Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Оптические свойства и методы исследования

.pdf
Скачиваний:
25
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
12.31 Mб
Скачать

приемников, наличие светофильтров, отражателей и других компо­ нент, оказывающих влияние на спектральный состав света, проходя-. щего через систему.

При выборе рационального способа просветления необходимо исходить из того, что просветление преследует две цели: увеличение светопропускания прибора и уменьшение количества вредного рас­ сеянного света. Последнее в основном относится к просветлению фотографических объективов, поскольку небольшое увеличение све­ топропускания здесь не так существенно.

Сравнение существующих покрытий, уменьшающих отражение, показывает, что однослойные покрытия значительно более ахрома­ тичны, чем двухслойные. Однако устойчивые однослойные пленки имеют недостаточно низкий показатель преломления и не могут обес­ печить снижения коэффициента отражения у стекол типа кронов более чем в два раза. Только у стекол с показателями преломления выше 1,6—1,7 можно рационально использовать однослойные пленки, если допустимо возможное усиление селективности в проходящем свете (см. рис. 11.15), При числе просветляемых поверхностей не более десяти просветление с помощью двух-слойной пленки вполне эффективно и не вызывает заметных искажений окраски. Так, в случае измеритель­ ных и наблюдательных приборов, используемых для визуальных на­ блюдений, вполне целесообразно применять двухслойные покрытия с максимумом пропускания в области 520 нм тем более что это при­ мерно соответствует чувствительности глаза, которая также избира­ тельна. При работе с искусственным освещением вполне пригодно просветление с помощью двухслойной пленки, у которой максимум светопропускания несколько сдвинут в область 550 нм. Очень невы­ годно смещение максимума пропускания в более длинноволновую часть спектра, например в область 600 нм и длиннее. Наличие по­ верхностей, просветленных такими пленками (они имеют темно-синюю окраску), приводит к появлению нежелательной желтой окраски поля зрения, а главное — к уменьшению количества проходящих синих и фиолетовых лучей, которых и так недостаточно в обычных источниках типа ламп накаливания и к которым глаз мало чувстви­ телен.

Просветление фотообъективов необходимо производить с учетом спектрального распределения чувствительности фотографических слоев. Просветление с помощью двухслойной пленки, имеющей ма­ ксимум пропускания в средней части видимой области (X = 550 нм), невыгодно для сине-фиолетовой части спектра.

На поверхности деталей аэрофотообъективов и других объективов, работающих с оранжевыми светофильтрами, надо наносить покрытия, дающие максимум светопропускания в области 640 нм.

Большую часть универсальных фотообъективов для черно-белой и особенно цветной фотографии правильнее всего просветлять ахро­ матическими трехслойными пленками, уменьшающими отражение примерно до 0,5% во всей видимой области 400—700 нм, даже если число поверхностей не превышает 10 (рис. 11.18, о).

Примеров, аналогичных приведенным, можно привести достаточно много. Исследователю и конструктору необходимо учитывать спек­ тральные особенности используемых покрытий; в настоящее время нельзя пользоваться только обычно применяемыми способами расчета потерь света на отражение и характеризовать различные просветляю­ щие покрытия «интегральным» значением коэффициента отражения. Во многих случаях это может привести к неправильному использова­ нию методов просветления и ограничению области эксплуатации при­ бора.

9. ГРАФИЧЕСКИЙ РАСЧЕТ СПЕКТРАЛЬНОГО ОТРАЖЕНИЯ ОТ ПОВЕРХНОСТИ С ПРОСВЕТЛЯЮЩЕЙ ПЛЕНКОЙ [4]

Расчет спектрального коэффициента отражения для поверхности стекла с двух- и трехслойным просветляющим покрытием можно выполнить путем несложных графических построений, как это пока­ зано в п. 3. В качестве примера приведем расчет спектрального отра­

жения от поверхности стекла (я4

=

 

1,52)

с пленкой из двух слоев с по­

казателями преломления

п3 =

1,79

(на

границе со стеклом) и п 2 =

= 1,45

(на границе с воздухом п1

=

1). Оба слоя имеют равную опти­

ческую

толщину (n2hz

= n3h3).

