книги из ГПНТБ / Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Оптические свойства и методы исследования
.pdf= 546 нм. Выходящий из коллиматора 2 параллельный пучок света направляется в поляризатор 3. Выходящий из него прямо линейно поляризованный пучок света отражается эллиптически по ляризованным от образца стекла 4 с пленкой. Компенсатор 5 пре вращает эллиптически поляризованный световой пучок в прямоли нейно поляризованный, который гасится поворотом анализатора 6.
Поляризационные призмы и пластинка •—• укреплены в оправах,
на которых имеются лимбы с делениями через каждые 30', снабжен ные конусами, обеспечивающими отсчет поворота систем 3, 5 и 6 с точностью ± Г. Угол падения света на образец устанавливается также с точностью ± Г [3, 127].
't
' \
Рис. VII. 19. Схема поляризационного гониометра (элипсометра) для из мерения толщины и показателя преломления пленок
Прежде чем начать измерения, необходимо установить исходные значения (нулевые точки) прибора. Изображение щели /, где имеется крест нитей, устанавливается в главной фокальной плоскости кол лиматора 2. Все измерения проводятся в параллельном пучке. Труба 7 устанавливается автоколлимацией на бесконечность с по мощью окуляра Гаусса с зеркалом для бокового освещения нити окуляра. Затем устанавливаются исходные положения систем 3, 5 и 6. Поляризатор устанавливается так, что через него проходят колебания, параллельные плоскости падения. Для этого на столик гониометра ставится чистая, свежеполированная пластинка устой чивого стекла 4, например стекла К8, так, чтобы свет отражался под углом полной поляризации, который для обычных оптических стекол составляет 56—58°. Труба 7 поворачивается относительно нулевого положения (продолжение оси коллиматора) на угол 180° — —56°-2 я» 68°. В трубу видны нити, находящиеся на щели / и в оку ляре трубы 7, которые должны быть совмещены. Щель должна быть достаточно широкой, чтобы лучше установить момент затемнения
поля. Вращая |
лимб поляризатора |
и медленно поворачивая столик |
с пластинкой |
и трубу, постепенно |
находят положение Р0 оптималь |
ного затемнения, соответствующее углу полной поляризации. В этом положении поляризатор пропускает только колебания, параллельные плоскости падения, которые при этом не отражаются от поверхности
стекла. Это значение служит исходным и устанавливается по воз можности точно (±5н-10').
После этого на трубе укрепляется анализатор и труба ставится на продолжение оси коллиматора. Нити на щели и в окуляре трубы совмещаются и анализатор вращается до момента наиболее полного затемнения поля. Это положение анализатора Л 0 , при котором через него проходят только колебания, лежащие в плоскости, перпенди
кулярной к |
плоскости |
падения, |
можно установить |
более |
точно |
( ± 2 - 5 ' ) . |
|
|
|
|
|
Когда основные положения Р0 |
и А0 установлены |
в скрещенном |
|||
положении, |
на трубе |
укрепляется компенсатор (слюдяная |
пла |
стинка ~^-J» лимб которой поворачивается до затемнения поля. Эта
установка выполняется с ошибкой не более ± 2 — 3 ' . Теперь эллипсометр можно считать готовым для проведения измерений.
Исследование эллиптически поляризованного света можно вы полнять несколькими способами [3, 127, 129]. Кроме описанной ви зуальной оценки по максимальному затемнению поля, можно ввести дополнительную полутеневую систему, представляющую собою двой ную пластинку Тогда установка поляризационных призм и кол лиматора производится путем выравнивания освещенности двух половин поля зрения. Этот способ в некоторых случаях оказывается более чувствительным, однако он требует лучшей освещенности поля. Можно констатировать момент затемнения поля зрения, введя фото элемент или фотоумножитель. Эти измерения проводятся, как и при визуальной оценке, без введения полутеневой системы. Основным условием получения точных и хорошо воспроизводимых результатов является хорошая плоская и гладкая подложка, равномерная и прозрачная пленка. Точность измерения повышается при повышении интенсивности отраженного света.
Измерение параметров отраженного эллиптически поляризован ного света можно проводить различно, например, по схеме рис. V I I . 19.
После установки поляризационных призм в скрещенном |
положении |
|||
Р 0 и |
Л о и компенсатора |
на темноту, |
последний поворачивают на |
|
угол |
45°. Это положение |
сохраняется |
при дальнейших |
измерениях |
неизменным. При этом его основные направления распространения колебаний расположены под углом 45° (более быстрое колебание) и 135° (колебание более медленное) к плоскости падения. Анали затор поворачивается также на угол 45° относительно исходного положения А0. Угол падения устанавливается равным 70°, т. е. труба поворачивается от своего исходного значения на угол 40°.
