
книги из ГПНТБ / Физические основы рентгеноспектрального локального анализа
..pdfчения с поверхностью образца, ZQ (А) — относительная интенсивность линии А .
Полная интенсивность флуоресцентного излучения на ходится интегрированием выражения (1) в спектральной области от минимальной длины волны Х0 до длины вол ны кя края поглощения серии, выбранной для анализа. Эта область разбивается на ряд интервалов, чтобы учесть наличие других краев поглощения между Х0 и Xq. Выра жение для спектральной интенсивности тормозного излу чения мы берем в форме Крамерса [1]:
Оно находится в хорошем согласии с эмпирической фор мулой Куленкампфа [2]. Грин [3] показал, что постоян ная К, для которой вначале было предложено значение 2,26-10 1 3 см, на самом деле меняется в зависимости от атомного номера. Мы предположим, что в случае образца сложного состава можно записать Z = CAZA + C B Z B - Да лее, если в интервале (Я,0, Хд) нет краев поглощения, то для зависимости коэффициента поглощения от длины волны можно принять
Если же в этот интервал попадает край поглощения q, то приведенное выражение следует разделить на скачок поглощения гя, и тогда
Подставляя в (1) выражения для Т\, f i i и [ i k , получим:
= 2 Еів {Ф (К, W . и™в) - Ф (К, К, VAB } , (2)
тп
где |
|
|
|
|
|
|
|
Е л в |
Q |
1 |
|
|
•1 |
|
(3) |
4я |
2 |
A S |
' |
Zq(A)KZ, |
|
||
|
1 |
J _ |
о |
л |
|
|
|
|
А |
|
1 + |
XQV |
+ |
||
Ф ( А , 0 , М ) = X0v3 |
3 |
|
|
||||
Хо |
|
|
|||||
Хо |
|
||||||
+ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Уз |
v2 |
Хп |
|
(4) |
|
|
|
a r c t g |
|
|||
|
|
|
|
|
Уз |
|
|
|
|
|
p:^B cosec О |
|
|
(5) |
|
|
|
|
'АВ |
|
|
|
Величина Ф (Х0, X, v) (4) протабулирована с помощью вычислительной машины. Для этого Х0 выбиралось в ин тервале, соответствующем рабочему диапазону напряже ний (например, 5—45 кв), с шагом 5 кв. Значения Xq бра лись для К- и L-краев поглощения различных элементов. Значения VS были заключены в интервале (0, 100) и вычис лялись с шагом 0,5. Табл. 1 значений функции Ф в зави симости от Я0 , Xq и v является универсальной и пригодной для всех случаев анализа.
Т а б л и ц а 1
*0 |
|
|
Ф |
Д/5-10* |
|
\ |
|
Ф |
Д/5-10* |
0,413 |
2,926 |
60,50 |
2,9677 5,5630 |
0,413 |
2,926 |
67,00 |
3,0016 |
4,9600 |
|
0,413 |
2,926 |
61,00 |
2,9704 |
5,5112 |
0,413 |
2,926 |
67,50 |
3,0041 4,9191 |
|
0,413 |
2,926 |
61,50 |
2,9731 5,4607 |
0,413 |
2,926 |
68,00 |
3,0065 |
4,8788 |
|
0,413 |
2,926 |
62,00 |
2,9759 5,4108 |
0,413 |
2,926 |
68,50 |
3,0090 4,8395 |
||
0,413 |
2,926 |
62,50 |
2,9785 5,3619 |
0,413 |
2,926 |
69,00 |
3,0114 4,8005 |
||
0,413 |
2,926 |
63,00 |
2,9812 5,3140 |
0,413 |
2,926 |
69,50 |
3,0137 4,7624 |
||
0,413 |
2,926 |
63,50 |
2,9838 5,2670 |
0,413 |
2,926 |
70,00 |
3,0161 4,7249 |
||
0,413 |
2,926 |
64,00 |
2,9864 5,2208 |
0,413 |
2,926 |
70,50 |
3,0184 |
4,6877 |
|
0,413 |
2,926 |
64,50 |
2,9890 |
5,1752 |
0,413 |
2,926 |
71,00 |
3,0208 |
4,6515 |
0,413 |
2,926 |
65,00 |
2,9916 5,1307 |
0,413 |
2,926 |
71,50 |
3,0231 |
4,6156 |
|
0,413 |
2,926 |
65,50 |
2,9941 |
5,0870 |
0,413 |
2,926 |
72,00 |
3,0254 4,5807 |
|
0,413 |
2,926 |
66,00 |
2,9967 |
5,0437 |
0,413 |
2,926 |
72,50 |
3,0276 |
4,5457 |
0,413 |
2,926 |
66,50 |
2,9992 5,0016 |
|
|
|
|
|
При расчете предполагалось, что в интервале (к0, Xq) нет краев поглощения элемента В. Если это не так, то следует добавить лишь дополнительный интервал, огра-
•j |
7-v |
/ АВ |
ничейный краем поглощения В, |
и ввести в величину [X х0 |
скачок поглощения, отвечающий этому краю. Сводка необходимых для расчета параметров в каждом интервале длин волн приведена в табл. 2.
