книги из ГПНТБ / Трусов Л.И. Островковые металлические пленки
.pdfВ более поздней работе [251] Хилл выдвигает дру гое объяснение природы энергии активации туннельно го процесса.
В работах [234, 251] существование энергии актива ции объясняется тем, что для удаления электрона из нейтрального островка небольшого размера на сосед ний требуется дополнительная электростатическая рабо та:
6 Q = |
е2 |
|
|
а + b |
|
|
|
|
(293) |
4 JT8 |
|
а (2 а + |
Ь) |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
||||
При этом |
туннелирование электрона |
происходит, |
как |
||||||
показано на |
рис. 69, с уровня |
|
Ферми |
(островка), |
опу- |
||||
|
|
|
Л |
|
А |
|
А |
Г |
|
|
|
|
і |
Ei |
/ Д |
|
Рз |
j |
|
|
|
f - 4 |
|
ш |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
^ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
JL Г“1 |
|
|
|
|
|
Рис. |
69. |
Схема |
туннелирования |
электрона между |
|
|||
|
двумя островками по модели Хилла |
|
|
щенного на величину бQ относительно исходного поло жения.
Основное выражение для тока автор выводит исходя из обычных предпосылок о туннелировании [формула (230)], внося поправку, связанную с энергией актива ции бQ. Фактор, учитывающий заселенность уровней в островках, между которыми происходит переход, имеет вид
M / i - f s ) . |
(294) |
Таким образом, в отличие от предположения Нейгебауэра и Вэбба [см. формулу (260)], здесь допускается возможность туннелирования с данного островка (2) на соседние как вдоль поля (5), так и против него (1).
Для коэффициента прозрачности барьера использо вано выражение, аналогичное (232):
DT (Ех) = exp (— А фѴг) exp [— В (ц — Ех -j- б<?)]. (295)
231
Выражение для тока, полученное Хиллом, имеет вид
I Ѵ , Т ) =
X exp
8 я т е |
sh eU |
я |
B k T |
Ь3 В 2 |
k T |
s i n |
( я B k T ) |
exp (— Лф)‘Л X
(296)
Отличительной особенностью формулы Хилла явля ется температурная зависимость предэкспоненциального множителя, которая является характеристикой собст венно туннелирования. Эта зависимость модифицирует кривую I(Т) в области высоких температур.
При öQ<^kT, что присуще пленкам с крупными ос тровками, выражение (296) принимает вид
/X (С/, |
Г) = |
8 т е |
sh |
е V |
(я BkT)2 |
h3 В 2 |
|
k T |
s i n ( я B k T ) |
||
|
|
|
|||
ехр |
(— А ф'Д) |
|
|
(297) |
Из этого соотношения, описывающего безактивационное туннелирование, следует, что тон слабо зависит от температуры.
Сравнив термоэмиссионный и туннельный токи, Хилл нашел, что
/ т у н |
Ю » |
ф |
6 Q |
ф |
(230 |
|
|
Т* е х Р |
Д b ф ‘ Д - ф |
k T |
|
/ т э л |
( Д 6 ) 2 |
~kT |
|
Из формулы (298) можно определить области, в кото рых превалирует один из механизмов переноса заряда при различных значениях параметров пленки.
Энергия активации уменьшается во внешнем поле. Хилл показал, что следует различать случаи слабых и сильных полей [10, 27]. В сильном поле максимум по тенциала лежит в области зазора между эмиттирующим и соседним островками. При этом энергия активации равна:
A Q = 2 ( ~ F |
(299) |
где F' — эффективное поле в области зазора, отличаю щееся от F за счет поляризации соседних ост ровков.
