
книги из ГПНТБ / Физические основы рентгеноспектрального локального анализа
..pdfПри анализе мелких выделений в матрице другого состава первичное излучение идет из выделения, а вторич ное — из матрицы. Этот случай был описан Кастеном и Декампом [8] и позже Филибером [10]. Другой, практиче ски весьма важный пример — излучение полупроводни ков, где концентрации быстро меняются на протяжении всего лишь нескольких микрон. В каждом из этих случаев следует учитывать флуоресцентное излучение.
ЛИТЕРАТУРА
1.K r a m e r s , Phil. Mag. P. 836, Jul.— dec. (1923).
2.K u l e n k a m p f f , Ann . Physik (4) 69, 548 (1922).
3. G r e e n , Thesis, University of Cambridge (England) (1962).
4. |
M о t t, |
M a s s e y. |
Theory of |
Atomic |
Collisions, |
Clarendon |
||||||||
5. |
Press (1949). |
|
|
T o m l i n , |
Proc. |
Phys. |
Soc. |
A69, |
401 |
|||||
W o r t h i n g t o n , |
||||||||||||||
6. |
(1956). |
|
|
|
Proc. |
Roy. Soc, |
A86, |
360 (1912). |
|
|||||
W h i d d i n g t o n , |
1041 |
|||||||||||||
7. |
Л и с т e p г a p T e її, |
Изв. |
АН СССР, |
сер. |
физ. |
24, |
||||||||
8. |
(1960). |
|
D e s с a m p s, |
J . de |
Phys. 16, |
304 |
(1955). |
|||||||
С a s t а і n g, |
||||||||||||||
9. |
K i r i a n e n k o , |
H e n o c |
and |
|
M a u r i c e , |
Rapport |
||||||||
10. |
CEAR |
2421, |
(1964). |
|
|
|
|
Industries |
40, |
No. |
465 |
|||
P h і 1 і b e r t , |
Metaux, Corrosion, |
|||||||||||||
|
(1964), |
p. 157; 40, No. 466 (1964), |
p. 216; |
40, No. 469 (1964), |
||||||||||
|
p. 325. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
18. КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНИЙ МИКРОАНАЛИЗ СЛОЖНЫХ СПЛАВОВ
Дж. Белк
Введение. С целью упрощения и наглядности работа по методам введения поправки в данные микроанализа концентрирует свое внимание на бинарных сплавах. При этом часто делается предположение, что определяются оба компонента. Однако бинарные сплавы являются скорее исключением, а не правилом, среди огромного количества объектов исследования практической металлургии. Сле довательно, необходимо уделить внимание методам вве дения поправки в данные микроанализа для сплавов, со держащих три и более элементов. Поскольку на определе ние каждого из имеющихся в сплаве элементов оказывает влияние присутствие всех остальных элементов и посколь ку для оценки исправленных данных всегда необходима удачная аппроксимация, процесс введения поправки для сложных сплавов всегда очень трудоемок.
Существуют два очевидных решения этой проблемы: проведение расчетов с помощью счетной машины и упро щение процедуры расчета до такой степени, чтобы его можно было провести вручную.
Методы машинного расчета. Помимо очевидных ограниченных возможностей использовать подходящую счетную машину и трудностей составления программы, имеются и другие проблемы, связанные с введением по правки в данные микроанализа при помощи счетной ма шины. Прежде всего необходимо решить, какой метод вве дения поправки следует использовать. Сравнение раз личных существующих методов сделано в работе [1], где указано, что лучшие результаты получаются при исполь зовании более сложных методов. Наилучшим приближе нием^является программирование счетной машины на основе одного из наиболее исчерпывающих методов вве дения поправки.
