Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Арсенид галлия. Получение, свойства и применение

.pdf
Скачиваний:
39
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
18.36 Mб
Скачать

210

Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А

[ГЛ. 4

высокая, то вклад их в общую теплопроводность стано­ вится ощутимым.

Исследование теплопроводности позволяет выяснить особенности процессов рассеяния электронов и фононов в полупроводниках, получать сведения о наличии в ре­ шетке различных дефектов. Исследование теплопровод­ ности представляет и непосредственный практический интерес. Знание ее необходимо при выборе материала для термоэлементов. Очень важно знать значение тепло­ проводности полупроводника при конструировании при­ боров, в которых выделяется тепло: генераторов Ганна, мощных туннельных диодов, лазеров и других. Это позво­ ляет наилучшим образом решить вопрос о теплоотводе от работающего прибора. Например, в лазерах из арсе­ нида галлия, работающих при 4,2 °К, лучше отводить тепло со стороны л-области, которая прп этой температуре имеет по крайней мере на два порядка большую теплопро­ водность, чем р-область [133].

У алмазоподобных полупроводников, к которым отно­ сится и арсенпд галлия, теплопроводность очень высокая и обусловлена в осповпом решеточной составляющей. Вклад электронной составляющей становится ощутимым при концентрациях электронов порядка 101 8 —102 0 сл1-3 .

Сведения о теплопроводности арсенпда галлия при­ водятся в работах [123, 126, 133—147]. Удельная тепло­ проводность арсенпда галлия при комнатной температуре составляет 0,37—0,45 вт/смград; это более чем на поря­ док выше теплопроводности таких термоэлектрических материалов, как халькогениды свинца и висмута. Срав­ нительно большой разброс значений теплопроводности связан с различной концентрацией носителей тока в исследованных образцах и степенью совершенства кристаллов.

С понижением температуры теплопроводность наибо­ лее чистых и совершенных кристаллов арсенида галлия растет до тех пор, пока длина свободного пробега фононов не достигает своей максимальной величины, обусловлен­ ной размерами данного образца (рис. 4.36). Цри дальней­ шем понижении температуры теплопроводность решетки, пройдя через максимум, резко уменьшается вследствие умепыпения теплоемкости фононного газа. Сплошная линия на рис. 4.36, проведенная через точки для отио-

4.41

Т Е П Л О В Ы Е

С В О Й С Т В А

211

снтелыш

чистого образца

1 , рассчитана

теоретически

с учетом рассеяния на границах образца. Все остальные

образцы имели приблизительно

такие же размеры,

как

и образец 1 . Из данных рис.

4.36 следует, что во

всех

30-

10 •

6 '•

4 •

г

I •

%

«8-

10''

 

 

 

I

г

4 бею

100

400

 

 

 

Рис. 4.36.

Зависимость

теплопроводности от температуры

[138].

1 —тс

=

7-101 5 ; 2 — п = 5 - 1 0 1 7

(Те); 3 р = 1 , 4 - 1 0 , «

(Cd); da

р = 2 , 7 - 1 0 "

(Zn);

46

— р = 2 , 6 - 1 0 1 8

(Zn);

5 а — р ^ 5 - 1 0 1 л

(Мп); 56

— р-5-10"

 

(Мп)

а и - 3 .

З а ч е р н е н н ы е символы и з о б р а ж а ю т и з м е р е н и я а м а г н и т н о м

п о л е 12,7

х э .

образцах,

кроме

1 ,

рассеяние

фонопов много

сильнее,

чем

предсказанное для рассеяния на

границах.

Вблизи

комнатной температуры кривые для всех образцов схо­ дятся. Рассеяние в этой области температур фонон-фо- ноиное.

На рис. 4.37 экспериментальные результаты по темпе­ ратурной зависимости теплопроводности для одного из исследованных в работе [141] образцов сравниваются

14*

212

Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А

[ГЛ. 4

с теоретическими, вычисленными по формуле Каллауэя (кривая 1) и по формуле, в которой принимаются во вни­ мание детали фононного спектра и отдельно учитываются вклады поперечных и иродольиых фоионов (кривая 2). Как видно из рис. 4.37, кривая 2 лучше согласуется с экс­ периментальными данными, чем кривая^!. Отсюда следует

/ г ь вею го w№ шо гоозоо

Г,'К

Рис. 4.37. Сравнение теоретических п экспериментальной кривых температурной зависимости теплопроводности [140].

