![](/user_photo/_userpic.png)
книги из ГПНТБ / Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Оптические свойства и методы исследования
.pdfСпектральные |
характеристики отраженного поляризованного |
|
света в интервале |
длин волн 380—800 нм показаны на |
рис. IV.5. |
С увеличением угла падения интенсивность ^ s возрастает, |
оставаясь |
достаточно равномерной в указанном интервале длин волн. Интен
сивность Rp падает с |
возрастанием угла падения, приближаясь |
к нулю при значениях ф х |
= <pBi, после чего снова возрастает. |
Степень поляризации А^ при углах падения близких к углу Брюстера приближается к 100%.
|
|
|
|
|
|
|
700 Л.нн |
800 |
|
Рис. |
IV.5. Поляризация света при отражении от поверхности |
стекла |
|||||||
п3 = |
1,52 с пленками оптической толщиной игАг = 150 нм и показате |
||||||||
лями преломления П2 = 2,20 |
(——-) |
и |
яг = 2,35 |
( |
) при |
||||
|
|
различных углах |
падения |
|
|
||||
При |
углах |
падения |
света |
ф х |
> Ф в |
в определенных |
условиях |
||
(IV.20), |
(IV.27) |
пластина |
стекла |
с однослойной |
пленкой |
высокого |
показателя преломления представляет собой эффективное поляри зующее устройство. При углах падения близких к 70° одна поверх ность стекла с однослойной пленкой я 2 = 2,0 ч-2,35 дает до 60—70% прямолинейно поляризованного света (30—35% общего светового потока) за счет s-составляющей при Rp -* 0. Спектральное отражение достаточно равномерно и в видимой области охватывает весь интер вал длин волн 4.00—700 нм. Для области К = 600 нм оптическая толщина пленки п2 — 2,20 составляет около 165 нм. Спектральная кривая близка к кривой для Rs при 70° (рис. IV.5).
В табл. IV.3 приведены сравнительные данные, характеризующие степень поляризации и коэффициент пропускания различного числа пластин стекла без пленок и с пленками двуокиси титана (тга ~ 2,20) оптической толщиной 150 нм, нанесенными на обе стороны пластин. Две пластины стекла с пленками эффективнее стопы из 12 пластин стекла без пленок, установленной под углом Брюстера.
При отражении света от поверхности стекла с высокоотражающей многослойной пленкой из чередующихся 3—11 слоев высокого и низкого показателя преломления, спектральное отражение s-и р- составляющих изменяется различно с возрастанием угла падения.
Так, интенсивность Rs непрерывно |
и быстро |
растет; при этом спек |
|||||||||||||
тральная |
область |
высокого |
Т а б л и ц а |
IV.3. Степень поляризации |
|||||||||||
отражения |
сильно |
расширя |
|||||||||||||
|
|
и светопропускание пластин стекла |
|||||||||||||
ется. Интенсивность Rp па |
|
|
|||||||||||||
|
|
с пленками |
высокого |
показателя |
|||||||||||
дает, |
максимум |
отражения |
|
|
|
преломления |
я 2 = 2,20 |
||||||||
становится |
уже и |
в некото |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
рых областях, |
определяемых |
Ч и с л о |
п л а с т и н |
С т е п е н ь |
П р о п у с к а н и е , |
||||||||||
п о л я р и з а ц и и , |
|||||||||||||||
углами |
Брюстера |
и |
соотно |
|
( п , = |
1,52) |
|
% |
|||||||
|
|
% |
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|||||||||||
шением |
оптических |
толщин |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
слоев, |
приближается |
к нулю. |
6 |
1 |
без пле- |
|
53 |
|
65 |
||||||
При дальнейшем увеличении |
12 |
j |
нок |
|
70 |
|
56 |
||||||||
угла |
падения |
и |
изменении |
1 |
) |
с плен- |
' |
82 |
|
55 |
|||||
скачка фазы |
на границе раз |
|
|||||||||||||
2 |
j |
ками |
|
98 |
|
51 |
|||||||||
дела |
пленки |
с |
воздухом на |
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
блюдается возрастание ^ - с о ставляющей. По мере увеличения числа слоев степень поляризации от
раженного света приобретает все более избирательный характер [26].
На рис. IV.6, IV.7 и IV.8 показано спектральное изменение интенсивностей Rs и Rp для 3,5,11-слойных покрытий из чередующихся слоев оптической толщиной 150 нм каждый с показателями прелом ления 2,20 и 1,45. Значительное расхождение между спектральными характеристиками Rs и Rp проявляется уже при углах падения 25— 30°. Оно незначительно в пределах углов падения до 15°.
