Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Руководство к лабораторным занятиям по физике учеб. пособие

.pdf
Скачиваний:
108
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
34.69 Mб
Скачать

490 VI. ЯДЕРНАЯ ФИЗИКА

Из сказанного ясно, что в чистом полупроводнике энергия Ферми должна располагаться посредине запрещенной зоны, разделяющей валентную зону и зону проводимости. В самом деле, плотности уров­ ней п (É) в области верхнего края валентной зоны и нижнего края зоны проводимости мало отличаются друг от друга. В то же время количество электронов в зоне проводимости должно быть равно числу дырок в валентной зоне. В силу симметрии функции / (Е) это возможно лишь в том случае, если Е0лежит посредине запрещен­ ной зоны.

Доля электронов, принимающих участие в собственной прово­ димости полупроводников, очень мала. Вычислим значение функ­ ции / (Е) вблизи нижнего края зоны проводимости у германия, нахо­ дящегося при комнатной температуре. Подставляя в формулу (1)

Е Е0 — 1/а Eg — 1/2-0,72 = 0,36 эВ и замечая, что

при комнат­

ных температурах k t » 1/41, эВ, найдем

 

 

/герм = --J _jleXp (0 ,3 6 “ 40} Ä= 'e X P ( —

1 0

6’"-

У кремния доля электронов, участвующих в электропроводности,

оказывается еще на три порядка

меньше:

f

10 -9 ,4

.

/к ре мы

і и

Рассмотрим теперь полупроводник п-типа, т. е. полупровод­ ник, в который введены доноры-атомы, создающие дополнитель­ ные «локальные» уровни. Эти уровни располагаются в запрещен­ ной зоне вблизи дна зоны проводимости, как это изображено на рис. 262, а. Донорами являются обычно внедренные в кристалл атомы пятой группы периодической системы. При очень низких температурах локальные уровни заполнены электронами, принадле­ жащими донорным атомам. Энергия донорных уровней столь мало отличается от энергии уровней, находящихся около дна проводя­ щей зоны, что при комнатных температурах функция Ферми на этом расстоянии почти не меняется. В то же время количество уровней в зоне проводимости на много порядков величины превосходит ко­ личество донорных уровней (числа уровней относятся, грубо гово­ ря, как плотности примесных н основных атомов). Поэтому донор­ ные уровни при комнатных температурах практически пусты, а все электроны переходят с них в зону проводимости. Проводимость кристалла п-типа в основном определяется именно этими электро­ нами и является, таким образом, п р и м е с н о й . Если собствен­ ная проводимость полупроводника почти в равной мере определяется как электронами, так и дырками, то проводимость полупроводника п-типа почти целиком является электронной.

Найдем положение уровня Ферми в полупроводнике п-типа. Обо­ значим число электронов, перешедших в зону проводимости с до­

Р 81. ПОВЕРХНОСТНО-БАРЬЕРІІЫП КРЕМНИЕВЫЙ СЧЕТЧИК

491

норных уровней, через Nn, а число электронов, перешедших из ва­ лентной зоны, через Nv. Будем отсчитывать энергию от верхнего края валентной зоны. Полное число электронов, находящихся

I

. Зона проводимости

 

///////////////////////////, Дпиппию

I

'

//рта

I

 

Ѵ77т/ЯШ № //Ш 77

 

Валентнаязона

 

 

Щ

 

I

ЗонапроВодшности

 

 

 

&

-------------------------------

Анцепторные

s'

7/7777////////////////////'/

УР°8;ча

I

Валентнаязона

 

б)

 

Зонапроводимости

 

!

Ö;

S3

 

 

 

 

ПолтоВоЗнин 7

 

 

 

Валентнаязона

 

 

 

 

 

В)

 

 

Рис. 262. Энергетическая схема полупроводника:

 

а) л-типа; 6) p -типа;

е) л —- р-перехода, находящегося в равновесии.

 

в зоне проводимости Nn — ND +

N v, пропорционально величинех)

H . = ND + N ,~

...

~

е х р ( - - ^ ) .

