![](/user_photo/_userpic.png)
книги из ГПНТБ / Трусов Л.И. Островковые металлические пленки
.pdfВ посттуннельном состоянии
|
|
|
|
/>2 |
л2 |
|
|
|
(309) |
P'2 — Po Рі |
= Po■ |
' |
2 (6 + а) |
|
|
|
|||
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Следовательно, |
в результате туннелирования уро- |
||||||||
вень Ферми. |
|
|
|
|
|
|
^ у |
||
островка 1, опустился на величину—е2Ь |
|||||||||
Уровень Ферми островка 3 также меняется от |
|||||||||
Р3 = |
Ро |
|
е2 6 |
|
-3 |
ел |
2 (а + |
. Энер- |
|
а |
(Ь + а) |
|
а |
||||||
|
|
|
|
Ъ) |
|||||
гия |
активации вторичногоДО р —туннелированияро + |
Q2 |
.представ |
||||||
ляет разность энергий Ферми эмиттирующего |
островка |
||||||||
в іпредтуннельяом состоянии и коллекторного |
островка |
||||||||
в посттуннельном состоянии: |
|
|
|
|
|||||
Qz = РІ — Рг = ß2/2 (а + |
Ь). |
|
|
|
(310) |
В общем случае, когда заряды расположены на рас стоянии п межостровковых промежутков, энергия акти вации туннелирования
Qn = eVn in + 1 ) (b + 2 а). |
(311) |
Чем больше расстояние между зарядами пары, |
тем |
меньше энергия активации, необходимая для последую щего туннелирования в сторону увеличения этого рас стояния. На рис. 74 представлена схема изменения поло жения уровней Ферми островков при последовательном туннелировании электрона с островка 0 на островки /, 2 и 3 (Q1 7>Q2 7>Q3 )• Совершенно аналогичная картина активированного туннелирования наблюдается в случае перемещения двух зарядов одного знака навстречу друг другу.
Поскольку туннелирование в системе изолированных металлических микрочастиц является по своей природе термически активируемым процессом, то в островковой пленке должно существовать определенное равновесное число заряженных островков, зависящее от температуры и от структурных параметров пленки.
Уровень Ферми каждой частицы, а следовательно, и энергия активации туннелирования определяется влия нием всех окружающих зарядов. Равновесное число за ряженных пар зависит от расстояния между зарядами пары. Чем больше это расстояние, тем меньше соответ ствующих пар.
241
Следует отметить, что ансамбль островков, располо женных на подложке, можно рассматривать как статис тическую систему слабо взаимодействующих частиц, ко торая в состоянии термодинамического равновесия ха рактеризуется определенным уровнем Ферми. Вместе с тем коллектив электронов в каждом из островков, обра-
Рис. 74. Схема изменения уровней Ферми островков (О, J, 2, 3) при последовательном туннелировании в сторону увеличения расстоя ния между зарядами пары:
М і —M o = — (м| —M o ) ; |
М г — JM— “ |
( M —g M O ) : Мз —M J = —( М 3 — M u ) ; |
Q1—Ml—MoJ Q2—М2 Mi! |
Q3 — Мз |
Мг |
зующий подсистему этой системы, характеризуется своим локальным уровнем Ферми. Помимо этого в результате обмена зарядами между островками локальный уровень Ферми флуктуирует около среднего значения ц0-
Для наглядности можно привести следующую анало гию. Представим поверхность воды, в которой плавает множество поплавков (металлические островки), отчас ти заполненных определенным количеством свинцовых дробинок. Поплавки связаны между собой гибкой лес кой. Отдельные дробинки (заряды) перескакивают вре мя от времени с поплавка на поплавок. При этом тот поіплаівок, который 'получил лишнюю дробинку, погружа ется в воду несколько глубже, чем окружающие его сосе ди (уровень Ферми положительно заряженного островка ниже, чем для нейтральных островков), причем он тянет за собой окружающие поплавки, которые погружаются, но в меньшей степени. Поплавок, с которого дробинка удалена, наоборот, погружен меньше, чем другие поп лавки (уровень Ферми отрицательно заряженного ост-
242
ровна выше). Большинство поплавков имеет одинако вый уровень погружения, и только те поплавки, в кото рых имеется недостаток или избыток дробинок, погру жены в .меньшей или большей степени по 'сравнению е общим уровнем.