Сравнение кривых, приведенных на рис. IV.5—IV.8, показывает, что наиболее высокое и спектрально наиболее равномерное значение степени поляризации дает однослойная пленка. У трехслойного отражателя значение Д# при 70° падает до 85%. При увеличении числа слоев до 5 и 11 степень поляризации приобретает все более явно выраженную зависимость от длины волны.
Рассмотрение поляризации света, прошедшего через поверхность стекла с пленкой, показывает, что степень поляризации в проходя щем свете может быть достаточно высокой, причем колебания распо ложены в плоскости падения. Поскольку в отраженном свете интен сивность Rs высока, то интенсивность Ts в проходящем — незначи тельна. Обратная зависимость наблюдается при рассмотрении р-составляющей, у которой в средней части видимой области при угле
падения |
ц>! = 70 интенсивность 7^^25 - ^26% . |
Степень поляриза |
ции А г |
> - 9 5 % , поскольку интенсивность Г 5 |
< 1 % . |
Данные |
рис. IV. |
6—IV.8 позволяют |
оценить значение интенсив- |
ностей Тр |
и степени |
поляризации Д г . |
Так, в средней части видимой |
области у трехслойного отражателя, при увеличении угла падения от
45 до 70° |
значение Тр (дополнительная кривая к |
приведенной на |
рис. IV.6 |
Rp) возрастает с 60 до 90% (с 30 до 45%), |
причем степень |
поляризации Ат растет с 29 до 92%. У пятислойного покрытия в том
же |
интервале углов |
Тр |
растет с 89 до 96% |
(с 45 до 48%) |
при изме |
||||||||||||
нении степени |
поляризации с |
19 до 64%. |
У |
11-слойного |
покрытия |
||||||||||||
|
|
|
7ZC |
( 7 |
|
|
60° |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
60° |
|
Ґ |
\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
80 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
\ |
|
|
|
t |
\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
60 |
\м |
|
1 |
1 |
\ \1' I V |
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
іі Г |
\ |
/\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
і |
|
|
\ |
/ * |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
. 1 |
і |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
г |
IV |
|
1/\\ \\\ |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
: |
70" |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
20 |
|
|
і / |
|
\ |
/ |
\ |
і |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
\. |
|
А |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
0 |
W0 |
V |
500 |
|
600 |
|
|
700 |
Х.нм |
|
800 |
|
|
||
|
|
|
J |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
Рис. IV.8. Поляризация света, отраженного от поверхно |
|
|
||||||||||||||
|
сти |
11-слойного |
светоделителя |
при |
различных |
углах |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
падения: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Rs: |
|
- |
V |
|
|
- Л Я |
|
|
|
|
|
|
при углах падения 60 и 70° интенсивности |
Тр |
составляют |
14 и |
30% |
|||||||||||||
при степени |
поляризации |
Д г |
порядка |
94 |
и 97%, |
при |
условии, |
что |
|||||||||
значение Ts |
не выходит за пределы |
1 %. |
|
|
|
|
|
толщины |
|||||||||
|
Такая система при соответствующем подборе оптической |
||||||||||||||||
слоев может быть использована в качестве поляризатора. На рис. IV.9 |
|||||||||||||||||
приведены спектральные характеристики Rs |
и /?р для пластины стекла |
||||||||||||||||
(nD |
1,52) |
с 11-слойной пленкой из слоев с показателями |
преломле |
||||||||||||||
ния 2,20 и 1,45 |
при угле падения света |
из воздуха (pt |
= |
70°. Оптиче |
ская толщина слоев составляет четверть длины волны в направлении распространения луча в пленках. Соответственно этому, если учесть угол преломления света в пленках, значения оптической толщины
слоев составят: {пп)2,2о |
— 153 нм; |
{пЬ)1ЛЪ |
= 181 |
нм, вместо 138 нм |
при падении света по нормали. Значения Rs |
и Rp |
даны на рис. IV.9 |
||
для cpj = 70±5°. Характеристики |
Ts и Тр |
изменяются сравнительно |
||
мало с изменением угла |
падения и |
приведены только для ф х = 70°. |
ЮЗ
too
|
|
WO |
|
500 |
600 |
|
700 |
Х.нм BOO |
||
Рис. |
IV.9. |
|
Характеристики поляризующей |
пластины стекла с 11- |
||||||
|
|
|
|
слойной |
пленкой при |
угле падения 70 ± |
5°: |
|||
|
|
|
- « s |
: |
-Ир- |
|
|
ТР- |
Л.Т. |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
801 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
/ |
|
|
— |
|
^ |
60° |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
< |
|
|
60 |
|
/ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
/ |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
/ |
|
/ 60° |
|
— — |
|
|
|
||
|
|
«° о |
|
|
|
|
||||
40 |
/ |
|
|
и |
|
|
|
|
|
ч |
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|||
|
1 |
1 |
I |
/ |
|
|
|
|
|
|
|
> 1 |
|
|
|
• |
• • „ • |
|
|
||
|
ч |
|
|
|
|
|
|
|
||
20 |
|
|
t |
|
|
|
|
|
||
|
1 I |
I |
|
1 |
— ^ |
|
|
|
|
|
300 |
|
|
|
|
500 |
600 |
|
700 |
800 Х,нм |
Рис. IV. 10. Поляризация света отраженного от поверхности четырехслойного ахроматического светоделителя:
- Rs: • -• - R
Рассмотрение этих данных показывает, что в области 500—65 степень поляризации отраженного света А д составляет всего 17— 20%, повышаясь на краях области до 30—60%. В проходящем свете степень поляризации А г я « 9 5 % , при интенсивности Тр — 28% в области 550 нм. Однако она бистро растет, достигая 50% при 500 и 650 нм и приближаясь к 100% на краях видимой области..