К р п в ы е 1 и 2 т е о р е т и ч е с к и е (см. о б ъ я с н е н и е в тексте), э к с п е р и м е н т а л ь н ы е точки и з [141].

вывод о том, что в этом интервале температур необхо­ димо учитывать вклад от теплопроводности поперечных фононов.

Данные по теплопроводности решетки арсенида галлия до температуры 900 °К изображены на рис. 4.38. Вклад электронной составляющей для образцов 1—3 исключался из общей теплопроводности по обычпым формулам в пред­ положении, что электроны рассеиваются на полярных колебаниях решетки. В образце 4 вкладом электронов из-за их малой концентрации пренебрегалось.

Решеточная теплопроводность арсенида галлия изме­ няется по закопу Т~г'. Эта зависимость более резкая, чем имеющаяся при трэхф >;:оипых процессах. По-види­ мому, здесь имеют .место процессы более высокого по­ рядка. Решеточная теплопроводность в образце 2 меньше, чем в образце 1, а в последнем меньше, чем в образце 4. Уменьшение решеточной теплопроводности, обусловлен­ ное увеличением концентрации свободных носителей тока,

«.5]

Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А

213

.наблюдалось и в других материалах. Это уменьшение объясняется рассеянием фоионов свободными электронами.

Выше 600 0 К на кривой образца 4 проявляется вклад фотонной составляющей теплопроводности. Его вклад в общую теплопроводность значителен, когда решеточная теплопроводность мала и поглощение фотонов на свобод­ ных посителях отсутству­

ет. L увеличением кон­ центрации носителей тока вклад фотонной составляю­ щей уменьшается (обра­ зец 1) и, наконец, в силь­ но легированных образцах из-за сильного поглоще­ ния на свободных носите­ лях исчезает вообще.

В магнитиом поле 12,1'кэ теплопроводность в ле­ гированных марганцем об­ разцах арсенпда галлия уменьшается иа 20% [138].

Облучение кристаллов арсенпда галлия высокой чистоты электронным пуч­ ком также ведет к умень­ шению их теплопроводнос­ ти [139], причем измене­ ние теплового сопротивле­ ния пропорционально ин­

тенсивности излучения. Известно, что бомбардировка раз­ личными частицами создает в полупроводниках точечные дефекты, число которых пропорционально интенсивнос­ ти излучения. В свою очередь эти дефекты рассеивают фононы, вследствие чего уменьшается и общая тепло­ проводность.

4.5. Зависимость электрических свойств от давления

Под влиянием давления кристаллическая решетка деформируется, что, естественно, влечет за собой изменение зонной структуры. При этом может меняться как форма зон (эффективные массы), так и нх взаимное расположение

214 Я В Л Е П П Я П Е Р Е Н О С А [ГЛ. 4

(величина запрещенной зоны, расстояния между мини­ мумами). Оба эти эффекта, хотя и в разной степени, сказываются на электрических свойствах материала.

На рис. 4.39 представлена зависимость нормализован­ ного удельного сопротивления от величины всестороннего давления для образца эпитакспального арсенида галлия

я-типа с удельным сопротивлением при нулевом

давлении

р 0 = 0 , 4 2 ом-см н подвижностью электронов 7500

см2/в-сек,

[148]. Наблюдаемая зависимость может быть легко интер­

претирована на основе

простой двухдолнннои модели

зоны проводимости 142]

(рис. 4.40)".

Энергетический зазор между дном центральной долины и дном долины, расположенной в направлении <100> *) Ае„ составляет при нулевом давлении 0,36 эв и умень­ шается с увеличением давления. До тех пор, пока

20

30

43

О

Давление,

 

кбар

Рис. 4.39. Зависимость нор­ мализованного удельного со­ противления арсенида галлия л-типа от давления по дан­ ным [148].

Рис. 4.40. Структура зо­ ны проводимости в на­ правлении [100] [42].

