
книги из ГПНТБ / Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Оптические свойства и методы исследования
.pdfабсцисс дана длина волны света для |
области 300—2000 нм, на оси |
||||
ординат — коэффициент отражения, |
выраженный |
в |
процентах по |
||
отношению к падающему излучению, принятому |
за |
100%. |
Кри |
||
вые / и 2 показывают отражение после нанесения однослойных |
пле |
||||
нок с показателями преломления 1,40 |
и 1,45 (п2 < |
па). Оптические |
|||
толщины пленок |
указаны на графиках и равны 100, |
150, 300, |
500 |
||
и 1000 нм [4, 7, |
8] . |
|
|
|
|
300 400 500 600 700 800 WOO |
1500 2000 |
|
Л, мм |
5)
ЗО, Iі—І1Г
]\ л >
V
І |
, і — |
|
1500 2000 |
400 |
500 600 |
700 |
800 |
1000 |
1500 2000 |
At А? |
Л, |
|
|
I |
І, |
|
|
|
Рис. II.2. Спектральное отражение от поверхности крона с % = ными пленками с пг = 1,40 и 1,45 (кривые 1 и 2) и т — 2,0 и 2,20 = 500 нм; г — ягЛ?. = 150 нм;
— — — — о т р а ж е
Ч
Кривые 3 и 4 характеризуют спектральное отражение от поверх ности тех же стекол после нанесения пленок с показателями прелом ления п2 > я 3 . Кривые, характеризующие отражение света от по верхности с пленкой более высокого показателя преломления, будут рассмотрены в гл. I I I .
Приведенные спектральные кривые получены расчетом по фор муле (1.56) с помощью методов, описанных в гл. I .
Кривые / и 2 рис. II.2 показывают, что пленки оптической тол щиной, равной 100 и 150 нм, имеют минимумы отражения соответ
ственно на участках К = 400 и 600 нм {n2h2 |
= - ^ j . Положение ма |
ксимумов соответствует 200 и 300 нм {n2h2 |
== у ^ . Пленки с большей |
оптической толщиной имеют в рассматриваемой области несколько максимумов и минимумов. Так, например, пленка n2h2 = 300 нм имеет минимумы, отвечающие длинам волн 1200, 400 и 220 нм,
а максимумы — 600 и 300 нм. Положение минимумов и максимумов, определяемое рядами (1.61) и (1.62), следующее:
для пленок n2h2 = 500 нм
h min.
h max.
нм
HM
(k = |
1. |
3, |
5) |
2000 |
666 |
400 |
(k = |
2, |
4, |
6) |
1000 |
500 |
333 |
для пленок |
n2h2 = |
|
1000 нм |
|
|
|
|
|
|||
|
|
min. |
нм (k = |
3, |
5, |
1333 |
800 |
571 |
444 |
364 |
308 |
7, |
9, |
11, |
13) |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
Ч |
max. |
HM (k = |
2, |
4, |
2000 |
1000 |
660 |
500 |
400 |
333 |
6, |
8, |
10, |
12) |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Глубина |
минимумов |
тем значительнее, чем больше |
разность п3 |
||||||||
и п2. Следствием этого |
является |
различная |
эффективность просвет |
ления стекол с высоким и низким показателем преломления. Так,
пленка |
с показателем |
преломления |
п2 = 1,45 снижает |
отражение |
|||
от |
поверхности |
крона (п3 = 1,52) с 4,2% до 2,6%, в то время |
как |
||||
та |
же |
пленка |
снижает |
отражение |
от тяжелого флинта |
(п3 = |
1,72) |
с 7% до 0,9—1%. Избирательный характер просветления с помощью однослойной пленки более ярко выражен у стекол с высоким пока зателем преломления, что хорошо видно на рис. II.2, г.
Изменяя оптическую толщину пленок, можно сместить минимум отражения в различные участки спектра, что сопровождается изме нением окраски поверхности с пленкой. Так, у пленок оптической толщиной в 100, 130, 150 нм минимум отражения соответствует 400, 520, 600 нм, и, соответственно, окраска поверхности изменяется, переходя от красно-коричневой к пурпурно-фиолетовой и синей.
