![](/user_photo/_userpic.png)
книги из ГПНТБ / Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Оптические свойства и методы исследования
.pdfприемников, наличие светофильтров, отражателей и других компо нент, оказывающих влияние на спектральный состав света, проходя-. щего через систему.
При выборе рационального способа просветления необходимо исходить из того, что просветление преследует две цели: увеличение светопропускания прибора и уменьшение количества вредного рас сеянного света. Последнее в основном относится к просветлению фотографических объективов, поскольку небольшое увеличение све топропускания здесь не так существенно.
Сравнение существующих покрытий, уменьшающих отражение, показывает, что однослойные покрытия значительно более ахрома тичны, чем двухслойные. Однако устойчивые однослойные пленки имеют недостаточно низкий показатель преломления и не могут обес печить снижения коэффициента отражения у стекол типа кронов более чем в два раза. Только у стекол с показателями преломления выше 1,6—1,7 можно рационально использовать однослойные пленки, если допустимо возможное усиление селективности в проходящем свете (см. рис. 11.15), При числе просветляемых поверхностей не более десяти просветление с помощью двух-слойной пленки вполне эффективно и не вызывает заметных искажений окраски. Так, в случае измеритель ных и наблюдательных приборов, используемых для визуальных на блюдений, вполне целесообразно применять двухслойные покрытия с максимумом пропускания в области 520 нм тем более что это при мерно соответствует чувствительности глаза, которая также избира тельна. При работе с искусственным освещением вполне пригодно просветление с помощью двухслойной пленки, у которой максимум светопропускания несколько сдвинут в область 550 нм. Очень невы годно смещение максимума пропускания в более длинноволновую часть спектра, например в область 600 нм и длиннее. Наличие по верхностей, просветленных такими пленками (они имеют темно-синюю окраску), приводит к появлению нежелательной желтой окраски поля зрения, а главное — к уменьшению количества проходящих синих и фиолетовых лучей, которых и так недостаточно в обычных источниках типа ламп накаливания и к которым глаз мало чувстви телен.
Просветление фотообъективов необходимо производить с учетом спектрального распределения чувствительности фотографических слоев. Просветление с помощью двухслойной пленки, имеющей ма ксимум пропускания в средней части видимой области (X = 550 нм), невыгодно для сине-фиолетовой части спектра.
На поверхности деталей аэрофотообъективов и других объективов, работающих с оранжевыми светофильтрами, надо наносить покрытия, дающие максимум светопропускания в области 640 нм.
Большую часть универсальных фотообъективов для черно-белой и особенно цветной фотографии правильнее всего просветлять ахро матическими трехслойными пленками, уменьшающими отражение примерно до 0,5% во всей видимой области 400—700 нм, даже если число поверхностей не превышает 10 (рис. 11.18, о).
Примеров, аналогичных приведенным, можно привести достаточно много. Исследователю и конструктору необходимо учитывать спек тральные особенности используемых покрытий; в настоящее время нельзя пользоваться только обычно применяемыми способами расчета потерь света на отражение и характеризовать различные просветляю щие покрытия «интегральным» значением коэффициента отражения. Во многих случаях это может привести к неправильному использова нию методов просветления и ограничению области эксплуатации при бора.