Э н е р г е т н ч е з к и п з а з о р м е ж д у

д о л и н а м и

Д е = [0,36— (1,014:

± 0 , 0 4 )

1 0 - ' •

Р[кбар])Ы.

его величина остается много больше тепловой энергии электронов, что. соответствует давлениям, меньшим 28 кбар (см. рис. 4.39), удельное сопротивление слабо возрастает, приблизительно пропорционально давлению. Рост сопро­ тивления обусловлен уменьшением подвижности электро-

*) В действительности число <100> долин трп или шесть в за­ висимости от их положения относительно границ зоны Бриллюэ­ на. Однако при расчете удобно рассматривать этп долины как одну «эффективную» долину с суммарной плотностью состояний. Такую модель принято именовать двухдолинной (или двухзонноц).

4.5] Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Й С В О Й С Т В А 215

нов в основном минимуме. Уменьшение подвижности с дав­

лением

- ^ с о с т а в л я е т

9 , 6 - 10 - ° см2/кГ

11491.

 

 

т

аР

 

 

 

 

1

 

 

 

Зазор между нижней и верхней долинами

уменьшается

с

давлением

со

скоростью (1,01—1,08)-Ю-6

эв-см2ЫГ

[42, 148. 150]. Прп давлении выше 28 кбар

зазор стано­

вится

сравнимым

с

тепловой

энергией

электронов,

и начинается интенсивный.'переход носителей

в

вышележа­

щую долину зоны проводимости. Поскольку

эффективная

масса

электронов

в осповпой долине

равна

0,072 m0 ,

а

в верхней

1,2

т0,

отношение

плотностей

состояний

составляет

(тУт^РлбО,

 

и очевидно,

что

практически

все электроны

с энергией

большей, чем зазор между доли­

нами, будут находиться в верхней долине. Переходу носи­ телей из основной долины в долину «тяжелых» электронов соответствует резкий рост сопротивления в диапазоне давлений от 28 до 42 кбар. Выше 42 кбар зависимость насы­ щается, что, по-видимому, свидетельствует о том, что все электроны перешли в верхнюю долину. Аналитическое выражение, описывающее рассматриваемую зависимость в рамках двухдолииной модели, подробно обсуждается в [148].

Если предположить, что число электронов в зоне про­ водимости ие меняется с давлением, то подвижность элект­

ронов в верхней долине может

быть

найдена

просто

по отношению сопротивлений

Ростах

п

составляет

(150+25) смУв-сек

[148] (см. рис. 4.39).

 

 

 

 

Предположение о независимости концентрации элект­

ронов от давления требует тщательного

 

обоснования.

Дело в том, что с давлением меняется не только

расстоя­

ние между долинами,

но и

ширина

запрещенной

зоны

eg =l,53-)-0,94-10-5

Р

[эв]

[42,

151].

Это

означает,

что

с давлением может меняться расстояние между глубокими донорными уровнями и дном зоны проводимости, что в свою очередь повлечет за собой изменение концентрации свободных электронов. Наличие глубоких донорных уров­

ней

приводит к

существенному

изменению зависимости

р/рй

=/(•/?) [152].

По-видимому,

именно наличием таких

уровней объясняется различие в результатах работ [148, 152] и [150, 153]. В [148, 152] отсутствие глубоких уровней специально контролировалось.

Следует заметить, что из зависимости сопротивления от давления может быть определено отношение плотностей

216

Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А

[ГЛ. 4

состояний в верхней и нижней долинах, еслп известна величина энергетического зазора между ними. Однако такого рода расчет ненадежен вследствие сильной зависи­ мости полз'чаемой величины от значения зазора прп нуле­ вом давленпп Ае0 . Так изменение Ае0 от 0,36 до 0,38 эв меняет значение отношения плотности состояний от 119 до 227 [148].

Изменение зазора между долинами с давлением приво­ дит и к существенному влпянпю давления на эффект Ганна. Поскольку этот эффект , возпикает вследствие разогрева электронов электрическим полем и их после­ дующего перехода в верхние долины, очевидно, что с изме­

 

 

 

 

 

 

 

 

нением

энергетического

 

 

т

.