Согласно принципу нейтральности в островковой пленке имеется равное количество положительных и от рицательных зарядов, расположенных в виде плоской сетки. Любой заряд в процессе миграции проходит нейт ральные положения,«которых кулоновские силы взаимо действия со всеми окружающими зарядами уравновеше ны. Это положение соответствует максимальному обще му изменению уровня Ферми данной заряженной части цы. Влияние сетки зарядов таково, что максимальное изменение уровня Ферми заряженного островка имеет место не при удалении зарядов пары в бесконечность, а при выходе заряда в нейтральное положение, т. е. при сравнительно небольшом расстоянии между зарядами пары, причем вследствие компенсации влияния положи тельных и отрицательных окружающих зарядов величи на максимального изменения уровня Ферми данного островка равна величине е2/а. В действительности, вслед ствие хаотичности расположения зарядов сетки, макси мальное изменение уровня Ферми может флуктуировать относительно этой величины.
При некоторой температуре в равновесии находятся No —незаряженных частиц, N і —лаір с расстоянием b (минимальное расстояние), N2 пар с расстоянием '2 (b-t-
+ а ) и т. д., причем |
|
|
|||
dN0 _ |
dN± |
дN2 |
0. |
(312) |
|
д % |
д г |
д X |
|||
|
|
||||
Равновесные значения Nu N2 и т. д. можно |
опреде |
лить, исходя из рассмотрения потоков туннелирующих электронов. Поток первичного туннелирования из нейт ральных островков, приводящий к образованию пар за рядов с минимальным расстоянием, равен потоку обрат
ного туннелирования, результатом |
которого является |
аннигиляция пар зарядов. |
|
Число электронов в единице объема |
металла, имеющих энер |
гию в интервале от Е до E-j-dE, равно: |
|
Nn d E = f (Е) S (Е) dE, |
(313) |
где S (Е) ■— плотность состояний. |
|
243
Если £ > |
|Ло |
то |
|
|
|
|
||
/ ( £ ) ~ е х р |
( |
- “ г “)- |
|
|
(314) |
|||
Для плотности состояний в единице объема можно использовать |
||||||||
следующее выражение |
[302]: |
|
|
|||||
S (Е) d Е = ■ |
’Л т ч . |
|
d Е = к Е'^2 d Е, |
|
(315) |
|||
ИГ |
|
|
||||||
где |
|
|
|
|
|
|
|
|
2,/г тгІг it |
|
|
|
|
|
|
||
¥ |
|
|
|
|
|
|
|
|
В |
первом |
приближении |
принимаем, что |
плотность состояний |
||||
S(E) |
постоянна и равна плотности состояний |
на уровне |
Ферми. |
|||||
Тогда |
число всех электронов, возбужденных выше уровня |
po+Q, в |
||||||
островке объемом V определится следующим образом: |
|
|||||||
|
|
00 |
|
_ |
|
_9__ |
|
|
Nv = |
V |
j |
5(fXo)e |
kT |
d E — XV цУг k T ekT . |
(316) |
щ+Q ^
Число первичных nap N, образующихся в единицу времени на
единице площади подложки, пропорционально числу электронов в островке, возбужденных до уровня, с которого может осуществиться туннелирование (т. е. уровня, соответствующего энергии активации) Nv, коэффициенту прозрачности потенциального барьера Dт, часто
те ударов электрона о барьер ѵг и числу островков на единице площади подложки N0:
^ |
Q |
|
N ~ N v D N 0 4T ~ k v T k T [ i l/ ‘ V N 0 DT e |
кт . |
(317) |
Выше было показано, что при обратном туннелиро вании все электроны островка 2 (рис. 72), занимающие уровни в интервале р2—ро, могут туннелировать на ост ровок 1 без предварительной активации. Число актов
обратного туннелирования N, приводящих к аннигиля ции пары, в единицу времени на единице площади под ложки равно произведению числа первичных пар Nu ко эффициента прозрачности барьера DT, частоты ѵг и чис ла электронов в островке, способных туннелировать об ратно без предварительного активирования. Последняя величина равна числу уровней в металлическом остров ке в интервале Q ниже ее уровня Ферми (S ^).