 

Амплитуды и фазы отраженного

света на трех границах раздела имеют следующие абсолютные зна­ чения:

Kl2

1,45-

1

 

10,183|,

Д 1 2

: я ;

1,45+1

 

 

1,79—

1,45

=

|:0,145|

л

я :

 

1,79+

1,45

 

 

23

 

' 34

1,52—

1,79

=

10.081

А34 = 0.

1,52 +

1,79

 

Построение диаграммы удобно начинать с границы раздела стекло -

пленка п3

1,79.

Отточки С (рис. 11.19) в горизонтальном

направле

нии откладываем

вектор

СА,

по

величине

пропорциональный

r3i

Рассчитав значения углов

n2h2

и

n3h3

для ряда

длин

волн

^

к

Xlt

. . .,

Хт,

например

в

области

от 200

до 2000 нм, от

конца

век­

тора СА отложим вектор АВ, по величине пропорциональный г23,

под

углом 4я

— i - i

 

234°, соответствующим

длине волны \ k

— 400

нм.

От конца вектора АВ отложим вектор BE под тем же углом, соответ­

ствующим той же длине волны Xk.

Вследствие того что А2 з = А 1 2 =

=

я, повернем векторы АВ и BE на 180°. Расстояние от конца вектора

BE до точки С, характеризующей состояние поверхности при значе­

нии R = 0, представляет собой амплитуду отраженного света для

длины волны

кк

= 400

нм. Квадрат

этой величины дает значение

коэффициента

отражения

Ri0a

(рис.

11.19). Из графика

видно,

что

Rh — 0 для

длины волны А =

520 нм. Окружность, представленная

на графике сплошной линией, соответствует отражению исходной поверхности без пленки. Замкнутая штриховая кривая показывает изменение амплитуды светового вектора после отражения от двухслой­

 

ной пленки

для ряда

длин

волн,

 

указанных на кривой. В видимой

 

области

амплитуда

определяется

 

малой

окружностью

и отражение

 

не превышает

отражения

от по­

^£00\350

верхности стекла. В близкой ин­

20ff\ I

фракрасной

и

ультрафиолетовой

fобластях оно выходит за пределы сплошной окружности. Приведен­ ный график дает возможность по­ строить спектральную кривую 2 (см. рис. II.5).

 

 

 

 

 

 

 

На

рис. 11.20

приведен гра­

 

 

~^J000_

 

 

фик, построенный для трехслойной

 

 

 

 

пленки (см. кривую 4 табл. II.3).

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 11.19. Схема графического

расчета

Здесь

показатель

преломления

спектрального

отражения от

поверх­

подложки пь = 1,52. Трехслойная

ности

стекла

с

двухслойной

 

пленкой

пленка состоит из слоев с гс4= 1,65;

 

 

 

 

 

 

 

п3 2,0 и п2 1,45.

Амплитуды

фазы

на

 

четырех

границах

раздела

соответственно равны:

 

 

' г 1 8 |

=

|0,183|;

Д 1 3 = я;

| г м |

=

|0,160|;

Д 2 3

я ;

 

 

 

=

| 0,0961;

 

осуществляется

 

0.041

Л45

0.

Построение

 

графика

 

аналогично

описанному

(рис.

I I . 191

 

 

 

 

 

205

 

 

 

При

расчете значе-

 

 

'

 

12d0~—-J!0

 

ний

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

л44 .

n2h2

необходимо помнить,что оптическая толщина средней пленки n3h3 =

При построении

2

200/1000 ,• ч

S250

\

"1500\

 

 

\215

 

280\ \

 

\\

 

\\ іі

 

\\220

те векторы, где на гра­ ницах раздела имеются скачки фазы на я , нуж­ но повернуть на 180°.

Рис. 11.20. Схема графиче­ ского расчета спектрального отражения от поверхности стекла с трехслойной ахро­ матической пленкой

2000 km

>i1i

225/ J

//

Как видно из рис. 11.20, низкие значения коэффициента отражения охватывают всю видимую область (380—750 нм) и нет спектральных участков, где R — 0. Спектральная кривая 2 рис. 11.14 соответствует графику рис. 11.20.

Графический прием очень удобен для расчета просветляющих покрытий, когда без особого ущерба для результата можно прене­ бречь многократными отражениями. Большая часть приведенных спектральных характеристик просветляющих покрытий была найдена графическим построением '[4,13].