Исследуемый образец с пленкой помещается на столик эллипсометра, который вращается до появления изображения щели и совме щения с крестом нитей в окуляре. Затем, попеременно вращая поля ризатор и анализатор, добиваются оптимального затемнения щели.
Это соответствует повороту |
лимба |
поляризатора |
на угол |
Р — |
Р0, |
а лимба анализатора — на |
угол |
А — Ло, где |
А'о = |
А0 + |
45°. |
Такая установка поляризатора дает выходящий прямолинейно поля ризованный свет, который после отражения от образца становится эллиптически поляризованным. Оси эллипса совпадают с основными направлениями колебаний слюдяного компенсатора. После про хождения света через слюдяной компенсатор разность фаз эллипти ческого колебания компенсируется, и выходящий луч, уже прямо линейно поляризованный, гасится поворотом анализатора на угол А—AQ. Угол поворота поляризатора (Р — Ро) соответствует углу г|?,
для которого tg г|5 = — ; угол поворота анализатора — углу % =~2 •
Приведем примеры наиболее простой установки эллипсометра и определения параметра эллиптически поляризованного света, от раженного от поверхности стекла с пленкой более низкого и более высокого показателей преломления, чем у подложки. Пусть положе ние поляризатора, установленного на минимум освещенности щели при помощи пластинки стекла (отражение при угле полной поля ризации), составляет Р0 = 85° 35' ± 10'. При этом выходящие све товые колебания параллельны плоскости падения. Пусть также соответствующее положение анализатора для получения темного поля в скрещенном положении составит А0 = 343° 14' ± 4'. При этом могут проходить только колебания, перпендикулярные пло скости падения.
|
К |
Положение слюдяной пластинки |
(компенсатора), установ |
ленной до затемнения поля между скрещенными поляризатором и
анализатором, — 199° 06'. В этом положении одно |
из главных на- |
А, |
|
правлении пластинки - j - параллельно, а другое |
перпендикулярно |
к плоскости падения. Поворот анализатора на 45° дает значение исходное: Ао = (343° 14' + 45°) — 360° = 28° 14'. Поворотом ком пенсатора на 45° его основные направления располагают под угла ми 45° к плоскости падения и направлению, перпендикулярному к ней. Это соответствует значению 199° 06' — 45° = 154° 06', которое
в дальнейшем, при проведении |
измерений, сохраняется. |
|
||||
|
Рассмотрим несколько примеров измерения. При отражении света |
|||||
под углом |
70° от поверхности |
стекла п3 = 1,52 с пленками |
SiOa |
|||
и Т і 0 2 и установке поляризатора и анализатора до затемнения |
поля |
|||||
были получены следующие значения я|э и б. |
|
|||||
|
Пленка |
Si0 2 |
( n 2 < n 3 ) : |
|
|
|
|
Р = 109° 16'; А = 30° 52'; Ц = Р — Р 0 = 109° 16'— 85° 35' = |
|||||
= |
23° 41'; |
tgt|? = |
0,439; - | - = |
30° 52' — 28° 14' = 2° 38'; б = 5 ° 16'. |
||
|
Пленка |
Т Ю 2 |
( п 2 > п 3 ) : |
|
|
|
|
1) /> = |
96°10'; |
Л = 4°08'; |
|
= (Р — Р0) = 96° 10' —85° 35' |
= |
= |
10° 35'; tgip = 0,187; — = |
28° 14' — 4°08' = 24°06'; б = 48° 12'; |
202
2) Р = 89°40'; Л = 89°20'; Р — Р0 = 89°40' — 85°35' = 4°05';
tgtj) = |
0,071; -^- = 70° 06'; |
б = 1 4 0 ° |
12'. |
Как уже было сказано, расчет оптических характеристик пленок п2 |
|||
и n2h2 |
по формулам (VI 1.8) |
и (VI 1.9) |
на основании полученных выше |
данных крайне трудоемок. Если не требуется очень строгое решение, то можно воспользоваться графическим способом. Для составления графиков необходимо предварительно рассчитать значения б и tg для заданного ряда показателей преломления пленок и подложек.