б) Расчет первичного излучения. При необходимости знать вклад флуоресцентного излучения в полную интен сивность характеристического излучения, выходящего из образца, как в случае рентгеноспектрального микро анализа, расчет абсолютной интенсивности флуоресцен ции представляет лишь теоретический интерес. Необхо димо знать ее отношение к абсолютной интенсивности первичного излучения. Предполагая, что для него сохра няется пропорциональность между интенсивностью и концентрацией, можно ограничиться случаем чистого элемента-излучателя.
Если Q (Е, Ед) — эффективное сечение ионизации уров ня с энергией Eq, то число dnA ионизации атомов А, произведенных электроном с энергией Е, прошедшим в
образце элемента А |
путь |
dx, равно |
dnA |
= |
Q (Е, Eq)dx, |
где N — число Авогардо, рл и 4 д — плотность и атомный вес образца элемента А. Соответствующее число квантов, излученных в линии элемента А,
dP (А) = со, (A) Zq (А) ^ |
Q (Е, Eg) |
^-dE. |
Полное число квантов, излученных вдоль траектории элек трона, на которой его энергия уменьшается от Е0 до Eq, равно
Р (А) = cog (A) Zq (A) ^rt^Q |
(Е,Е*) Ж d E - |
^ |
Величину Р (А) можно вычислить, если известны функ ция ионизации Q (Е, Еч) и закон потерь энергии электро нами dE/dx. Можно взять для них формулы, полученные
Вели
чина
ак (А)
|
•К |
k |
гк |
Zj(A) |
|
НІ |
|
КA B |
|
\ i A B |
cosecft |
°Чп L1 + / i 3 X
г І І ' г ш ( г І , I I —
X
1 — l / r T I I м r I I I м
Г Г. I I r I I , I I I rIU M
ZL0it
pAB |
cosec ft |
x L t < x » < x 4i
% l i
r I I I M
r I l , I I I r I I I M
' I , I I |
|
|
A rI, I I |
+ |
CBK. |
Ид В |
cosecft |
Т а б л и ц а 2
4 n < Х » < Ч . Ш
Llll
r I I I M
r I I I M
Z L a ,
CBK
r I , I I r I I , I I I
c o s e c ^
I, I I |
•°BK |
A r I , I I |
r I I , I I I |
+ |
°BK |
|
|
|
Бете и приведенные в книге Мотта и Мэсси [4]:
|
|
^ |
l |
l |
^ |
l |
n |
^ |
, |
|
|
|
(? ) |
где |
Ъ = 0,35 |
для йГ-оболочки, Ъ = |
0,25 |
для |
L-оболочки, |
||||||||
В = 1,65 Ек (или |
1,65 |
Ei,), |
Znq |
|
— число |
электронов |
в |
||||||
оболочке: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
d E |
|
2ne*NpAZA |
|
і |
|
2Е |
|
|
|
||
|
|
dx |
|
|
|
AA |
|
E |
l n |
^J- |
, |
|
(8) |
где |
/ — средний |
потенциал |
ионизации. |
|
|
|
|||||||
Внося (7) |
и (8) |
в |
(4), |
находим: |
|
|
|
|
|||||
Io{A) |
= |
|
aq(A)ZAA)^^{4r' |
E i ( I n |
2 E |
o |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
J |
|
|
|
|
|
|
- E i f l n - 2 ^ |
In |
+ |
E 0 |
- E Q ) , |
(9) |
|||||
где |
Ei — интегральная |
показательная |
функция. |
|
Грин [3] предложил эмпирическую формулу для этой величины. В принятом им сечении ионизации в форме Бете (7) были изменены значения коэффициентов в соот ветствии с указаниями Уортингтона и Томлина [5]. Для торможения электронов Грин принял закон Томсона — Уиддингтона [6]. Полученное им выражение для числа
квантов, испущенных в К-сетрии, имеет вид |
|
£ = Ш к . 2 , 8 . 1 0 » ^ ( ^ - 1 р |
(10) |
где R — коэффициент обратного рассеяния |
электронов и |
с — постоянная Томсона — Уиддингтона.
