Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Трусов Л.И. Островковые металлические пленки

.pdf
Скачиваний:
9
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
13.57 Mб
Скачать

В посттуннельном состоянии

 

 

 

 

/>2

л2

 

 

 

(309)

P'2 — Po Рі

= Po■

'

2 (6 + а)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Следовательно,

в результате туннелирования уро-

вень Ферми.

 

 

 

 

 

 

^ у

островка 1, опустился на величину—е2Ь

Уровень Ферми островка 3 также меняется от

Р3 =

Ро

 

е2 6

 

-3

ел

2 +

. Энер-

а

+ а)

 

а

 

 

 

 

Ъ)

гия

активации вторичногоДО р туннелированияро +

Q2

.представ­

ляет разность энергий Ферми эмиттирующего

островка

в іпредтуннельяом состоянии и коллекторного

островка

в посттуннельном состоянии:

 

 

 

 

Qz = РІ — Рг = ß2/2 +

Ь).

 

 

 

(310)

В общем случае, когда заряды расположены на рас­ стоянии п межостровковых промежутков, энергия акти­ вации туннелирования

Qn = eVn in + 1 ) (b + 2 а).

(311)

Чем больше расстояние между зарядами пары,

тем

меньше энергия активации, необходимая для последую­ щего туннелирования в сторону увеличения этого рас­ стояния. На рис. 74 представлена схема изменения поло­ жения уровней Ферми островков при последовательном туннелировании электрона с островка 0 на островки /, 2 и 3 (Q1 7>Q2 7>Q3 )• Совершенно аналогичная картина активированного туннелирования наблюдается в случае перемещения двух зарядов одного знака навстречу друг другу.

Поскольку туннелирование в системе изолированных металлических микрочастиц является по своей природе термически активируемым процессом, то в островковой пленке должно существовать определенное равновесное число заряженных островков, зависящее от температуры и от структурных параметров пленки.

Уровень Ферми каждой частицы, а следовательно, и энергия активации туннелирования определяется влия­ нием всех окружающих зарядов. Равновесное число за­ ряженных пар зависит от расстояния между зарядами пары. Чем больше это расстояние, тем меньше соответ­ ствующих пар.

241

Следует отметить, что ансамбль островков, располо­ женных на подложке, можно рассматривать как статис­ тическую систему слабо взаимодействующих частиц, ко­ торая в состоянии термодинамического равновесия ха­ рактеризуется определенным уровнем Ферми. Вместе с тем коллектив электронов в каждом из островков, обра-

Рис. 74. Схема изменения уровней Ферми островков (О, J, 2, 3) при последовательном туннелировании в сторону увеличения расстоя­ ния между зарядами пары:

М і M o = — (м| M o ) ;

М г — JM— “

( M g M O ) : Мз M J = ( М 3 — M u ) ;

Q1—Ml—MoJ Q2—М2 Mi!

Q3 — Мз

Мг

зующий подсистему этой системы, характеризуется своим локальным уровнем Ферми. Помимо этого в результате обмена зарядами между островками локальный уровень Ферми флуктуирует около среднего значения ц0-

Для наглядности можно привести следующую анало­ гию. Представим поверхность воды, в которой плавает множество поплавков (металлические островки), отчас­ ти заполненных определенным количеством свинцовых дробинок. Поплавки связаны между собой гибкой лес­ кой. Отдельные дробинки (заряды) перескакивают вре­ мя от времени с поплавка на поплавок. При этом тот поіплаівок, который 'получил лишнюю дробинку, погружа­ ется в воду несколько глубже, чем окружающие его сосе­ ди (уровень Ферми положительно заряженного островка ниже, чем для нейтральных островков), причем он тянет за собой окружающие поплавки, которые погружаются, но в меньшей степени. Поплавок, с которого дробинка удалена, наоборот, погружен меньше, чем другие поп­ лавки (уровень Ферми отрицательно заряженного ост-

242

ровна выше). Большинство поплавков имеет одинако­ вый уровень погружения, и только те поплавки, в кото­ рых имеется недостаток или избыток дробинок, погру­ жены в .меньшей или большей степени по 'сравнению е общим уровнем.