Поляризация света, отраженного от полупрозрачного ахромати ческого зеркала, показана на рис. IV. 10. С увеличением угла падения наблюдается смещение кривых в направлении коротковолновой части спектра, возрастание интенсивности Rs, уменьшение интенсивности Rp, с сохранением достаточной равномерности в видимой области. Степень поляризации равномерна в пределах видимой области и при
ф х = 60° составляет около |
74%. |
преломления |
или |
При нанесении - пленки |
высокого показателя |
||
многослойного покрытия, |
повышающего отражение исходной |
по |
|
верхности, степень поляризации и интенсивность |
поляризованного |
света могут принимать высокие значения, приближающиеся к 100%. Спектральное изменение, определяемое интерференцией света в пленке, часто носит избирательный характер. Приведенный мате риал показывает необходимость учитывать эти особенности при их использовании в оптических системах.
18. ОТРАЖЕНИЕ НЕПОЛЯРИЗОВАННОГО СВЕТА ОТ ПОВЕРХНОСТИ. С ПЛЕНКОЙ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ УГЛАХ ПАДЕНИЯ
Рассмотрим изменение спектрального состава неполяр изованного света для поверхности стекла с различными одно- и многослой ными покрытиями в зависимости от угла падения света на границе
раздела |
с воздухом. Характеристикой неполяризованного света, |
||
|
|
n i p |
|
отраженного |
под углом, служит величина R = — р |
. Этой ве |
|
личиной |
обычно пользуются, чтобы характеризовать |
эффективность |
|
просветления |
при различных углах падения, а также |
интенсивность |
отражения света многослойными системами, используемыми в светоделительных узлах и других устройствах.
Как уже было показано в п. 14, при возрастании угла падения света фі эффективная толщина пленки уменьшается и смещение кри вой будет тем больше, чем ниже показатель преломления пленки (рис. IV.2).
Кривые рис. IV.2 дают возможность судить о смещении экстре мума при возрастании угла падения. В качестве примера в табл. IV.4 приведены: значения эффективной толщины пленки оптической тол
щиною в 130 нм с показателем преломления п2 — 1,45 |
на подложках |
||
стекла разных марок, значения и положение минимума |
коэффициента |
||
отражения. При более низких значениях |
показателя |
преломления |
|
эти изменения будут значительнее. Так, например, у пленки |
с пока |
||
зателем преломления п% = 1,35 при углах |
падения света Ф і |
= 45° |
и 60° эффективная толщина снижается до 111 и 100 нм. |
Положение |
|
минимума |
соответственно сместится из области Xmin |
= 520 нм |
в область |
X m i n = 440 и 400 нм. |
|
p i p
Спектральное отражение неполяризованного света —^—— при углах падения 0—70° показано на рис. IV. 11 для поверхности двух стекол с пленкой я 2 = 1,45 оптической толщиной n2h2 = 130 нм. Чтобы оценить эффективность просветления, на рисунке показано
>
Ш |
|
|
Wff |
Щ |
700 |
Я,да |
000 |
|
Рис. IV. 11. |
Эффективность просветления стекол с п 3 = |
1,52 |
и п 3 |
= |
||||
= 1,72 без |
пленок ( |
и |
) и с однослойными |
пленка |
||||
ми пг — 1,45 |
( |
и |
-) при различных углах падения |
|||||
также отражение |
неполяр изованного света |
для поверхности стекол |
без пленки при тех же углах падения. Для угла падения равного 70° отражение не приведено. Для стекла па — 1,52 оно составляет около 17,4%, для стекла п3 = 1,72 — около 19,7%. При любых углах паде ния нанесение пленки с более низким показателем преломления, чем у подложки, приводит к уменьшению интенсивности отраженного света. Несмотря на то, что с возрастанием угла падения минимальное значение коэффициента отражения повышается, оно в основном остается все же более низким, чем у стекла без просветляющего
покрытия |
при падении |
света по нормали. Так, при углах |
падения |
в пределах |
45° у стекол |
с показателем преломления 1,52, |
и в пре |
делах 60° у стекол с показателем преломления 1,72 отражение света при косом падении остается более низким, чем у стекол без пленки при отражении света по нормали.