Программы счетных машин для четырех различных методов введения поправки описаны и опробованы в ла боратории автора. Во-первых, метод Биркса [2], где для элементов от алюминия до золота для ускоряющего (ра бочего) напряжения от 25 до 30 кв было предложено ис пользовать одну / (х)-кривую. Во-вторых, метод поправки
на поглощение |
Кастена [3], который |
позволяет выбирать |
|
/ (%)-кривую и з |
серии / (х)-кривых, полученных для |
алю |
|
миния, меди и золота при 29 кв, для |
алюминия при |
9,7 и |
15,1 кв и железа при 27,5 кв. Это позволяет, до некоторой степени, принять во внимание атомный номер сплава и стандартов и выбрать ускоряющее напряжение для лег ких элементов, где предпочтительны низкие напряжения. В-третьих, метод Пула и Томас [4], которые, приняв кон цепцию а-факторов Кастена, показали, что значения этих факторов при анализе элементов с помощью рентгенов
ского микроанализа |
существенно |
различаются, и пред |
||||||
ложили формулы для расчета |
а-факторов Кастена. Нако |
|||||||
нец, метод |
Арчарда |
и |
Мулви |
[51, которые |
опубликовали |
|||
/ (х)-кривые |
Д л я |
азота, |
алюминия, |
титана, |
меди и |
золота |
||
при ускоряющих |
напряжениях от |
5 до |
40 кв. |
Кривые |
/(х) данного элемента строятся для серии значений Е0—
—Ек, где Е0 — энергия падающих электронов, а Ек — критическая энергия возбуждения рассматриваемой эмис сионной серии. Этот метод построения впервые был пред ложен Грином [6]. Применение этого метода требует выбо ра определенной / (х)-кривой для каждого элемента как в образце, так и в эталоне. С помощью этого метода можно также учитывать эффект атомного номера.
Эти четыре метода были выбраны лишь как примеры для расчета поправки с помощью вычислительной машины и не исчерпывают списка существующих методов. Из при менения этих методов для машинного расчета данных ана лиза сплавов, содержащих до шести элементов, следует два основных вывода. Прежде всего необходимо заложить в машину информацию о ходе / (%)-кривой, что наиболее просто можно сделать с помощью математической функции. Таким образом, каждой / (%)-кривой должна соответст вовать либо формула, подобная формуле Филибера [7]
7(хГ " (1 + " з " ) і 1 + |
Т+Т~т)' |
где о и h — постоянные, либо чисто эмпирическая фор мула. В этом случае / (%)-кривая будет определяться по
крайней мере двумя параметрами типа а и Л. Аппрокси мация / (%)-кривой с помощью формулы только с двумя параметрами не всегда достаточно хороша, и это может привести к погрешностям при использовании метода вве дения поправки.
Вторым фактором является число независимых пара метров, которые необходимо ввести в машину. Если сплав содержит п элементов, то имеется пг массовых коэффици ентов поглощения плюс п ос-факторов и поправочных параметров для / (%)-кривых. В то время как массовые ко эффициенты поглощения и а-факторы можно легко табу лировать и считывать, параметры / (%)-кривых часто тре буют интерполяции для определенного атомного номера и используемого возбуждающего напряжения. В табл. 1
указано число |
параметров, |
которое |
необходимо задавать |
|||||
в машину |
для |
каждого |
из |
рассмотренных |
методов. |
|
||
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а |
1 |
|
|
|
|
|
|
Арчард и Мулви |
|
||
Число анали |
Бирке и |
Пул |
и Томас; |
Поглощение |
Поглощение |
|||
зируемых |
Кастен; |
•п? + п + 2 |
||||||
элементов |
|
n* + 2 |
|
|
п2 + 2п |
|
и атомный |
|
|
|
|
|
|
|
|
номер п 2 |
+ 4п |
2 |
|
6 |
|
8 |
8 |
|
12 |
|
3 |
|
11 |
|
14 |
15 |
|
21 |
|
4 |
|
18 |
|
22 |
24 |
|
32 |
|
5 |
|
27 |
|
32 |
35 |
|
45 |
|
6 |
|
38 |
|
44 |
48 |
|
60 |
|
Вычисления на машине могут быть проделаны очень быстро, но вычислительная машина не всегда доступна, что может вызвать значительную задержку в использовании экспериментальных данных. Поэтому был бы желателен простой метод, который обеспечил бы быструю оценку необходимых поправок при анализе сплавов, содержащих ряд элементов, тогда как полные расчеты поправок выпол нялись бы позже на машине или вручную.
Упрощенные методы. Очевидно, что для случая слож ного сплава было бы хорошо иметь простой метод введе ния поправок, который обладал бы достаточной точностью и был бы легко применим для ручного расчета. Упрощенные методы поправок, учитывающие эффекты поглощения рент геновского излучения и атомного номера анализируемого объекта, были развиты на основе работ Кастена и Филибе-
pa. С помощью этих методов можно быстро провести рас чет поправочных факторов для сплава, содержащего не сколько элементов. Использованные в этих методах приб лижения справедливы для большинства практических случаев.
Поправка на поглощение рентгеновского излучения.