Для оценки экстремальных значений коэффициента отражения однослойных покрытий на поверхности подложек различного пока зателя преломления составлен график (рис. П.З). Здесь штриховая кривая характеризует коэффициент отражения подложек различного показателя преломления (л3 ) без пленок. Сплошные линии (для тех же подложек) характеризуют значения Rmln для пленок (п2 < п3) — нижняя часть графика и Rmax для пленок (п2 г> п3) — верхняя часть графика. Показатели преломления пленок указаны на кривых. Чтобы не слишком увеличивать размеры рисунка, масштаб ординаты выше 20% несколько изменен. Из графика видно, например, что
стекло |
с пя = 1,50 |
отражает |
около 4%. Нанесение пленки^- с я 2 — |
|||
= 1,45 |
снижает |
отражение |
до значения |
R m l t |
i ^ 2,6%. Нанесение |
|
пленки |
и п% |
= |
2,0 повышает значение |
# ш а х |
до 20%. |
Как уже было показано, изменение |
показателя |
преломления |
||||
пленки |
приводит к |
изменению |
глубины |
минимумов |
в случае |
|
п2 <; п3 |
и высоты максимумов в случае п2 |
> я 3 . Положение экстре |
||||
мумов при том же n2h2 |
остается |
неизменным (рис. 1.9, |
II.2). Поль |
|||
зуясь рис. II.2 и II.3, можно построить спектральную |
кривую коэф |
|||||
фициента отражения для любой |
подложки |
и пленки, |
охватываемой |
Р и с і 1.3. Зависимость экс тремальных значений ко эффициента отражения от показателя преломления однослойных пленок яг:
о т р а ж е н и е от п о д л о ж к и с п о к а з а т е л е м пре
л о м л е н и я п3
графиками. Используя выражение (1.56), можно построить анало
гичные графики для любых |
значений показателей преломления |
подложек и пленок. |
1 |
Просветление оптических стекол с низким показателем преломле
ния |
с помощью однослойных пленок с приведенными значениями |
п 2 = |
1,40 и 1,45 недостаточно эффективно. Необходимы покры |
тия, имеющие показатели преломления, по возможности удовлетво ряющие условию (1.66).
Значительно эффективнее просветление деталей с помощью одно слойных покрытий для инфракрасной оптики, где используемые вещества имеют высокие показатели преломления. Так, например,
потери на отражение от одной |
поверхности сульфидного |
стекла |
|||
(п3 |
= 2,6), металлического кремния (п3 = 3,5) или германия |
(п3 = |
|||
= |
4,0) составляют от 17 до 36%. Здесь вполне можно ограничиться |
||||
нанесением однослойной пленки [9, 10], так как |
пленки с показате |
||||
лями преломления |
1,6—2,0 удовлетворяют требованию (1.66). |
||||
|
Недостаточная |
эффективность |
просветления |
кронов и |
других |
оптических стекол с низким показателем преломления с помощью существующих однослойных пленок привела к необходимости раз работки более сложных просветляющих покрытий. Точно так же из-за низкого показателя преломления большинства веществ, про зрачных в ультрафиолетовой области, их просветление требует создания более сложных двух- и трехслойных покрытий.
6. ДВУХСЛОЙНАЯ ПЛЕНКА
С помощью двухслойной пленки можно полностью уничтожить отражение света от поверхности прозрачного вещества, независимо от его показателя преломления. Однако значение коэффициента отражения, близкое к нулю, может быть получено только для опре деленной узкой области спектра. При этом для других длин волн коэффициент отражения может принимать достаточно высокие зна чения [3, 4, 7] .