Г Л А В А III

ПОКРЫТИЯ, ПОВЫШАЮЩИЕ ОТРАЖЕНИЕ

10. ОДНОСЛОЙНАЯ ПЛЕНКА

В п. 2 достаточно подробно разобран вопрос отражения света от поверхности непоглощающей подложки с прозрачной однослойной пленкой. Увеличения интенсивности отраженного света от непогло­ щающей подло"жки можно достигнуть нанесением пленки прозрачного вещества более высокого показателя преломления. Для света, падаю­ щего по нормали к поверхности, расчет спектрального коэффициента отражения от поверхности с однослойной пленкой производится по формуле (1.56). Характеристики отраженного света определяются ин­ терференцией света в пленке и, как всегда, зависят от длины световой волны К.

При более высоком показателе преломления пленки, чем у под­ ложки (п2 >• п3), фазы на границах раздела имеют следующие значе­ ния: Д 1 2 = я ; А 2 3 = 0.

Если оптическая толщина пленок кратная - j - , то интерферирую­ щие лучи находятся в фазе, что вызывает усиление интенсивности отраженного света. Максимальные значения коэффициента отраже­ ния определяются выражением (1.63), минимальные значения — выражением (1.64); они соответствуют коэффициенту отражения под­ ложки без пленки (рис. 1.9 и П.З).

Максимальные значения коэффициента отражения определяются кривыми рис. П.З, расположенными выше штриховой линии, характе­ ризующей отражение от поверхности подложки. Так, например, для области длин волн К„ однослойная пленка оптической толщиной крат-

х

ной

с показателем

преломления 2,0—2,4 повышает отражение

от подложки п3 ^ 1,52

с 4 до 20—35%. Для других длин волн по

обе стороны от максимума отражение будет понижаться, и для обла­ сти длин волн, для которой оптическая толщина пленки составляет

величину, кратную - у, отражение достигает минимального значения,

равного отражению от подложки без пленки (4,2%). При более, высоком показателе преломления подложки максимальное отражение

будет ниже. Например, для тех же пленок с показателями преломле­ ния 2,0—2,4 на подложке п3 1,7 максимальные значения будут равны 16—29%; отражение от подложки без пленки составляет в этом случае примерно 7%.

Спектральное отражение для однослойных пленок различной опти­

ческой толщины с показателями преломления 2,0 и 2,20

иллюстри­

руют кривые 3 и 4 рис. II.2. Из рисунка видно, что пленки оптической

толщиной 100 и 15С нм имеют в видимой области спектра,

указанной

на оси абсцисс, основные максимумы отражения для

X = 400 и

600 нм. Спектральное отражение достаточно равномерное. Пленка оптической толщиной в 300 нм имеет два максимума отражения в об­

ласти X-L1200 нм н Х2 = 400 нм и один минимум — в

области

600 нм. Для пленок оптической толщиной 500 нм и 1 мкм на

рисунке

показано положение некоторых экстремумов более высоких порядков,

определяемых

выражениями

(1.61) и (1.62). Кривые рис. II.2, а, б,

в, д относятся

 

в основном

к

подложке с показателем преломления

п3 = 1,52. Для

сравнения

приведена кривая

рис. II.2, г

для под­

ложки

п3 = 1 , 7

2

[7] .

иного показателя

преломления

характер

При

нанесении

пленок

спектрального отражения сохраняется. Используя данные рис. П.З, где выше штриховой линии приведены значения коэффициента отра­ жения для поверхности с пленками более высокого показателя пре­ ломления, можно ввести соответствующие поправки в максимумах кривых рис. П.2.

Чтобы с помощью однослойной пленки получить более высокий коэффициент отражения, например порядка 50%, необходима пленка с показателем преломления пг 3,0. Веществ, прозрачных в види­ мой области, имеющих такой высокий показатель преломления, прак­ тически нет. Вследствие этого приходится создавать более сложные многослойные покрытия.

11. МНОГОСЛОЙНЫЕ

ПОКРЫТИЯ

ИЗ СЛОЕВ РАВНОЙ ОПТИЧЕСКОЙ

ТОЛЩИНЫ

С помощью многослойных покрытий, состоящих из

3—15 или

большего числа чередующихся слоев с высоким и низким показате­ лями преломления, можно повысить отражение от прозрачной под­ ложки, например обычного оптического стекла, с 4 до 55—99%. Отражение растет по мере увеличения числа слоев покрытия тем значительнее, чем больше разница в показателях преломления слоев. Покрытия из прозрачных диэлектриков находят широкое применение из-за высокого коэффициента полезного действия. Вследствие отсут­

ствия поглощения как одно-, так и многослойные покрытия

обладают

замечательным свойством без потерь разделять падающий

свет (/£ )

на отраженный (1$) и проходящий (1Т), сохраняя между

интенсив-

ностями количественное соотношение:

 

/£ = /й + / Г .