9. ГРАФИЧЕСКИЙ РАСЧЕТ СПЕКТРАЛЬНОГО ОТРАЖЕНИЯ ОТ ПОВЕРХНОСТИ С ПРОСВЕТЛЯЮЩЕЙ ПЛЕНКОЙ [4]
Расчет спектрального коэффициента отражения для поверхности стекла с двух- и трехслойным просветляющим покрытием можно выполнить путем несложных графических построений, как это пока зано в п. 3. В качестве примера приведем расчет спектрального отра
жения от поверхности стекла (я4 |
= |
|
1,52) |
с пленкой из двух слоев с по |
||
казателями преломления |
п3 = |
1,79 |
(на |
границе со стеклом) и п 2 = |
||
= 1,45 |
(на границе с воздухом п1 |
= |
1). Оба слоя имеют равную опти |
|||
ческую |
толщину (n2hz |
= n3h3). |
|
Амплитуды и фазы отраженного |
света на трех границах раздела имеют следующие абсолютные зна чения:
Kl2 |
1,45- |
1 |
|
10,183|, |
Д 1 2 |
: я ; |
1,45+1 |
|
|||||
|
1,79— |
1,45 |
= |
|:0,145| |
л |
я : |
|
1,79+ |
1,45 |
|
|
23 |
|
' 34 |
1,52— |
1,79 |
= |
10.081 |
А34 = 0. |
|
1,52 + |
1,79 |
|
Построение диаграммы удобно начинать с границы раздела стекло - |
|||||||||||||
пленка п3 |
— 1,79. |
Отточки С (рис. 11.19) в горизонтальном |
направле |
|||||||||||
нии откладываем |
вектор |
СА, |
по |
величине |
пропорциональный |
r3i |
||||||||
Рассчитав значения углов |
4я |
n2h2 |
и |
4я |
n3h3 |
для ряда |
длин |
волн |
||||||
^ |
к |
|||||||||||||
Xlt |
. . ., |
Хт, |
например |
в |
области |
от 200 |
до 2000 нм, от |
конца |
век |
|||||
тора СА отложим вектор АВ, по величине пропорциональный г23, |
под |
|||||||||||||
углом 4я |
— i - i |
|
234°, соответствующим |
длине волны \ k |
— 400 |
нм. |
||||||||
От конца вектора АВ отложим вектор BE под тем же углом, соответ |
||||||||||||||
ствующим той же длине волны Xk. |
Вследствие того что А2 з = А 1 2 = |
|||||||||||||
= |
я, повернем векторы АВ и BE на 180°. Расстояние от конца вектора |
|||||||||||||
BE до точки С, характеризующей состояние поверхности при значе |
||||||||||||||
нии R = 0, представляет собой амплитуду отраженного света для |
||||||||||||||
длины волны |
кк |
= 400 |
нм. Квадрат |
этой величины дает значение |
||||||||||
коэффициента |
отражения |
Ri0a |
(рис. |
11.19). Из графика |
видно, |
что |
||||||||
Rh — 0 для |
длины волны А = |
520 нм. Окружность, представленная |
на графике сплошной линией, соответствует отражению исходной поверхности без пленки. Замкнутая штриховая кривая показывает изменение амплитуды светового вектора после отражения от двухслой
|
ной пленки |
для ряда |
длин |
волн, |
||
|
указанных на кривой. В видимой |
|||||
|
области |
амплитуда |
определяется |
|||
|
малой |
окружностью |
и отражение |
|||
|
не превышает |
отражения |
от по |
|||
^£00\350 |
верхности стекла. В близкой ин |
|||||
20ff\ I |
фракрасной |
и |
ультрафиолетовой |
fобластях оно выходит за пределы сплошной окружности. Приведен ный график дает возможность по строить спектральную кривую 2 (см. рис. II.5).
|
|
|
|
|
|
|
На |
рис. 11.20 |
приведен гра |
||
|
|
~^J000_ |
|
|
фик, построенный для трехслойной |
||||||
|
|
|
|
пленки (см. кривую 4 табл. II.3). |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Рис. 11.19. Схема графического |
расчета |
Здесь |
показатель |
преломления |
|||||||
спектрального |
отражения от |
поверх |
подложки пь = 1,52. Трехслойная |
||||||||
ности |
стекла |
с |
двухслойной |
|
пленкой |
пленка состоит из слоев с гс4= 1,65; |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
п3 — 2,0 и п2 — 1,45. |
Амплитуды |
|||
фазы |
на |
|
четырех |
границах |
раздела |
соответственно равны: |
|||||
|
|
' г 1 8 | |
= |
|0,183|; |
Д 1 3 = я; |
| г м | |
= |
|0,160|; |
Д 2 3 |
— я ; |
|
|
|
|
= |
| 0,0961; |
|
осуществляется |
|
0.041 |
Л45 |
0. |
|
Построение |
|
графика |
|
аналогично |
описанному |
||||||
(рис. |
I I . 191 |
|
|
|
|
|
205 |
|
|
|
|
При |
расчете значе- |
|
|
' |
|
12d0~—-J!0 |
|
||||
ний |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4я |
л4/г4 . |
4я |
4я n2h2 |
необходимо помнить,что оптическая толщина средней пленки n3h3 =
При построении
2
200/1000 ,• ч
S250 |
\ |
|
"1500\ |
||
|
||
|
\215 |
|
|
280\ \ |
|
|
\\ |
|
|
\\ іі |
|
|
\\220 |
те векторы, где на гра ницах раздела имеются скачки фазы на я , нуж но повернуть на 180°.
