Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Оптические свойства и методы исследования

.pdf
Скачиваний:
25
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
12.31 Mб
Скачать

Спектральные

характеристики отраженного поляризованного

света в интервале

длин волн 380—800 нм показаны на

рис. IV.5.

С увеличением угла падения интенсивность ^ s возрастает,

оставаясь

достаточно равномерной в указанном интервале длин волн. Интен­

сивность Rp падает с

возрастанием угла падения, приближаясь

к нулю при значениях ф х

= <pBi, после чего снова возрастает.

Степень поляризации А^ при углах падения близких к углу Брюстера приближается к 100%.

 

 

 

 

 

 

 

700 Л.нн

800

Рис.

IV.5. Поляризация света при отражении от поверхности

стекла

п3 =

1,52 с пленками оптической толщиной игАг = 150 нм и показате­

лями преломления П2 = 2,20

(——-)

и

яг = 2,35

(

) при

 

 

различных углах

падения

 

 

При

углах

падения

света

ф х

> Ф в

в определенных

условиях

(IV.20),

(IV.27)

пластина

стекла

с однослойной

пленкой

высокого

показателя преломления представляет собой эффективное поляри­ зующее устройство. При углах падения близких к 70° одна поверх­ ность стекла с однослойной пленкой я 2 = 2,0 ч-2,35 дает до 60—70% прямолинейно поляризованного света (30—35% общего светового потока) за счет s-составляющей при Rp -* 0. Спектральное отражение достаточно равномерно и в видимой области охватывает весь интер­ вал длин волн 4.00—700 нм. Для области К = 600 нм оптическая толщина пленки п2 2,20 составляет около 165 нм. Спектральная кривая близка к кривой для Rs при 70° (рис. IV.5).

В табл. IV.3 приведены сравнительные данные, характеризующие степень поляризации и коэффициент пропускания различного числа пластин стекла без пленок и с пленками двуокиси титана (тга ~ 2,20) оптической толщиной 150 нм, нанесенными на обе стороны пластин. Две пластины стекла с пленками эффективнее стопы из 12 пластин стекла без пленок, установленной под углом Брюстера.

При отражении света от поверхности стекла с высокоотражающей многослойной пленкой из чередующихся 3—11 слоев высокого и низкого показателя преломления, спектральное отражение s-и р- составляющих изменяется различно с возрастанием угла падения.

Так, интенсивность Rs непрерывно

и быстро

растет; при этом спек­

тральная

область

высокого

Т а б л и ц а

IV.3. Степень поляризации

отражения

сильно

расширя­

 

 

и светопропускание пластин стекла

ется. Интенсивность Rp па­

 

 

 

 

с пленками

высокого

показателя

дает,

максимум

отражения

 

 

 

преломления

я 2 = 2,20

становится

уже и

в некото­

 

 

 

 

 

 

 

рых областях,

определяемых

Ч и с л о

п л а с т и н

С т е п е н ь

П р о п у с к а н и е ,

п о л я р и з а ц и и ,

углами

Брюстера

и

соотно­

 

( п , =

1,52)

 

%

 

 

%

 

 

 

 

 

 

шением

оптических

толщин

 

 

 

 

 

 

 

слоев,

приближается

к нулю.

6

1

без пле-

 

53

 

65

При дальнейшем увеличении

12

j

нок

 

70

 

56

угла

падения

и

изменении

1

)

с плен-

'

82

 

55

скачка фазы

на границе раз­

 

2

j

ками

 

98

 

51

дела

пленки

с

воздухом на­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

блюдается возрастание ^ - с о ­ ставляющей. По мере увеличения числа слоев степень поляризации от­

раженного света приобретает все более избирательный характер [26].

На рис. IV.6, IV.7 и IV.8 показано спектральное изменение интенсивностей Rs и Rp для 3,5,11-слойных покрытий из чередующихся слоев оптической толщиной 150 нм каждый с показателями прелом­ ления 2,20 и 1,45. Значительное расхождение между спектральными характеристиками Rs и Rp проявляется уже при углах падения 25— 30°. Оно незначительно в пределах углов падения до 15°.

