) ] , которое, как ука­ зывалось выше, предпочтительнее с точки зрения тео­ рии. Отмеченное различие в величине поправки может достигать 1 — 4 % . Далее, в противоположность ^-при­ ближению, эта ошибка оказывается наибольшей в области концентраций вблизи 5 0 % , где часто поправка должна вводиться с наибольшей возможной точностью. Поэтому представляется, что небольшое преимущество введения коэффициентов а, которое связано только с проведением одного усреднения вместо двух, полностью ликвидируется вносимыми при этом заметными ошибками.

Нам остается рассмотреть вопрос вычисления величи­ ны J в формуле для S. Имеющиеся экспериментальные дан­ ные для / недостаточны для получения точных численных значений, хотя и говорят о том, что отношение J/Z в общем заключено в пределах от 1 0 до 1 5 эв. Поэтому необходимо использовать значения / , определенные эмпирически из рентгеноспектрального анализа образцов известного со­ става. Эта процедура имеет то преимущество, что автомати­ чески учитывает общий эффект малых ошибок в других параметрах поправки на атомный номер, но вместе с тем, очевидно, полученные значения / будут зависеть от ка­ чества проведения микроанализа.

Для эмпирического определения / мы использовали данные анализов ряда бинарных образцов известного со­ става, проведенных в различных лабораториях и систе­ матизированных Пулом и Томас [ 1 3 ] , а также данные 4 8 дополнительных анализов, проведенных авторами данной статьи. Чтобы иметь уверенность в том, что на результа­ тах расчета не скажутся ошибки в других поправках—на поглощение и флуоресценцию,— для анализа были вы­ браны системы, в которых обе эти поправки малы ( < 2 % ) .

5 Под редакцией И. Б. Боровского

129

Такие системы представляют

собой элемент

с высоким

Z

в матрице с малым Z и анализируются по излучению перво­

го из элементов; разумеется,

это не должно

ограничивать

общность

получаемых результатов.

 

 

Список

анализированных

элементов дан в табл.

3;

они в достаточной мере охватывают диапазон от урана до

углерода. На рис. 5 приведена

зависимость

отношения

•j-

 

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а 3

 

 

 

 

 

Сплавы, использованные

 

 

 

 

 

 

для

определения J

 

 

 

 

U

в

Си,

N i , Fe,

Ті, А1, О, С

 

 

 

 

Аи

»

Ag, A l

 

 

 

 

 

Ni

»

Si,

A l , О

 

 

 

 

 

Fe

»

A l , О

 

 

10 £0 30 ill AO 00 УО ЗО 00

Область концентраций: от 20

 

 

 

 

до

95% А в В.

 

Р и с . 5 . Зависимость J/ZorZ,

опре­

Область

напряжений: от 10

деленная

эмпирически на

основе

до

35 кв.

 

 

ряда

микроанализов сплавов изве­

 

 

 

стного состава.

 

Общее число измерений: 48.

J/Z

от Z ;

значения / ,

взятые

из этой зависимости, приво­

дят к наилучшим результатам введения поправки на атом­ ный номер в данные указанных анализов. Эта кривая по­ лучена следующим путем. По-видимому, наиболее точным из известных является значение / для меди; оно дает (//Z)cu = 13,0 эв. Для определения этого отношения для урана был взят сплав U — Си, в котором для Си было исполь­ зовано указанное выше значение J/Z. Наилучшее согла­ сие между вычисленной из опыта и действительной кон­

центрациями

урана тогда

было получено при (J/Z)v

=

= 13,7 эв.

Последующий

анализ сплавов U — A l , U — Ті,

U — Fe и U — N i позволил получить точки для построения кривой J/Z вплоть до алюминия (Z = 13); при этом также были использованы результаты анализа сплавов Fe — A l , N i — A l , Zr — A l , Zr — Si, A u — Ag и A u — A l . Значения J/Z для углерода и кислорода, рассчитанные из анализов систем U — О, U — С, Zr — О и Fe — О, указывают на резкоевозрастание этого отношения для малых атомных номеров. Вне этойобласти изменение //ZBзависимостиOTZflOBonbHoмед­ ленное. Разброс значений J/Z по данным нескольких ана­ лизов весьма невелик, в общем он меньше + 0,25 эв. Поэтому мы считаем возможным приписать каждому эле-

менту

единственное

значение / , по крайней мере в исполь­

зованном диапазоне"

рабочих

напряжений 10—35 кв

и для

указанных

в

таблице

типов сплавов и соеди­

нений.