С1 1 1 -1 )

Так, например, полупрозрачный светоделитель, отражающий 50% падающего излучения, пропускает без потерь остальные 50%. Многослойные покрытия, отражающие около 95%, практически пол­ ностью пропускают оставшиеся 5%. Это позволяет пленкам прозрач­ ных диэлектриков с успехом конкурировать с металлическими полу­ прозрачными слоями, у которых 25—30% света теряется на погло­ щение. Большой интерес представляет возможность замены прозрач­ ных слоев серебра и алюминия многослойными диэлектриками в раз­ личных устройствах типа интерферометра Фабри—Перо.

Вместе с тем многослойные интерференционные покрытия не лишены своеобразных свойств. Это прежде всего относится к спек­ тральным характеристикам отраженного и проходящего света [7] .

Спектральная кривая коэффициента отражения прозрачной под­ ложки с поверхностной пленкой, состоящей из слоев различного пока­

зателя преломления, достаточно

сложна. Значения коэффициента

отражения определяются числом слоев, их оптической

толщиной

n^hi, показателями преломления

и соотношением с длиной

световой

волны Хг Изменение оптической толщины слоев и их числа

вызывает

значительные изменения спектральной кривой коэффициента отра­ жения. Используя эти возможности, можно получать разнообразные интерференционные отражатели, осуществляющие спектральное раз­ деление падающего света на отраженный и проходящий, окрашенные в дополнительные цвета.

Как уже было сказано, расчет спектрального отражения от по­ верхности с многослойной пленкой достаточно громоздок. Для рас­ чета можно использовать упомянутые в гл. I методы матричный, рекуррентный, графический и др.; широко применяются различные счетно-решающие устройства.

Максимальное значение коэффициента отражения дает много­ слойное покрытие, состоящее из чередующихся слоев высокого (В) и низкого (Я) показателей преломления равной оптической толщины

по четверти длины волны [-г-, где Х0 длина волны максимума отра­

жения). Покрытие может содержать как четное, так и нечетное число чередующихся слоев. Наиболее широко применяются покрытия с нечетным числом слоев, у которых крайние слои, граничащие с под­ ложкой и окружающей средой, имеют высокий показатель прелом­ ления пв.

Схематически такое покрытие с нечетным числом слоев на по­

верхности

прозрачной

подложки

5 Х

(например,

стекла) на

границе

с окружающей средой

5 2

(например,

воздухом)

обозначают

следую­

щим (или

аналогичным)

рядом:

 

 

 

 

 

SiBHBH. .

.BHBS2t

 

(III.2)

где В и Я — чередующиеся слои с высоким и низким показателями преломления оптической толщиной - J - .

5 Т . Н . Крылова

65

Пользуясь рекуррентными выражениями (1.68), (1.69), можно, последовательно переходя от слоя к слою, аналогично тому, как это показано в п. 9 для трехслойного просветляющего покрытия, полу­

 

Rmax для любого

ді,

чить значение

числа чередующихся слоев по

В этом случае для значения

Rmax

все суммируемые лучи находятся

в фазе и член, содержащий

косинус, положителен. Амплитуды отра­

женных лучей

последовательно

суммируются при переходе от слоя

к слою.

 

 

 

Такой расчет, например, легко выполнить для трехслойной пленки состоящей из слоев с показателями преломления л 4 , п3 и п2. Слои нумеруются в направлении от подложки с показателем преломления равным пъ. Окружающая среда характеризуется показателем пре­

ломления пг. Если

это воздух,

то п1 =

1. Когда

п 2

=

п 4

и я 2 >

|> и 5 > п3, расчет легко

выполнить пользуясь

схемой,

приведенной

в п. 2 для трехслойного просветляющего

покрытия.

 

 

 

 

 

 

Рассмотрим схему расчета коэффициента отражения трехслойной

пленки, повышающей отражение от подложки

из стекла

пъ

=

1,52.