Рис. VI 1.20. График для расчета толщины и низких значений показа теля преломления пленок
Оптическую толщину удобно представить пропорциональной ей ве
личиной |
Z = 4 l t ^ 2 |
, где Я — длина волны используемого для изме |
|||||||||||||
рения |
монохроматического |
излучения, |
например |
Я = |
546,1 |
нм. |
|||||||||
Наличие |
графиков |
сводит |
время |
расчета |
к нескольким |
минутам |
|||||||||
[3, |
78]. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Имеются рассчитанные таблицы значений tg ар и б для |
подложек |
|||||||||||||
(стекла) |
с показателями |
преломления |
п3 |
от |
1,47 до |
|
1,72 |
и пленок |
|||||||
с низкими показателями п2 |
от 1,2 до |
1,55 |
и высокими |
от |
1,8 |
до |
2,50 |
||||||||
и значений Z от 0 до 360° |
[79, 80]. |
Несколько примеров таких |
рас |
||||||||||||
четов |
дано в табл. VI 1.3 |
и |
V I 1.4. |
Схемы графиков, |
выполненных |
||||||||||
в сферических координатах, приведены на рис. VII.20 и VII.21. |
|||||||||||||||
Радиусами-векторами служат значения tg ijj; в качестве |
полярного |
||||||||||||||
угла — величина б. На рис. VII.20 |
и в табл. VII.3 |
приведены |
дан |
ные, используемые при построении графиков для пленок с показа
телем |
преломления более |
низким, чем у подложки п3 |
= |
1,52. |
Сна |
||
чала |
проводится |
прямая, |
на которой от точки С (начала |
координат) |
|||
откладывается |
отрезок, |
пропорциональный |
tg г|з = |
0,3675 |
для |
Т а б л и ц а VI1.3. Значения б и tg гр для определения толщины и показателя преломления пленок п2 < па = 1,52
|
п2 |
== 1,30 |
|
п2 |
== 1,40 |
п2 |
== 1,45 |
|
Z, град |
|
|
6 |
|
6 |
|
- 6 |
|
|
|
|
|
|
||||
0 |
0,3675 |
' |
0 |
0,3675 |
0 |
0,3675 |
|
0 |
15 |
— |
З 9 |
19' |
|
2 е 09' |
— |
I s |
16' |
30 |
— |
79 |
11' |
— |
4° 10' |
— |
2е |
28' |
45 |
— |
10" 28' |
— |
55 57' |
— |
3° 50' |
||
60 |
— |
1 3 Р 2 Г |
— |
7° 24' |
— |
4° 20' |
||
75 |
— |
^5" 42' |
— |
8° 25' |
— |
4я |
53' |
|
90 |
— |
17° 22' |
— |
8° 55' |
— ' |
5° 06' |
||
105 |
— |
18" 06' |
— |
8° 5 Г |
— |
4" 59' |
||
120 |
— |
175 |
38' |
— |
8 5 08' |
— |
4° 31' |
|
135 |
— |
15° 41' |
— |
6° 49' |
— |
3° 43' |
||
150 |
— |
11° 58' |
— |
4° 55' |
— |
2" 39' |
||
165 |
— |
6" 33' |
— |
2° 35' |
— |
1" 23' |
||
180 |
0,7022 |
|
0 |
0,5032 |
0 |
0,4395 |
|
0 |
значения Z = 0. Вокруг точки С радиусом меньшим і0'фдля Z = О проводится окружность, на которой наносятся деления через каждые 30' (0,5°); это значения 6. От точки С на той же прямой откладываются отрезки, равные tgi|? при Z = 180°, для ряда постоянных значений показателя преломления пленок, например п% = 1,30ч-1,45. На
отрезках |
tg г|)2=і8о° — tg ^z=o, |
как на диаметрах, строятся |
окруж |
|||||
ности постоянных значений п2, |
которые все соприкасаются |
в одной |
||||||
точке tg і|з для Z = 0. |
Из начала |
координат проводятся |
вспомога |
|||||
тельные |
прямые под |
углами |
б |
для |
Z = 15°, 30° |
и |
т. д., взя |
|
тые из |
табл. VJI.3, до пересечения с |
окружностью |
соответствую |
щего показателя преломления. Точки пересечения прямых с окруж ностями соединяются кривыми постоянного значения Z для пленок
разного показателя преломления. |
Графики рис. VII.20 и |
VII.21 |
|
не пригодны для проведения расчетов. Их не следует делать |
очень |
||
мелкими. Удобно брать |
натуральные значения tg-ф такими, |
чтобы |
|
0,01 равнялось 1 см. |
|
|
|
Чтобы определить |
оптические |