Сравнение кривых, приведенных на рис. IV.5—IV.8, показывает, что наиболее высокое и спектрально наиболее равномерное значение степени поляризации дает однослойная пленка. У трехслойного отражателя значение Д# при 70° падает до 85%. При увеличении числа слоев до 5 и 11 степень поляризации приобретает все более явно выраженную зависимость от длины волны.

Рассмотрение поляризации света, прошедшего через поверхность стекла с пленкой, показывает, что степень поляризации в проходя­ щем свете может быть достаточно высокой, причем колебания распо­ ложены в плоскости падения. Поскольку в отраженном свете интен­ сивность Rs высока, то интенсивность Ts в проходящем — незначи­ тельна. Обратная зависимость наблюдается при рассмотрении р-составляющей, у которой в средней части видимой области при угле

падения

ц>! = 70 интенсивность 7^^25 - ^26% .

Степень поляриза­

ции А г

> - 9 5 % , поскольку интенсивность Г 5

< 1 % .

Данные

рис. IV.

6IV.8 позволяют

оценить значение интенсив-

ностей Тр

и степени

поляризации Д г .

Так, в средней части видимой

области у трехслойного отражателя, при увеличении угла падения от

45 до 70°

значение Тр (дополнительная кривая к

приведенной на

рис. IV.6

Rp) возрастает с 60 до 90% (с 30 до 45%),

причем степень

поляризации Ат растет с 29 до 92%. У пятислойного покрытия в том

же

интервале углов

Тр

растет с 89 до 96%

(с 45 до 48%)

при изме­

нении степени

поляризации с

19 до 64%.

У

11-слойного

покрытия

 

 

 

7ZC

( 7

 

 

60°

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

60°

 

Ґ

\

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

80

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

\

 

 

 

t

\

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

60

\м

 

1

1

\ \1' I V

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

іі Г

\

/\

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

і

 

 

\

/ *

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

. 1

і

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

г

IV

 

1/\\ \\\

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

:

70"

 

 

 

 

 

 

 

 

 

20

 

 

і /

 

\

/

\

і

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

\.

 

А

 

 

 

 

 

 

 

 

 

V

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

W0

V

500

 

600

 

 

700

Х.нм

 

800

 

 

 

 

 

J

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. IV.8. Поляризация света, отраженного от поверхно­

 

 

 

сти

11-слойного

светоделителя

при

различных

углах

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

падения:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Rs:

 

-

V

 

 

- Л Я

 

 

 

 

 

при углах падения 60 и 70° интенсивности

Тр

составляют

14 и

30%

при степени

поляризации

Д г

порядка

94

и 97%,

при

условии,

что

значение Ts

не выходит за пределы

1 %.

 

 

 

 

 

толщины

 

Такая система при соответствующем подборе оптической

слоев может быть использована в качестве поляризатора. На рис. IV.9

приведены спектральные характеристики Rs

и /?р для пластины стекла

(nD

1,52)

с 11-слойной пленкой из слоев с показателями

преломле­

ния 2,20 и 1,45

при угле падения света

из воздуха (pt

=

70°. Оптиче­

ская толщина слоев составляет четверть длины волны в направлении распространения луча в пленках. Соответственно этому, если учесть угол преломления света в пленках, значения оптической толщины

слоев составят: {пп)2,2о

153 нм;

{пЬ)1ЛЪ

= 181

нм, вместо 138 нм

при падении света по нормали. Значения Rs

и Rp

даны на рис. IV.9

для cpj = 70±5°. Характеристики

Ts и Тр

изменяются сравнительно

мало с изменением угла

падения и

приведены только для ф х = 70°.

ЮЗ

too

 

 

WO

 

500

600

 

700

Х.нм BOO

Рис.

IV.9.

 

Характеристики поляризующей

пластины стекла с 11-

 

 

 

 

слойной

пленкой при

угле падения 70 ±

5°:

 

 

 

- « s

:

-Ир-

 

 

ТР-

Л.Т.

