Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Сборник лабораторных работ_1.doc
Скачиваний:
16
Добавлен:
17.11.2019
Размер:
15.31 Mб
Скачать

Выполнение работы

I. Изучить техническое описание и инструкцию по эксплуатации просвечивающего электронного микроскопа JEM-2100. Левая и правая панели управления показаны на рис. 69, 70.

Рис. 69. Левая панель управления. Рис. 70. Правая панель управления.

II. Изучить основные элементы управляющей программы TEMCOM.

Основные окна управляющей программы TEMCOM представлены на рис. 71.

Рис. 71. Основные окна управляющей программы TEMCOM.

III. Вывести высокое ускоряющее напряжение на рабочий режим.

1. Убедиться, что вакуумная система микроскопа функционирует нормально, ионный насос включен, вакуум в колонне не превышает 3 × 10-5 Па.

2. Включить высокое напряжение 160 кВ (из управляющей программы TEMCOM на компьютере). Убедиться, что ток пушки составляет около 81.5 А при напряжении 160 кВ.

3. Установить параметры увеличения ускоряющего напряжения от 160 до 200 кВ, так чтобы общее время подъема напряжения составляло около 1 часа. Запустить выполнение программы. Убедиться, что ток пушки составляет около 101.5 А при ускоряющем напряжении 200 кВ.

IV. Поместить держатель с образцом в колонну микроскопа (выполняется вместе с оператором).

1. Закрепить подготовленный образец в соответствующем держателе.

2. Установить держатель с образцом в шлюзовую камеру и откачать вакуум.

3. Ввести держатель с образцом в колонну.

V. Включить катод (из управляющей программы на компьютере).

VI. Юстировка системы освещения.

1. В режиме LOWMAG выбрать на образце прозрачный участок и переместить его в центр экрана.

2. Перейти в режим MAG1 или MAG2 и выбрать увеличение х20000. Ручкой BRIGHTNESS на левой панели уменьшить яркость электронного луча до минимума и ручками SHIFT передвинуть луч в центр экрана. Расфокусировать луч.

3. Включить IMAGE WOBB X(Y) и отрегулировать положение образца вдоль оптической оси микроскопа.

4. Ввести диафрагму в систему конденсорных линз микроскопа. Проверить положение диафрагмы, изменяя яркость электронного луча (BRIGHTNESS), при необходимости отцентрировать диафрагму.

5. Включить COND STIG на левой панели и ручками DEF/STIG добиться изображения электронного луча на экране в виде правильного круга. Отъюстированный конденсор дает на экране концентричные круги при изменении яркости электронного луча.

6. Проверить наклон луча при изменении напряжения. Для чего поместить характерный участок образца в центр экрана. Включить HT WOBB на правой панели и BRIGHT FIELD на левой панели. Ручками DEF/STIG установить наклон луча так, чтобы при осцилляции напряжения (изменении размеров изображения), изображение объекта не перемещалось в плоскости экрана.

VIII. Коррекция астигматизма объективной линзы.

1. Поместить подходящее отверстие (желательно круглой формы) в образце в центр экрана. Установить достаточную яркость луча и сфокусировать изображение ручками OBJ FOCUS на правой панели управления.

2. Включить OBJ STIG на левой панели управления. Слегка расфокусировать изображение, так чтобы по краю отверстия наблюдалась характерная светлая полоса.

3. Поворачивая ручки DEF/STIG, добиться одинаковой толщины светлой полосы по периметру отверстия.

IX. Юстировка проекционных линз.

1. Вывести изображение объекта за пределы экрана и максимально уменьшить яркость луча (BRIGHTNESS).

2. Перейти в режим дифракции (включить SA DIFF на правой панели). Ручкой DIFF FOCUS на правой панели установить размер центрального максимума около 10 мм в диаметре.

3. Включить F5 на правой панели. Ручками DEF/STIG получить изображение 3-х лучевой звезды в центре центрального максимума.

4. Уменьшить размер центрального максимума. Включить PLA на левой панели и ручками DEF/STIG установить центральный максимум точно в центр экрана. Включить MAG1 или MAG2.

X. Оформить отчет и сделать вывод по работе