Двухслойная пленка на поверхности стекла обычно представляет собой систему из двух слоев, удовлетворяющих следующему нера венству:
|
|
|
|
|
" і < " з < " з > « 4 . |
|
|
|
|
||
где nit п3, |
п2—показатели |
преломления подложки (например, стекла), |
|||||||||
первого |
слоя, |
находящегося на подложке, второго слоя |
на границе |
||||||||
с окружающей средой (обычно воздухом, пх = 1). |
состоящей |
||||||||||
Коэффициент отражения для поверхности с пленкой, |
|||||||||||
из нескольких |
слоев, |
рассчитывается с помощью |
уравнений |
(1.68) |
|||||||
и (1.69). При расчете |
двухслойной |
пленки |
составляется |
три |
урав |
||||||
нения для т = 4 |
и |
k — 2,1 [3]: |
|
|
|
|
|
||||
|
, |
4 |
+ |
>їі + 2г23Г34 « * ( - |
A 23 + A ; |
4rtn3h3 |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
1 - f - 4 Л + 2^3 4 |
cos ( Д 2 3 + Д 3 4 |
- |
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
r 3 4 ( l - 4 ) s i n ( A 3 4 - 4 - ^ ) |
|
|
|
|||
|
|
r23 (1 + |
4) cos Д 2 3 + |
'34 (1 + 4) cos ( Д 3 4 - |
|
) |
|
||||
R14 — ru — |
г2 |
Л-г2 + 2rnrH |
cos |
у — Д 1 2 + Д2 4 |
j f - 2 |
- ) |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
1 + 4Г 24 + 2 r l / 2 4 c o s ( Л 1 2 + Д 2 4 ~ |
) |
|
|
где значения г 2 3 |
и r3i\ |
А 2 3 и А3 4 определяются |
заданными |
показате |
|||
лями преломления, a r2i |
и Д 2 4 |
находятся |
по приведенным |
формулам. |
|||
При условии |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
- Д 1 2 |
+ Д 2 1 |
_ 4 я ^ = |
( 2 £ + 1)я |
|
|
имеем |
|
|
(£ = |
0,1,2, ... ) |
|
|
(П.1) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
< ^ - = ( ^ г ) 8 |
|
( 1 1 - 2 > |
|||
и при г 1 2 = |
г 2 4 |
# 1 4 = |
0. |
|
|
(1.65) для однослой |
|
Условия |
(П.1) и (II.2) аналогичны условиям |
ной пленки. Характер отраженного света при однослойном покры тии определяется двумя параметрами: его оптической толщиной и показателем преломления. Практически задача может быть решена только при соблюдении условия (1.66), что осложняется отсутствием слоев с низким показателем преломления. При двухслойном покрытии
характер |
отраженного |
света |
определяется |
четырьмя |
величинами: |
|||||||
п2, h2, |
п3, |
h3. |
При отражении света по нормали на границе с воз |
|||||||||
духом |
Д 1 2 |
= я |
и фазовое условие ( I I . 1) запишется |
в виде |
|
|||||||
|
|
|
|
|
д 2 4 = |
і я * А . |
|
|
|
( |
п з ) |
|
Используя (П.1), а |
также |
учитывая, что г 1 2 = |
г 2 4 , |
можно |
для |
|||||||
заданных |
значений показателей |
преломления |
пленок |
и подложки |
||||||||
(п2, п3, |
п4 ) найти соответствующие толщины h2 |
и h3. |
Введя условие |
|||||||||
(г\2 = |
г2 4 ) в выражение для г\\, |
получим: |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
c |
o s |
4ЯГС„/І3 |
_ + |
гІз |
+ гІ4 — ' і г О + |
4 A*) |
|
/JJ ^ |
||
|
|
|
|
1 |
" |
|
2 r 2 3 r 3 4 ( l - r 2 2 ) |
|
|
|
|
|
Определив cos 4я |
-^у5 -, |
находят два ряда значений: |
|
|
|
n3h3^n2h2; n3h3^*n2h2.
Оптическая толщина n2h2 определяется величиной Д 2 4 . При равной оптической толщине слоев n2h2 — nsh3 по - j - каждый, значение R =
= 0 можно получить, если показатели преломления слоев и под ложки подчинены условию [10, 85]:
% = |
( п - 5 ) |
В результате отражение от поверхности крона (п4 |
1,52) можно |
свести к нулю с помощью двух слоев, имеющих реальные значения показателей преломления, как, например, приведенные в табл. I I . 1 [4, 85].
