
книги из ГПНТБ / Арсенид галлия. Получение, свойства и применение
.pdf210 |
Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А |
[ГЛ. 4 |
высокая, то вклад их в общую теплопроводность стано вится ощутимым.
Исследование теплопроводности позволяет выяснить особенности процессов рассеяния электронов и фононов в полупроводниках, получать сведения о наличии в ре шетке различных дефектов. Исследование теплопровод ности представляет и непосредственный практический интерес. Знание ее необходимо при выборе материала для термоэлементов. Очень важно знать значение тепло проводности полупроводника при конструировании при боров, в которых выделяется тепло: генераторов Ганна, мощных туннельных диодов, лазеров и других. Это позво ляет наилучшим образом решить вопрос о теплоотводе от работающего прибора. Например, в лазерах из арсе нида галлия, работающих при 4,2 °К, лучше отводить тепло со стороны л-области, которая прп этой температуре имеет по крайней мере на два порядка большую теплопро водность, чем р-область [133].
У алмазоподобных полупроводников, к которым отно сится и арсенпд галлия, теплопроводность очень высокая и обусловлена в осповпом решеточной составляющей. Вклад электронной составляющей становится ощутимым при концентрациях электронов порядка 101 8 —102 0 сл1-3 .
Сведения о теплопроводности арсенпда галлия при водятся в работах [123, 126, 133—147]. Удельная тепло проводность арсенпда галлия при комнатной температуре составляет 0,37—0,45 вт/смград; это более чем на поря док выше теплопроводности таких термоэлектрических материалов, как халькогениды свинца и висмута. Срав нительно большой разброс значений теплопроводности связан с различной концентрацией носителей тока в исследованных образцах и степенью совершенства кристаллов.
С понижением температуры теплопроводность наибо лее чистых и совершенных кристаллов арсенида галлия растет до тех пор, пока длина свободного пробега фононов не достигает своей максимальной величины, обусловлен ной размерами данного образца (рис. 4.36). Цри дальней шем понижении температуры теплопроводность решетки, пройдя через максимум, резко уменьшается вследствие умепыпения теплоемкости фононного газа. Сплошная линия на рис. 4.36, проведенная через точки для отио-
4.41 |
Т Е П Л О В Ы Е |
С В О Й С Т В А |
211 |
снтелыш |
чистого образца |
1 , рассчитана |
теоретически |
с учетом рассеяния на границах образца. Все остальные
образцы имели приблизительно |
такие же размеры, |
как |
и образец 1 . Из данных рис. |
4.36 следует, что во |
всех |
30-
10 •
6 '•
4 •
г•
I •
%
«8-
10''
|
|
|
I |
г |
4 бею |
100 |
400 |
|
|
|
Рис. 4.36. |
Зависимость |
теплопроводности от температуры |
[138]. |
|||||||
1 —тс |
= |
7-101 5 ; 2 — п = 5 - 1 0 1 7 |
(Те); 3 — р = 1 , 4 - 1 0 , « |
(Cd); da |
— |
р = 2 , 7 - 1 0 " |
||||
(Zn); |
46 |
— р = 2 , 6 - 1 0 1 8 |
(Zn); |
5 а — р ^ 5 - 1 0 1 л |
(Мп); 56 |
— р-5-10" |
|
(Мп) |
а и - 3 . |
|
З а ч е р н е н н ы е символы и з о б р а ж а ю т и з м е р е н и я а м а г н и т н о м |
п о л е 12,7 |
х э . |
||||||||
образцах, |
кроме |
1 , |
рассеяние |
фонопов много |
сильнее, |
|||||
чем |
предсказанное для рассеяния на |
границах. |
Вблизи |
комнатной температуры кривые для всех образцов схо дятся. Рассеяние в этой области температур фонон-фо- ноиное.
На рис. 4.37 экспериментальные результаты по темпе ратурной зависимости теплопроводности для одного из исследованных в работе [141] образцов сравниваются
14*
212 |
Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А |
[ГЛ. 4 |
с теоретическими, вычисленными по формуле Каллауэя (кривая 1) и по формуле, в которой принимаются во вни мание детали фононного спектра и отдельно учитываются вклады поперечных и иродольиых фоионов (кривая 2). Как видно из рис. 4.37, кривая 2 лучше согласуется с экс периментальными данными, чем кривая^!. Отсюда следует
/ г ь вею го w№ шо гоозоо
Г,'К
Рис. 4.37. Сравнение теоретических п экспериментальной кривых температурной зависимости теплопроводности [140].