Для единицы объема
S(E) = \ kE'u dE. |
(318) |
v-o —Q |
|
244
Поскольку интервал энергий Q сравнительно неве лик, энергию Е можно считать постоянной и равной ве личине ро, тогда как для островка объемом V
S v = \ v.y>QV. |
(319) |
Поток обратного туннелирования |
|
N = X Q V N1 Df -vy-. |
(320) |
Из условия взаимной компенсации |
потоков прямо |
го и обратного туннелирования можно определить рав новесное значение JV):
N 0 k T ~ Т Г |
(321) |
|
Q |
||
|
Если температура не слишком высока и число пар зарядов невелико, то энергия активации первичного тун нелирования при образовании пары зарядов, располо женных на близком расстоянии, определяется размерами островков а и промежутков между ними Ь, т. е. взаи модействием только «своих» зарядов пары вне зависи мости от окружающих «чужих» зарядов, согласно фор муле (307). Однако на последующих этапах туннелиро вания, когда расстояние между зарядами пары увеличи вается и становится сравнимым с расстоянием до других зарядов, влиянием последних на энергию активации уже нельзя пренебречь. Поэтому расчет плотности пар в этом случае связан с некоторыми трудностями, посколь ку энергия активации туннелирования на каждом этапе
зависит от распределения зарядов. |
N і соответствует |
тер |
|||
Определенное выше значение |
|||||
модинамически равновесному состоянию |
в |
системе с |
|||
двумя энергетическими уровнями |
(основным |
и |
активи |
||
рованным, с энергией активации |
Q). Исходя из |
общих |
|||
термодинамических предпосылок, |
легко |
показать, |
что |
общее равновесное число пар зарядов, включая пары с большим расстоянием между зарядами, равно Ni.
При наложении электрического поля энергия актива ции туннелирования начинает зависеть от взаимного на правления туннелирования и поля, причем энергия ми нимальна, когда эти направления совпадают. Влияние поля на энергию активации показано на рис. 75. Пони жение энергии активации туннелирования в направле
245
нии поля равно понижению полем уровня Ферми кол лекторного островка по сравнению с уровнем Ферми эмиттирующего островка в предтуннельном состоянии
(До= р 1—Р-2)- В направлении поля устанавливается стационарный
поток носителей заряда. Чистый перенос заряда проис ходит в результате того, что нарушается равновесие процесса туннелирования. В направлении поля энергия активации туннелирования уменьшается, а в противопо ложном направлении, наоборот, увеличивается на неко-
а
Рис. 75. Влияние электрического поля на положение энергетических уровней островков (/) и (2):
а — предтуннельное состояние; б — посттуннельное
состояние (Е2~~Еі= д^ — д^ = Д^)
торую величину А. Вследствие этого вероятность тун
нелирования в направлении поля больше, чем в іпротивоположном направлении.
