Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Оптические свойства и методы исследования

.pdf
Скачиваний:
32
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
12.31 Mб
Скачать

 

Т а б л и ц а IV.2. Коэффициенты Френеля и фазы ^-составляющей

 

 

однослойных

пленок

на поверхности

стекла

3 = 1,52)

cpj, град

(Г р)і2

 

Л12

А23

Ы12

 

А12

Д23

 

 

п2 = 1.45

 

 

 

пг

= 2,20

 

0

—0,183

-0,024

я

Я

—0,375

+0,183

Я

0

25

—0,155

—0,023

я

я

—0,339

0,173

Я

0

40

—0,105

—0,019

п

я

—0,274

0,157

я

0

50

—0,048

—0,016

я

я

—0,202

0,141

я

0

55° 24'

0

—0,015

я

я

0

56

-f 0,006

—0,015

0

я

я

0

60

+0,047.

—0,015

0

я

—0,09

0,127

я

0

65

+0,121

—0,010

0

я

—0,01

0,119

я

0

65° 33'

0

я

0

0,118

0

70

+0,212

-0,000

0

я

+0,09

0,112

0

0

75

+0,330

—0,008

0

я

+0,225

0,105

0

0

80

+0,495

—0,007

0

я

+0,401

0,102

0

0

Изменение коэффициентов Френеля р)12

для поверхности раздела

воздуха с пленками различного показателя

преломления

п2 = 1,3 ч-

-=-2,5 показано на рис. IV.3. Значение р)23

приведено

только для

Рис. IV.3. Изменение коэффициентов Френеля и скачков фазы р-со- ставляющей на границах раздела воздух—пленка—стекло при раз­ ных углах падения

одной

границы

раздела

пленка (п2 = 2,20) — стекло (п3 = 1,52),

поскольку

эта величина

мала и меняется

незначительно. Так, для

пленок

с

я 2 =

1,3 ч-1,45

значение р)23

составляет 0,08—0,02% и

меньше. На том же рисунке показаны углы

ф В і ,

где

наблюдается

скачок фазы

Д 1 2 от значений

А 1 2

= л к значениям

А 1

2 =

0. Пря­

мыми 1 и 2

показаны пределы

изменения

углов

ф В ,

для

пленок

с показателями преломления

1,3

и 2,5.

 

 

 

 

В результате, при отражении света от поверхности стекла с одно­ слойной пленкой, показатели преломления которой имеют обычные

практически доступные значения, скачок фазы имеет

место

только

на первой границе раздела пленка — воздух.

 

 

Анализ

выражения (IV.9) с использованием соотношений

(IV.7)

и (IV.8)

позволяет сделать некоторые заключения

относительно

характера отраженного поляризованного света и экстремальных значений Rs и Rp при различных углах падения в результате нанесе­

ния однослойной

пленки.

 

 

 

 

 

Как и при отражении света по нормали, величина

Rx

(IV.9) яв­

ляется

периодической функцией с периодом 4

j I c ^ t

п ,

экстремаль­

ными

значениями

(Rx)mla

и (Rx)max,

[определяемыми

 

косинусами

углов

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Дія +

А2

4яс2 я„я2

= ± (2k-{-

1)я

 

(IV. 15)

 

 

А1 2

+

4яс2 я2

я

2kn.

 

 

(IV.16)

 

 

А23

 

 

 

откуда для нечетного и четного числа

п

 

 

 

 

и

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

*—

 

 

 

 

( , V 1 8 )

Значения г 1 2 и г 2 3

определяются выражениями (IV.7),

содержащими

показатели преломления

сред и угол

падения

ф х . Свет,

отраженный

под углом, поляризован, и приходится раздельно рассматривать

экстремальные значения Rx

для

s- и р-составляющих. Анализ

выра­

жения

(IV.9)

показывает:

 

 

 

 

 

 

 

 

1)

при условии, что показатель

преломления пленки ниже, чем

у

подложки

(п2 п3),

интенсивность колебаний,

расположенных

в

плоскости

перпендикулярной

к

плоскости

падения

Rs,

может

только уменьшаться;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2)

при условии я 2 > / г 3

Rs может только увеличиваться по сравне­

нию с отражением от поверхности подложки без пленки.