Рис. 11.20. Схема графиче ского расчета спектрального отражения от поверхности стекла с трехслойной ахро матической пленкой
2000 km
>i/і1i
225/ J
//
Как видно из рис. 11.20, низкие значения коэффициента отражения охватывают всю видимую область (380—750 нм) и нет спектральных участков, где R — 0. Спектральная кривая 2 рис. 11.14 соответствует графику рис. 11.20.
Графический прием очень удобен для расчета просветляющих покрытий, когда без особого ущерба для результата можно прене бречь многократными отражениями. Большая часть приведенных спектральных характеристик просветляющих покрытий была найдена графическим построением '[4,13].
Г Л А В А III
ПОКРЫТИЯ, ПОВЫШАЮЩИЕ ОТРАЖЕНИЕ
10. ОДНОСЛОЙНАЯ ПЛЕНКА
В п. 2 достаточно подробно разобран вопрос отражения света от поверхности непоглощающей подложки с прозрачной однослойной пленкой. Увеличения интенсивности отраженного света от непогло щающей подло"жки можно достигнуть нанесением пленки прозрачного вещества более высокого показателя преломления. Для света, падаю щего по нормали к поверхности, расчет спектрального коэффициента отражения от поверхности с однослойной пленкой производится по формуле (1.56). Характеристики отраженного света определяются ин терференцией света в пленке и, как всегда, зависят от длины световой волны К.
При более высоком показателе преломления пленки, чем у под ложки (п2 >• п3), фазы на границах раздела имеют следующие значе ния: Д 1 2 = я ; А 2 3 = 0.
Если оптическая толщина пленок кратная - j - , то интерферирую щие лучи находятся в фазе, что вызывает усиление интенсивности отраженного света. Максимальные значения коэффициента отраже ния определяются выражением (1.63), минимальные значения — выражением (1.64); они соответствуют коэффициенту отражения под ложки без пленки (рис. 1.9 и П.З).
Максимальные значения коэффициента отражения определяются кривыми рис. П.З, расположенными выше штриховой линии, характе ризующей отражение от поверхности подложки. Так, например, для области длин волн К„ однослойная пленка оптической толщиной крат-
х
ной |
с показателем |
преломления 2,0—2,4 повышает отражение |
от подложки п3 ^ 1,52 |
с 4 до 20—35%. Для других длин волн по |
обе стороны от максимума отражение будет понижаться, и для обла сти длин волн, для которой оптическая толщина пленки составляет
величину, кратную - у, отражение достигает минимального значения,
равного отражению от подложки без пленки (—4,2%). При более, высоком показателе преломления подложки максимальное отражение
будет ниже. Например, для тех же пленок с показателями преломле ния 2,0—2,4 на подложке п3 1,7 максимальные значения будут равны 16—29%; отражение от подложки без пленки составляет в этом случае примерно 7%.