На рис. IV. 12 показано спектральное отражение света от стекла п4 = 1,52 с двухслойной пленкой из слоев с показателями преломле ния «з = 2,0 и п2 = 1,45, толщина которых рассчитана на падение света по нормали. С увеличением угла падения кривая закономерно смещается в направлении коротковолновой части спектра. При этом минимум отражения повышается и спектральный участок с низким значением коэффициента отражения становится уже. Аналогичное двухслойное покрытие на поверхности стекла с более высоким пока зателем преломления более эффективно и при увеличении угла паде
ния света просветляющее действие сохраняется |
|
дольше. |
|||||||
25г |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
15 \ |
|
|
|
Г |
|
'7U |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
* |
|
|
|
|
60° |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
— г |
|
л |
- - |
|
— ' |
|
|
|
|
. — |
|
45° |
\ - |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
/ |
<гҐ\ |
. - — —•— |
|
|||
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
Ш |
500 |
|
600 |
|
|
700 |
000 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
к.ям |
Рис. IV. 12. Эффективность |
просветления |
стекла |
пй= |
|
1,52 |
с помощью |
|||
двухслойной |
пленки при различных |
углах |
падения |
света: |
|||||
д о просветления; |
— |
— |
— после н а н е с е н и я |
д в у х с л о й н о й |
|||||
пленки; — • — • — |
— после |
н а н е с е н и я д в у х с л о й н о й |
п л е н к и , рассчитанной |
||||||
|
д л я у г л о в |
п а д е н и я |
45 и 60° |
|
|
|
|
Значительными преимуществами обладают ахроматические по крытия, снижающие отражение в широкой области спектра, в част ности, трехслойные. На рис. IV. 13 приведены кривые спектрального отражения неполяризованного света от поверхности стекла пъ = = 1,52 с пленкой, состоящей из трех слоев со следующими характе ристиками:
л 4 = 1 , 6 5 - г - 1 , 7 0 , п^ = ~ ;
п3 |
= 2,0, |
n3h3 == - у ; |
п2 |
= 1,45, |
n2h2 = -%- |
(Х0 — длина волны средней части видимой области спектра), рассчи танными на падение света по нормали к поверхности.
По мере возрастания угла падения до 45° спектральная кривая несколько смещается в коротковолновую сторону, сохраняя доста точно равномерное отражение во всей видимой области. При угле падения 60° поверхность стекла с трехслойной пленкой, рассчитан ной на падение света по нормали, отражает почти так же, как исход ное стекло без пленки при падении света по нормали (~4%), если не считать некоторого повышения отражения в красной части спек тра. Исходное стекло без пленки при угле 60° отражает уже около 9% падающего света.
|
\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
\ |
і |
|
|
|
|
|
|
|
|
/ |
|
|
|
|
|
|
|
У |
/ |
||
1 |
|
|
|
|
|
|
УУ |
|
||
|
\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Л \ |
|
|
|
|
|
У |
|
|
||
|
|
|
7і |
, / . |
^•у" |
|
|
|
||
|
\ |
|
|
|
t — |
|
|
|
|
|
. - V r.s-V= |
3 |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
\ |
\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
\. |
\ \ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ч |
¥Ю |
|
500 |
|
600 |
|
700 |
Л,н« |
|
800 |
|
|
|
|
|
||||||
Рис. IV. 13. |
Эффективность просветления стекла я , = 1,52 |
|||||||||
с помощью |
трехслойной |
пленки |
при |
различных |
углах |
|||||
|
|
|
падения: |
|
|
|
|
|
||
|
— д о |
п р о с в е т л е н и я ; |
— |
— — — |
— после |
нанесения |
||||
т р е х с л о й н о й |
пленки; |
— • — • — |
— п о с л е н а н е с е н и я |
т р е х с л о й |
||||||
|
ной п л е н к и , |
р а с с ч и т а н н о й |
д л я |
у г л а |
п а д е н и я |
60° |
|
|
Если оптическая система работает так, что свет падает на про светленные поверхности под кекоторым углом, то можно заранее учесть возможное изменение эффективной толщины пленок. Чтобы сохранить положение минимума в нужной области спектра, надо соответственно увеличить оптическую толщину покрытия, скомпен сировав этим возникающее смещение [10, 26].