(5)

 

1+ ехр

0

х

 

Число свободных мест (дырок) в валентной зоне Nр — Nv пропор-)*

*) При обычных температурах Eg — £„ > kT.

492 VI. я д е рн а я ф и зи к а

ционально величине

 

І а \

6

NP = N V

exp

£о \

/try’

()

1+ ехр !—

 

 

kT )

 

 

.Левая часть формулы (5) существенно превосходит левую часть формулы (6)., Поэтому

е х р ( - ^ /= Д ) > е х р ( - ^ ) .

Потенцируя это выражение, найдем

E0> E g/2

(полупроводник я-типа).

(7)

Таким образом, энергия Ферми в полупроводнике я-типа сдвига­ ется вверх от середины запрещенной зоны.

Вполупроводник можно вводить не только донорные, но и а к-

це п т о р н ы е примеси. Это делается путем внедрения атомов третьей группы периодической системы. Атомы третьей группы со­ здают в запрещенной зоне вблизи верхнего края валентной зоны (рис. 262, б) локальные уровни, которые при низких температурах оказываются пустыми. При комнатных температурах эти уровни заполняются электронами, переходящими из валентной зоны. В ва­ лентной зоне возникает при этом дырочная проводимость. Такие полупроводники называются полупроводниками p-типа. Повторяя рассуждения, которые проводились для полупроводников я-типа, получим, что у полупроводников с дырочной проводимостью энер­ гия Ферми сдвинута вниз от середины запрещенной зоны:

E0<lEgj2

(полупроводники р-типа).

(8)

Найдем произведение

числа электронов в зоне

проводимости

на число дырок в валентной зоне. Пусть эффективное число уров­ ней в зоне проводимости (и в валентной зоне) равно N, тогда с по­ мощью (5) и (6) найдем

NnN p —N exp (— N ехр( - - ^ ) = N* exp ( - -§*-). (9)

Произведение NnNp, таким образом, не зависит от положения уровня Ферми и полностью определяется температурой Т, числом уровней N и шириной запрещенной зоны Eg. Оно, следовательно, не зависит от типа и количества примесей, внесенных в полупроводник.

Носители заряда, число которых в кристалле преобладает, назы­ ваются о с н о в н ы м и носителями, а носители, содержащиеся в меньшем количестве, — н е о с н о в н ы м и . В полупроводниках я-типа основными носителями являются электроны, а в полупровод­ никах р-типа — дырки.

Приведем полупроводники я- и p-типа в соприкосновение друг с другом. В момент установления контакта происходит встречная

Р 81. ПОВЕРХ!ЮСТПО БАРЬЕРНЫЙ КРЕМНИЕВЫЙ СЧЕТЧИК

493

диффузия основных носителей тока через пограничный слои; при этом дырки и электроны рекомбинируют друг с другом.

Вблизи перехода в я-области положительные ионы донорной примеси, заряд которых теперь не компенсируется электронами, образуют положительный пространственный заряд. Соответственно, в p-области отрицательные ионы акцепторной примеси, заряд кото­ рых теперь не компенсируется дырками, образуют отрицательный пространственный заряд. Таким образом, возникает потенциальный барьер, препятствующий дальнейшей диффузии основных носителей.

Равновесие наступает при такой высоте потенциального барьера, когда положения уровней Ферми в обеих областях совпадают, как изображено на рис. 262, в. Для пояснения этого правила рассмотрим для простоты уровень Ег, находящийся в зоне проводимости. Веро­ ятность заполнения этого уровня не может зависеть от того, как ее считать: через функцию Ферми в я-области или через функцию Ферми в p-области. Поэтому

 

Еп(п)

 

1

1+ ехр

1+ ехр

g j-g p (рУ

 

кТ

 

кТ '

откуда следует, что

Е0(п) = Е0(р).

 

 

( 1 0 )

В области я—-р-перехода возникает, таким образом, слой, обеднен­ ный носителями тока.