Задачу нахождения параметров двухслойного просветляющего
покрытия можно решить в общем виде |
[3, 5, 84]. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
Число решений, определяющих значение R = О с помощью двух |
||||||||||||||||||||||
слоев, практически не ограничено. В табл. II.2 показаны |
возможности |
|||||||||||||||||||||
получения |
|
коэффициента |
отражения |
R = 0 |
для некоторой |
|
длины |
|||||||||||||||
Т а б л и ц а |
II.1. |
Сочетание |
волны Я с помощью двух |
пле |
||||||||||||||||||
нок, имеющих |
реальные |
значе |
||||||||||||||||||||
показателей преломления слоев |
ния показателей |
преломления и |
||||||||||||||||||||
двухслойной |
пленки для получения |
|||||||||||||||||||||
различное |
соотношение |
оптиче |
||||||||||||||||||||
значения |
коэффициента |
отражения, |
||||||||||||||||||||
равного |
нулю (оптическая толщина |
ских толщин, |
как n2h2 |
= |
n3h3, |
|||||||||||||||||
отдельных |
слоев составляет —— |
|
так |
и n2h2 |
ф |
nsh3. |
Показатель |
|||||||||||||||
|
преломления слоя п2 на границе |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
с воздухом принят |
постоянным, |
|||||||||||||
К р и в ы е |
|
п2 |
|
Пз |
|
Р е ш е н и е |
|
равным |
1,45 |
(например, пленка |
||||||||||||
( р и с . П . 5 ) |
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
двуокиси кремния). Показатель |
||||||||||||||
/ |
|
1,34 |
|
1,64 |
|
|
|
преломления |
|
нижнего |
слоя |
п3 |
||||||||||
|
|
|
|
|
изменяется |
в |
пределах |
|
1,79— |
|||||||||||||
2 |
|
1,45 |
|
1,79 |
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
1-е |
|
2,3. |
Оптические |
толщины |
пле |
||||||||||||||
3 |
|
1„50 |
|
1,84 |
|
|
нок |
выражены |
в |
долях |
|
длины |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
4 |
|
1,70 |
|
2,08 |
|
|
|
волны к, |
|
определяющей |
|
«центр |
||||||||||
5 |
|
1,34 |
|
1,64 |
|
|
тяжести» |
|
просветляемой |
|
спек |
|||||||||||
|
|
2-е |
|
тральной |
области, |
где Rx = |
0. |
|||||||||||||||
6 |
|
1,45 |
|
1,79 |
J |
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
Данные таблицы П.2 можно |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
проиллюстрировать |
рис. II . 4 . |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Кривая 1 показывает |
изменение |
|||||||||||||
толщины слоя n3h3, |
кривая 2 — толщины слоя n2h2, |
составляющих |
||||||||||||||||||||
двухслойную пленку на поверхности стекла п4 |
= |
1,52 (1-е решение). |
||||||||||||||||||||
2-е решение характеризуют кривые 3 (n3h3) и 4 (n2h2). |
|
Аналогичные |
||||||||||||||||||||
|
|
Т а б л и ц а |
II.2. Оптические |
толщины |
слоев двухслойной |
пленки |
||||||||||||||||
для |
соотношений |
п2 /г2 = n3h3 |
и п2 л2 |
S |
n3h3, |
выраженные |
в долях длины |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
волны X (пг |
|
= |
1,45) |
|||||
|
|
1-е р е ш е н и е |
|
2-е р е ш е н и е |
|
|
1-е р е ш е н и е |
|
|
2 - е р е ш е н и е |
|
|||||||||||
|
|
|
|
п, |
= 1,52 |
|
|
|
|
|
|
|
|
1,72 |
|
|
|
|
|
|||
|
n3fi3 |
п 2 |
Л 2 |
|
|
n3h2 |
|
|
п8 Л'з |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n2ha |
|
||
1,79 |
0,25 |
0,25 |
|
0,25 |
0,25 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
—. |
|
|||
1,80 |
0,21 |
0,27 |
|
0,29 |
0,23 |
|
|
— |
|
— |
|
|
— |
|
|
|
— |
|
||||
1,85 |
0,16 |
0,29 |
|
0,34 |
0,21 |
|
|
— |
|
— |
|
|
— |
|
|
|
— , |
|
||||
1,90 |
0,13 |
0,30 |
|
0,37- |
0,20 |
|
|
0,25 |
|
0,25 |
|
|
0,25 |
|
0,25 |
|
||||||
2,0 |
0,11 |
0,31 |
|
0,39 |
0,19 |
|
|
0,14 |
|
0,28 |
|
|
0,36 |
|
0,22 |
|
||||||
2,10 |
0,09 |
0,32 |
|
0,41 |
0,18 |
|
|
0,10 |
|
0,30 |
|
|
0,40 |
|
0,21 |
|
||||||
2,20 |
0,08 |
0,33 |
|
0,42 |
0,17 |
|
|
0,08 |
|
0,30 |
|
|
0,42 |
|
0,20 |
|
||||||
2,30 |
0,07 |
0,33 |
|
0,43 |
0,17 |
|
|
0,06 |
|
0,30 |
|
|
0,44 |
|
0,20 |
|
результаты даны для подложки стекла щ = 1,72, где кривые 5 и 6 характеризуют 1-е, а кривые 7 и 8 — 2-е решение.