Филибер показал, что функцию поглощения / (%) можно связать с параметром % соотношением
|
1 |
Л і . J L V i + |
* J L |
|
|
|||
|
/(X) |
|
|
|||||
|
\ |
1 |
1 1 + Л |
о |
|
|
||
где % = |
ц, cosec гт и h = |
1,2 A/Z2, |
р, -— массовый коэффи |
|||||
циент поглощения |
рентгеновского |
излучения, |
Ф — угол |
|||||
выхода |
рентгеновского |
излучения, |
А — атомный |
вес, |
||||
Z — атомный номер, а — модифицированный коэффициент |
||||||||
Ленарда, табулированный Филибером. |
|
|
||||||
Для элемента А измеренная относительная интенсив |
||||||||
ность кА |
может быть |
сопоставлена |
с |
весовой |
концентра |
|||
цией СА С помощью |
соответствующего |
поправочного |
мно |
|||||
жителя |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
СА = |
j -э / (Х А) |
|
|
|
|
|
|
|
КА |
|
|
|
|
где %А относится к чистому металлу А, а %А — к образцу сплава. Это выражение можно переписать, используя формулу Филибера:
7 « |
б sin •& / \ |
1 -f- h |
в sin l) |
сА = К/ |
|
|
|
|
a sin & J \ |
1 + h |
s sin •& |
Перемножая скобки и пренебрегая членами, содержа щими (ц.л)2 И (Ц/А) 2 , получаем
1 + А \ ... „ , т
С А - |
кА-JT+h |
или
где р == д 7" sin гт. Значения ст, которые зависят только от ускоряющего напряжения, табулированы Филибе-
ром и приведены в табл. 2. |
Значения |
|
(1 + |
|
+ |
2 h) |
|||||||
для наиболее |
часто встречающихся элементов |
приве |
|||||||||||
дены |
в табл. |
3. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а |
2 |
|||
Энер |
• |
|
|
|
Энер |
|
Энер |
|
|
Энер |
|
||
|
Энер |
|
|
|
|
|
|||||||
гия |
о |
гия |
|
О |
гия |
а |
гия |
|
а |
гия |
|
О |
|
зонда, |
зонда, |
зонда, |
зонда, |
зонда, |
|||||||||
кэв |
|
кэв |
|
|
кэв |
|
кэв |
|
|
кэв |
|
|
|
8 |
11800 |
14 |
|
6450 |
20 |
3725 |
26 |
|
2385 |
32 |
|
1600 |
|
9 |
10650 |
15 |
|
5900 |
21 |
3450 |
27 |
|
2200 |
33 |
|
1515 |
|
10 |
9600 |
16 |
|
5350 |
22 |
3200 |
28 |
|
2075 |
34 |
|
1425 |
|
11 |
8700 |
17 |
|
4850 |
23 |
2950 |
29 |
|
1950 |
35 |
1340 |
||
12 |
7850 |
18 |
|
4450 |
24 |
2725 |
30 |
|
1820 |
|
|
|
|
13 |
7100 |
19 |
|
4075 |
25 |
2550 |
31 |
|
1700 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а |
3 |
|||
Эле |
Атом |
l + h |
Эле |
Атом |
|
|
|
Эле |
Атом |
1 |
+ ft |
||
мент |
ный |
1 + |
2/1 |
мент |
ный |
1 + |
2/1 |
мент |
ный |
1+ 2h |
|||
номер |
номер |
номер |
|||||||||||
|
|
|
|
||||||||||
С |
6 |
0,778 |
Сг |
24 |
0,911 |
|
Zr |
40 |
0,940 |
||||
N |
7 |
0,797 |
Мп |
25 |
0,913 |
|
Mo |
42 |
0,942 |
||||
О |
8 |
0,812 |
Fe |
26 |
0,918 |
|
Ru |
44 |
0,944 |
||||
Mg |
12 |
0,854 |
Со |
27 |
0,918 |
|
Rh |
45 |
0,951 |
||||
A l |
13 |
0,862 |
N i |
28 |
0,923 |
|
Ag |
47 |
0,948 |
||||
Si |
14 |
0,872 |
Си |
29 |
0,922 |
|
Sn |
50 |
0,949 |
||||
Р |
15 |
0,875 |
Zn |
30 |
0,926 |
|
W |
74 |
0,996 |
||||
S |
16 |
0,884 |
As |
33 |
0,928 |
|
Au |
79 |
0,996 |
||||
Са |
20 |
0,904 |
Y |
39 |
0,939 |
|
U |
92 |
0,998 |
||||
Ті |
22 |
0,905 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Уравнение (1) является упрощенной формулой для по правки на поглощение. Для оценки поправки с помощью (1) необходимо знать только рл> Р А И р. Параметр р можно получить из табл. 2 и 3, значения рд табулированы, а рл точно определяется из выражения