1

 

1

г

зазора

величина

необхо­

 

 

 

 

 

 

 

 

димого для

разогрева

но­

 

 

 

 

 

 

 

 

сителей

 

электрического

 

 

 

 

 

 

 

 

поля Также

доллша

изме­

 

 

 

 

 

 

 

 

няться

[154,

155]. Зависи­

 

 

 

 

 

 

 

 

мость критического

поля

 

 

 

 

 

 

 

 

эффекта

Гапна

от

величи­

 

 

 

 

 

 

 

 

ны

всестороппего

 

давле­

 

 

 

 

 

 

 

 

ния показапа на рис. 4.41.

 

 

 

 

 

 

 

 

Там же приведены резуль­

 

 

 

 

 

 

 

 

таты теоретических расче­

 

 

 

 

 

 

 

 

тов

Батчера

 

и

Фасетта

 

 

 

Давление,

кбар

 

[156]. Наблюдается

хоро­

Рис.

4.41.

 

Зависимость

крити­

шее

согласие

в

ходе

тео­

 

ретической

и

эксперимен­

ческого

напряжения

эффекта

тальной кривых вплоть до

Ганна от всестороннего

давления.

К р и в а я — п о

р а с ч е т у

Б а т ч е р а

и

Ф а ­

давления

20

 

кбар.

 

При

сетта

В156].

 

Э к с п е р и м е н т а л ь н ы е

т о ч ­

больших давлениях

 

тео­

к и —

п о

д а н н ы м

р а б о т ы

1154].

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

рия предсказывает

резкий

рост

величины

критического

поля

с давлением,

не

на­

блюдавшейся в

[154].

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

На более чистом эпитакспальном арсениде галлия [152] наблюдалось прекрасное согласие экспериментальной кри­ вой с теоретическим расчетом [156] во всем диапазоне дав­ лений вплоть до исчезновения гаиновских колебаний при 27 кбар.

Зависимость нормализованного порогового поля от одноосного давления, приложенного вдоль трех различ­ ных кристаллографических осей, приведена на рис. 4.42.

4.6]

В Л И Я Н И Е С И Л Ь Н О Г О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К О Г О П О Л Я

217

Из рисунка видно, что наибольшее влияние на величину порогового поля оказывает давление, прикладываемое

Давление, кбар

Рис. 4.42.

Зависимость нормализованного порогового поля от од­

 

ноосного давления [155].

Ш т р и х о в а я

к р и в а я х а р а к т е р и з у е т зависимость п о р о г о в о г о п о л я о т в с е с т о р о н - .

 

пего д а в л е н и я по

д а н н ы м Е154].

вдоль кристаллографической

оси <(100)>. Это непосредст­

венно свидетельствует о том, что эффект Ганна возникает вследствие перехода электронов именно в (100) долины зоны проводимости [155].

4.6. Влияние сильного электрического поля

на эффекты переноса •

Существуют две группы явлений, при анализе которых принято употреблять термин «сильное поле».

К первой группе относятся явления, возникающие благодаря тому, что электрическое поле заметно сказы­ вается на^фуикции распределения носителей. Поле назы­ вается в этом случае сильным, когда отклонение функции распределения от равновесной достаточно для заметного изменения подвижности или концентрации носителей. Плот­ ность тока в образце при этом перестает быть прямо про­ порциональной напряженности поля. Принято различать область «теплых» носителей, когда средняя энергия носи­ телей в присутствии поля лишь незначительно отличается от равновесной (если оказывается возможным ввести поня­

тие о температуре носителей, то это условие

записывается

так: Тн—Т0 < Т0,

где

Тц — температура

носителей

в присутствии поля,

Т0

— температура решетки); область

218

Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А

[ГЛ. 4

«горячих носителей» и область пробоя, когда сообщенная носителю полем энергия оказывается достаточной для того, чтобы ионизовать атом примеси (примесный пробой) или перевести электрон из валентной зоны в зону прово­ димости (зона—зонный пробой) [157, 158].

Ко второй группе отпосятся эффекты электроакусти­ ческого взаимодействия [159]. Эти эффекты обязаны своим возникновением пьезоэлектрическим свойствам арсенида галлия и становятся существенными, когда средняя дрейфовая скорость, приобретаемая носителями под дей­ ствием электрического поля, становится приблизительно

равной

скорости

звука в

материале (—3-105 см/сек).