Если п 3 < 1,9, толщина n3h3 для стекол разного показателя прелом ления различна. При возрастании п3 до значений порядка 2,1 и выше разница в толщине слоев практически исчезает. График рис. П.4 отвечает практическим возможностям нанесения пленок двуокиси ти тана и двуокиси кремния и их смесей, получаемых из растворов (п. 23). Точками отмечены практически наиболее распространенные сочета ния.
|
|
|
|
• |
о,щ |
|
- |
|
.nA*— |
|
|
|
|
|
|
|
|
-рЖ. |
n?h? |
|
/ |
|
|
|
|
2, |
/ |
|
|
|
/ |
|
|
|
|
1 |
У |
|
|
|
1 |
|
|
|
'0,25 |
1,52 |
1,72 |
|
|
ь |
|
|
|
|
|
|
|
|
0,20\ |
4 |
|
2
0,10
1,80 |
1,90 |
2,0 |
2,10 |
2,20 |
2,30 |
Рис. II.4. Зависимость оптических толщин слоев двухслойной пленки от показателя преломления нижнего слоя
Аналогичные данные можно получить для любых сочетаний пока зателей преломления подложек и слоев и любых областей спектра.
Данные, приведенные в табл. II . 1 и II.2, определяют возможность получения значения Rmin — 0 для некоторой заданной длины волны, не учитывая спектрального состава отраженного света, в то время как он претерпевает значительные изменения при изменении соотношения оптических толщин и показателей преломления слоев двухслойных пленок (рис. II.5-—II-.9).
Спектральные зависимости коэффициента отражения для поверх ности подложки (п4 = 1,52) с различными двухслойными пленками (характеристики которых даны в табл. I I . 1) представлены на рис. II.5". Минимум отражения у всех кривых находится в средней части види мой области спектра, % = 550 нм. Кривые /—4 характеризуют спек тральное отражение пленок из слоев равной оптической толщины
по 138 нм. Пленки из слоев с низкими показателями преломления (кривые / и 2) имеют меньшие значения коэффициента отражения в широком интервале длин волн. В то же время пленки из веществ вы-
R % |
|
|
|
|
|
|
|
/ |
сокого |
показателя |
преломле- |
|||
А ' |
|
|
|
|
|
|
|
ния (кривые 3 и 4) характе |
||||||
|
|
|
\ |
|
|
|
/ |
ризуются более резким |
изме |
|||||
V |
|
|
|
|
|
нением |
спектрального |
отра |
||||||
|
|
|
|
|
]// |
|
жения. |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
Пленка, |
|
состоящая |
из |
|||||
V\ |
|
|
|
6 |
|
|
слоев равной оптической тол |
|||||||
* \ |
> |
|
|
\ |
|
|
|
щины, |
характеризуется |
сим |
||||
b \ |
|
\ |
|
|
|
|
||||||||
\ |
|
\\ |
/ |
\/ |
|
|
метричной |
кривой относи |
||||||
|
|
J' |
' |
А |
тельно значения R = 0. |
|||||||||
w |
|
|
|
|
|
|
Переход |
|
к пленкам из |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
// |
слоев |
неравной |
оптической |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
400 |
|
|
500 |
|
600 |
|
700 |
толщины |
показывает, |
что |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
к.нм |
уменьшение |
толщины |
слоя |
|||
Рис. II.5. Спектральное отражение двух |
с высоким |
показателем |
пре |
|||||||||||
слойных |
|
|
пленок |
при |
оптической |
толщине |
ломления n3h3 |
приводит к воз |
||||||
|
|
|
|
|
% |
|
|
|
растанию коэффициента отра |
|||||
слоев кратной |
-р (табл. II. 1) |
|
жения |
CP сто^оньї^крротких |
||||||||||
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
женил |
VV LIUI |
|
|
||
толщины слоя n2h2 |
|
|
|
|
волн. ^Йоліїчшіно |
оптической |
||||||||
повышает отражение со стороны длинных |
волн. |
|||||||||||||
Если оптическая толщина слоя n3h3 |
становится |
равной |
половине |
|||||||||||
длины |
|
|
(yti3h3 |
= |
т |
о на спектральной кривой наблюдается появ |
ление двух минимумов, где R — 0 (кривые 5 и 6).