X |
А |
і Н |
і С |
| |
Р А = РАСА + Р А ^ В + Р А С С + • • •
В первом приближении это можно записать в виде
Р А |
= |
А* + |
А* + |
А» + . . . |
|
|
|||
знаменатель обусловлен тем, |
что сумма относительных |
|||
интенсивностей |
не |
равна |
единице. |
|
Можно ожидать, |
что приближение, включающее пре |
небрежение членами вида и2 , ограничивает применение
формулы (1) теми случаями, когда |
р,д и рУд малы или мала |
||||||||
разность |
ц-л — р Л - Установлено, |
что это |
действительно |
||||||
имеет место; на рис. 1 при |
|
|
|
|
|||||
ведены |
кривые, |
показываю |
|
|
|
|
|||
щие точность |
аппроксимации |
|
|
|
|
||||
при |
различных |
значениях |
|
|
|
|
|||
[НА И [НА — Ц А - |
Даже |
крите- |
|
' ' |
|
" |
|||
рий в 1 % не слишком строго |
|
|
|
-1% |
|||||
ограничивает |
|
применение |
|
|
|
||||
формулы, поскольку |
этому |
|
|
|
-1% |
||||
|
р/2 |
|
|
||||||
критерию удовлетворяют 128 |
|
|
|
||||||
из |
150 |
экспериментальных |
Рис. 1. Относительная (по отноше |
||||||
результатов, |
которые |
будут |
нию к данным расчета по формуле |
||||||
обсуждаться |
ниже. |
|
Филибера) точность расчета по |
||||||
|
|
упрощенной |
формуле (1). |
||||||
В табл. 4 приведены мак |
|
|
|
|
|||||
симальные допустимые значе |
|
|
|
|
|||||
ния |
(хд — Ц-А, удовлетворяющие |
критерию |
в |
1 и 2%, а |
также максимальные значения поправочного множителя, которые можно использовать, сохраняя указанную сте
пень точности. Очевидно, что упрощенная поправка |
дает |
|||||||
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а |
4 |
||
|
|
|
Точность аппроксимации |
|
|
|||
|
|
1% |
2% |
5% |
|
|||
А |
|
макси |
|
макси |
|
макси |
||
V-A |
максимум |
максимум |
максимум |
|||||
мальный |
мальный |
мальный |
||||||
|
|
поправоч |
Л-Л |
поправоч |
|
поправоч |
||
|
|
ный мно |
ный мно |
|
ный мно |
|||
|
|
житель |
|
житель |
|
житель |
||
0 |
0,Ър |
1,50 |
0,67/. |
1,67 |
1,33/) |
2,33 |
||
0,5р |
0,25/> |
1,17 |
0,47/> |
1,31 |
1,02/> |
1,68 |
||
Р |
0,20/э |
1,10 |
0,40;? |
1,20 |
0,94р |
1,47 |
||
2р |
0,20р |
1,07 |
0,37р |
1,12 |
0,91 р |
•1,30 |
наилучшие результаты при \iA < |
р и (цА |
— \iA) < р}2. |
На практике это условие означает |
просто, |
что поправку |
на поглощение следует уменьшать, используя по возмож ности более низкие ускоряющие напряжения. В этом от ношении упрощенный метод ничем не отличается от более
сложных |
[5]. |
|
|
|
||
|
Поправка на атомный номер. |
Согласно второму |
при |
|||
ближению |
Кастена |
[3] |
|
|
||
|
|
|
|
СААА |
|
|
|
|
|
А |
~ СААА + СВАВ + • • • ' |
|
|
где |
аА, |
ав |
и т. д. |
являются постоянными для элементов |
||
А, |
В и |
т. д. Это |
выражение можно переписать в |
виде |
||
|
|
|
|
СА = кА—— |
, |
|
|
|
|
|
АА |
|
|
где а = сАаА + св«в + ••• Значение а-фактора элемента зависит от атомного номера Z. Пулом и Томас [4, 8] был предложен метод расчета а-фактора, использующий из вестные характеристики элементов.