Спектральное отражение для однослойных пленок различной опти
ческой толщины с показателями преломления 2,0 и 2,20 |
иллюстри |
руют кривые 3 и 4 рис. II.2. Из рисунка видно, что пленки оптической |
|
толщиной 100 и 15С нм имеют в видимой области спектра, |
указанной |
на оси абсцисс, основные максимумы отражения для |
X = 400 и |
600 нм. Спектральное отражение достаточно равномерное. Пленка оптической толщиной в 300 нм имеет два максимума отражения в об
ласти X-L — 1200 нм н Х2 = 400 нм и один минимум — в |
области |
600 нм. Для пленок оптической толщиной 500 нм и 1 мкм на |
рисунке |
показано положение некоторых экстремумов более высоких порядков,
определяемых |
выражениями |
(1.61) и (1.62). Кривые рис. II.2, а, б, |
||||||
в, д относятся |
|
в основном |
к |
подложке с показателем преломления |
||||
п3 = 1,52. Для |
сравнения |
приведена кривая |
рис. II.2, г |
для под |
||||
ложки |
п3 = 1 , 7 |
2 |
[7] . |
иного показателя |
преломления |
характер |
||
При |
нанесении |
пленок |
спектрального отражения сохраняется. Используя данные рис. П.З, где выше штриховой линии приведены значения коэффициента отра жения для поверхности с пленками более высокого показателя пре ломления, можно ввести соответствующие поправки в максимумах кривых рис. П.2.
Чтобы с помощью однослойной пленки получить более высокий коэффициент отражения, например порядка 50%, необходима пленка с показателем преломления пг 3,0. Веществ, прозрачных в види мой области, имеющих такой высокий показатель преломления, прак тически нет. Вследствие этого приходится создавать более сложные многослойные покрытия.
11. МНОГОСЛОЙНЫЕ |
ПОКРЫТИЯ |
ИЗ СЛОЕВ РАВНОЙ ОПТИЧЕСКОЙ |
ТОЛЩИНЫ |
С помощью многослойных покрытий, состоящих из |
3—15 или |
большего числа чередующихся слоев с высоким и низким показате лями преломления, можно повысить отражение от прозрачной под ложки, например обычного оптического стекла, с 4 до 55—99%. Отражение растет по мере увеличения числа слоев покрытия тем значительнее, чем больше разница в показателях преломления слоев. Покрытия из прозрачных диэлектриков находят широкое применение из-за высокого коэффициента полезного действия. Вследствие отсут
ствия поглощения как одно-, так и многослойные покрытия |
обладают |
замечательным свойством без потерь разделять падающий |
свет (/£ ) |
на отраженный (1$) и проходящий (1Т), сохраняя между |
интенсив- |
ностями количественное соотношение: |
|
/£ = /й + / Г . |
С1 1 1 -1 ) |
Так, например, полупрозрачный светоделитель, отражающий 50% падающего излучения, пропускает без потерь остальные 50%. Многослойные покрытия, отражающие около 95%, практически пол ностью пропускают оставшиеся 5%. Это позволяет пленкам прозрач ных диэлектриков с успехом конкурировать с металлическими полу прозрачными слоями, у которых 25—30% света теряется на погло щение. Большой интерес представляет возможность замены прозрач ных слоев серебра и алюминия многослойными диэлектриками в раз личных устройствах типа интерферометра Фабри—Перо.
Вместе с тем многослойные интерференционные покрытия не лишены своеобразных свойств. Это прежде всего относится к спек тральным характеристикам отраженного и проходящего света [7] .
Спектральная кривая коэффициента отражения прозрачной под ложки с поверхностной пленкой, состоящей из слоев различного пока
зателя преломления, достаточно |
сложна. Значения коэффициента |
|
отражения определяются числом слоев, их оптической |
толщиной |
|
n^hi, показателями преломления |
и соотношением с длиной |
световой |
волны Хг Изменение оптической толщины слоев и их числа |
вызывает |
значительные изменения спектральной кривой коэффициента отра жения. Используя эти возможности, можно получать разнообразные интерференционные отражатели, осуществляющие спектральное раз деление падающего света на отраженный и проходящий, окрашенные в дополнительные цвета.
Как уже было сказано, расчет спектрального отражения от по верхности с многослойной пленкой достаточно громоздок. Для рас чета можно использовать упомянутые в гл. I методы матричный, рекуррентный, графический и др.; широко применяются различные счетно-решающие устройства.
Максимальное значение коэффициента отражения дает много слойное покрытие, состоящее из чередующихся слоев высокого (В) и низкого (Я) показателей преломления равной оптической толщины
по четверти длины волны [-г-, где Х0 длина волны максимума отра
жения). Покрытие может содержать как четное, так и нечетное число чередующихся слоев. Наиболее широко применяются покрытия с нечетным числом слоев, у которых крайние слои, граничащие с под ложкой и окружающей средой, имеют высокий показатель прелом ления пв.