в) Расчет отношения V (А)/1 (А). Выражения (2) и (9) позволяют вычислить относительный вклад флуоре сцентного излучения Ґ (А), возбужденного тормозным спектром, в полное излучение / (А) данного элемента. Мы сделали такой расчет для ІГо^-линии цинка и Lai-линий вольфрама, золота и висмута при ускоряющем напря жении 30 кв, используя новейшие значения физических постоянных для этих элементов.
Следует отметить, что при расчете интенсивностей Lax- линий возникает трудность, связанная с тем, что значения сод (А), фигурирующие в выражениях (2) и (9), не иден тичны. Строго говоря, вместо выхода флуоресценции соьщ, отвечающего переходам на уровень Ьш, следовало
бы использовать «эффективный» выход, принимая во вни мание коэффициенты Костера — Кронига. Поэтому при возбуждении излучения квантами положение несколько иное, чем при его возбуждении электронами. В интервале
атомных номеров 74 < Z < 83, где согласно |
Листенгар- |
тену [7] коэффициент перехода L n ->- Ьш / 2 3 = |
0, мы при |
вычислении (2) использовали «эффективный» выход флуо ресценции. Если энергия падающих электронов значитель но выше энергии ионизации L-подуровней, то можно счи тать, что
г Д е Аз — коэффициент для перехода L \ ->- і щ . Приведен ные ниже результаты расчета относятся к углу отбора излучения г> •х. 16°.
Излучение |
Кен |
|
Lai |
|
Элемент |
Zn |
W |
Au |
Ві |
If{A)II{A\ |
0,031 |
0,025 |
0,036 |
0,037 |
Проверка и приложения расчета. Прежде чем входить в подробности практических расчетов поправки, мы при ведем результаты проверки расчетов, выполненных в предыдущем разделе. Сравнение с экспериментом было сделано в два приема. Сначала мы измерили полную из лученную интенсивность для каждого из перечисленных
выше |
элементов, |
а |
затем непосредственно измерили |
от |
||||
ношение Р |
(А)/1 |
(А) |
методом |
алюминиевой |
пленки |
(см. |
||
ниже). |
|
|
|
|
|
|
|
|
а) |
Измерение |
полной |
испущенной интенсивности. |
Ин |
||||
тенсивность |
излучения |
цинка |
измерялась |
при 30 |
кв |
методом фильтров Росса. Помимо определения интенсив
ности, испущенной в характеристической |
линии Zn |
Ках |
и оцененной в 1,73-10~3 квант/электрон, |
этот метод |
поз |
волил также оценить значение постоянной К в формуле Крамерса: мы нашли К = 2,64-10~1 3 см, в хорошем со гласии с данными измерений Грина [3].
В случае Laj-линий согласие расчета с опытом оказа лось значительно худшим.
Приведем экспериментальные результаты:
Излучение |
Каа |
|
Lai |
|
Элемент |
Zn |
W |
Au |
Ві |
1*(А)/1(А) |
0,031 |
0,022 |
0,044 |
0,048 |
б) Метод алюминиевой пленки. Этот эксперимент со стоит в измерении характеристического излучения выбран ного элемента А от образца, покрытого пленкой алюминия. Толщина пленки подбирается такой, чтобы после прохож дения сквозь нее электроны имели энергию ниже порога возбуждения элемента А. Тогда характеристическое излу чение элемента А, испущенное образцом, будет исключи тельно вторичным, возбужденным тормозным спектром электронов, замедляющихся в алюминиевой пленке (Кастен и Декамп [8]). Сравнение интенсивности одной и той же линии на чистом образце элемента А и образце, покры том пленкой, позволяет найти искомое отношение:
If(A)_ZA |
1 |
е х р { — ^ р А [ х + /с(/о —Z)]cosecd} |
і'ПЛ) |
... |
/ И ) " " 1 3 /і |
е ч Ч - ц А ' р д ^ о с о з в с в } |
I (А) |
' |
где % — толщина слоя элемента А, соответствующая сред ней глубине испускания первичного излучения, I — тол щина пленки алюминия, Z0 — толщина слоя алюминия, соответствующая средней глубине испускания первичного излучения в нем, к — отношение линейных коэффициен тов поглощения алюминия и элемента А для тормозного излучения.