 

 

 

 

 

 

801

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

/

 

 

 

^

60°

 

 

 

 

 

 

 

 

<

 

60

 

/

 

 

 

 

 

 

 

 

/

 

 

 

 

 

 

 

 

/

 

/ 60°

 

— —

 

 

 

 

 

«° о

 

 

 

 

40

/

 

 

и

 

 

 

 

 

ч

 

 

 

 

 

 

 

1

 

1

1

I

/

 

 

 

 

 

 

 

> 1

 

 

 

• • „ •

 

 

 

ч

 

 

 

 

 

 

 

20

 

 

t

 

 

 

 

 

 

1 I

I

 

1

— ^

 

 

 

 

 

300

 

 

 

 

500

600

 

700

800 Х,нм

Рис. IV. 10. Поляризация света отраженного от поверхности четырехслойного ахроматического светоделителя:

- Rs: • -• - R

Рассмотрение этих данных показывает, что в области 500—65 степень поляризации отраженного света А д составляет всего 17— 20%, повышаясь на краях области до 30—60%. В проходящем свете степень поляризации А г я « 9 5 % , при интенсивности Тр — 28% в области 550 нм. Однако она бистро растет, достигая 50% при 500 и 650 нм и приближаясь к 100% на краях видимой области..

Поляризация света, отраженного от полупрозрачного ахромати­ ческого зеркала, показана на рис. IV. 10. С увеличением угла падения наблюдается смещение кривых в направлении коротковолновой части спектра, возрастание интенсивности Rs, уменьшение интенсивности Rp, с сохранением достаточной равномерности в видимой области. Степень поляризации равномерна в пределах видимой области и при

ф х = 60° составляет около

74%.

преломления

или

При нанесении - пленки

высокого показателя

многослойного покрытия,

повышающего отражение исходной

по­

верхности, степень поляризации и интенсивность

поляризованного

света могут принимать высокие значения, приближающиеся к 100%. Спектральное изменение, определяемое интерференцией света в пленке, часто носит избирательный характер. Приведенный мате­ риал показывает необходимость учитывать эти особенности при их использовании в оптических системах.

18. ОТРАЖЕНИЕ НЕПОЛЯРИЗОВАННОГО СВЕТА ОТ ПОВЕРХНОСТИ. С ПЛЕНКОЙ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ УГЛАХ ПАДЕНИЯ

Рассмотрим изменение спектрального состава неполяр изованного света для поверхности стекла с различными одно- и многослой­ ными покрытиями в зависимости от угла падения света на границе

раздела

с воздухом. Характеристикой неполяризованного света,

 

 

n i p

 

отраженного

под углом, служит величина R = р

. Этой ве­

личиной

обычно пользуются, чтобы характеризовать

эффективность

просветления

при различных углах падения, а также

интенсивность

отражения света многослойными системами, используемыми в светоделительных узлах и других устройствах.

Как уже было показано в п. 14, при возрастании угла падения света фі эффективная толщина пленки уменьшается и смещение кри­ вой будет тем больше, чем ниже показатель преломления пленки (рис. IV.2).

Кривые рис. IV.2 дают возможность судить о смещении экстре­ мума при возрастании угла падения. В качестве примера в табл. IV.4 приведены: значения эффективной толщины пленки оптической тол­

щиною в 130 нм с показателем преломления п2 1,45

на подложках

стекла разных марок, значения и положение минимума

коэффициента

отражения. При более низких значениях

показателя

преломления

эти изменения будут значительнее. Так, например, у пленки

с пока­

зателем преломления п% = 1,35 при углах

падения света Ф і

= 45°

и 60° эффективная толщина снижается до 111 и 100 нм.

Положение

минимума

соответственно сместится из области Xmin

= 520 нм

в область

X m i n = 440 и 400 нм.

 

p i p

Спектральное отражение неполяризованного света —^—— при углах падения 0—70° показано на рис. IV. 11 для поверхности двух стекол с пленкой я 2 = 1,45 оптической толщиной n2h2 = 130 нм. Чтобы оценить эффективность просветления, на рисунке показано

>

Ш

 

 

Wff

Щ

700

Я,да

000

Рис. IV. 11.