Согласно принципу нейтральности в островковой пленке имеется равное количество положительных и от­ рицательных зарядов, расположенных в виде плоской сетки. Любой заряд в процессе миграции проходит нейт­ ральные положения,«которых кулоновские силы взаимо­ действия со всеми окружающими зарядами уравновеше­ ны. Это положение соответствует максимальному обще­ му изменению уровня Ферми данной заряженной части­ цы. Влияние сетки зарядов таково, что максимальное изменение уровня Ферми заряженного островка имеет место не при удалении зарядов пары в бесконечность, а при выходе заряда в нейтральное положение, т. е. при сравнительно небольшом расстоянии между зарядами пары, причем вследствие компенсации влияния положи­ тельных и отрицательных окружающих зарядов величи­ на максимального изменения уровня Ферми данного островка равна величине е2/а. В действительности, вслед­ ствие хаотичности расположения зарядов сетки, макси­ мальное изменение уровня Ферми может флуктуировать относительно этой величины.

При некоторой температуре в равновесии находятся No —незаряженных частиц, N і —лаір с расстоянием b (минимальное расстояние), N2 пар с расстоянием '2 (b-t-

+ а ) и т. д., причем

 

 

dN0 _

dN±

дN2

0.

(312)

д %

д г

д X

 

 

Равновесные значения Nu N2 и т. д. можно

опреде­

лить, исходя из рассмотрения потоков туннелирующих электронов. Поток первичного туннелирования из нейт­ ральных островков, приводящий к образованию пар за­ рядов с минимальным расстоянием, равен потоку обрат­

ного туннелирования, результатом

которого является

аннигиляция пар зарядов.

 

Число электронов в единице объема

металла, имеющих энер­

гию в интервале от Е до E-j-dE, равно:

 

Nn d E = f (Е) S (Е) dE,

(313)

где S (Е) ■— плотность состояний.

 

243

Если £ >

|Ло

то

 

 

 

 

/ ( £ ) ~ е х р

(

- “ г “)-

 

 

(314)

Для плотности состояний в единице объема можно использовать

следующее выражение

[302]:

 

 

S (Е) d Е = ■

’Л т ч .

 

d Е = к Е'^2 d Е,

 

(315)

ИГ

 

 

где

 

 

 

 

 

 

 

 

2,/г тгІг it

 

 

 

 

 

 

¥

 

 

 

 

 

 

 

В

первом

приближении

принимаем, что

плотность состояний

S(E)

постоянна и равна плотности состояний

на уровне

Ферми.

Тогда

число всех электронов, возбужденных выше уровня

po+Q, в

островке объемом V определится следующим образом:

 

 

 

00

 

_

 

_9__

 

Nv =

V

j

5(fXo)e

kT

d E — XV цУг k T ekT .

(316)

щ+Q ^

Число первичных nap N, образующихся в единицу времени на

единице площади подложки, пропорционально числу электронов в островке, возбужденных до уровня, с которого может осуществиться туннелирование (т. е. уровня, соответствующего энергии активации) Nv, коэффициенту прозрачности потенциального барьера Dт, часто­

те ударов электрона о барьер ѵг и числу островков на единице площади подложки N0:

^

Q

 

N ~ N v D N 0 4T ~ k v T k T [ i l/ ‘ V N 0 DT e

кт .

(317)

Выше было показано, что при обратном туннелиро­ вании все электроны островка 2 (рис. 72), занимающие уровни в интервале р2—ро, могут туннелировать на ост­ ровок 1 без предварительной активации. Число актов

обратного туннелирования N, приводящих к аннигиля­ ции пары, в единицу времени на единице площади под­ ложки равно произведению числа первичных пар Nu ко­ эффициента прозрачности барьера DT, частоты ѵг и чис­ ла электронов в островке, способных туннелировать об­ ратно без предварительного активирования. Последняя величина равна числу уровней в металлическом остров­ ке в интервале Q ниже ее уровня Ферми (S ^).

Для единицы объема

S(E) = \ kE'u dE.

(318)

v-o —Q

 

244

Поскольку интервал энергий Q сравнительно неве­ лик, энергию Е можно считать постоянной и равной ве­ личине ро, тогда как для островка объемом V

S v = \ v.y>QV.

(319)

Поток обратного туннелирования

 

N = X Q V N1 Df -vy-.

(320)

Из условия взаимной компенсации

потоков прямо­

го и обратного туннелирования можно определить рав­ новесное значение JV):

N 0 k T ~ Т Г

(321)

Q

 

Если температура не слишком высока и число пар зарядов невелико, то энергия активации первичного тун­ нелирования при образовании пары зарядов, располо­ женных на близком расстоянии, определяется размерами островков а и промежутков между ними Ь, т. е. взаи­ модействием только «своих» зарядов пары вне зависи­ мости от окружающих «чужих» зарядов, согласно фор­ муле (307). Однако на последующих этапах туннелиро­ вания, когда расстояние между зарядами пары увеличи­ вается и становится сравнимым с расстоянием до других зарядов, влиянием последних на энергию активации уже нельзя пренебречь. Поэтому расчет плотности пар в этом случае связан с некоторыми трудностями, посколь­ ку энергия активации туннелирования на каждом этапе

зависит от распределения зарядов.