Схематически такое покрытие с нечетным числом слоев на по
верхности |
прозрачной |
подложки |
5 Х |
(например, |
стекла) на |
границе |
|
с окружающей средой |
5 2 |
(например, |
воздухом) |
обозначают |
следую |
||
щим (или |
аналогичным) |
рядом: |
|
|
|
|
|
|
SiBHBH. . |
.BHBS2t |
|
(III.2) |
где В и Я — чередующиеся слои с высоким и низким показателями преломления оптической толщиной - J - .
5 Т . Н . Крылова |
65 |
Пользуясь рекуррентными выражениями (1.68), (1.69), можно, последовательно переходя от слоя к слою, аналогично тому, как это показано в п. 9 для трехслойного просветляющего покрытия, полу
|
Rmax для любого |
ді, |
|
чить значение |
числа чередующихся слоев по |
||
В этом случае для значения |
Rmax |
все суммируемые лучи находятся |
|
в фазе и член, содержащий |
косинус, положителен. Амплитуды отра |
||
женных лучей |
последовательно |
суммируются при переходе от слоя |
|
к слою. |
|
|
|
Такой расчет, например, легко выполнить для трехслойной пленки состоящей из слоев с показателями преломления л 4 , п3 и п2. Слои нумеруются в направлении от подложки с показателем преломления равным пъ. Окружающая среда характеризуется показателем пре
ломления пг. Если |
это воздух, |
то п1 = |
1. Когда |
п 2 |
= |
п 4 |
и я 2 > |
||||||||
|> и 5 > п3, расчет легко |
выполнить пользуясь |
схемой, |
приведенной |
||||||||||||
в п. 2 для трехслойного просветляющего |
покрытия. |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
Рассмотрим схему расчета коэффициента отражения трехслойной |
||||||||||||||
пленки, повышающей отражение от подложки |
из стекла |
пъ |
= |
1,52. |
|||||||||||
Показатели преломления чередующихся слоев равны п 4 |
= |
п 2 |
= 2,20; |
||||||||||||
п3 |
= 1,45, при условии, |
что n 4 /i 4 = n3h3 |
= n2h2 |
= -j • |
|
|
|
|
|||||||
|
Определив согласно (1.49) амплитуды r12; r2S; |
гы, |
имеем: |
|
|
||||||||||
|
'35 — |
г 34 + Г45 |
0,205 + 0,183 |
|
|
0,374; |
|
|
|
|
|||||
|
1 ~ЬгйЬг45 |
1 + 0,205-0,183 |
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
'25 — |
1 -\- |
г 2 3 г ъ |
ъ |
0,205 + 0,374 |
= |
0,537; |
|
|
|
|
||||
|
1 + 0,205-0,374 |
|
|
|
|
||||||||||
|
f |
— _ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
г \ ь — |
'12 + Ггъ |
_ |
0,375 + 0,537 |
= |
|
0,759; |
|
|
|
|
|||
|
|
1 + |
г 1 2 г 2 Ь |
1 +0,375-0,537 |
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
«шах = |
г% = 0,576. |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
по |
При нечетном числе слоев значение Rmax |
можно также |
рассчитать |
||||||||||||
следующей |
обобщенной |
формуле: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
«шах И |
\пХптПН |
"~ 3 j _ 1-х] |
> |
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
+ П В |
) |
|
|
|
|
|
|
|
||
где т — число сред; пх |
и пт — показатели преломления |
окружаю |
|||||||||||||
щей среды и подложки; пн |
и пв |
— низкое и высокое значения |