К р п в ы е 1 и 2 т е о р е т и ч е с к и е (см. о б ъ я с н е н и е в тексте), э к с п е р и м е н т а л ь н ы е точки и з [141].
вывод о том, что в этом интервале температур необхо димо учитывать вклад от теплопроводности поперечных фононов.
Данные по теплопроводности решетки арсенида галлия до температуры 900 °К изображены на рис. 4.38. Вклад электронной составляющей для образцов 1—3 исключался из общей теплопроводности по обычпым формулам в пред положении, что электроны рассеиваются на полярных колебаниях решетки. В образце 4 вкладом электронов из-за их малой концентрации пренебрегалось.
Решеточная теплопроводность арсенида галлия изме няется по закопу Т~г'2Ъ. Эта зависимость более резкая, чем имеющаяся при трэхф >;:оипых процессах. По-види мому, здесь имеют .место процессы более высокого по рядка. Решеточная теплопроводность в образце 2 меньше, чем в образце 1, а в последнем меньше, чем в образце 4. Уменьшение решеточной теплопроводности, обусловлен ное увеличением концентрации свободных носителей тока,
«.5] |
Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А |
213 |
.наблюдалось и в других материалах. Это уменьшение объясняется рассеянием фоионов свободными электронами.
Выше 600 0 К на кривой образца 4 проявляется вклад фотонной составляющей теплопроводности. Его вклад в общую теплопроводность значителен, когда решеточная теплопроводность мала и поглощение фотонов на свобод ных посителях отсутству
ет. L увеличением кон центрации носителей тока вклад фотонной составляю щей уменьшается (обра зец 1) и, наконец, в силь но легированных образцах из-за сильного поглоще ния на свободных носите лях исчезает вообще.
В магнитиом поле 12,1'кэ теплопроводность в ле гированных марганцем об разцах арсенпда галлия уменьшается иа 20% [138].
Облучение кристаллов арсенпда галлия высокой чистоты электронным пуч ком также ведет к умень шению их теплопроводнос ти [139], причем измене ние теплового сопротивле ния пропорционально ин
тенсивности излучения. Известно, что бомбардировка раз личными частицами создает в полупроводниках точечные дефекты, число которых пропорционально интенсивнос ти излучения. В свою очередь эти дефекты рассеивают фононы, вследствие чего уменьшается и общая тепло проводность.
4.5. Зависимость электрических свойств от давления
Под влиянием давления кристаллическая решетка деформируется, что, естественно, влечет за собой изменение зонной структуры. При этом может меняться как форма зон (эффективные массы), так и нх взаимное расположение
214 Я В Л Е П П Я П Е Р Е Н О С А [ГЛ. 4
(величина запрещенной зоны, расстояния между мини мумами). Оба эти эффекта, хотя и в разной степени, сказываются на электрических свойствах материала.
На рис. 4.39 представлена зависимость нормализован ного удельного сопротивления от величины всестороннего давления для образца эпитакспального арсенида галлия
я-типа с удельным сопротивлением при нулевом |
давлении |
р 0 = 0 , 4 2 ом-см н подвижностью электронов 7500 |
см2/в-сек, |
[148]. Наблюдаемая зависимость может быть легко интер
претирована на основе |
простой двухдолнннои модели |
зоны проводимости 142] |
(рис. 4.40)". |
Энергетический зазор между дном центральной долины и дном долины, расположенной в направлении <100> *) Ае„ составляет при нулевом давлении 0,36 эв и умень шается с увеличением давления. До тех пор, пока
20 |
30 |
43 |
О |
Давление, |
|
кбар |
Рис. 4.39. Зависимость нор мализованного удельного со противления арсенида галлия л-типа от давления по дан ным [148].
Рис. 4.40. Структура зо ны проводимости в на правлении [100] [42].
Э н е р г е т н ч е з к и п з а з о р м е ж д у
д о л и н а м и |
Д е = [0,36— (1,014: |
|
± 0 , 0 4 ) |
1 0 - ' • |
Р[кбар])Ы. |
его величина остается много больше тепловой энергии электронов, что. соответствует давлениям, меньшим 28 кбар (см. рис. 4.39), удельное сопротивление слабо возрастает, приблизительно пропорционально давлению. Рост сопро тивления обусловлен уменьшением подвижности электро-
*) В действительности число <100> долин трп или шесть в за висимости от их положения относительно границ зоны Бриллюэ на. Однако при расчете удобно рассматривать этп долины как одну «эффективную» долину с суммарной плотностью состояний. Такую модель принято именовать двухдолинной (или двухзонноц).