 

 

 

 

Для объяснения внезапного возрастания J/Z при малых атомных номерах (которое также наблюдалось Колдуэл­ лом [20]) мы не располагаем никакими явными физически­ ми доводами. На величину вычисленных нами J/Z до не­ которой степени влияют использованные значения R и принятый метод их усреднения, однако эти факторы не мо­ гут быть ответственными за указанный рост, поскольку он выявляется и во всех других процедурах вычисления этих факторов. В равной мере его нельзя отнести за счет ошибки, связанной с неучетом вторичного возбуждения анализируемого излучения тормозным спектром электро­ нов — это было проверено в ряде случаев расчетом «тор­ мозной флуоресценции» методом Энока [21J.

Т а б л и ц а 4

Эмпирически определенные значения среднего потенциала ионизации J :>в) для разных атомных номеров Z

z

j

z

j

z

j

z

J

z

j

6

146

25

316

44

595

63

856

82

111 1

7

135

26

332

45

609

64

870

83

112 4

8

127

27

347

46

623

65

883

84

1137

9

123

28

362

47

637

66

897

85

1151

10

123

29

377

48

651

67

910

86

1164

11

126

30

392

49

665

68

923

87

1177

12

133

31

407

50

679

69

937

88

1191

13

142

32

422

51

692

70

950

89

1204

14

154

33

437

52

706

71

964

90

1217

15

166

34

451

53

720

72

977

91

1231

16

180

35

466

54

734

73

991

92

1244

17

194

36

481

55

747

74

1004

93

1257

18

209

37

495

56

761

75

1017

94

1270

19

224

38

510

57

775

76

1031

 

 

20

239

39

524

58

788

77

1044

 

 

21

255

40

538

59

802

78

1057

 

 

22

270

41

553

60

815

79

1071

 

 

23

286

42

567

61

829

80

1084

 

 

24

301

43

581

62

843

81

1097

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5*

131

Было найдено аналитическое

выражение

для

кривой

/ / Z , приведенной на рис.

5. Это

выражение

использова­

лось для вычисления

значений /

для всех Z в интервале

 

 

 

 

 

 

 

 

от 6 до 92. Соответствую­

 

 

 

 

 

 

 

 

щие

значения J

приве­

 

 

 

 

 

 

 

 

дены в

табл. 4.

Поведе­

 

 

 

 

 

 

 

 

ние J/Z при Z <

6 неиз­

 

 

 

 

 

 

 

 

вестно,

и, видимо,

наи­

 

 

 

 

 

 

 

 

лучшим

решением

 

во­

 

 

 

 

 

 

 

 

проса

для

элементов

 

 

 

 

 

 

 

 

левее

углерода

будет

 

 

 

 

 

 

 

 

предположение,

что

/

 

 

 

 

 

 

 

 

постоянно и равно тако­

 

 

 

 

 

 

Ошибка

вому

для углерода.

 

 

 

 

 

 

 

Используя эти значе­

 

 

-8 -О'-'i -Z 0 2 16

ния

/ ,

М Ы В Ы Ч И С Л И Л И

 

 

относительную

ошибку

 

 

а)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

в поправке

на атомный

 

 

 

 

 

 

 

 

номер для 48 бинарных

 

 

 

 

 

 

 

 

систем,

приняв

 

сле­

 

 

 

 

 

 

 

 

дующее ее

определение:

 

 

 

 

 

 

 

Ошибка относительная ошибка

=

 

 

-OS-1-2

 

 

Иг—І

(^д/сА )э к с п

(kAlcA\%0V

 

 

О 2 1 6 в

 

 

(*A/«U >теор

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Результаты

этого

рас­

 

 

 

 

 

 

 

 

чета

приведены

в

виде

 

 

 

 

 

 

 

 

гистограммы на рис. 6, а.

 

 

 

 

 

 

 

 

Из 48 сплавов 24 пока­

 

 

 

 

 

Ошибна

зали

 

относительную

_Й_И_

 

 

 

 

 

 

 

ошибку

менее +

0,5%,

-22-го-,

-/2-/6-6-6-4 -2

0

2

1

0

а остальные, за

исклю­

Рис. 6. Гистограммы

относительных

 

расхо­

чением двух, дали ошиб­

ждений между измеренными

и

вычислен­

ку в

пределах +

2,5%.

ными отношениями

интенсивностей

для

На рис. 6, б эти резуль­

48 систем известного

состава,

о)

Поправка

с использованием

эмпирической

функции

таты

пересчитаны с

 

ис­

J/Z из рис.

5; б)

поправка с j / Z = l l , 5 a e ;

 

в) без поправки

на атомный

номер.

пользованием соотноше­

 

 

 

 

 

 

 

 

ния

J/Z=

11,5

эв,

ши­

роко использовавшегося в прошлом; явно видно

увели­

чение ошибки по сравнению

с рис. 6, а, и только в шести

анализах ошибка менее ±

0,5%. Наконец, для иллюстра­

ции необходимости введения поправки на атомный номер

на рис. 6, в приведены неисправленные значения кл. Эти

отклонения от истинной концентрации уменьшаются с по­ мощью принятой здесь процедуры поправки почти на по­ рядок. Принимая во внимание неизбежные ошибки самих анализов, можно сказать, что введение поправки повышает точность анализа до ожидаемых пределов. Однако по мере получения все более точных результатов анализов может потребоваться дальнейшее уточнение зависимости J/Z.