Показатели преломления чередующихся слоев равны п 4

=

п 2

= 2,20;

п3

= 1,45, при условии,

что n 4 /i 4 = n3h3

= n2h2

= -j •

 

 

 

 

 

Определив согласно (1.49) амплитуды r12; r2S;

гы,

имеем:

 

 

 

'35 —

г 34 + Г45

0,205 + 0,183

 

 

0,374;

 

 

 

 

 

1 ~ЬгйЬг45

1 + 0,205-0,183

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

'25 —

1 -\-

г 2 3 г ъ

ъ

0,205 + 0,374

=

0,537;

 

 

 

 

 

1 + 0,205-0,374

 

 

 

 

 

f

— _

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

г \ ь —

'12 + Ггъ

_

0,375 + 0,537

=

 

0,759;

 

 

 

 

 

 

1 +

г 1 2 г 2 Ь

1 +0,375-0,537

 

 

 

 

 

 

 

 

 

«шах =

г% = 0,576.

 

 

 

 

 

 

 

 

по

При нечетном числе слоев значение Rmax

можно также

рассчитать

следующей

обобщенной

формуле:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

«шах И

\пХптПН

"~ 3 j _ 1-х]

>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+ П В

)

 

 

 

 

 

 

 

где т — число сред; пх

и пт — показатели преломления

окружаю­

щей среды и подложки; пн

и пв

— низкое и высокое значения

пока­

зателей преломления

— 2) чередующихся

слоев. Используя

дан­

ные предыдущего'пример а для т = 5; п1

= 1; пт

= 1,52; пн

=

1,45;

пв

= 2,20, легко} получить

приведенное

выше значение

« т а х .

 

 

В табл. I I I . 1 даны результаты расчета максимальных значений

коэффициента отражения для подложек с многослойными покрытиями различного показателя преломления, содержащими нечетное число от

1 до 15 слоев. Как видно, использование

подложек различного

пока­

зателя преломления оказывает заметное

влияние на величину

Rmax

только у однослойных или трехслойных покрытий. По мере увеличе-

Т а б л и ц а ПІЛ. Максимальные значения коэффициента отражения покрытий из слоев различного показателя преломления и равной

 

 

 

 

 

 

 

 

оптической

толщины

 

П о к а з а т е л и

 

 

 

Ч и с л о

с л о е в

 

 

 

П о к а з а т е л ь

п р е л о м л е н и я

 

 

 

 

 

 

 

 

с л о е в

1

3

5

7

9

п

13

15

п р е л о м л е н и я

п о д л о ж к и

 

 

 

К о э ф ф и ц и е н т о т р а ж е н и я , %

 

 

 

п н

 

 

 

 

1,46

1,45

2,0

21

46

67

81

89

94

1,52

1,45

2,0

20

44

66

80

89

94

97

98

1,52

1,45

2,2

27

58

80

91

96

97

99

99

1,62

1,45

2,2

25

56

78

90

96

1,72

1,45

2,2

23

54

76

89

95

1,52

1,45

2,3

30

63

83

93

97

1,62

1,45

2,3

28

61

82

92 .

97

 

1,72

' 1,45

2,3

26

60

82

92

1,52

1,35

2,2

27

62

84

93

97

п

1,62

1,35

2,2

25

60

83

93

 

 

 

 

1,72

1,35

2,2

23

59

82

93

1,52

1,35

2,3

30

67

87

95

98

1,62

1,35

2,3

28

66

87

95

1,72

1,35

2,3

26

64

86

95

— •

1,52

1,35

2,5

37

75

92

98

99

.1,62

1,35

2,5

35

74

92

98

1,72

1,35

2,5

32

73

92

98

ния числа слоев зависимость коэффициента отражения от показателя преломления подложки постепенно уменьшается и практически не сказывается при 5—7 и большем числе слоев. Из табл. I I I . 1 видно, что с помощью 15-слойных покрытий из слоев с показателями преломле­ ния 2,20 и 1,45 можно достигнуть значений коэффициента отражения примерно 99% и более. При увеличении разницы в показателях пре­ ломления можно ограничиться и меньшим числом слоев. Однако прак­ тика нанесения слоев показала, что для получения предельно высо­ ких значений коэффициента отражения, близких к единице, в боль­ шинстве случаев все же приходится использовать 15-слойные системы.