Спектральное отражение поверхности стекла (п3 = 1,52) с плен ками, соответствующими четырем различным решениям табл. II.2,
1 \3
т
" у \
01 |
400 |
500 |
800 |
1000 |
1500 |
|
Л, мм
Рис. II.6. Зависимость спектрального отражения от показателя преломления ниж него слоя двухслойной пленки:
/ — |
n 2 ft 2 = nah3 |
— |
130 |
нм; |
п, |
= 1,79; |
п 2 |
= 1,45; |
2 — n2h2 |
|
> nsh3; n3h3 |
||||||
п2Нг |
= |
О.ЗОХ |
— 156 |
нм; |
п3 |
= |
1,90; |
пг |
— |
1,45; |
3 |
— |
n3h, |
< |
nth2; |
n3h3 |
|
n2h2 |
= |
О.ЗЗХ |
= |
172 |
нм; |
п3 |
= |
2.20; |
п2 |
— |
1,45; |
4 |
— |
n,h3 |
> |
n2h2; |
n3h3 |
|
|
|
|
|
nzh2 |
= |
0.20А. = |
104 |
нм; |
пг |
= |
1,90; |
п2 |
= |
1,45 |
= |
0,1ЗЯ |
= |
68 |
нм; |
= |
0.08Х |
= |
42 |
нм, |
= |
0.37А, = |
|
190 |
нм; |
приведено на рис. II . 6 . У всех кривых минимум отражения соответ ствует области к = 520 нм, однако характер кривых совершенно раз личен. Разницу в спектральных кривых можно наблюдать еще отчет ливее, если сместить минимум отражения в область X = 800 нм. Характеристики пленок даны на рис. II.7, откуда видно, что уничто-
1г
А
2 \ |
_ . |
|
8
0 щ |
и |
К |
200 |
' 400 |
600 800 1000 1500 |
Рис. II.7. Зависимость спектрального отражения от соотношения оптических тол щин слоев двухслойной пленки:
/ |
— n3h3 — 0,1 \%. = |
88 нм; n2h2 |
= |
0,31?» |
= |
244 |
нм; |
п3 |
= |
2,0; пг |
= |
1,45; 2 — n3h3 |
— n2h% |
= |
= |
0,25?. = 200 нм; |
п3 = 1,79; |
п2 |
= 1,45; |
3 — n3h3 |
= |
0,39?, |
= |
313 нм; п 2 'Л 2 |
= 0,19Л |
= |
|||
|
|
= |
152 |
нм; |
п3 |
= |
2,0; |
п2 |
= |
1,45 |
|
|
|
|
жить отражение света в области 800 нм можно с помощью любой из приведенных двухслойных пленок. Однако если система исполь зуется в широком интервале длин волн, охватывающем видимую область, то пленка, характеризуемая кривой / , наименее пригодна,
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Л \ |
|
|
|
s • / |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
/ |
|
||
Рис. II.8. Спектральное от |
/\ |
\ |
|
|
|
/ |
|
||||||||
ражение двухслойных покры |
\ |
\ |
|
|
/ |
|
|
||||||||
тий |
из |
слоев |
п3 = |
2,0 |
и |
|
л |
\ |
|
|
|
||||
|
; |
/ /7*— |
S |
|
|||||||||||
П2 |
- |
1,45 |
с |
минимумом |
от |
і W |
|
|
|||||||
ражения |
для 560 и 640 нм: |
|
|
/ |
/ |
|
|||||||||
1 |
и 3 |
— nsh3 |
и |
— |
0,11?.; |
п г к г ~ |
f\ |
|
|
|
|
|
|||
= |
0,31?.; |
2 |
4—n3h3 |
— 0,39?.; |
V |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
пгпг |
|
= |
0,19?. |
|
0 |
v |
|
600 |
800 |
WOO |
1500 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
J00 |
400 |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
А, нм |
так как вызывает значительное усиление отражения в средней части
,видимой области. В этом случае выгоднее использовать покрытие, характеризуемое кривой 3.
При использовании двухслойных просветляющих покрытий, как
иоднослойных, изменяя оптическую толщину слоев, можно смещать минимум отражения в любую часть спектра, как это видно из рис. II.6
4 Т . Н . К р ы л о в а |
49 |