В данном случае определяется «абсолютный» макси мум потенциала, соответствующий эффекту Шоттки. Это
232
выражение справедливо в области полей F', определяе мой неравенством:
2 |
> |
е |
(300) |
в (2 а + 6) |
Для слабых полей энергия активации определяется значением бQ, уменьшенным на величину падения на пряжения в зазоре, т. е. не «абсолютным» потенциаль ным максимумом, а относительной разностью потенциа лов двух соседних частиц:
б Q = |
а-\-Ь |
- F e ( 2 a + b). |
(301) |
|
а (2 а + Ь) |
||||
е а |
|
|
Выше было показано, что осуществление электричес кой проводимости между островками более вероятно че рез диэлектрическую подложку, а не через вакуумный зазор. При этом высота потенциального барьера между островками изменяется в первом приближении на вели чину электронного сродства диэлектрика, а диэлектри ческая проницаемость влияет на энергию активации и силы изображения. Если проводимость осуществляется туннелированием, то соотношение, полученное Хиллом [234] для токов по подложк'е (/п ) и через вакуумный зазор (/с), имеет вид
п ( _ ^ ) = 1,025 |
(А Ъс Фѵ. - А Ьп qtf) + |
||
, бQc |
бQn |
(302) |
|
k f |
• |
||
|
Вданном случае подложка является средой, «пас сивно» обеспечивающей перенос заряда. Однако, если в ней имеются свободные ионы щелочных металлов, то происходит дополнительное увеличение проводимости. При этом ионы металла изменяют, свойства подложки, которая теперь играет «активную» роль.
Вприсутствии свободных ионов металла высота по тенциального барьера понижается (рис. 70), и тунне лирование электрона между островками происходит через локальные уровни, связанные с ионами.
Подобную энергетическую схему Хилл использует для объяснения возрастания проводимости вследствие
233
Рис. 70. Энергетическая диаг рамма при наличии положи тельного иона между двумя металлическими островками (1—1) по модели Хилла [250]. Пунктир соответствует форме барьера при отсутствии иона
диффузии ионов, |
наведенной |
поперечным полем |
(ом. рис. |
49). При наложении электри ческого поля, нормального к ■подложке, концентрация сво бодных ионов металла в обла сти поверхности раздела по вышается. При этом происхо дит не только изменение по тенциального барьера, но и увеличение простраінстівѳнного заряда. В результате уро вень Ферми диэлектрика и, следовательно, ступень несоот ветствия уровней Ферми, т. е. энергия активации бQ, пони жаются.
Общая средняя высота потенциального барьера ф оп ределяется следующими факторами: изменением энер гии зоны проводимости бф вследствие обмена зарядами;
уменьшением ф/ под влиянием сил изображения; уменьшением фр за счет приложенного поля; уменьше
нием фг, обусловленным наличием ионизованных приме сей на поверхности раздела. Таким образом,
Ф = + б Ф — ф/ — ФР — Ф/. |
(303) |
гдефз — энергетический зазор между уровнем Ферми ме талла и дном зоны проводимости диэлектрика.
На основе анализа экспериментально полученной температурной зависимости проводимости Хилл рассчи
тал высоту барьера ф и эффективную электронную мас су гпэф, используя для этого степень отклонения от пря
молинейности экспериментальной зависимости In у ----—
в высокотемпературном интервале. Таким образом, для пленок платины на стекле он получил шЭф = 0,45 т (т—
масса свободного электрона) и ф = 0,87 эв [251]. Необходимо отметить некоторые недостатки модели,
предложенной Хиллом.