Эффективность просветления стекол с п 3 =

1,52

и п 3

=

= 1,72 без

пленок (

и

) и с однослойными

пленка­

ми пг 1,45

(

и

-) при различных углах падения

также отражение

неполяр изованного света

для поверхности стекол

без пленки при тех же углах падения. Для угла падения равного 70° отражение не приведено. Для стекла па — 1,52 оно составляет около 17,4%, для стекла п3 = 1,72 — около 19,7%. При любых углах паде­ ния нанесение пленки с более низким показателем преломления, чем у подложки, приводит к уменьшению интенсивности отраженного света. Несмотря на то, что с возрастанием угла падения минимальное значение коэффициента отражения повышается, оно в основном остается все же более низким, чем у стекла без просветляющего

покрытия

при падении

света по нормали. Так, при углах

падения

в пределах

45° у стекол

с показателем преломления 1,52,

и в пре­

делах 60° у стекол с показателем преломления 1,72 отражение света при косом падении остается более низким, чем у стекол без пленки при отражении света по нормали.

На рис. IV. 12 показано спектральное отражение света от стекла п4 = 1,52 с двухслойной пленкой из слоев с показателями преломле­ ния «з = 2,0 и п2 = 1,45, толщина которых рассчитана на падение света по нормали. С увеличением угла падения кривая закономерно смещается в направлении коротковолновой части спектра. При этом минимум отражения повышается и спектральный участок с низким значением коэффициента отражения становится уже. Аналогичное двухслойное покрытие на поверхности стекла с более высоким пока­ зателем преломления более эффективно и при увеличении угла паде­

ния света просветляющее действие сохраняется

 

дольше.

25г

 

 

 

 

 

 

 

 

 

20

 

 

 

 

 

 

 

 

 

15 \

 

 

 

Г

 

'7U

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

*

 

 

 

 

60°

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10

 

 

— г

 

л

- -

 

— '

 

 

 

. —

 

45°

\ -

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

/

<гҐ\

. - — —•—

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

Ш

500

 

600

 

 

700

000

 

 

 

 

 

 

 

 

 

к.ям

Рис. IV. 12. Эффективность

просветления

стекла

пй=

 

1,52

с помощью

двухслойной

пленки при различных

углах

падения

света:

д о просветления;

— после н а н е с е н и я

д в у х с л о й н о й

пленки; — • — • —

— после

н а н е с е н и я д в у х с л о й н о й

п л е н к и , рассчитанной

 

д л я у г л о в

п а д е н и я

45 и 60°

 

 

 

 

Значительными преимуществами обладают ахроматические по­ крытия, снижающие отражение в широкой области спектра, в част­ ности, трехслойные. На рис. IV. 13 приведены кривые спектрального отражения неполяризованного света от поверхности стекла пъ = = 1,52 с пленкой, состоящей из трех слоев со следующими характе­ ристиками:

л 4 = 1 , 6 5 - г - 1 , 7 0 , п^ = ~ ;

п3

= 2,0,

n3h3 == - у ;

п2

= 1,45,

n2h2 = -%-

0 — длина волны средней части видимой области спектра), рассчи­ танными на падение света по нормали к поверхности.

По мере возрастания угла падения до 45° спектральная кривая несколько смещается в коротковолновую сторону, сохраняя доста­ точно равномерное отражение во всей видимой области. При угле падения 60° поверхность стекла с трехслойной пленкой, рассчитан­ ной на падение света по нормали, отражает почти так же, как исход­ ное стекло без пленки при падении света по нормали (~4%), если не считать некоторого повышения отражения в красной части спек­ тра. Исходное стекло без пленки при угле 60° отражает уже около 9% падающего света.

 

\

 

 

 

 

 

 

 

 

 

\

і

 

 

 

 

 

 

 

 

/

 

 

 

 

 

 

 

У

/

1

 

 

 

 

 

 

УУ

 

 

\

 

 

 

 

 

 

 

 

Л \

 

 

 

 

 

У

 

 

 

 

 

7і

, / .

^у"

 

 

 

 

\

 

 

 

t

 

 

 

 

 

. - V r.s-V=

3

 

 

 

 

 

 

 

 

\

\

 

 

 

 

 

 

 

 

\.

\ \

 

 

 

 

 

 

 

 

ч

¥Ю

 

500

 

600

 

700

Л,н«

 

800

 

 

 

 

 

Рис. IV. 13.

