книги из ГПНТБ / Дорфман В.Ф. Газофазная микрометаллургия полупроводников [Текст] 1974. - 190 с

292.

П р е с с Ф. П.

Фотолитография в производстве полупроводни­

293.

ковых приборов. М., «Энергия», 1968. 199 с. с ил.

Г э ф ф н

Д. — В

кп.: Тонкопленочная микроэлектроника. Пер.

294.

■с анг. М.,

«Мир»,

1968, с.

330.

полупроводников.

Пер.

с

П а н к о в

Дж. — В «н.:

Травление

295.

англ. М., «Мир», 1965, с. 62.

«Electronics»,

1970, ѵ. 43, № 13, ,р. 86.

1971, v. ED—48,

№

1,

■ 296.

C o b a i y a s h i

J. — «IEEE Trans.»,

299. Д а м м ер Г.,

Г р э н в и л л Дж.

Миниатюризация и

микро­

миниатюризация

радиоэлектронной

аппаратуры. Пер.

с англ.

Предисловие......................................................................

3

Введение .............................................................................................................................

5

Г л а в а I. Ф,изи'Ко-химнческие принципы газофазной

микро-

металлургии полупроводников ............................................

15

Процессы и методы Г М П ...................................................

15

Физико-химические условия в процессах ГМП

. .

31

Основные кинетические ф актор ы ......................................

фи­

53

Кристаллизация

из газовой фазы как метод

71

Г л а в а

зико-химического

исследования.......................................

и

структура

II. Механизм

роста из газовой

фазы

79

эпитаксиальных с л о е в ...............................................................

Основные особенности кристаллизации в системах

79

газ—т в е р д о е

......................................................................................

Механизм элементарных процессов роста кристал­

83

лов из газовой

ф а з ы ...............................................................

Образование центров кристаллизации и упорядо­

94

чение при

росте

из газовой

ф а з ы .................................

Лимитирующая стадия процессов газофазной мик­

103

рометаллургии

.................................................................................

явления

при гете-

Граничные

физико-химические

роэпитаксиальном р о с т е .........................................

слоев

109

Специфические

формы несовершенства

и

116

Г л а в а

кристаллов, получаемых из газовой фазы

. .

.

III. Пути интенсификации процессов газофазной мик­

128

рометаллургии

...............................................................................

О пределах скорости роста кристаллов в процес­

сах Г М П

...............................................................................

128

Аномальные режимы кристаллизации или газовой

135

фазы .........................................................................................................

внешнего электрического

поля и

излу­

Влияние

140

чения .......................................................................................................

ф а з о й

150

Г л а в а

Локальная активация жидкой

IV. Газофазная микрометаллургия как

метод

техно­

логии твердого

т е л а ................................................

твердых

153

153

Легирование

и выращивание

растворов

Селективное эпитаксиальное

наращивание

. .

.

158

Эпитаксиальные

структуры

в

технологии

интег­

ральных с х е м ....................................................................

165

Принцип селективности

при формировании

твер­

дотельных и пленочных

структур ................................

170

Список литературы

179

Сдано

в набор ІІ6/ѴІІІ і1973 г. Подписано в

печать

25/ІІ 1974 г.

Г-05609

Формат бумаги 84ХЮ8'/з2. Бумага

типографская

№

2.

Тираж

Уел.

печ.

л. 10,08 Уч.-изд. і10,57

л.

06 к.

2100 экз.

Заказ

496

Изд. № 2245

Цена 4 р.

Издательство

«Металлургия», <1:19034,

Москва,

Г-34,

2-й Обыденский пер., |14

Подольская типография Союзполиграфпрома

при Государственном комитете Совета Министров СССР

по

делам издательств, полиграфии н книжной

торговли

г. Подольск,

ул. Кирова,

25

В местных

книжных

магазинах

можно приобрести книги

издательства

М ет аллургия“

Г о р е л и к С. С.,

Д а ш е в е к и й

М. Я. Материаловедение полу­

проводников и

металловедение.

Учебное пособие для студентов

вузов. 1973. 495 с. >1 р. 39 к.

Основые получения

З ы р я н о в М. Н., Ы а д о л ь с к и й А. П.

рассеянных элементов. Учебное

.пособие

для студентов вузов.

1968. 240 с. 57 к.

раб. и доп.

Учебник для учащихся техникумов. 1973. 471

с.

1 р.

19 к.

Авт.:

Б о г о я в л е н с к и й

К. Н.,

Ж о л о б о в

В.

В.,

Л а н д и X о в А.

Д.,

П о с т н и к о в Н.

ГІ.

Справочник.

1969.

Особо

тугоплавкие

элементы и

соединения.

374

с.

2 р.

33 к.

Авт.:

К о т е л ь н и к о в

Р.

Б., Б а ш л ы ­

к о в

С.

Н., Г а ли а к б а. ров

3.

Г., К а ш т а н о в

А.

И.

Цветные металлы.

Свойства. Сортамент. Применение.

Справочник.

51 к.

1973. 207 с.

1 р.

металлов

в

ультразвуковом

А б р а м ов

О.

В.

Кристаллизация

поле. 1972. 260 с.

1 р. 84 к.

сплавов

типа

«Силу­

Б о о м

Е.

А.

Природа

модифицирования

мин».

1972. 70 с.

35 к.

1970.

104 с.

27 к.

Б о г а тин Д .

Е.

Порошки цветных металлов.

Г л а д ы ш е в с к н й

Е.

И.

Кристаллохимия силицидов и германи-

дов.

1971. 296 с.

2 р. 07 к.

Ванадий,

ниобий,

тантал.

Металлургия

К н ф ф е р

Р.,

Б р а у н

X.

чистых металлов и их сплавов.

Пер. с нем.

1968.

311

с.

1 р. 64 к.