4.5] Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Й С В О Й С Т В А 215
нов в основном минимуме. Уменьшение подвижности с дав
лением |
- ^ с о с т а в л я е т |
9 , 6 - 10 - ° см2/кГ |
11491. |
||||||||
|
|
т |
аР |
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
Зазор между нижней и верхней долинами |
уменьшается |
|||||||||
с |
давлением |
со |
скоростью (1,01—1,08)-Ю-6 |
эв-см2ЫГ |
|||||||
[42, 148. 150]. Прп давлении выше 28 кбар |
зазор стано |
||||||||||
вится |
сравнимым |
с |
тепловой |
энергией |
электронов, |
||||||
и начинается интенсивный.'переход носителей |
в |
вышележа |
|||||||||
щую долину зоны проводимости. Поскольку |
эффективная |
||||||||||
масса |
электронов |
в осповпой долине |
равна |
0,072 m0 , |
|||||||
а |
в верхней |
1,2 |
т0, |
отношение |
плотностей |
состояний |
|||||
составляет |
(тУт^РлбО, |
|
и очевидно, |
что |
практически |
||||||
все электроны |
с энергией |
большей, чем зазор между доли |
нами, будут находиться в верхней долине. Переходу носи телей из основной долины в долину «тяжелых» электронов соответствует резкий рост сопротивления в диапазоне давлений от 28 до 42 кбар. Выше 42 кбар зависимость насы щается, что, по-видимому, свидетельствует о том, что все электроны перешли в верхнюю долину. Аналитическое выражение, описывающее рассматриваемую зависимость в рамках двухдолииной модели, подробно обсуждается в [148].
Если предположить, что число электронов в зоне про водимости ие меняется с давлением, то подвижность элект
ронов в верхней долине может |
быть |
найдена |
просто |
||||||
по отношению сопротивлений |
Ростах |
п |
составляет |
||||||
(150+25) смУв-сек |
[148] (см. рис. 4.39). |
|
|
|
|
||||
Предположение о независимости концентрации элект |
|||||||||
ронов от давления требует тщательного |
|
обоснования. |
|||||||
Дело в том, что с давлением меняется не только |
расстоя |
||||||||
ние между долинами, |
но и |
ширина |
запрещенной |
зоны |
|||||
eg =l,53-)-0,94-10-5 |
Р |
[эв] |
[42, |
151]. |
Это |
означает, |
что |
с давлением может меняться расстояние между глубокими донорными уровнями и дном зоны проводимости, что в свою очередь повлечет за собой изменение концентрации свободных электронов. Наличие глубоких донорных уров
ней |
приводит к |
существенному |
изменению зависимости |
р/рй |
=/(•/?) [152]. |
По-видимому, |
именно наличием таких |
уровней объясняется различие в результатах работ [148, 152] и [150, 153]. В [148, 152] отсутствие глубоких уровней специально контролировалось.
Следует заметить, что из зависимости сопротивления от давления может быть определено отношение плотностей
216 |
Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А |
[ГЛ. 4 |
состояний в верхней и нижней долинах, еслп известна величина энергетического зазора между ними. Однако такого рода расчет ненадежен вследствие сильной зависи мости полз'чаемой величины от значения зазора прп нуле вом давленпп Ае0 . Так изменение Ае0 от 0,36 до 0,38 эв меняет значение отношения плотности состояний от 119 до 227 [148].