Существование о б е д н е н н о г о с л о я легко понять из рассмотрения рис. 262,в. В я-области уровень Ферми располага­ ется далеко от валентной зоны и поблизости от зоны проводимости. Вероятность заполнения уровней валентной зоны мало отличается от единицы, а вероятность заполнения уровней зоны проводимости заметно отлична от нуля. В этой области много электронов и мало дырок. В p-области наблюдается обратная картина. В области я—р-перехода уровень Ферми проходит вдалеке как от валентной зоны, так и от зоны проводимости. Эта область поэтому бедна как электронами, так и дырками, и обладает большим электрическим сопротивлением. Именно в обедненной области происходит регистра­ ция ядерных частиц в полупроводниковых детекторах излучения. При прохождении заряженной частицы через обедненный слой вдоль ее трека создаются электронно-дырочные пары. Образовавшиеся носители разносятся электрическим полем я—р-перехода в разные стороны — и через кристалл проходит токовый импульс. Обеднен­ ный слой в полупроводниковом детекторе действует аналогично ионизационной камере. В отличие от последней, полупроводниковый детектор может работать без внешнего источника напряжений, так как необходимое электрическое поле само собой возникает в обла­ сти я—р-перехода.

494

VI. ЯДЕРНАЯ ФИЗИКА

Оценим разность

потенциалов, возникающую у кремния в об­

ласти п—р-перехода. При расчете будем считать, что концентрации доноров в //-области и акцепторов в p-области равны друг другу и составляют 1,7• ІО13 см“3. Собственные плотности электронов и ды­ рок в чистом кремнии равны 1,7 • ІО10 см"3. При равной концентра­ ции акцепторов и доноров смещение уровня Ферми вверх в «-области равно смещению этого уровня вниз в p-области. Разность потен­ циалов Аи в области «—р-перехода равна поэтому

e-Au = AE=--2(E;hn- 1 2Eg) = 2E()tn- E g .

(11)

В формуле (11)

обозначает положение уровня

Ферми в про­

воднике п-типа. Энергия уровней отсчитывается от верхнего края

валентной зоны. Величина 1/2Eg определяет

несмещенное положе­

ние уровня Ферми.

 

 

 

Деля равенства (5) и (6) друг на друга, получим

 

/Ѵ„ exp 2£n-£ *

=ехр А Е

exp сАи

(12)

kT

kT

~ W '

 

Искомая разность потенциалов Ди равна

Да = —

е Np

При Т = 300 К плотность электронов в зоне проводимости полу­ проводника /і-тппа, N„, с хорошей точностью равна плотности до­ норных атомов. Поэтому Nn = 1,7 • ІО13 см"3. Плотность дырок можно определить, используя вывод о том, что произведение NnNp не за­ висит от примесей:

N„Np = N U ств = (1,7-10« см-3)2.

РЦіеем поэтому

1 .

(1,7 • 1013)2

 

Аи =

0,35 В.

 

40 П

(1,7 • 101")2

 

При желании на полупроводниковый детектор можно подавать напряжение от внешней батареи (запирающее напряжение). В силу большого сопротивления п—р-перехода практически все напряже­ ние оказывается приложено к обедненному слою.

Полупроводниковые детекторы заряженных частиц обладают двумя важными преимуществами перед ионизационными камерами. Прежде всего, торможение частиц происходит у них не в газе, а в твердом веществе. Так, толщина обедненного слоя 300 мкм по тормозной способности эквивалентна почти целому метру газа. Второе важное преимущество полупроводниковых счетчиков свя­ зано с тем, что энергия, необходимая для образования электронно­ дырочной пары в полупроводнике, на порядок меньше энергии иони­ зации атомов в газе. В полупроводнике одна пара электрон — дырка в среднем возникает на каждые еср = 3,6 эВ, потерянных быстрой частицей. В газе одна пара ионов образуется на каждые 32 эВ поте­ рянной энергии. Таким образом, полупроводниковый детектор отве­

Р 81. П О В Е Р Х Н О С Т Н О -Б А Р Ь Е Р Н Ы Й КРЕ М Н И Е ВЫ Й СЧЕТЧИК

495

чает на прохождение заряженной частицы существенно большим импульсом, чем ионизационная камера. В табл. 30 (см. стр. 681) приведена величина средних потерь энергии, приходящихся на создание одной пары носителей в различных газах и полупровод­ никах.