В этом выражении наиболее затруднительно оценить величину 1/Д (Кирьяненко и др. [9]), представляющую долю тормозного излучения, поглощенную слоем алюми ния толщиной l0 — I. Эту оценку можно сделать, опреде лив средний коэффициент поглощения тормозного излу чения, либо, что проще, найти верхний предел этой величины, сравнивая интенсивность первичного излуче ния, поглощенную в пленке, с полной интенсивностью тормозного излучения и предполагая при этом, что погло щение вторичного излучения в пленке пренебрежимо мало. Тогда требуемую величину легко получить из пол ной интенсивности излучения до его поглощения. В каче стве примера можно привести случай излучения цинка
при напряжении 30 кв. На полированный блок цинка была напылена алюминиевая пленка толщиной 2 мг/см2. При этом предполагалось, что средняя глубина испуска
ния |
первичного излучения |
составляет приблизительно |
0,5 |
мг/см2. |
|
Таким образом, до того |
как возбудить флуоресцент |
ное излучение цинка, тормозное излучение должно было
быть |
ослаблено |
слоем |
алюминия |
толщиной |
1,5 |
мг/см?. |
|||||||||||
Если принять средний коэффициент поглощения для |
|||||||||||||||||
тормозного спектра, то |
мы |
получаем Д = 0,92. Если же |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
исходить из того, что слой |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
алюминия поглощает пример |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
но 7 % первичного излучения |
||||||||
|
|
|
|
|
|
г |
|
|
и половина вторичного |
излу |
|||||||
|
|
/ |
|
д |
/ |
чения |
поглощается |
в |
самой |
||||||||
|
|
|
|
|
мишени, то мы найдем, что |
||||||||||||
|
|
|
|
|
вклад от этого слоя состав |
||||||||||||
|
|
|
|
|
ляет (0,07-2-3,1)/3,1 |
= |
14% |
||||||||||
|
|
|
|
|
выходящего из |
образца |
вто |
||||||||||
|
/ |
|
|
|
/ J |
|
|
ричного |
излучения; |
|
тогда |
||||||
|
|
|
/ |
|
|
/І = |
0,86. Следует |
также |
ука |
||||||||
|
/ |
|
|
|
|
|
|
|
зать, что теоретический |
рас |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
чет для |
напыленной |
мишени |
|||||||
20 |
40 |
|
SO |
80 |
100 |
дает |
|
= 0,90. |
|
|
|
|
|||||
Атомныйномер |
|
|
|
|
|
зна |
|||||||||||
Рис. |
2. |
Отношение интенсивностей |
|
Экспериментальные |
|||||||||||||
флуоресцентного |
и первичного из |
чения Ґ |
(А)/1 |
(А) |
приведены |
||||||||||||
лучений: і |
— метод |
алюминиевой |
на |
рис. 2. Для |
сравнения на |
||||||||||||
пленки (сплошная кривая — 30 кв, |
|||||||||||||||||
штриховая — 20 |
кв), |
2 — расчет |
том же графике показаны рас |
||||||||||||||
|
|
|
при 30 кв. |
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
считанные значения этого от |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ношения, полученные в пред |
||||||||
положении, |
что |
поглощающий |
слой |
элемента |
А |
имеет |
|||||||||||
толщину |
|
0,5 |
мг/см2. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
в) |
Обсуждение |
результатов. |
Из сказанного |
выше |
сле |
дует, что основную ошибку в расчете надо приписать расхождению между вычисленными и измеренными зна чениями интенсивности первичного характеристического излучения.
Точные измерения этой интенсивности на мишенях из чистых элементов хотя в принципе просты, но на самом деле представляют собой деликатную и трудоемкую зада чу. Поэтому желательно располагать полученными экс периментально значениями І> (А) ] I (А) и поправку при практических анализах сложных образцов вводить, ис пользуя таблицы.