 

 

 

Рассмотрим возможные изменения интенсивности перпендику­

лярной составляющей

отраженного света R, в результате

нанесения

однослойной

пленки,

граничащей с

воздухом

{пх

= 1).

 

 

1.

При условии пх <

п2 < «з для всех углов

падения Д 1 2

=

= А и

= я и вследствие

этого

 

 

 

 

С 2 П 2 cln\

^ j y

jg^

^С3П3 С 2 П 2

23

сЗпЗ ~f~ С 2 П 2

Условие для минимума Rs будет определяться выражением (IV. 15); иначе говоря, толщина пленки должна быть равна:

^-ЪьФ+Ъ

(IV-2°)

Условие для максимума Rs определяется выражением (IV. 16). Эти условия можно представить в следующем виде:

/

fi^C^

ТІftс с

\ ^

 

(fl.)mi„=

2

ь 1 3

1 3

;

(iv.2i)

\ « 2 С 2 + " l " 3

C l c 3 /

 

Значение (i?s)min ~

0 возможно

при

условии П2С2

=

nxti3cxc3, когда

показатель

преломления пленки

п2

определяется

выражением:

 

 

 

п\ = піп3сіс3

+ п\ sin2 фх .

 

 

(IV.23)

Анализ

(IV.23)

показывает,

что при возрастании

угла

падения

от 0 до •— показатель преломления пленки, определяющей

значение

(•^s)min =

0, должен

уменьшаться от величины ~\/^nxn3 до 1. Практи­

ческий

интерес это решение может иметь только для высоких значе­

ний показателя преломления п3 и при наличии пленок с необходимыми низкими показателями преломления п2.

Максимальное значение Rs, определяемое выражением (IV.22), представляет собой коэффициент отражения подложки при отсут­ ствии слоя. Значение Rs для подложки с пленкой возрастает доста­ точно медленно в пределах углов падения q>1 < 30°. При дальнейшем росте угла падения Rs быстро увеличивается, однако всегда остается

ниже значения Rs для

подложки без пленки (см. рис. IV.4).

2.

При условии пх

«< п2 >> и 3 д л я s-составляющей имеем А 1 2 = я ;

А 2 3 =

0, откуда

 

(',)»» = Tn,lT:.

(IV.25)

Условие (IV. 15) для минимума перейдет в условие (IV. 16), а условие (IV. 16) для максимума — в условие (IV. 15). Отсюда

= u * : + Z ' , ) ' '

(,v-26>

№ A - = ( H ~ ' W * V -

(IV.27)

\ c2n2 + Л 1Л 3С 1С 3 /

 

Значение (£?s)min = 0 возможно только при условии

сап3 — схпх,

что не удовлетворяется, если пх 4= п3 (IV. 10), (IV. 11).

Выражение

(IV.27) показывает, что в результате нанесения слоя с показателем

преломления

п2 >>п3 интенсивность

колебаний, перпендикулярных

к плоскости

падения, может только

увеличиваться.

Рассмотрим возможные изменения интенсивности параллельной составляющей Rp.

Если в падающем пучке колебания расположены в плоскости, параллельной плоскости падения (р-составляющая), то с возраста­

нием угла падения

Rp претерпевает более сложные изменения.

 

3. При пх

< я 2

< я 3

 

 

в пределах

углов

падения

 

 

 

 

 

 

 

 

0 < 9 l < a r c t g ^ -

 

 

 

 

(IV.28)

А 1 2 =

А 23

" П

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Тогда

 

 

 

(rp)12

=

 

 

l 4 ~ с

 

 

;

 

 

 

(IV.29)

 

 

 

 

C

 

% ч

 

 

 

 

 

 

 

 

v

 

Р>12

 

схп2

+ с2пх

 

 

 

 

 

v

'

 

 

 

 

,

 

=

С 2 " 3 - С 3 " 2

 

,

 

 

 

( Т у

 

 

 

 

 

V

 

Р'*3

 

 

с2п3

+

с 3 л 2

 

 

 

 

 

7

Условия для (Rp)min

 

и ( ^ р ) т

а

х

совпадут

с

условиями

(IV. 15)

и

(IV. 16) как и для s-составляющей

 

при я 2

<< п3.