Важным свойством полупроводников является слабая зависи­ мость величины еср от плотности ионизации, которую создает реги­ стрируемая частица. Поэтому полупроводниковые детекторы дают хорошие результаты при исследовании сильно ионизирующего излучения, например при регистрации га-частиц. Для правильного измерения энергии частиц необходимо, чтобы толщина обедненного

слоя

превышала пробег

измеряемых частиц

 

и чтобы

обедненный

слой

располагался как можно ближе

 

 

СлойДа

 

 

к

поверхности полупроводника (поверх­

рzкремний

X

 

ностно-барьерные детекторы).

детектора

 

 

+ + + + + + + +

ZT.W

 

Устройство

кремниевого

 

 

п кремний

 

с

поверхностным барьером изображено

 

 

 

 

 

 

 

 

на

рис. 263.

Счетчик

изготавливается

 

 

 

 

 

из кремния «-типа. Его нижняя поверх­

Рис.

2G3.

Поверхностно­

ность защищена слоем алюминия, обра­

барьерный кремниевый

счет­

зующим один из электродов. На верхней

 

 

чик.

 

поверхности кремния в результате окис­

W

— толщина обедненного слоя.

ления

образуется слой,

очень

сходный

 

по свойствам Со слоем р-типа. Для поверхностного окисления до­

статочно оставить гладкую пластинку кремния на 12 -г- 36 часов в чистом воздухе при комнатной температуре. Затем на эту поверх­ ность в вакууме напыляется тонкий сдой золота (20 -4- 50 мкг/см2), образующий второй электрод.

Толщина обедненного слоя может регулироваться с помощью внешнего источника э. д. с. Толщина слоя растет с увеличением обратного смещения. Даже при небольших напряжениях (несколько вольт) в таком обедненном слое создаются очень сильные электриче­ ские поля (киловольты на сантиметр).

Важнейшими характеристиками полупроводниковых детекто­ ров является толщина обедненного слоя и емкость, приходящаяся на 1 см2 площади электродов. Обе эти величины зависят от качества полупроводника и от напряжения, приложенного к счетчику. В табл. 27 приведена их зависимость от напряжения н от удель­ ного сопротивления кремниевого кристалла.

В предлагаемой работе полупроводниковый детектор исполь­ зуется для измерения энергетического спектра а-частиц, испускае­

мых радиоактивным источником. При

использовании детектора

в спектрометрических 2) целях особое

значение приобретает его)*

*) Детекторы с линейным преобразованием энергии частицы Е в амплитуду ѵ в соединении с анализирующей аппаратурой носят название с п е к т р о ­ м е т р о в .

496

VI. ЯДЕРНАЯ ФИЗИКА

р а з р е ш а ю щ а я

с п о с о б н о с т ь , т. е. ширина кривой

распределения’ импульсов по амплитудам при строго постоянной энергии регистрируемых частиц. Форма такой кривой распределе­ ния обычно бывает близка к кривой ошибок:

W (и) = - Л — ехр {-

1,0)2

/

du.

(13)

I' 2л о

{

2ст2

 

 

В этой формуле ѵ0— среднее значение амплитуды импульса, ѵ — конкретное значение этой амплитуды, W (и) du — вероятность того, что при энергии частицы Е амплитуда измеренного импульса за­ ключена между и и и + dv, о — параметр, определяющий ширину распределения (среднеквадратичное отклонение). Распределение (13) имеет вид колокола с максимумом при ѵ = и0. Разрешающую способность спектрометра определяют по величине б — ширине кривой W (и), измеренной на половине высоты. Энергетическим разрешением спектрометра обычно называют величину

Д== 6 100%.

(14)

ѵо

 

Нетрудно найти связь между б и а:

 

б = 2]/ 2 In 2 а.

(15)'

Рассмотрим более подробно факторы, определяющие энергети­ ческое разрешение полупроводникового спектрометра. Одной из основных причин, вызывающих разброс импульсов по амплитуде, является статистическая флюктуация числа электронно-дырочных пар, создаваемых падающей частицей. Среднее число пар N равно.