характеристики пленок |
Si0 2 , |
используя приведенные выше результаты измерения, надо от точки С под углом 6 = 5° 16' отложить величину tg i|) = 0,439. Точка с коор динатами б и tg яр Дает значение я 2 = 1,432 и Z = 128°, откуда на ходим
, |
ZK |
546-128 |
П ^ |
= -Щ7= |
543 ~ |
l o n
1 2 9 Н М -
|
Т а б л и ц а VII.4. |
Значения |
б и tgip для определения толщины |
и показателя преломления пленок |
на стекле |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
"s |
> |
"з = !>52 |
|
п2 —= 1,80 |
п 2 |
== 2,0 |
п2 |
~= 2,10 |
п2 |
= 2,20 |
п2 |
== |
2,3 |
Z, град |
а |
|
б |
tgll> |
б |
tg* |
б |
tg* |
|
б |
|
|
|
0 |
0,3673 |
0 |
0,3673 |
0 |
0,3673 |
15 |
0,3627 |
—5° 23' |
0,3598 |
—9° 12' |
0,3585 |
30 |
0,3498 |
—10° 22' |
0,3395 |
—17° 42' |
0,3354 |
45: |
0,3308 |
—14° 35' |
0,3113 |
—25° 00' |
0,3044 |
60 |
0,3080 |
—17° 53' |
0,2797 |
—31° 05' |
0,2706 |
75 |
0,2836 |
—20° 09' |
0,2470 |
—36° 00' |
0,2367 |
90 |
0,2592 |
—21° 18' |
0,2145 |
—39° 52' |
0,2031 |
105 |
0,2358 |
—21° 13' |
0,1825 |
- 4 2 ° 34' |
0,1699 |
120 |
0,2143 |
—19° 49' |
0,1512 |
—43° 45' |
0,1368 |
135 |
0,1957 |
—16° 55' |
0,1211 |
—42° 32' |
0,1035 |
150 |
0,1812 |
—12° 28' |
0,0935 |
—36° 59'. |
0,0703 |
165 |
0,1718 |
—6° 39' |
0,0718 |
—23° 30' |
0,0378 |
180 |
0,1685 |
0 |
0,0628 |
0 |
0,0159 |
0 |
0,3673 |
0 |
0,3673 |
0 |
—11° 06' |
.0,3574 |
—12° 56' |
0,3564 |
—14° 44' |
—21° 15' |
0,3320 |
—24° 44' |
0,3292 |
—28° 06' |
—30° 06' |
0,2992 |
—35° 00' |
0,2956 |
—39° .45' |
—37° 37' |
0,2648 |
—44° 00' |
0,2619 |
—50° 06' |
—44° 11' |
0,2312 |
—52° 14' |
0,2300 |
—59° 54' |
—50° 01' |
0,1985 |
—60° 09' |
0,1999 |
—69° 43' |
—55° 17' |
0,1665 |
—68° 13' |
0,1711 |
—80° 11' |
—59° 57' |
0,1348 |
—76° 53' |
0,1436. |
—91° 57' |
—63° 43' |
0,1033 |
—86° 59' |
0,1175 |
—106° 04' |
—65° 19' |
0,0723 |
—100° 25' |
0,0942 |
—124° 12' |
—59° 26' |
0,0437 |
—124° 00' |
0,0767 |
—148° 45' |
0 |
0,0283 |
—180° 00' |
0,0698 |
—180° 00' |
Для ускорения удобства расчетов нужно составить вспомогатель
ный график зависимости |
4лс2 от |
п2, |
где |
|
|
|
|
|
п2 |
1,2 |
1,40 |
1,43 |
1,45 |
1,8 |
2,0 |
2,2 |
2,5 |
4яс2 , град |
450 |
534 |
543 |
548 |
616 |
637 |
650 |
667 |
Аналогично |
в системе |
полярных |
координат |
строится |
график |
для расчета оптических характеристик пленок с показателем пре ломления « 2 большим, чем у подложки п3 (табл. VII . 4 и рис. VII.21). Вокруг точки С — начала координат — описывается окружность,
90°
|
|
|
|
|
90° |
|
|
|
Рис. VII.21. График для расчета толщины и высоких значений показа< |
||||||
|
|
|
теля |
преломления пленок |
|
||
на которой |
наносятся деления через каждые 0,5°, характеризующие |
||||||
угол |
б. От |
точки С под |
углами, соответствующими значениям для |
||||
Z = |
0°; 15°; 30° и т. д., |
откладываются значения б для указанного |
|||||
ряда |
углов |
и соответствующих значений |
п2. Если на |
рис. VII.20 |
|||
замкнутые |
кривые |
п2 <С ns |
представляют |
собой окружности, то на |
|||
рис. VII.21 |
для п% |
L>n 3 |
кривые равного |
показателя |
преломления |
являются овалами. В этом случае кривые строятся не по двум точкам для tg rj) при Z = 0 и Z = 180°, а по многим точкам tg -ф для соот-
ветствующих |
значений Z через каждые 15° (см. табл. VII.4). |
Полу |
|||||
ченные точки |
соединяются |
кривыми |
равного значения п2. |
Через |
|||
эти |
точки проводятся кривые постоянного значения для Z ~ 15°, |