 

В результате

 

 

 

 

 

 

 

 

«2

 

1С 3

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

W « m =

С

n l t t 3 C 2

 

;

 

(iv.3i)

 

 

 

а . .

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

«2С 1С 3

+ nln3C2

 

 

 

 

 

 

 

 

P

ma

 

/

^Яз3

!:+

3

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(R ) ={

\

 

г:

с;:

 

у)

.

 

 

dv.32)

 

 

 

 

c x n 3

 

3

 

 

Величина

(/?p)m l n = 0

при условии, что

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

п\схсъ = піпгс\.

 

 

 

 

 

(IV.33)

4. В

пределах

углов

 

падения

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

arctg - ^ - <9 1 <arcsi n

| /

-

П

2 И 3

(IV.34)

 

 

^

A r

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

/

 

 

«2 +

«3

 

 

и в результате скачка фазы

на первой

границе раздела

А 1 2

= 0;

А 2 3 = л

и

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

av.36)

Условие для минимума

Rp

теперь

соответствует

(IV. 16), а усло­

вие для максимума Rp

— (IV. 15). Тогда

 

 

 

 

 

 

 

 

 

W m

i

=

( - |

J ^ )

2 ;

 

 

 

(iv.37)

 

 

(RPUx=[

 

 

Х

\

Г

 

 

 

(IV.38)

( ^ p ) m m =

ОП Р И условии с^п3

= сф^

что после

преобразования

дает

 

 

 

 

 

ч 1 Ф в = -л?1-

 

 

 

 

(IV.39)

В рассматриваемом интервале углов падения

значение

(Rp)m[a

=

= 0 не имеет места ни при каком угле падения

ц>17

кроме угла

ф в ,

определяемого уравнением (IV.39), не содержащим

показателя

пре­

ломления слоя п2. Для этого угла,

при любом значении показателя

пленки п2,

можно подобрать толщину пленки h2

так, чтобы она удов­

летворяла

условию

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

i ^

L

=

'{k = 0,

1,

2,

. . . ) ,

 

(IV.40)

и свести отражение Rp

к нулю.

 

 

 

 

 

 

 

 

5. При

п1 <; п2 п3,

в

интервале

углов

падения

 

 

 

 

a

r c s

i

n

/ l f V <

<

p < ^

 

 

( , v ' 4 1 )

 

 

 

 

А 1 2

 

= А 2 3 =

0;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

СаТЬл

Слґіп

 

 

 

 

(IV.42)

 

 

 

 

'12

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

г23

=

с » в » - с » я » .

 

 

 

(IV.43)

В этом диапазоне углов падения условия для максимума и мини­

мума Rp и выражения для (Rp)min и (Rp)m!ix такие же, как и в ин­ тервале углов (IV.28). При этом условие (IV.33) определяет значе­

ние (Rp)mn

= 0.

Таким образом, нанесение слоя с меньшим показателем преломле­ ния (п2 < п3) приводит к уменьшению интенсивности р-составляющей в пределах углов падения, определяемых (IV.28), а также, если условие (IV. 14) удовлетворяется, то и в пределах углов падения

(IV.41). В пределах углов падения (IV.34) нанесение слоя п2 < п3 приводит к возрастанию интенсивности р-составляющей. Если условие (IV. 14) не выполняется, то во всем интервале углов падения

 

 

 

 

 

a r c t g - b . < V l < - | -

(IV.44)

нанесение

слоя

п2

<

п3

может

только

увеличить

отражение Rp.

6.