N = £ е ср,

где Е — энергия, теряемая частицей в детекторе. Среднеквадратичное отклонение а равно

а = \ N —■У Е еср.

Вклад флюктуаций числа пар в энергетическое разрешение:

^флюкт = J f 100% = J/

100% .

(16)

Величина еср в полупроводниках почти

на порядок меньше,

чем

в воздухе. Поэтому полупроводниковые детекторы позволяют изме­ рять энергетический спектр существенно лучше, чем ионизацион­

ные камеры.

Другим важным источником разброса импульсов является шум электрических цепей. Прежде всего, это шум, создаваемый токами утечки, возникающими из-за термической генерации электроннодырочных пар в обедненном слое детектора, а также шум первого

Р 81. ПОВЕРХНОСТНО-БАРЬЕРНЫЙ КРЕМНИЕВЫЙ СЧЕТЧИК

497

усилительного каскада, следующего за детектором (вклад следую­ щих каскадов усиления, как правило, невелик).

Оценим амплитуду импульса, возникающего на выходе детек­ тора, если заряд собирается полностью. При прохождении частицы с энергией Е в детекторе образуется N = Е/еср пар и емкость де­ тектора заряжается до потенциала

 

 

 

тj _ Q _

eN _

еЕ

(17)

 

 

 

Ѵ

еср (CoS+ СхГ

 

 

 

 

В этой

формуле Q — заряд,

создаваемый

частицей в

обедненном

слое, еср — средняя

энергия,

идущая

на

образование электронно­

дырочной

пары, S — площадь детектора,

С0 — емкость, приходя­

щаяся

на

единицу

площади,

Су — входная емкость

усилителя.

Пусть в качестве материала используется кремний с р =1000 Ом • см,

а напряжение смещения равно 20 В. По табл. 27 (см. стр. 679) нахо­

дим, что С0 = 150 пФ/см2. Для u-частиц с

энергией Е = 5 МэВ

при площади детектора 0,25 см2, пренебрегая

емкостью С/, получим

с помощью (17) и = 6 мВ. Этот сигнал слишком мал, и должен быть усилен. Для усиления импульсов можно использовать обыч­ ные усилители. Это, однако, не очень хорошо, так как емкость де­ тектора С0 сильно зависит от напряжения и поэтому плохо известна. Значительно лучше использовать так называемые з а р я д о ч у в -

с т в н т е л ь н ы е

у с и л и т е л и . Схема такого усилителя

изображена на рис.

264. На этом рисунке Свх изображает входную

емкость схемы, складывающуюся из емкости детектора и входной емкости усилителя. Усилитель имеет большой коэффициент усиле­ ния К. Обратная связь подается с помощью емкости С0 с. Напишем уравнения, определяющие работу этой схемы. Имеем:

Ѵ2= - К Ѵ 1-

Заряд входной емкости Свх складывается из заряда Q, протекшего через детектор, и из заряда Q1; прошедшего через емкость Сос. Из рис. 264 ясно, что

Ql =*С0. с ( V* - Ѵг) = Со. с ( У2 + А ) = Со. с ѵ2

ъ I/2с 0,e.

^'вх Разрешая это уравнение относительно ІА, найдем
_
_ Q "Г' -!р0іс
Потенциал Ѵх ~ —ѴУК на емкости Свх определяется суммой заря­ дов Q ц Qx’.

498

VI. ЯДЕРНЛЯ ФИЗИКА

ЛСо.с+ ^вхХ

Взарядочувствительных интеграторах С0<с и /С выбираются так, чтс

Со.с>Свх;Х

Вэтом случае выходное напряжение

V* = — Q С0. с

(18)

определяется емкостью обратной связи и не зависит ни от емкости детектора, ни от входной емкости усилителя.

К насосу

Рис. 265. Блок-схема экспериментальной установки.