пока |
||||||||||||
зателей преломления |
(т — 2) чередующихся |
слоев. Используя |
дан |
||||||||||||
ные предыдущего'пример а для т = 5; п1 |
= 1; пт |
= 1,52; пн |
= |
1,45; |
|||||||||||
пв |
= 2,20, легко} получить |
приведенное |
выше значение |
« т а х . |
|
||||||||||
|
В табл. I I I . 1 даны результаты расчета максимальных значений |
коэффициента отражения для подложек с многослойными покрытиями различного показателя преломления, содержащими нечетное число от
1 до 15 слоев. Как видно, использование |
подложек различного |
пока |
зателя преломления оказывает заметное |
влияние на величину |
Rmax |
только у однослойных или трехслойных покрытий. По мере увеличе-
Т а б л и ц а ПІЛ. Максимальные значения коэффициента отражения покрытий из слоев различного показателя преломления и равной
|
|
|
|
|
|
|
|
оптической |
толщины |
||
|
П о к а з а т е л и |
|
|
|
Ч и с л о |
с л о е в |
|
|
|
||
П о к а з а т е л ь |
п р е л о м л е н и я |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
с л о е в |
1 |
3 |
5 |
7 |
9 |
п |
13 |
15 |
|||
п р е л о м л е н и я |
|||||||||||
п о д л о ж к и |
|
"в |
|
|
К о э ф ф и ц и е н т о т р а ж е н и я , % |
|
|
||||
|
п н |
|
|
|
|
||||||
1,46 |
1,45 |
2,0 |
21 |
46 |
67 |
81 |
89 |
94 |
— |
— |
|
1,52 |
1,45 |
2,0 |
20 |
44 |
66 |
80 |
89 |
94 |
97 |
98 |
|
1,52 |
1,45 |
2,2 |
27 |
58 |
80 |
91 |
96 |
97 |
99 |
99 |
|
1,62 |
1,45 |
2,2 |
25 |
56 |
78 |
90 |
96 |
— |
— |
— |
|
1,72 |
1,45 |
2,2 |
23 |
54 |
76 |
89 |
95 |
— |
— |
— |
|
1,52 |
1,45 |
2,3 |
30 |
63 |
83 |
93 |
97 |
— |
— |
— |
|
1,62 |
1,45 |
2,3 |
28 |
61 |
82 |
92 . |
97 |
— |
— |
|
|
1,72 |
' 1,45 |
2,3 |
26 |
60 |
82 |
92 |
— |
— |
— |
— |
|
1,52 |
1,35 |
2,2 |
27 |
62 |
84 |
93 |
97 |
— |
— |
п |
|
1,62 |
1,35 |
2,2 |
25 |
60 |
83 |
93 |
|
|
|
|
|
1,72 |
1,35 |
2,2 |
23 |
59 |
82 |
93 |
— |
— |
— |
— |
|
1,52 |
1,35 |
2,3 |
30 |
67 |
87 |
95 |
98 |
— |
— |
— |
|
1,62 |
1,35 |
2,3 |
28 |
66 |
87 |
95 |
— |
— |
— |
— |
|
1,72 |
1,35 |
2,3 |
26 |
64 |
86 |
95 |
— |
— • |
— |
— |
|
1,52 |
1,35 |
2,5 |
37 |
75 |
92 |
98 |
99 |
— |
— |
— |
|
.1,62 |
1,35 |
2,5 |
35 |
74 |
92 |
98 |
— |
— |
— |
— |
|
1,72 |
1,35 |
2,5 |
32 |
73 |
92 |
98 |
— |
— |
— |
— |
ния числа слоев зависимость коэффициента отражения от показателя преломления подложки постепенно уменьшается и практически не сказывается при 5—7 и большем числе слоев. Из табл. I I I . 1 видно, что с помощью 15-слойных покрытий из слоев с показателями преломле ния 2,20 и 1,45 можно достигнуть значений коэффициента отражения примерно 99% и более. При увеличении разницы в показателях пре ломления можно ограничиться и меньшим числом слоев. Однако прак тика нанесения слоев показала, что для получения предельно высо ких значений коэффициента отражения, близких к единице, в боль шинстве случаев все же приходится использовать 15-слойные системы.