|
Концентрация носителей в направлении поля, согласно |
(321) |
|
равна: |
|
|
|
|
|
Q - л |
|
N |
M L |
е кТ |
(322) |
+ |
Q - |
Л |
246
и в противоположном направлении
|
N0k T |
|
Q + A |
N. |
е |
k т |
|
-------- |
(323) |
||
|
Q + A |
|
|
Чистый поток носителей в направлении поля на единице площа ди подложки равен произведению разности концентраций носителей (NT ) вдоль и против поля на коэффициент прозрачности DT и на частоту Ѵт ударов о барьер:
Dy '1j Nу — Dy Чу (N
|
k T |
д |
д |
|
е*Т |
~кТ |
|
|
Q |
|
|
— DT 4yN0k T е |
|
Q — А |
(324) |
|
|
Q + А |
|
Единичный акт |
туннелирования соответствует переносу заряда |
на соседний островок, т. е. «длина свободного пробега» равна рас стоянию между центрами островков 2а-\-Ь. Электрический ток опре
деляется количеством |
перенесенных зарядов в единицу времени |
через линию единичной |
длины, перпендикулярную направлению по |
ля. Следовательно, при расчете тока необходимо учесть только те островки, которые расположены на расстоянии (2а+ 6) от этой линии, т. е. занимающие площадь (2а+6). Выражение для плотно сти тока имеет вид
I =,eDT 4T NT (2a + b). |
|
|
|
(325) |
|
Изменение энергии активации А |
зависит от |
взаимного |
направ |
||
ления туннелирования и поля: |
|
|
|
|
|
А (ф) = |
Д0 cos ф, |
|
|
|
(326) |
где До — изменение энергии активации вдоль поля; |
и |
направле |
|||
Ф |
— угол между направлением |
туннелирования |
|||
|
нием поля. |
|
|
|
|
Ао — F (2 а + 6). |
|
|
|
(327) |
|
Элементарная составляющая |
плотности |
тока в |
направлении |
||
поля |
|
|
|
|
|
d IQ= d /ф cos ф.
Из выражений (325) и (326) следует, что
d Iу = е DT чт (2 а b) NT (ф). •
Отсюда, используя условие симметрии относительно общий ток можно определить следующим образом:
|
|
я |
/ |
F (2 iJ-f*) cos ф |
_ |
Q |
~2 |
/ |
kT |
— 2 е Dy No (2 а b) Чу k T е |
kT |
j |
^ Q |
1 р (2 а + ft) cos ф |
F (2 а + Ь) cos ф
КГ
е
I X cos ф d ф.
Q -f F (2 а + Ь) соэ’ф
(328)
(329)
поля
“
(ЗЗр)
247
|
Если F ( 2 a + b ) |
oos cp C |
Q, то последнее выражение упрощается: |
||||
|
|
|
|
|
|
Q |
|
|
|
|
|
|
k T |
|
|
/== |
4 е DT N0 чт(2 а + b) k Т е |
sh[/7(2tt-f-6)cosq:] cos cpd cp. |
(331) |
||||
|
|
_ |
|
|
|||
|
Интеграл в выражении (331) можно взять приближенно, разло |
||||||
жив |
sh[/7(2«+6)coscp] |
в ряд. В |
этом случае выражение для плот |
||||
ности тока примет следующий вид: |
|
||||||
|
|
|
|
|
_ . |
|
|
|
2 е я k Т DT N0 '>т (2 а + 6) е |
кТУ* |
|
||||
- |
F (2а+ |
Ь) |
1 |
/ F(2a + b) \» |
(332) |
||
|
2 k T |
+ |
16 |
[ |
k T |
I |
|
|
|
||||||
|
В данном расчете не учитывается изменение прозрач |
||||||
ности потенциального |
барьера (коэффициента DT) |
за |
счет поля, т. е. электрический ток рассматривается как результат изменения энергии активации туннелирования полем. При F О
|
Q |
Q |
У -> Уо = |
е кт |
е L0DT е кт |
е ICD T N0vr ( 2 а + b f — |
= ----- ---------------- , (333) |
|
где L0= |
тс N0ѵг (2 а -f bf. |
|
Таким образом, данная модель объясняет активи рованный характер проводимости специфической приро дой туннелирования между изолированными частицами малых размеров.