Точность поправки па атомный номер при практиче­ ских анализах. Существенно знать точность количествен­ ного локального рентгеноспектрального анализа. Воспро­ изводимость его определяется аппаратурными факторами, статистикой регистрации квантов рентгеновского излуче­ ния. Абсолютная же точность анализа зависит от того, насколько точна теория поправок.

Обращаясь прежде всего к фактору обратного рассея­ ния в поправке на атомный номер, мы видим из соотноше­ ния (10), что данная относительная ошибка в значении г) приводит к такой же ошибке в факторе 1 — R. В обла­ сти малых атомных номеров, для которых R очень близко к 1, ошибка в 1 — R окажется поэтому весьма небольшой. Оценка показывает, что для элементов с Z < 30, в число которых входит большинство распространенных элемен­ тов, ошибка в R составляет не более + 1 % .

Для элементов с высокими атомными номерами, особен­ но при Z ^> 50, когда Г| и энергетическое распределение об­ ратно рассеянных электронов начинают существенно за­ висеть от Е0, положение становится менее удовлетвори­ тельным. Так, Бишоп [10] установил, что значение л для урана уменьшается от 0,534 для 30 кэв до 0,495 для 5 кэв, что отвечает увеличению R на 5%. Это изменение в R еще более возрастает вследствие изменения формы энергетиче­ ского распределения электронов с изменением Е0. Приве­ денные в табл. 1 значения R вычислены для Е0 = 20 кэв, так что при использовании других ускоряющих напряже­ ний, особенно меньших 10 кв, могут возникать заметные ошибки; так, при низких Еп значения R, приведенные в табл. 1, могут оказаться заниженными на несколько про­ центов. Желательно поэтому располагать знанием энерге­ тической зависимости R для тяжелых элементов, а это в свою очередь требует дальнейших экспериментальных ис­ следований обратного рассеяния электронов.

Далее, может оказаться, что не вполне точно усредне­ ние R по весовым концентрациям компонентов сложного

образца; правда, теоретические расчеты R [18] для таких

образцов показывают, что ошибка не должна значительно превышать 1 % в наиболее неблагоприятных случаях, а на практике часто будет еще много меньшей. Для решения вопроса о том, необходим ли более совершенный метод усреднения R для сложных образцов, обладающий боль­ шей точностью, необходимы экспериментальные исследова­ ния обратного рассеяния электронов от сплавов и хими­ ческих соединений. Далее, если этот и другие аспекты обратного рассеяния можно было бы исследовать при непер­ пендикулярном падении электронного пучка на поверх­ ность образцов, то это позволило бы вычислять Л при ана­ лизе на микроанализаторах с косым падением электронов на образцы. Пока что ясно лишь, что влияние угла паде­ ния на величину поправки на атомный номер должно быть малым.

Согласно выражению

(5) тормозная способность меня­

ет знак, когда 1,66 Е <

J'. Разумеется, на это

указывает

лишь математическая форма выражения для S;

физически

такое заключение, конечно, неправильно, и этот вопрос имеет значение только для самых легких элементов; здесь мы на нем не будем останавливаться. Кроме этого «темного места», формула Бете обладает еще тем недостат­

ком, что 5 —>- 0 при Е ->- / ;

это,

конечно, расходится

с

опытом, прежде всего потому, что

принимается

/ =

=

const, тогда как в действительности

эффективное

зна­

чение / убывает с уменьшением

Е0.

Ливингстон и

Бете

[22] показали, как надо видоизменить формулу для тормоз­ ной способности, чтобы вычислить вклады в S от А-элект- ронов и электронов всех других оболочек порознь. В эле­ ментах с высокими атомными номерами потенциал иониза­ ции А-оболочки значительно превышает наибольшие ускоряющие напряжения, применяемые при микроанализе, так что вкладом А-электронов в S можно пренебречь. Для Е0 = 15 кэв формула Ливингстона — Бете указывает на то, что истинная тормозная способность для урана должна быть на 1,4% больше, чем следует из (5); если же принять во внимание эффект L-оболочки, это расхождение должно

возрасти

до -~ 3%. Аналогичный

расчет для меди

указы­

вает на различие примерно в 2%

в том же направлении.

Влияние

А-оболочки в элементах с

малыми Z,

когда

Ё

Ек,

очень слабо. Поэтому,

если

в (5) использовать

действительное значение среднего потенциала ионизации, величина S будет занижаться на величину, возрастаю­

щую с увеличением Z. Однако использование эмпириче-

134

ски найденных значений / автоматически учитывает эф­ фект «выбывания из игры» К- и L-оболочек и тем самым уменьшает ошибку в S.