||||||
30° |
и т. д. для разных значений |
п2. |
|
|
|
||
|
Чтобы определить оптическую толщину и показатель преломления |
||||||
пленок Т Ю 2 |
(см. первый пример), |
надо от точки |
С под углом б = |
||||
= 48° 12' отложить величину tg гр = |
0,187. Точка |
с этими |
коорди |
||||
натами дает значение п2 = |
2,06 и Z = |
97, откуда |
|
|
, ZX 97-546
П » А » = to£- = - 6 4 T - ~
0 |
0 |
8 3 |
Н М - |
В случае, |
приведенном во втором примере, от точки С под углом |
|||
б == 140° 12' |
откладывается величина |
tg гр = 0,071, что дает |
п2 == |
|
= 2,28 и n2h2 |
= 172 нм. Геометрическая |
толщина находится |
путем |
|
деления на показатель преломления |
п2. |
|
|
|
Поскольку кривые равных значений п2 |
и Z нанесены недостаточно |
часто, то промежуточные значения можно интерполировать, однако не точнее чем до 0,1 расстояния между ними.
Точность получаемых результатов определяется в основном точ ностью измерения б и \р, что в значительной степени зависит от рав номерности пленки, качества подложки. Рассеивающие, неравно мерные по толщине, показателю преломления и другим параметрам пленки не дают возможности получить четкое изображение щели, четкого затемнения поля, а полученные значения б и tg гр выходят за пределы графика. Это особенно часто наблюдается в тех случаях, когда значение показателя преломления изменяется по мере измене ния толщины пленки (см. п. 31). Описанный метод неприменим для измерения пленок, обладающих заметным поглощением.
При измерении пленок оптической толщиной 100—200 нм ре
зультаты измерения обычно воспроизводятся с |
точностью |
± 5 нм; |
при определении показателя преломления—с |
точностью |
± 0 , 0 1 . |
При благоприятных условиях, когда пленки и подложки равномерны, интенсивность отраженного света достаточна, воспроизводимость может быть выше.
Метод измерения эллиптической поляризации отраженного света является, пожалуй, одним из наиболее точных, пригодных для изме
рения прозрачных |
пленок на поверхности прозрачных подложек. |
|||
Метод универсален |
и при внесении соответствующих |
корректировок |
||
может быть использован для измерения прозрачных |
пленок |
на по |
||
глощающих подложках |
[127, 128, 129]. |
|
|
|
|
|
34. ИЗМЕРЕНИЕ ПОКАЗАТЕЛЯ |
ПРЕЛОМЛЕНИЯ |
|
|
|
ПРОЗРАЧНЫХ |
ПЛЕНОК |
|
Рассмотренные |
в предыдущих разделах спектрофотометрический |
|||
й эллипсометрический |
методы дают возможность |
одновременного |
раздельного определения показателя преломления и оптической толщины пленки. Для измерения показателя преломления прозрач-
ных пленок, обладающих ничтожным поглощением, существует про стой и точный метод, дающий искомое значение без определения толщины пленки. Метод основан на следующих свойствах отражен ного поляризованного света [115, 130].
Если на поверхность подложки, где имеется тонкая пленка, падает параллельный пучок прямолинейно поляризованного моно хроматического света с колебаниями, расположенными в плоскости, параллельной плоскости падения, то при угле падения, равном углу Брюстера для этой пленки, интенсивности света, отраженного от поверхности с пленкой и без пленки (р-составляющей), будут равны. Тангенс угла падения, для которого интенсивности равны, опреде ляет отношение показателей преломления пленки п2 и окружающей среды:
Если отражение происходит в воздухе (п1 — 1), то выражение дает непосредственно значение показателя преломления пленки.