В том случае,

когда

п1<С п2

~>п3

в интервале углов падения

 

 

 

 

 

 

0 < Ф і <

arctg^-

 

А 1 2 =

я ;

Д 2 3 =

0;

р)12

и

р)23

определяются

выражениями

(IV.29) и (IV.43), а условия минимума и максимума совпадают с усло­ виями (IV. 16) и (IV. 15). В результате этого

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(IV.45)

Величина

(Rp)min

=

0, только если с3пх

= cxti3,

что снова приводит

к углу ф В з , определяемому выражением

(IV.39), совпадающим с тем,

что имеет

место в

интервале углов (IV.34) при нанесении пленки

меньшего

показателя

преломления

(см. п. 4).

0; г12 соот­

7. В интервале

углов

падения

(IV.34) Д 1 2

= Д 2 3 =

ветствует

(IV.42),

a

r23

— (IV.43).

Условие

минимума

характери­

зуется выражением

(IV. 15), а условие

максимума (IV. 16).

Используя

эти данные, имеем

 

 

 

 

Значение (Rp)min

=

0 определится условием

(IV.33).

 

 

8. В интервале углов падения (IV.41) Д 1 2

== 0; Д 2 3

=

я ; условия

для минимума и максимума Rp и значения

( ^ p ) m l n и

( ^ р ) ш а х такие

же, как и в случае п. 6, т. е. мы снова приходим к углу,

определяе­

мому выражением

(IV.39).

слоя п2 > я 3

 

 

 

Таким образом,

ненесение

увеличивает

отражение

^-составляющей

в интервале

углов

 

 

 

 

 

0 <

ф < arctg п.

 

 

 

и

если условие (IV. 14) выполнимо.

Д ля углов падения, лежащих

в интервале (IV.34),

нанесение

слоя п2 > я 3 уменьшает отражение

р-составляющей. Если условие

(IV. 14) не удовлетворяется, то нанесение указанного слоя

уменьшает

отражение р-составляющей во всем

интервале

 

arctg-J-<91 <-f-.

 

Для пленок

с низким значением показателя преломления п2 =

=

1,233

при п3

= 1,52 интервал (IV.34) охватывает

углы 50° 57' —

72° 44'. При более высоком показателе преломления

пленки, напри­

мер п2

=

1,45,

интервал (IV.34) охватывает углы 52° 24'—90°, а при

п2

=

2,20 — углы 65° 33'—90° и т. д. Эти выводы находят практи­

ческое применение. Так, при п2^>п3

можно подобрать толщину

пленки h2, удовлетворяющую условию

 

ЛА = - 4 ^ ( 2 * - И ) ( £ =

0,1,2, . . . ) ,

и свести к нулю отражение р-составляющей. Одновременно формула (IV.20) определяет условия максимального отражения «-составляю­ щей

Пластина стекла с пленкой высокого показателя преломления может оказаться эффективным поляризующим устройством. При угле падения порядка 70° для поверхности стекла п3 = 1,52, при показателе преломления пленки 2,0—2,35, можно получить значе­ ния Rs = 60 -г-70%. Иначе говоря, в указанных условиях около 30—35% падающего неполяризованного света отражается полностью прямолинейно поляризованным. Оптическая толщина пленок в пре­ делах приведенных выше значений показателей преломления со­ ставляет около 0,28%. Спектральное отражение от поверхности с одно­ слойной пленкой достаточно равномерно охватывает широкий интер­ вал длин волн.

Полученные результаты показывают также, что при любом угле падения ф х =j= 0 нельзя подобрать условия (показатель преломления и толщину пленки), чтобы одновременно свести к нулю интенсив­

ности Rs

и Rp. Действительно, согласно п. 1, при п2<Сп3,

значение

/?5 = 0 возможно, если с возрастанием угла падения

показатель пре­

ломления

пленки падает от значения п2 — \^п1п3

до

единицы.