До сих пор мы пренебрегали возможным влиянием хи­ мических связей атомов в анализируемых образцах. Брандт [23] вычислил / для освободных и связанных ато­ мов различных элементов. Он обнаружил существенные

различия между соответствующими значениями / ;

напри­

мер,

для изолированных атомов

алюминия он получил

J =

109 эв, тогда как для тех же

атомов в металле

оказа­

лось

/ = 149 эв. Соответствующие значения

для

железа

равны 211 и 241 эв. Разумеется, различия в /

для данного

элемента в различных твердых образцах значительно меньше указанных, но если расчеты Брандта правильны, то «химический сдвиг» / может изменять значение S вплоть до 2% . Это делает желательным выполнение усло­ вия сходного химического окружения анализируемых атомов в образце и в эталоне, тем более, что оно также мини­

мизирует «химический сдвиг» длины волны

анализируемо­

го характеристического

излучения.

 

 

Гистограмма ошибок

определений, приведенная

на

рис. 6, а, показывает, что 8 1 % анализов,

в которых

по­

правка на поглощение мала, сопровождался общей ошиб­ кой в пределах ± 1,5%; это говорит о хорошей общей точности поправки на атомный номер. Анализируемые на практике образцы, однако, характеризуются широким раз­ нообразием атомных номеров своих компонентов и вели­

чин этой

поправки. В диапазоне 12 << Z < 30, 10 кэв <

< Е0 <

30 кэв, в котором заключена большая доля прак­

тических анализов, значение поправки на атомный номер в общем лежит в пределах от 0,75 до 1,35, и реальной оцен­ кой точности поправки будет величина 5—10%. Таким образом, в наиболее неблагоприятных случаях возможна ошибка ~ 3 % в определении концентрации. Конечно, желательно использовать в качестве стандартов образцы, состав которых, пусть даже грубо, воспроизводит содер­ жание компонентов в анализируемых образцах. Если по­ правку на атомный номер ввести в пределы от 0,90 до 1,10, то ошибка в исправленном значении концентрации была бы меньше + 1 %.

Точность для элементов с высокими Z уменьшается, в основном из-за увеличения неопределенности в значении R. Ошибка в поправке наименьшая для ускоряющих напря­ жений вблизи 20 кв, но может привести к ошибке в оп-

ределении концентрации до ± 20 % в случае анализа

элементов конца периодической системы

в комбинации

с элементами в ее начале; эта ошибка еще

более возрастет

с понижением ускоряющего напряжения. Поэтому мы ре­ комендуем анализировать эти элементы при напряжениях не ниже 20 кв, хотя при этом часто получается большая поправка на поглощение и общая точность поправки мо­ жет оказаться недостаточно высокой.

В отношении образцов, содержащих элементы с Z < 12, эти рекомендации относятся к анализу тяжелого, а не легкого компонента. При низких напряжениях, исполь­ зуемых для возбуждения элементов с малыми Z, не только теряет точность ^-приближение, но и становятся нена­ дежными данные по обратному рассеянию. Ввиду того, что в этой области будет велика поправка на поглощение, может оказаться целесообразным перейти к другой проце­ дуре введения поправок, например, используя метод по­ верхностного слоя, предложенный Данкамбом и Медфор­ дом [24].

До сих пор мы игнорировали поправки на поглощение и флуоресценцию, рассмотрение которых лежит за рамка­ ми этой статьи. Обсудим, однако, вкратце совместное их применение с поправкой на атомный номер. В прошлом не раз делались безуспешные попытки вычислять поправку на атомный номер как часть поправки на поглощение. В принципе, конечно, объединение этих двух поправок возможно, как показали Данкамб и Шилдс [25]; на прак­ тике, однако, не удается с достаточной точностью отобра­ зить распределение числа актов ионизации в зависимости от глубины в образце, что позволило бы оценить полную возбужденную в образце интенсивность излучения в функ­ ции его атомного номера. По этой причине мы рекоменду­ ем поправку на атомный номер, которая, как уже говори­

лось, относится

к возбуждению рентгеновского

излучения,

рассматривать как отдельный фактор.

Тогда

поправка

на

поглощение

будет просто отношением двух вели­

чин

/ (у) — для

образца и стандарта,

где / (%) — доля

возбужденного излучения, выходящая из образца в на­ правлении на спектрометр. Конечно, сами / (%) зависят от атомного номера; но эту зависимость не следует смеши­ вать с поправкой на атомный номер. Метод расчета / (%), основывающийся на работе Филибера, был затем усовер­ шенствован Данкамбом и Шилдс [26]. Третий поправочный фактор учитывает просто относительное возрастание ин-

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