N і соответствует

тер­

Определенное выше значение

модинамически равновесному состоянию

в

системе с

двумя энергетическими уровнями

(основным

и

активи­

рованным, с энергией активации

Q). Исходя из

общих

термодинамических предпосылок,

легко

показать,

что

общее равновесное число пар зарядов, включая пары с большим расстоянием между зарядами, равно Ni.

При наложении электрического поля энергия актива­ ции туннелирования начинает зависеть от взаимного на­ правления туннелирования и поля, причем энергия ми­ нимальна, когда эти направления совпадают. Влияние поля на энергию активации показано на рис. 75. Пони­ жение энергии активации туннелирования в направле­

245

нии поля равно понижению полем уровня Ферми кол­ лекторного островка по сравнению с уровнем Ферми эмиттирующего островка в предтуннельном состоянии

(До= р 1—Р-2)- В направлении поля устанавливается стационарный

поток носителей заряда. Чистый перенос заряда проис­ ходит в результате того, что нарушается равновесие процесса туннелирования. В направлении поля энергия активации туннелирования уменьшается, а в противопо­ ложном направлении, наоборот, увеличивается на неко-

а

Рис. 75. Влияние электрического поля на положение энергетических уровней островков (/) и (2):

а — предтуннельное состояние; б — посттуннельное

состояние (Е2~~Еі= д^ — д^ = Д^)

торую величину А. Вследствие этого вероятность тун­

нелирования в направлении поля больше, чем в іпротивоположном направлении.

 

Концентрация носителей в направлении поля, согласно

(321)

равна:

 

 

 

 

Q - л

 

N

M L

е кТ

(322)

+

Q -

Л

246

и в противоположном направлении

 

N0k T

 

Q + A

N.

е

k т

--------

(323)

 

Q + A

 

 

Чистый поток носителей в направлении поля на единице площа­ ди подложки равен произведению разности концентраций носителей (NT ) вдоль и против поля на коэффициент прозрачности DT и на частоту Ѵт ударов о барьер:

Dy '1j Nу Dy Чу (N

 

k T

д

д

 

е

~кТ

 

Q

 

— DT 4yN0k T е

 

Q — А

(324)

 

 

Q + А

Единичный акт

туннелирования соответствует переносу заряда

на соседний островок, т. е. «длина свободного пробега» равна рас­ стоянию между центрами островков 2а-\-Ь. Электрический ток опре­

деляется количеством

перенесенных зарядов в единицу времени

через линию единичной

длины, перпендикулярную направлению по­

ля. Следовательно, при расчете тока необходимо учесть только те островки, которые расположены на расстоянии (2а+ 6) от этой линии, т. е. занимающие площадь (2а+6). Выражение для плотно­ сти тока имеет вид

I =,eDT 4T NT (2a + b).

 

 

 

(325)

Изменение энергии активации А

зависит от

взаимного

направ­

ления туннелирования и поля:

 

 

 

 

А (ф) =

Д0 cos ф,

 

 

 

(326)

где До — изменение энергии активации вдоль поля;

и

направле­

Ф

— угол между направлением

туннелирования

 

нием поля.

 

 

 

 

Ао — F (2 а + 6).

 

 

 

(327)

Элементарная составляющая

плотности

тока в

направлении

поля

 

 

 

 

 

d IQ= d /ф cos ф.

Из выражений (325) и (326) следует, что

d Iу = е DT чт (2 а b) NT (ф). •

Отсюда, используя условие симметрии относительно общий ток можно определить следующим образом:

 

 

я

/

F (2 iJ-f*) cos ф

_

Q

~2

/

kT

— 2 е Dy No (2 а b) Чу k T е

kT

j

^ Q

1 р (2 а + ft) cos ф

F (2 а + Ь) cos ф

КГ

е

I X cos ф d ф.

Q -f F (2 а + Ь) соэ’ф

(328)

(329)

поля

(ЗЗр)

247

 

Если F ( 2 a + b )

oos cp C

Q, то последнее выражение упрощается:

 

 

 

 

 

 

Q

 

 

 

 

 

 

k T

 

/==

4 е DT N0 чт(2 а + b) k Т е

sh[/7(2tt-f-6)cosq:] cos cpd cp.

(331)

 

 

_

 

 

 

Интеграл в выражении (331) можно взять приближенно, разло­

жив

sh[/7(2«+6)coscp]

в ряд. В

этом случае выражение для плот­

ности тока примет следующий вид:

 

 

 

 

 

 

_ .