В то же время, значение Rp

— 0, согласно п. 3, можно

получить

из условия

 

 

 

 

п\с\сг

— пхпгс\,

 

 

откуда

 

 

 

 

» ' = ^ + У ( Ш - " Ф , ^ -

<IV-46>

Выражение (IV.46) показывает, что показатель преломления пленки

должен только

возрастать от значения п2 =

до бесконечности.

В качестве примера рассмотрим отражение света от прозрачного

вещества с высоким показателем преломления п3

2,10, на поверх­

ности которого имеется пленка оптической толщиной n2h2

=

137,5 нм

и показателем преломления п2 = 1,45. При падении

света

по нор­

мали к поверхности, в области длин волн X = 550 нм, R = 0.

Если

свет падает под углом ф х

=

45°, минимум смещается

в направлении

коротковолновой

области

в

положение (550-cos ф 2

=

 

480 нм), где

Ф2 — угол преломления света в пленке (табл. IV. 1).

рассчитать, что

Используя

 

выражения

(IV.7)

и (IV.9), можно

/?s

0,03%;

Rp ^

 

0,5%;

откуда

коэффициент

отражения

неполя-

ризованного

света

для Я =

550 нм при угле падения

равном 45°

 

 

 

 

 

R =

R

s ~ \ R p

= ^

= 0,27%.

 

 

 

 

 

 

Как

показано

в

п.

18

эффективность

просветления

при

падении

света

под углом к поверхности

несколько снижается.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

16. ПОЛЯРИЗАЦИЯ СВЕТА,

ОТРАЖЕННОГО

 

 

 

 

 

ОТ

ПОВЕРХНОСТИ

С ПРОСВЕТЛЯЮЩЕЙ

ПЛЕНКОЙ

При падении света под некоторым

углом ф х

к поверхности

раз­

дела

двух прозрачных

сред

(например, стекла

и

воздуха),

отра­

женный и преломленный лучи частично поляризуются [25]. Зависимость между амплитудами падающего, отраженного и пре­ ломленного пучков света определяется формулами Френеля (IV.7). Характеристиками поляризованного света служат интенсивности составляющих отраженного Rs и Rp или проходящего Ts и Тр света, лежащие в плоскостях перпендикулярной и параллельной к плос­ кости падения. Степень поляризации отраженного или проходящего света AR или А г , определяется соотношениями:

RP

 

 

Rs ~т Rp

 

(IV.47)

 

 

 

 

 

 

При падении света

по

нормали

к

поверхности

стекла

степень

поляризации равна нулю,

поскольку

Rs — Rp и Ts

— Тр.

 

Степень поляризации приближается

к 100%, если одна из состав­

ляющих приближается

к нулю. Это имеет место при определенном

угле падения — угле

Брюстера ф в ,

когда интенсивность

р-состав-

ляющей в отраженном

свете близка

к нулю.

 

 

Интенсивность Rs тем больше, чем выше показатель преломления отражающей поверхности. У оптических стекол с показателями преломления 1,52—1,72 при углах Брюстера отражается 16—25% поляризованного света за счет «-составляющей. Поскольку значение

7 Т . Н . К р ы л о в а

97

Rp в отраженном свете стремится к нулю, значение Тр в проходящем стремится к 100%. Однако наличие в проходящем свете колебаний, перпендикулярных к плоскости падения, дает проходящий пучок частично поляризованного света. Для получения пучка прямоли­ нейно-поляризованного света высокой степени поляризации с коле­ баниями, расположенными в плоскости падения, используется стопа стеклянных пластин. Двенадцать пластин стекла (п = 1,52) дают около 56% проходящего поляризованного света со степенью поля­ ризации, близкой к 70% (см. табл. IV.3).

300

 

W0

500

 

600

 

700

Л.ия-

BOO

Рис. IV.4.

Изменение

интенсивности

/? 5

поляризованного

света,

отраженного

от поверхности

стекол

с

пя =

1,52

и

п3

=

1,72

без пленок

(

и

)

и с пленками

п2 =

1,45 (

 

и) при различных углах падения

Нанесение на поверхность стекла однослойной пленки иного показателя преломления изменяет состояние поляризации отражен­ ного света. Анализ зависимости (IV.9) показывает, что интенсивно­

сти s и р-составляющих

в отраженном и проходящем свете в значи­

тельной

степени

определяются

интерференционными

явлениями

в тонком

поверхностном

слое.