Если а и Z связаны формулой вида а = MerVD,
где М и D — константы, то можно написать
аА = Me'ZA'D |
и а = Ме-їі°, |
где ZA — атомный номер элемента A, a Z — средний атом ный номер сплава. Тогда для поправочного множителя а.}а.А получаем выражение
J L = |
e-V-ZA).'D |
а'
которое, если (Z — ZA) <^D, можно переписать как
« А |
\ |
D |
Тагам образом,
I
Предложенные Пулом и Томас а-факторы достаточно хо рошо удовлетворяют экспоненциальной формуле для атом-
ных номеров Z ^ 40; константа D равна ~ 100. Таким образом, окончательная формула для поправки на атом ный номер в случае анализа, выполняемого при постоянном токе зонда, имеет вид
|
|
C |
A = A A ( l + _ 5 d Z ± ) . |
(2) |
||
Для простоты средний атомный номер определяется как |
||||||
|
|
|
к1 + 4 + кс + |
--- |
|
|
Зависимость а от Z уменьшается для атомных номеров, |
||||||
больших 40, и, |
чтобы это скомпенсировать, для тяжелых |
|||||
элементов |
берут |
уменьшенное |
значение атомного |
номера |
||
Z = |
40 + |
0,3 (Z — 40). Тогда |
для |
олова получают Z = |
||
= 4 3 , |
а для урана Z = 55,6. |
|
|
|
При выводе соотношения (2) было сделано много до пущений и единственным оправданием этих допущений является то, что с их помощью получили простую формулу, которая позволяет вводить поправку в данные микроана лиза с удивительной степенью точности. Обычно поправка на атомный номер невелика, и эффект от сделанных допу щений поэтому незначителен. Но даже в тех случаях, ко гда эти поправки велики, исправленные значения очень часто оказываются весьма близкими к истинным весовым концентрациям.
Сравнение с другими методами. Для того чтобы сравнить упрощенный метод с другими методами введения поправки, исправлению подвергались 150 эксперимен тальных результатов. Эти исправления были проведены для серии бинарных сплавов известного состава, отобран ных Пулом и Томас среди данных различных лабораторий. Пул и Томас провели исправления как при помощи своего собственного метода введения поправки [8, 9], так и при помощи четырех других методов [1]. Таким образом, ока залось возможным прямое сравнение рассматриваемого
внастоящей работе упрощенного метода с пятью другими. Список изученных систем приведен в табл. 5. Кроме того,
вработе [10] приведена таблица экспериментальных дан ных, использованные параметры и относительные ошибки упрощенного метода. Для расчета поправки была исполь зована формула, полученная путем комбинирования
|
|
|
Угол выхода |
Проанализированные систе |
|
|||
Исследова |
Прибор |
мы и соединения, число |
|
|
||||
тели |
|
излучения, |
анализов. Анализируемый |
|
||||
|
|
|
« |
элемент — первый |
|
|
||
Зиболд |
и |
Лаборатор |
15° 30' |
Ni—Pt |
4 |
P t — N i |
4 |
|
Огнлви |
[И] |
ный микро |
|
Cu—Au |
4 |
Au—Cu |
4 |
|
|
|
анализатор |
|
Z n - A g |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
Au—Ag |
|
|
||
|
|
|
|
Ag—Au |
4*) |
4 |
; |
|
|
|
|
|
Ru—Та |
7*) |
T a - R u |
7 |
|
|
|
|
|
W—Ru |
5 |
Ru—W |
5* |
|
|
|
|
|
Rh— W |
6*) |
W—Rh 6 |
|
|
|
|
|
|
U 0 2 |
1 |
UC |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Пул и Томас Микроаиа-
щлизатор фир мы «Камека»
от 15 до 17° UOa |
1 |
UAl |
2 |
Cu—Al |
1 |
Zr—Si |
2 |
Zr — Al |
1 |
ZrO |
1 |
M g - Y |
1*) |
Au—Mg |
1 |
Au—Ga |
1 |
Au—Ag |
2 |
Au—Cu |
19 |
Cu—Au |
7 |
Калане и |
» |
» |
Моро [12] |
|
|
Кирьяненко |
» |
» |
и др. [13] |
|
|
Рид [14] |
Мпкроана- |
40° |
|
|
лпзатор |
от |
|
|
дела мине |
|
|
|
рале гин |
и |
|
|
петрографии |
|
N i — A l |
12 |
|
|
FeAb |
6 |
|
|
ТіАІз |
6 |
|
|
U — A l |
2 |
UC |
2 |
U — N i |
2 |
UFe |
1 |
U—Ті |
3 |
UCus |
1 |
U - G e 3 |
1 |
USn3 |
1 |
Шг; |
1 |
|
|
F02O3 |
5 |
|
|
Хавёс [15] |
Микроана |
20° |
Fe2 03 |
1 |
|
лизатор |
|
|
|
|
«Микроскан» |
|
|
|
Данкамб [5] |
Прототип |
|
Cu—Al |
3 |
|
«Микроскан» |
|
|
|
*) Системы, для которых упрощенный метод неприменим.