Если при падении света по нормали оптическая толщина пленки
n2h% |
= |
то, чтобы сохранить это значение |
для той |
же |
длины |
|
волны Я0 при отражении света под углом ф 1 ( надо заведомо |
увеличить |
|||||
оптическую толщину пленки в отношении |
или 4 C Q° t p |
• Значе |
||||
ние угла преломления света ф 2 |
берется из табл. IV. 1 для пленки соот |
|||||
ветствующего показателя преломления. Так, например, |
у |
пленки |
||||
с показателями преломления |
1,45, оптической |
толщиной |
п 2 п 2 = |
|||
= |
150 нм, |
при падении света по нормали минимум отражения соот |
ветствует области 600 нм, Чтобы сохранить минимум в области
108
600 |
нм, необходимо взять пленку |
оптической толщиной |
— |
|||
|
170 нм. При этом надо учитывать, |
|
|
и,о/о |
||
= |
что эффективность |
просветле |
||||
ния |
при падении света под углом |
к |
поверхности |
всегда ниже, чем |
||
при падении света |
по нормали-. |
|
|
|
|
|
|
При значениях |
угла падения, |
превышающих |
угол |
Брюстера, |
необходимо учитывать скачок фазы на первой границе раздела пленки с воздухом.
Ниже приведены примеры расчета эффективной толщины пленок для разных углов падения. Если оптические толщины слоев двухслой
ной пленки для света, отраженного |
по нормали, составляют n3h3 ~ |
||
= |
57 нм и n2h2 = 160 нм, а положение Rmia |
отвечает длине волны |
|
%0 |
= 520 нм, то для получения Rmn |
в той же области при падении |
света под углом ц>1 — 45° оптические толщины слоев должны состав лять: (я 3 /і 3 )45° = 61 нм; (п 2 /г 2 ) 4 5° = 184 нм.
Чтобы спектральное отражение при угле падения срх = |
60° имело |
||||
минимум тоже в области Я0 = |
520 нм, оптические толщины слоев |
||||
надо соответственно увеличить |
до {n3h3)<&° = 62 нм и |
(я2/і2)бо° = |
|||
= 200 |
нм (рис. IV. 12). |
|
|
|
|
Как видно из рис. IV. 12, только при отражении света по нормали |
|||||
можно |
получить |
значение |
Rmin |
= 0. Для других углов падения |
|
света |
значение Rmin |
обычно |
возрастает. |
|
Аналогично рассчитываются оптические толщины слоев трех слойной пленки, обеспечивающих низкое отражение от просветлен ной поверхности при различных углах падения. Спектральное отражение, рассчитанное на угол падения срх = 60°, обеспечивает оптимальное просветление только для данного угла падения. Для лучей, отраженных по нормали, покрытие, рассчитанное на падение света под углом ф х = 60°, повышает отражение в коротковолновой части (к = 400 нм) до 10%>вместо 1%, характерного для обычного трехслойного просветления,- и искажает спектральный состав про ходящего света.
. При выборе просветляющего покрытия необходимо учитывать условия работы прибора. Для пучка расходящихся лучей, когда осе вые и близкие к нему лучи падают на поверхность под малыми углами и только крайние лучи образуют с нормалью углы близкие к 60°, целесообразно использовать обычную трехслойную пленку, которая, вероятно, окажется более эффективной, чем рассчитанная на угол падения ф х = 60°. Если же на просветленную поверхность падает параллельный пучок под" углом 60°, то просветление, рассчитанное для ^того угла падения (рис. IV. 13), может оказаться более целесо образным.
Пленка оптической толщиной n2h2 = 150 нм (п2 = 2,20) дает максимум отражения в области 600 нм при падении света по нормали. При падении света под углом 45° максимум сместится в область порядка 560 нм (150-0,947 = 140 нм). Чтобы сохранить его поло жение при падении света под углом 45°, надо увеличить оптическую
толщину пленки до |
150 |
, ~ Л |
0 |
- = 160 нм, |
|
0 |
, 9 4 7 |
109 |