Эффективность просветления стекла я , = 1,52

с помощью

трехслойной

пленки

при

различных

углах

 

 

 

падения:

 

 

 

 

 

 

— д о

п р о с в е т л е н и я ;

— — —

— после

нанесения

т р е х с л о й н о й

пленки;

— • — • —

— п о с л е н а н е с е н и я

т р е х с л о й ­

 

ной п л е н к и ,

р а с с ч и т а н н о й

д л я

у г л а

п а д е н и я

60°

 

 

Если оптическая система работает так, что свет падает на про­ светленные поверхности под кекоторым углом, то можно заранее учесть возможное изменение эффективной толщины пленок. Чтобы сохранить положение минимума в нужной области спектра, надо соответственно увеличить оптическую толщину покрытия, скомпен­ сировав этим возникающее смещение [10, 26].

Если при падении света по нормали оптическая толщина пленки

n2h%

=

то, чтобы сохранить это значение

для той

же

длины

волны Я0 при отражении света под углом ф 1 ( надо заведомо

увеличить

оптическую толщину пленки в отношении

или 4 C t p

• Значе­

ние угла преломления света ф 2

берется из табл. IV. 1 для пленки соот­

ветствующего показателя преломления. Так, например,

у

пленки

с показателями преломления

1,45, оптической

толщиной

п 2 п 2 =

=

150 нм,

при падении света по нормали минимум отражения соот­

ветствует области 600 нм, Чтобы сохранить минимум в области

108

600

нм, необходимо взять пленку

оптической толщиной

 

170 нм. При этом надо учитывать,

 

 

и,о/о

=

что эффективность

просветле­

ния

при падении света под углом

к

поверхности

всегда ниже, чем

при падении света

по нормали-.

 

 

 

 

 

При значениях

угла падения,

превышающих

угол

Брюстера,

необходимо учитывать скачок фазы на первой границе раздела пленки с воздухом.

Ниже приведены примеры расчета эффективной толщины пленок для разных углов падения. Если оптические толщины слоев двухслой­

ной пленки для света, отраженного

по нормали, составляют n3h3 ~

=

57 нм и n2h2 = 160 нм, а положение Rmia

отвечает длине волны

%0

= 520 нм, то для получения Rmn

в той же области при падении

света под углом ц>1 45° оптические толщины слоев должны состав­ лять: 3 3 )45° = 61 нм; (п 2 2 ) 4 = 184 нм.

Чтобы спектральное отражение при угле падения срх =

60° имело

минимум тоже в области Я0 =

520 нм, оптические толщины слоев

надо соответственно увеличить

до {n3h3)<&° = 62 нм и

22)бо° =

= 200

нм (рис. IV. 12).

 

 

 

Как видно из рис. IV. 12, только при отражении света по нормали

можно

получить

значение

Rmin

= 0. Для других углов падения

света

значение Rmin

обычно

возрастает.

 

Аналогично рассчитываются оптические толщины слоев трех­ слойной пленки, обеспечивающих низкое отражение от просветлен­ ной поверхности при различных углах падения. Спектральное отражение, рассчитанное на угол падения срх = 60°, обеспечивает оптимальное просветление только для данного угла падения. Для лучей, отраженных по нормали, покрытие, рассчитанное на падение света под углом ф х = 60°, повышает отражение в коротковолновой части = 400 нм) до 10%>вместо 1%, характерного для обычного трехслойного просветления,- и искажает спектральный состав про­ ходящего света.

. При выборе просветляющего покрытия необходимо учитывать условия работы прибора. Для пучка расходящихся лучей, когда осе­ вые и близкие к нему лучи падают на поверхность под малыми углами и только крайние лучи образуют с нормалью углы близкие к 60°, целесообразно использовать обычную трехслойную пленку, которая, вероятно, окажется более эффективной, чем рассчитанная на угол падения ф х = 60°. Если же на просветленную поверхность падает параллельный пучок под" углом 60°, то просветление, рассчитанное для ^того угла падения (рис. IV. 13), может оказаться более целесо­ образным.

Пленка оптической толщиной n2h2 = 150 нм (п2 = 2,20) дает максимум отражения в области 600 нм при падении света по нормали. При падении света под углом 45° максимум сместится в область порядка 560 нм (150-0,947 = 140 нм). Чтобы сохранить его поло­ жение при падении света под углом 45°, надо увеличить оптическую

толщину пленки до

150

, ~ Л

0

- = 160 нм,

0

, 9 4 7

109

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