При четном числе слоев для расчета значений Rmax

можно пользо­

ваться выражением

 

 

Я ш о Н ' _ f - a , т

(Ш-4)

Как показали исследования, спектральная кривая коэффициента отражения прозрачной подложки с многослойной пленкой из нечет-

5*

67

ного числа слоев оптической толщиной кратной —•, характеризуется

наличием основного максимума 1-го порядка, соответствующего длине волны Ко. Максимум 2-го порядка соответствует длине волны Ко, для

которой оптическая толщина слоев составляет -^K0 и т. д. Между

Рис. II 1.1. Спектральное отражение от поверхности подложки с много­ слойной системой, состоящей из нечетного числа слоев равной оптиче­ ской толщины (nR = 2,20; Пц = 1,45)

основными максимумами расположены побочные, количество которых на единицу меньше числа слоев покрытия. Наиболее общий вид спект­ ральной зависимости коэффициента отражения от оптической толщины чередующихся слоев при различном нечетном числе слоев приведен на рис. I I I . 1 . Оптическая толщина слоев выражена через фазовый

у г о л 4 я - ^ ~ £ , что придает графику более общий характер. Оптиче-

ской толщине слоев кратной ^-соответствует фазовый угол ф = 180°,

где расположен основной максимум. Покрытия состоят из 3—11 слоев равной оптической толщины с показателями преломления пв 2,20 и пн = 1,45 [17].

Приведенные графики дают возможность построить спектральную

кривую коэффициента

отражения для поверхности стекла п

1,52

с пленкой, содержащей

любое из указанных число слоев. Для

этого

предварительно необходимо найти значения оптической толщины слоев для ряда длин волн Я.1; К2 Кп, выбранного спектрального интервала и выразить их величиной соответствующих фазовых углов. Так, если оптическая толщина чередующихся слоев равна nh, то зна­

чения фазового угла ф 1 ; ср2,

. . ., ф„ будут различны для разных длин

волн Хи

Я2 , . . .,

Кп:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

a

nh

ф 2

л

nh

. . .; ф„ =

.

nh

 

 

 

ср1 = 4 я т - ;

= 4 я т - . ;

 

4 я - г - .

Значения

коэффициента

отражения

Rk соответствуют абсциссам

Фі, Фг,

. . ., Фя и определяются

ординатами кривых с

необходимым

выбранным

числом

слоев.

 

 

 

 

 

 

При

нанесении

слоев

из

веществ

иного показателя

преломления

характер спектральных кривых коэффициента отражения в основном сохраняется.

Представление об изменении Высоты основных максимумов дает табл. I I I . 1. Об изменении высоты как основных, так и побочных мак­ симумов можно судить по приведенным кривым нарис. III.2, 111.3 и 111.4. Графики носят общий характер и могут быть использованы для оценки спектральных характеристик слоев в широком интервале длин волн [7].

Используя вещества прозрачные в ультрафиолетовой области, можно получить спектральные кривые коэффициента отражения и для этой области спектра. Так, например, черточками на рис. I I I . 1 поме­ чена высота основных максимумов отражения для чередующихся слоев с показателями преломления 2,0 и 1,45, характерных для ве­ ществ прозрачных в ультрафиолетовой области.

Необходимо отметить, что в большинстве случаев покрытия, повышающие отражение, наносятся на подложку из стекла с показа­ телем преломления, близким к 1,52.

Приведенные на рис. III.2 спектральные кривые коэффициента отражения ряда многослойных покрытий являются частными слу­ чаями кривых рис. I I I . 1 . На графиках видно, как изменяются число и высота побочных максимумов с изменением числа слоев покрытия. Так, на кривой 4, характерной для трехслойного покрытия, между основным максимумом и максимумом 2-го порядка имеется два побочных максимума, в то время как у семислойного (кривая 7) их шесть. На рис. I I 1.2 не все побочные максимумы помещены полностью, Для покрытий с максимумом отражения в области 1000 нм (кривая 10)

приведены максимумы 2-го порядка в области,

где оптическая

толщина слоев составляет К ^ 333 нм. Штрихами

показано экспе­

риментальное воспроизведение некоторых покрытий с помощью слоев Т Ю 2 и S i 0 2 с показателями преломления 2,20 и 1,45, получаемых из растворов (см. гл. VI) . Аналогичные высокоотражающие покрытия

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