 

 

 

 

 

 

 

 

Спектральная зависимость Rs для

поверхности двух стекол с по­

казателями преломления п3 = 1,52

и

1,72 без

пленок

и с

однослой­

ной пленкой п 2 =

1,45

оптической

толщиной

n2h2

=

150

нм

пред­

ставлена на рис. IV.4. Отражение Rs

для стекла с показателем

пре­

ломления,

равным

1,72,

при угле

ц>1 = 70°

приближается

к

40%

и на рисунке не показано.

 

 

 

 

 

 

 

 

При возрастании угла падения, как и при отражении от поверх­

ности стекла без пленки, наблюдается

возрастание

интенсивности Rs

и уменьшение интенсивности Rp.

Величина

Rp

для

поверхности

стекол с пленками на графике не приводится. В указанном

интервале

длин волн при углах падения 45—60° она не выходит за

пределы

0,4%,

и только при

углах,

приближающихся к 70°, возрастает до

3—4%.

Область

минимальных значений

Rp

соответствует

углам

Брюстера,

определяемым

показателями

преломления

пленок

(п. 15). В рассматриваемом

частном случае, когда показатель пре­

ломления

пленки

л 2

= 1,45,

возрастание

R„ имеет место при

углах

ф 1 = 55°.

 

 

 

 

Rs

и Rp

 

 

Несмотря на

то,

что интенсивности

в результате нане­

сения пленки более низкого показателя преломления уменьшаются,

степень

поляризации света, отраженного

от

поверхности стекла

с пленкой, продолжает оставаться высокой,

и при углах Брюстера,

характерных для пленки,

близка

к 100%, хотя

интенсивность отра­

женного

поляризованного

света

ничтожна.

 

 

Прежде чем перейти к определению поляризации света от стекла с многослойной пленкой, уменьшающей отражение, необходимо отметить, что скачок фазы в случае отражения света при соответ­ ствующих углах Брюстера имеет место только на первой границе раздела пленки с воздухом. Это действительно как для однослойной пленки, так и для многослойной, уменьшающей или увеличивающей отражение от поверхности стекла, при показателях преломления, имеющих практически доступные значения. В каждом частном слу­ чае это легко проверить расчетом значений rs и гр по формулам (IV.7) для любых значений показателей преломления и любого числа границ раздела, аналогично тому, как это показано в табл. IV.2.

Свет, отраженный от поверхности стекла с двух-, трехили любой многослойной пленкой, уменьшающей отражение, также частично поляризован. Однако, поскольку интенсивность отраженного света

уменьшена,

то интенсивность поляризованного света будет ниже,

чем у исходного стекла, и тем более в области

минимумов, где

отражение

ничтожно. Повышение интенсивности

поляризованного

света у просветляющих покрытий наблюдается в области возрастания коэффициента отражения, где просветление становится неэффектив­ ным (например, у двух- и трехслойных покрытий в коротковолновой и длинноволновой частях спектра, где коэффициент отражения по­ верхности с пленкой может превысить значения, характерные для исходного стекла).

 

17. ПОЛЯРИЗАЦИЯ

СВЕТА,

 

ОТРАЖЕННОГО ОТ ПОВЕРХНОСТИ С ПЛЕНКАМИ,

 

ПОВЫШАЮЩИМИ ОТРАЖЕНИЕ

Интенсивность поляризованного света, отраженного

под углом

от поверхности стекла с пленкой более высокого показателя

прелом­

ления, значительно выше, чем от поверхности стекла

без

пленки

или с пленкой более

низкого показателя преломления.

Нанесение

на поверхность стекла

пленки более высокого показателя преломле­

ния повышает интенсивность s-составляющей, причем тем больше, чем больше разность показателей преломления подложки и пленки и чем больше угол падения света.

7*

99

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