Например, пусть производится анализ элемента А в образце АВ. Для простоты пренебрежем прочими видами поправок. При наличии флуоресцентного излучения, воз
бужденного |
тормозным спектром, |
между |
истинной с і = |
||||
= ІА/ІР |
(А) |
и |
измеренной сА = |
ІА/І™ (А) |
концентрация |
||
ми имеет место |
соотношение |
|
|
|
|
||
|
Р |
_ |
cr2-(IfA/If(A))(If(A)IIm(A)) |
|
|
||
|
С А |
|
|
|
(А) |
• |
( и } |
Для |
вычисления СРА можно |
предложить |
следующий |
||||
порядок: |
|
|
|
|
|
|
|
1) вычисляются значения ЕАв |
и ЕА |
(3); |
поскольку |
в них входят одни лишь физические постоянные элемен тов образца и концентрация сА, И Х расчет не представляет трудностей;
2) с |
помощью таблиц |
находятся значения |
( Ф т + і — |
|
— Фт)л |
для эталонного |
образца; |
|
|
3) с помощью тех же таблиц рассчитываются |
( Ф т + 1 — |
|||
— Ф т ) л в |
Для анализируемого |
образца; |
|
|
4) на рис. 2 прочитывается |
значение V (А)/1 (А), так |
что становятся известными все величины в правой части формулы (12).
Количество имеющихся на сегодняшний день экспери ментальных данных может показаться недостаточным. Кроме того, они получены лишь для углов отбора излуче ния г), близких к 16°, и для напряжений 30 и 20 кв. Од нако можно отметить, что угол f> влияет лишь на один па раметр v в функции Ф для поправки на флуоресценцию.
|
Обращаясь к таблице Ф, мы должны иметь в виду, что, |
||||||
с |
одной стороны, |
|
|
|
|||
|
{1f |
( A ) U |
J П |
{Ф [Ь, l m + v |
«W] - Ф [lo, km, |
} |
|
|
|
= |
2EA |
і ф |
bm+r »A «w] - ф fa, |
»s («»)]} |
|
|
|
|
m |
|
|
|
|
а |
с |
другой |
стороны, |
|
|
|
|
|
|
|
|
[I{A)U2 |
[f(x)U/ |
|
Что же касается отношения V [А)]I (А), то оно остается практически постоянным в использованной нами области высоких напряжений.
Следует отметить, что в формулы для поправок на флуо ресценцию, возбужденную как тормозным, так и харак теристическим излучением, концентрация входит явно; поэтому поправки можно вычислять методом последова тельных приближений. Филибер [10] предложил для бы строй оценки различных поправок брать концентрации, отличающиеся от истинных в некотором интервале; после этого можно установить соответствие между измеренной и истинной концентрациями с помощью формул для по правок. Этот метод можно с успехом использовать для нахождения поправок на флуоресценцию, применяя фор мулу
cA+[IfAIIf(A)][If(A)/P{A)}
Заключение. Введение поправок на флуоресценцию существенно облегчается, если использовать вычислитель ные машины; доступность табулированных данных для расчетов устраняет необходимость трудоемких вычислений. Может возникнуть вопрос, насколько легко заранее пред сказать значимость поправки. Беглый взгляд на формулы (12) и (13) уже показывает, что величина поправки есть
возрастающая |
функция |
разностей |
концентраций с™ — |
|
— сА (или сА |
— сА), отвечающих выходящим из образца |
|||
первичному |
и вторичному излучениям. |
|||
Следует |
подчеркнуть, |
что поиск |
общих закономерно |
стей для поправок бессмыслен по той причине, что концен
трации сА |
И СА |
связаны с интенсивностями излучения, уже |
|
вышедшего |
из |
образца. |
|
Простейшую оценку можно сделать, определив с по |
|||
мощью таблиц |
величину ҐА /Ґ (А). |
Тогда сопоставление |
|
сА и СА ( И Л И С\) позволяет решить, |
необходим ли полный |
||
расчет поправок. |
|
В общем, можно считать, что ошибка в концентрации за счет флуоресценции от тормозного спектра будет ме нее 0,005, если сА — cvAm) < 0,05. Однако при этом надо помнить, что в зависимости от угла отбора излучения в микроанализаторе эти оценки могут возрасти в три раза (для больших углов).
В заключение укажем два примера, в которых пренеб режение флуоресценцией за счет тормозного спектра может привести к большим ошибкам.