Изменение зазора между долинами с давлением приво дит и к существенному влпянпю давления на эффект Ганна. Поскольку этот эффект , возпикает вследствие разогрева электронов электрическим полем и их после дующего перехода в верхние долины, очевидно, что с изме
|
|
|
|
|
|
|
|
нением |
энергетического |
||||||||
|
|
т |
. |
1 |
|
1 |
г |
зазора |
величина |
необхо |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
димого для |
разогрева |
но |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
сителей |
|
электрического |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
поля Также |
доллша |
изме |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
няться |
[154, |
155]. Зависи |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
мость критического |
поля |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
эффекта |
Гапна |
от |
величи |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
ны |
всестороппего |
|
давле |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
ния показапа на рис. 4.41. |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Там же приведены резуль |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
таты теоретических расче |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
тов |
Батчера |
|
и |
Фасетта |
|||||
|
|
|
Давление, |
кбар |
|
[156]. Наблюдается |
хоро |
||||||||||
Рис. |
4.41. |
|
Зависимость |
крити |
шее |
согласие |
в |
ходе |
тео |
||||||||
|
ретической |
и |
эксперимен |
||||||||||||||
ческого |
напряжения |
эффекта |
|||||||||||||||
тальной кривых вплоть до |
|||||||||||||||||
Ганна от всестороннего |
давления. |
||||||||||||||||
К р и в а я — п о |
р а с ч е т у |
Б а т ч е р а |
и |
Ф а |
давления |
20 |
|
кбар. |
|
При |
|||||||
сетта |
В156]. |
|
Э к с п е р и м е н т а л ь н ы е |
т о ч |
больших давлениях |
|
тео |
||||||||||
к и — |
п о |
д а н н ы м |
р а б о т ы |
1154]. |
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
рия предсказывает |
резкий |
||||||||
рост |
величины |
критического |
поля |
с давлением, |
не |
на |
|||||||||||
блюдавшейся в |
[154]. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
На более чистом эпитакспальном арсениде галлия [152] наблюдалось прекрасное согласие экспериментальной кри вой с теоретическим расчетом [156] во всем диапазоне дав лений вплоть до исчезновения гаиновских колебаний при 27 кбар.
Зависимость нормализованного порогового поля от одноосного давления, приложенного вдоль трех различ ных кристаллографических осей, приведена на рис. 4.42.
4.6] |
В Л И Я Н И Е С И Л Ь Н О Г О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К О Г О П О Л Я |
217 |
Из рисунка видно, что наибольшее влияние на величину порогового поля оказывает давление, прикладываемое
Давление, кбар
Рис. 4.42. |
Зависимость нормализованного порогового поля от од |
|
|
ноосного давления [155]. |
|
Ш т р и х о в а я |
к р и в а я х а р а к т е р и з у е т зависимость п о р о г о в о г о п о л я о т в с е с т о р о н - . |
|
|
пего д а в л е н и я по |
д а н н ы м Е154]. |
вдоль кристаллографической |
оси <(100)>. Это непосредст |
венно свидетельствует о том, что эффект Ганна возникает вследствие перехода электронов именно в (100) долины зоны проводимости [155].
4.6. Влияние сильного электрического поля
на эффекты переноса •
Существуют две группы явлений, при анализе которых принято употреблять термин «сильное поле».
К первой группе относятся явления, возникающие благодаря тому, что электрическое поле заметно сказы вается на^фуикции распределения носителей. Поле назы вается в этом случае сильным, когда отклонение функции распределения от равновесной достаточно для заметного изменения подвижности или концентрации носителей. Плот ность тока в образце при этом перестает быть прямо про порциональной напряженности поля. Принято различать область «теплых» носителей, когда средняя энергия носи телей в присутствии поля лишь незначительно отличается от равновесной (если оказывается возможным ввести поня
тие о температуре носителей, то это условие |
записывается |
||
так: Тн—Т0 < Т0, |
где |
Тц — температура |
носителей |
в присутствии поля, |
Т0 |
— температура решетки); область |
218 |
Я В Л Е Н И Я П Е Р Е Н О С А |
[ГЛ. 4 |
«горячих носителей» и область пробоя, когда сообщенная носителю полем энергия оказывается достаточной для того, чтобы ионизовать атом примеси (примесный пробой) или перевести электрон из валентной зоны в зону прово димости (зона—зонный пробой) [157, 158].