На

рис. 4.43

приведена

зависимость плотности тока

от напряженности электрического поля для диапазона

температур

4—26° К'[33,

57]. Измерения

температурной

 

 

 

 

зависимости коэффициента Хол­

/, а/см1

 

 

 

ла

показывают,

что при 4° К в

 

 

 

 

слабом

поле

электроны «вымо­

 

 

 

 

рожены» на

мелких

донорных

 

 

 

 

уровнях

н

проводимость

осу­

 

 

 

 

ществляется за счет

прыжково­

 

 

 

 

го

механизма

в

примеспой

 

 

 

 

зоне. При 24в/см наступает про­

 

 

 

 

бой. Б еще более сильных по­

 

 

 

 

лях все мелкие примесные уров­

 

 

 

 

ни

оказываются

полностью

 

 

 

 

опустошенными, и вид

вольтам-

 

 

 

 

перной характеристики опреде­

 

 

 

 

ляется зависимостью подвижно­

 

 

 

 

сти «теплых» электронов от по­

Ш'А

 

 

 

ля

[157].

 

 

 

 

 

1

< -

 

Отклонения

от

закона

Ома

Ю~'

Ю°

10

W2

в

арсеииде

галлия

в

сильном

 

 

 

£, В/см

 

 

 

электрическом ноле

могут

быть

 

А.A3. Вольтампериая

Рис.

связаны

и

с

изменением

се­

характеристика

арсенида

чения

захвата

носителей

на

/аллия л-тппа

при низких

примесные центры. Энергия, со­

температурах

[33].

общенная полем свободному но­

 

 

 

 

сителю, может оказаться достаточной для того,чтобы преодо­ леть отталкивающее действие кулоновских сил со стороны атома примеси. В этом случае происходит захват носителя, и при дальнейшем увеличении напряженности поля эффек-

4.G] В Л И Я Н И Е С И Л Ь Н О Г О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К О Г О П О Л Я 219

тггвпое число свободных носителей будет убывать с ростом ноля. Если сечение захвата достаточно быстро растет с полем, возможно возникновение отрицательной диффе­

ренциальной

проводимости: при напряженности

поля

большей, чем некоторая критическая величина EKV,

ток

в однородном

образце будет падать с дальнейшим ростом

поля. На возможность возникновения такой проводимости вследствие захвата па заряжеипый примесный; центр впервые указал Ридлн [160]. Можно показать [161, 162], что весьма общим следствием наличия в полупроводнике отрицательной дифференциальной проводимости является так называемая «доменизация». При Е > ЕКХ) в образце образуется движущаяся область сильного поля—«домен», с образованием которого связано падение тока, проте­ кающего через образец. Зародившись (в случае электрон­ ного полупроводника обычно у катода), домен сильного поля движется вдоль образца и исчезает, достигнув анода. При исчезновении домена ток вновь возрастает до перво­ начальной величины, после чего образуется новый домен, п процесс периодически повторяется. Более подробно процесс возникновения отрицательной дифференциальной ироводимости и явления, сопутствующие образованию неустойчивости и доменпзацпи для случая захвата носи­ телей, рассмотрены в работах [160—166].

В n-GaAs периодические колебания тока, связанные с образованием домена сильного поля за счет вызванной захватом на ловушки отрицательной дифференциальной проводимости, изучались в работах [167—175].

Исследовалось влияние температуры, освещенности, характера легирования н ориентации образцов на пара­ метры генерации и поведение домена. Отрицательная дифференциальная проводимость и возникновение дви­ жущихся доменов сильного поля за счет захвата носите­

лей

на заряженные

примесные центры наблюдались

в нолуизолпрующем

арсениде галлия 7г-типа

(р—103

101 0

ом-см) в диапазоне температур 77—300 °К.

Величина

критического поля возникновения неустойчивости зави­ сит от концентрации носителей, характера легирования, температуры и освещенности образцов и изменяется в пре­ делах от нескольких десятков до нескольких тысяч вольт на сантиметр (90 в/см [167], 3100 в/см [172]). Исследова­ ния формы и скорости движения домена сильного поля

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