Энергия активации проводимости и сопротивление определяются морфологическими характеристиками пленки (величиной островков а и зазоров между ними Ь) и могут необратимо меняться с изменением морфоло гии пленки. Этот вопрос будет рассмотрен в следующей главе.
7. Резонансное туннелирование
Этот эффект, имеющий место при некоторых струк турных параметрах туннельной системы, может в опре деленной степени увеличить ток электронов с одного электрода на другой.
В работах Пенли [312] и Бома [280] показано, что
248
если потенциальный барьер между двумя электродами имеет минимум, как например, на рис. 70, причем со блюдается определенное соотношение между высотой и шириной отдельных участков барьера, то возникает ре зонансный эффект, в результате которого вероятность туннелирования увеличивается до значения, близкого к единице. Другими словами, электрон, обладающий оп ределенным импульсом, свободно проходит через двой ной потенциальный барьер несмотря на то, что его энер гия может быть значительно ниже обоих максимумов потенциала.
Коэффициент прозрачности через двойной потен циальный барьер в квазиклаесическом приближении имеет вид [313—316]
Т |
(Е) |
|
|
|
|
|
|
|
(334) |
|
|
|
1 + S2 + 0 2 ’ |
|
|
|
|
|
|||
где |
S2 = |
sh2 |
(Ѳ4 — 62); |
|
|
|
|
(335) |
||
а2 = |
[ch2 (Ѳ2 + |
G4 -f |
ln 4) ch2 |
(64 — Ö2)l |
cos2 03, |
(336) |
||||
где |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5, |
= |
■>—2ot- |
f141 |
I |Ф, ( х ) - Щ Idx ; |
|
|
|
(337) |
||
|
|
Й |
" |
|
i = 2 , 3. |
4. |
|
|
|
|
|
|
|
|
І |
|
|
|
|
|
|
|
Xi — кооірдинаты 'классических точек |
поворота. |
||||||||
ер |
На рис. 76 изображен двойной потенциальный барь |
|||||||||
(Фі — высота |
отдельных |
участков, |
іі — геометричес |
|||||||
кая ширина). |
|
|
|
|
|
|
|
|||
ту |
В противоположность обычному туннельному эффек |
|||||||||
вероятность резонансного |
прохождения |
зависит от |
||||||||
энергии немонотонно. Функция Т (Е) |
имеет два вида |
|||||||||
максимумов |
(рис. 76,6): для |
S2= 0 , |
так |
называемый |
||||||
максимум |
«симметричного резонанса» |
и |
для |
о2= 0 — |
||||||
максимум |
«размерного резонанса». |
Максимум |
симмет |
ричного резонанса единственный, тогда как число мак симумов размерного резонанса может быть велико. Если одновременно выполняются условия S2==Q и о2 = 0, то коэффициент прозрачности двойного барьера достигает абсолютного максимума и равен единице. Однако если анергия электрона лишь немного отличается от энергии резонансного уровня в зазоре 3 (рис. 76, а), то вероят ность туннелирования Т (Е) очень быстро убывает до величины, соответствующей обычному туннелированию'
249
Т(Е) = Га (В) Г4 (Е), |
|
(338) |
где Т2 іи Ті —коэффициенты |
прозрачности участков 2 |
|
и 4 |
(рис. 76, а) |
барьера соответственно. |
Рис. 76. Энергетическая схема двойного потенциального барьера по данным работы [315] (а) и коэффициент прозрачности через двойной барьер в за висимости от энергии туннелирующей частицы (б)
Резкое уменьшение прозрачности резонанса |
связа |
|
но с экспоненциальной зависимостью от энергии |
выра |
|
жений для S 2и о2. |
при условии |
|
Симметричный резонанс имеет место |
||
б2 = Ѳ4, |
|
(339) |
т. е. когда коэффициенты прозрачности |
обычного |
тун |
нелирования участков 2 и 4 равны между собой. Услови
ем |
размерного |
резонанса (а2 = 0) является |
равенство: |
sin2 |
- 63j = |
0, |
(340) |
250