Ко второй группе отпосятся эффекты электроакусти ческого взаимодействия [159]. Эти эффекты обязаны своим возникновением пьезоэлектрическим свойствам арсенида галлия и становятся существенными, когда средняя дрейфовая скорость, приобретаемая носителями под дей ствием электрического поля, становится приблизительно
равной |
скорости |
звука в |
материале (—3-105 см/сек). |
На |
рис. 4.43 |
приведена |
зависимость плотности тока |
от напряженности электрического поля для диапазона
температур |
4—26° К'[33, |
57]. Измерения |
температурной |
|||||||||
|
|
|
|
зависимости коэффициента Хол |
||||||||
/, а/см1 |
|
|
|
ла |
показывают, |
что при 4° К в |
||||||
|
|
|
|
слабом |
поле |
электроны «вымо |
||||||
|
|
|
|
рожены» на |
мелких |
донорных |
||||||
|
|
|
|
уровнях |
н |
проводимость |
осу |
|||||
|
|
|
|
ществляется за счет |
прыжково |
|||||||
|
|
|
|
го |
механизма |
в |
примеспой |
|||||
|
|
|
|
зоне. При 24в/см наступает про |
||||||||
|
|
|
|
бой. Б еще более сильных по |
||||||||
|
|
|
|
лях все мелкие примесные уров |
||||||||
|
|
|
|
ни |
оказываются |
полностью |
||||||
|
|
|
|
опустошенными, и вид |
вольтам- |
|||||||
|
|
|
|
перной характеристики опреде |
||||||||
|
|
|
|
ляется зависимостью подвижно |
||||||||
|
|
|
|
сти «теплых» электронов от по |
||||||||
Ш'А |
|
|
|
ля |
[157]. |
|
|
|
|
|
||
• |
1 |
< - |
|
Отклонения |
от |
закона |
Ома |
|||||
Ю~' |
Ю° |
10 |
W2 |
в |
арсеииде |
галлия |
в |
сильном |
||||
|
|
|
£, В/см |
|||||||||
|
|
|
электрическом ноле |
могут |
быть |
|||||||
|
А.A3. Вольтампериая |
|||||||||||
Рис. |
связаны |
и |
с |
изменением |
се |
|||||||
характеристика |
арсенида |
чения |
захвата |
носителей |
на |
|||||||
/аллия л-тппа |
при низких |
примесные центры. Энергия, со |
||||||||||
температурах |
[33]. |
|||||||||||
общенная полем свободному но |
||||||||||||
|
|
|
|
сителю, может оказаться достаточной для того,чтобы преодо леть отталкивающее действие кулоновских сил со стороны атома примеси. В этом случае происходит захват носителя, и при дальнейшем увеличении напряженности поля эффек-
4.G] В Л И Я Н И Е С И Л Ь Н О Г О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К О Г О П О Л Я 219
тггвпое число свободных носителей будет убывать с ростом ноля. Если сечение захвата достаточно быстро растет с полем, возможно возникновение отрицательной диффе
ренциальной |
проводимости: при напряженности |
поля |
большей, чем некоторая критическая величина EKV, |
ток |
|
в однородном |
образце будет падать с дальнейшим ростом |
поля. На возможность возникновения такой проводимости вследствие захвата па заряжеипый примесный; центр впервые указал Ридлн [160]. Можно показать [161, 162], что весьма общим следствием наличия в полупроводнике отрицательной дифференциальной проводимости является так называемая «доменизация». При Е > ЕКХ) в образце образуется движущаяся область сильного поля—«домен», с образованием которого связано падение тока, проте кающего через образец. Зародившись (в случае электрон ного полупроводника обычно у катода), домен сильного поля движется вдоль образца и исчезает, достигнув анода. При исчезновении домена ток вновь возрастает до перво начальной величины, после чего образуется новый домен, п процесс периодически повторяется. Более подробно процесс возникновения отрицательной дифференциальной ироводимости и явления, сопутствующие образованию неустойчивости и доменпзацпи для случая захвата носи телей, рассмотрены в работах [160—166].
В n-GaAs периодические колебания тока, связанные с образованием домена сильного поля за счет вызванной захватом на ловушки отрицательной дифференциальной проводимости, изучались в работах [167—175].
Исследовалось влияние температуры, освещенности, характера легирования н ориентации образцов на пара метры генерации и поведение домена. Отрицательная дифференциальная проводимость и возникновение дви жущихся доменов сильного поля за счет захвата носите
лей |
на заряженные |
примесные центры наблюдались |
|
в нолуизолпрующем |
арсениде галлия 7г-типа |
(р—103 — |
|
101 0 |
ом-см) в диапазоне температур 77—300 °К. |
Величина |
критического поля возникновения неустойчивости зави сит от концентрации носителей, характера легирования, температуры и освещенности образцов и изменяется в пре делах от нескольких десятков до нескольких тысяч вольт на сантиметр (90 в/см [167], 3100 в/см [172]). Исследова ния формы и скорости движения домена сильного поля