 

 

2 е я k Т DT N0 '>т (2 а + 6) е

кТУ*

 

-

F (2а+

Ь)

1

/ F(2a + b)

(332)

 

2 k T

+

16

[

k T

I

 

 

 

В данном расчете не учитывается изменение прозрач­

ности потенциального

барьера (коэффициента DT)

за

счет поля, т. е. электрический ток рассматривается как результат изменения энергии активации туннелирования полем. При F О

 

Q

Q

У -> Уо =

е кт

е L0DT е кт

е ICD T N0vr ( 2 а + b f

= ----- ---------------- , (333)

где L0=

тс N0ѵг (2 а -f bf.

 

Таким образом, данная модель объясняет активи­ рованный характер проводимости специфической приро­ дой туннелирования между изолированными частицами малых размеров.

Энергия активации проводимости и сопротивление определяются морфологическими характеристиками пленки (величиной островков а и зазоров между ними Ь) и могут необратимо меняться с изменением морфоло­ гии пленки. Этот вопрос будет рассмотрен в следующей главе.

7. Резонансное туннелирование

Этот эффект, имеющий место при некоторых струк­ турных параметрах туннельной системы, может в опре­ деленной степени увеличить ток электронов с одного электрода на другой.

В работах Пенли [312] и Бома [280] показано, что

248

если потенциальный барьер между двумя электродами имеет минимум, как например, на рис. 70, причем со­ блюдается определенное соотношение между высотой и шириной отдельных участков барьера, то возникает ре­ зонансный эффект, в результате которого вероятность туннелирования увеличивается до значения, близкого к единице. Другими словами, электрон, обладающий оп­ ределенным импульсом, свободно проходит через двой­ ной потенциальный барьер несмотря на то, что его энер­ гия может быть значительно ниже обоих максимумов потенциала.

Коэффициент прозрачности через двойной потен­ циальный барьер в квазиклаесическом приближении имеет вид [313—316]

Т

(Е)

 

 

 

 

 

 

 

(334)

 

 

1 + S2 + 0 2 ’

 

 

 

 

 

где

S2 =

sh2

(Ѳ4 — 62);

 

 

 

 

(335)

а2 =

[ch2 (Ѳ2 +

G4 -f

ln 4) ch2

(64 — Ö2)l

cos2 03,

(336)

где

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5,

=

■>—2ot-

f141

I |Ф, ( х ) - Щ Idx ;

 

 

 

(337)

 

 

Й

"

 

i = 2 , 3.

4.

 

 

 

 

 

 

 

І

 

 

 

 

 

 

 

Xi — кооірдинаты 'классических точек

поворота.

ер

На рис. 76 изображен двойной потенциальный барь­

і — высота

отдельных

участков,

іі — геометричес­

кая ширина).

 

 

 

 

 

 

 

ту

В противоположность обычному туннельному эффек­

вероятность резонансного

прохождения

зависит от

энергии немонотонно. Функция Т (Е)

имеет два вида

максимумов

(рис. 76,6): для

S2= 0 ,

так

называемый

максимум

«симметричного резонанса»

и

для

о2= 0 —

максимум

«размерного резонанса».

Максимум

симмет­

ричного резонанса единственный, тогда как число мак­ симумов размерного резонанса может быть велико. Если одновременно выполняются условия S2==Q и о2 = 0, то коэффициент прозрачности двойного барьера достигает абсолютного максимума и равен единице. Однако если анергия электрона лишь немного отличается от энергии резонансного уровня в зазоре 3 (рис. 76, а), то вероят­ ность туннелирования Т (Е) очень быстро убывает до величины, соответствующей обычному туннелированию'

249

Т(Е) = Га (В) Г4 (Е),

 

(338)

где Т2 іи Ті —коэффициенты

прозрачности участков 2

и 4

(рис. 76, а)

барьера соответственно.

Рис. 76. Энергетическая схема двойного потенциального барьера по данным работы [315] (а) и коэффициент прозрачности через двойной барьер в за­ висимости от энергии туннелирующей частицы (б)

Резкое уменьшение прозрачности резонанса

связа­

но с экспоненциальной зависимостью от энергии

выра­

жений для S 2и о2.

при условии

Симметричный резонанс имеет место

б2 = Ѳ4,

 

(339)

т. е. когда коэффициенты прозрачности

обычного

тун­

нелирования участков 2 и 4 равны между собой. Услови­

ем

размерного

резонанса (а2 = 0) является

равенство:

sin2

- 63j =

0,

(340)

250

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