И — источник а-частиц

Pu230,

С — полупроводниковый поверх­

ностно-барьерный счетчик,

М

— манометр, Г — генератор прямо­

угольных импульсов

Г5-15,

У — зарядочувствительный усилитель

импульсов, И О — импульсный

осциллограф СИ-1, ААДО-1 — ам­

плитудный анализатор, дифференциальный одноканальный, ПАА-1 —

 

блок питания,

11СТ-100 — пересчетный прибор.

 

О п и с а н и е

у с т а н о в к и .

Блок-схема экспериментальной

установки

приведена на

рис. 265.

 

 

 

 

5,15 МэВ)

Источник а-излученпя (Pu 239 с энергией частиц Еа =

и поверхностно-барьерный кремниевый счетчик помещены в вакуум­ ную камеру на расстоянии 70 мм друг от друга. Это расстояние почти вдвое превышает пробег а-частиц в воздухе при атмосферном давле­ нии. После того как воздух из камеры откачивается, u-частицы бес­ препятственно достигают детектора. Возникающие на нем сигналы поступают на зарядочувствительный усилитель. С разъема «Выход» усилителя сигнал подается на импульсный осциллограф СИ-1 для наблюдения и контроля, и на «Вход усилителя» амплитудного анализатора ААДО для измерений. Накальное и анодное напряже-

Р 81. ПОВЕРХ! I ОСТНО-БАРЬЕРНЫЙ КРЕМНИЕВЫЙ СЧЕТЧИК

499

іше зарядочувствителыюго усилителя и амплитудного анализатора задается от общего блока питания. Импульсы, возникающие на выходе амплитудного анализатора, сосчитываются пересчетным прибором ПСТ-100.

Принцип действия дифференциального амплитудного анализа­ тора и его блок-схема подробно рассмотрены в приложении VII. Порядок работы с одноканальным анализатором ААДО и пересчет­ ным прибором ПСТ-100 описаны в приложении VIII. Для определе­ ния разрешающей способности полупроводникового счетчика и для быстрой настройки анализатора в работе используется генератор стандартных сигналов. Калибровочные импульсы от генератора подаются через делитель на «Вход генератора» зарядочувствитель­ ного усилителя. Их можно наблюдать на осциллографе одновре­ менно с импульсами от счетчика.

Измерения. 1. Ознакомьтесь с описанием приборов по приложе­ нию VIII и с принципом действия амплитудного анализатора по приложению VII.

2. Включите приборы и дайте им прогреться в течение 10—15 ми­ нут. В это время проделайте следующие операции:

а) Установите на осциллографе тумблер «Род работы» в положе­ ние — «Ждущая і_г», «Развертка» — в положение «100 мксек», «Де­ литель» — «1 : 1», «Род синхронизации» — «Внутренняя».

б) Включите форвакуумный насос и откачайте вакуумную ка­ меру со счетчиком и источником. По мере откачки на экране осцил­ лографа должны появиться импульсы от счетчика, амплитуда кото­ рых увеличивается до определенной величины, а затем остается не­ изменной. (Объясните это явление.)

в) На генераторе (при выключенном тумблере «Выход дели­ теля») установите длительность импульса — «10 мксек», частоту следования 500 -ь 800 Гц (диапазон х 1), делитель «1 : 10», поляр­ ность выходного импульса отрицательная.

г) На амплитудном анализаторе поставьте ручку переключа­ теля «Род работы» в положение «Усилитель» + «Дискриминатор», переключатель «Ширина окна» в положение «20 В». Переключатель поддиапазонов аттенюатора поставьте в позицию, указанную на установке. Согласуйте полярность выходного импульса анализа­ тора со входом пересчетного прибора.

д) Включите на генераторе тумблер «Выход делителя» и, плавно регулируя амплитуду, наблюдайте на осциллографе его сигнал вместе с сигналом от счетчика. Полупроводниковый детектор имеет небольшую площадь, а активность a-источника невелика. Поэтому количество регистрируемых счетчиком импульсов также невелико. Чтобы надежно и быстро с помощью дифференциального амплитуд­ ного анализатора отыскать амплитудное распределение импульсов от счетчика, следует воспользоваться генератором. Наблюдая по ос­ циллографу, подберите амплитуду калибровочных импульсов так,

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