Измерение угла срв производится с помощью обычного спектро метра в монохроматическом свете. Монохроматическое излучение получается с помощью монохроматора или с помощью обычного ис точника излучения, снабженного соответствующим фильтром.
Юстировка прибора производится следующим способом. Изобра жение источника проектируется на входной щели коллиматора. За коллиматором устанавливается поляризатор, дающий пучок прямо линейного поляризованного света, который падает на образец поме щенный на столик спектрометра. Пленка наносится на половину поверхности образца, и труба фокусируется на поверхность. Измере ние состоит в определении угла падения, при котором происходит выравнивание освещенности двух половин подложки: с пленкой и без пленки. Чтобы установить это положение, медленно поворачи вают одновременно трубу и столик с образцом, наблюдая за грани цей раздела подложки и пленки. Трубу надо смещать на двойной угол по сравнению с углом поворота столика. Шкала спектрометра должна обеспечивать отсчет угла с точностью ± Г .
Точность измерения показателя преломления зависит от толщины пленки. Теоретически она наиболее высокая, если оптическая раз-
ность ,хода n2h2 cos <рв равна нечетному числу . Точность сни жается, если между показателями преломления подложки и пленки
большая разница. |
По |
возможности |
она не должна превышать |
0,03. |
|||
При соблюдении |
этих |
условий метод дает возможность |
|
определить |
|||
п2 |
с ошибкой ±0,002. При большей |
разнице показателей |
преломле |
||||
ния ошибка может достигать ±0,01ч-0,015, например |
при опреде |
||||||
лении показателя |
преломления пленок на поверхности стекла |
[130]. |
|||||
|
При слабом поглощении света |
пленками отражение |
снижается |
||||
и |
полученное значение показателя |
преломления будет |
ниже. |
Так, |
при коэффициенте поглощения k = 0,004, |
п2 — 2,03 и подложке |
стекла п3 = 1,50 ошибка определения л 2 н е |
ниже 0,005. |
Этим методом можно обнаружить анизотропию пленок, если вращать образец вокруг нормали к его поверхности.
Для определения показателей преломления пленок на поверх ности стекла и различных прозрачных оптических сред существуют и другие методы. Можно использовать обычный рефрактометр Аббе. Капля жидкости наносится между пленкой и призмой рефракто метра. При показателе преломления жидкости более высоком, чем у пленки, можно наблюдать два предельных угла, из которых один относится к пленке, а другой к жидкости. Метод непригоден для исследования пористых пленок, когда жидкость может заполнять поры. Толщина исследуемых пленок должна быть не ниже 1 мкм, тогда точность определения ее показателя преломления составляет около ±0,001 .
35. ОПРЕДЕЛЕНИЕ МАЛЫХ ЗНАЧЕНИЙ КОЭФФИЦИЕНТА ПОГЛОЩЕНИЯ СВЕТА ПЛЕНКАМИ
Успешное применение тонких слоев диэлектриков объясняется ря дом преимуществ по сравнению с тонкими слоями серебра, алюминия,' и других металлов. Основным преимуществом является отсутствие потерь на поглощение. Однако у большинства прозрачных веществ, особенно имеющих высокий показатель преломления, даже в тонких слоях можно обнаружить небольшое поглощение, особенно в корот коволновой области спектра. Эти незначительные потери в ряде случаев не оказывают существенного влияния на качество покрытия. Вместе с тем, у высокоотражающих систем, например, у интерфе ренционных эталонов, светофильтров и т. д., где необходимо иметь малое поглощение при больших значениях коэффициента отражения, даже небольшие поглощения вызывают существенные изменения.
Если характеризовать прозрачность эталона величиной П, то она связана с коэффициентом отражения R и потерями на поглощение А следующей зависимостью:
|
Прозрачность эталона очень быстро падает с увеличением потерь |
|||
на |
поглощение (табл. VII.5). Аналогичное явление наблюдается |
|||
у |
интерференционных |
светофильтров. |
|
|
|
Поглощение |
света |
пленками, как и другие их |
характеристики, |
в |
значительной |
степени определяется структурой |
пленок и их со |
ставом. Существенную роль играют условия нанесения, иначе говоря, технология получения пленок.
Обычный, наиболее простой способ оценки потерь на поглощение состоит в определении коэффициентов отражения и пропускания. Тогда потери на поглощение выражаются разностью: А = 1 — (R + + Т). Однако этим методом небольшие значения А не могут быть