При четном числе слоев для расчета значений Rmax |
можно пользо |
|
ваться выражением |
|
|
Я ш о Н ' _ f - a , т "Л |
• |
(Ш-4) |
Как показали исследования, спектральная кривая коэффициента отражения прозрачной подложки с многослойной пленкой из нечет-
5* |
67 |
ного числа слоев оптической толщиной кратной —•, характеризуется
наличием основного максимума 1-го порядка, соответствующего длине волны Ко. Максимум 2-го порядка соответствует длине волны Ко, для
которой оптическая толщина слоев составляет -^K0 и т. д. Между
Рис. II 1.1. Спектральное отражение от поверхности подложки с много слойной системой, состоящей из нечетного числа слоев равной оптиче ской толщины (nR = 2,20; Пц = 1,45)
основными максимумами расположены побочные, количество которых на единицу меньше числа слоев покрытия. Наиболее общий вид спект ральной зависимости коэффициента отражения от оптической толщины чередующихся слоев при различном нечетном числе слоев приведен на рис. I I I . 1 . Оптическая толщина слоев выражена через фазовый
у г о л 4 я - ^ ~ £ , что придает графику более общий характер. Оптиче-
ской толщине слоев кратной ^-соответствует фазовый угол ф = 180°,
где расположен основной максимум. Покрытия состоят из 3—11 слоев равной оптической толщины с показателями преломления пв — 2,20 и пн = 1,45 [17].
Приведенные графики дают возможность построить спектральную
кривую коэффициента |
отражения для поверхности стекла п |
1,52 |
с пленкой, содержащей |
любое из указанных число слоев. Для |
этого |
предварительно необходимо найти значения оптической толщины слоев для ряда длин волн Я.1; К2 Кп, выбранного спектрального интервала и выразить их величиной соответствующих фазовых углов. Так, если оптическая толщина чередующихся слоев равна nh, то зна
чения фазового угла ф 1 ; ср2, |
. . ., ф„ будут различны для разных длин |
|||||||||
волн Хи |
Я2 , . . ., |
Кп: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
a |
nh |
ф 2 |
л |
nh |
. . .; ф„ = |
. |
nh |
|
|
|
ср1 = 4 я т - ; |
= 4 я т - . ; |
|
4 я - г - . |
|||||
Значения |
коэффициента |
отражения |
Rk соответствуют абсциссам |
|||||||
Фі, Фг, |
. . ., Фя и определяются |
ординатами кривых с |
необходимым |
|||||||
выбранным |
числом |
слоев. |
|
|
|
|
|
|
||
При |
нанесении |
слоев |
из |
веществ |
иного показателя |
преломления |
характер спектральных кривых коэффициента отражения в основном сохраняется.
Представление об изменении Высоты основных максимумов дает табл. I I I . 1. Об изменении высоты как основных, так и побочных мак симумов можно судить по приведенным кривым нарис. III.2, 111.3 и 111.4. Графики носят общий характер и могут быть использованы для оценки спектральных характеристик слоев в широком интервале длин волн [7].
Используя вещества прозрачные в ультрафиолетовой области, можно получить спектральные кривые коэффициента отражения и для этой области спектра. Так, например, черточками на рис. I I I . 1 поме чена высота основных максимумов отражения для чередующихся слоев с показателями преломления 2,0 и 1,45, характерных для ве ществ прозрачных в ультрафиолетовой области.
Необходимо отметить, что в большинстве случаев покрытия, повышающие отражение, наносятся на подложку из стекла с показа телем преломления, близким к 1,52.
Приведенные на рис. III.2 спектральные кривые коэффициента отражения ряда многослойных покрытий являются частными слу чаями кривых рис. I I I . 1 . На графиках видно, как изменяются число и высота побочных максимумов с изменением числа слоев покрытия. Так, на кривой 4, характерной для трехслойного покрытия, между основным максимумом и максимумом 2-го порядка имеется два побочных максимума, в то время как у семислойного (кривая 7) их шесть. На рис. I I 1.2 не все побочные максимумы помещены полностью, Для покрытий с максимумом отражения в области 1000 нм (кривая 10)
приведены максимумы 2-го порядка в области, |
где оптическая |
толщина слоев составляет К ^ 333 нм. Штрихами |
показано экспе |
риментальное воспроизведение некоторых покрытий с помощью слоев Т Ю 2 и S i 0 2 с показателями преломления 2,20 и 1,45, получаемых из растворов (см. гл. VI) . Аналогичные высокоотражающие покрытия