В соответствии с концепцией несовершенного обмена зарядами происходит переход электронов из диэлектри ка (подложки) на металлические островки или наобо
234
рот. Следовательно, в первом случае образуются свобод ные (дырочные) уровни в валентной зоне диэлектрика, а во втором — сравнительно много электронов появляет ся в его зоне проводимости. В любом случае проводи мость могла бы осуществляться за счет этих носителей. Иными словами, если происходит уравнивание уровня Ферми за счет перехода некоторого количества электро нов, то металлические островки можно рассматривать просто как доноры или акцепторы [303], а проводи мость будет аналогична примесной. При таком механиз ме перенос заряда определялся бы в первую очередь энергией активационного перехода электрона между ос
тровком и диэлектриком. |
|
|
рассматривается |
||||
При определении |
потока N (Г, Е) |
||||||
предтуннельное состояние, т. е. когда |
островки |
еще |
не |
||||
заряжены. Следовательно |
фактор, |
учитывающий |
засе |
||||
ленность уровней, нельзя брать в |
виде /у( 1—fi+i), |
по |
|||||
скольку при этом не учитываются |
обратные |
переходы |
|||||
носителей в островок. При |
расчете |
туннельного |
тока |
||||
между нейтральными |
островками |
этот фактор |
имеет |
||||
ВИД fi—fi+u |
|
|
|
|
|
схе |
|
Еще одно замечание можно сделать по поводу |
мы, приведенной на рис. 69, поясняющей природу энергии активации для туннелирования [251]. Перед туннелиро ванием уровни Ферми ів двух нейтральных островках в отсутствие поля равны. Уровень Ферми островка, из ко торого удаляется электрон, опускается на величину бQ, причем это происходит не до туннелирования, а в ре зультате перехода носителя на островок <3. При этом, ес ли схема (рис. 69) соответствует действительности, то оказывается возможным безактивационное туннелирова ние. Кроме того, ни Хилл, ни Нейгебауэр и Вэбб [246] не учитывают, что уровень Ферми островка, принимаю щего электрон 3, поднимается на соответствующую ве личину, поскольку работа выхода отрицательно заря женного островка меньше работы выхода нейтрального островка на величину энергии Дармуа (258).
6.Активированное туннелирование
Вработе Холмянского [153, с. 183] предложена мо дель электрической проводимости в островковых пленках,
вкоторой термическая активация рассматривается, как
235
внутренне присущая специфическая особенность тунне лирования между частицами малого размера.
Удаление электрона из изолированного островка из меняет его общий заряд. Если частица в исходном со стоянии нейтральна, то после ухода электрона она име ет заряд +е. В соответствии с принципом суперпозиции полей общий потенциал взаимодействия удаленного электрона и островка равен потенциалу сил изображе ния и потенциалу взаимодействия удаленного электрона и заряда -\-е, помещенного в центре сферы [311].
В образовании потенциала изображения участвуют три заряда: удаляющийся заряд (—<?); заряд изображе-
„ |
/ а |
\ |
„ |
а2 |
ния, равный |
------ |
е |
, находящийся |
на расстоянии------ |
|
\ а + х |
/ . |
a - f X |
от центра островка; фиктивный заряд, равный сумме двух первых зарядов, с обратным знаком и помещенный в
центре сферы (—-— е\ . Для простоты предполагается,
V a + X /
что островок имеет форму сферы радиуса а и влияние подложки не учитывается. На расстоянии х от островка энергия взаимодействия удаляющегося электрона с пер воначально нейтральным островком рассчитывается как суммарный кулоновский потенциал:
е2 [(a-f- X)3 — а2х] |
(304) |
||
QA = |
(2 а + |
х) (а + х)2 |
|
X |
|
Если сфера в исходном состоянии имеет один избы точный электрон, то удаляющийся электрон оставляет за собой нейтральный островок и потенциал чистых сил. изображения QB имеет следующий вид:
е2 а3 |
(305) |
|
QB = — |
х) (а + х ) 2 |
|
X (2 а + |
|
|
Разность этих потенциалов |
|
|
A Q = QA ~ Q B = |
------ (306) |
I |
|
a - f X |
Это означает, что энергия удаления в бесконечность
электрона, расположенного «а расстоянии х |
от сферы, |
|
в зависимости от того, нейтральна |
сфера или |
несет за- |
ряд ( + е), отличается на величину |
£2 |
|
---------- . |
|
236
Если в исходном положении электрон находится на поверхности сферы, т. е. л:=0, то А Q = -------, что со
ответствует энергии Дармуа (258).
Другими словами, работа выхода электрона из сфе ры малого радиуса зависит от ее заряда и размера. При изменении ее первоначального заряда на величину q ра бота выхода меняется на величину — q2la. Изменение ра боты выхода электрона из островка в зависимости от заря да островка означает изменение положения урозня Фер ми относительно уровня вакуума.
Будем считать, что -уровень Ферми нейтрального ос тровка соответствует уровню Ферми массивного металла. Тогда ,по сравнению с ним уровень Ферми части цы, имеющей один избыточный электрон, выше на вели чину е2/а , а уровень Ферми частицы, обладающей поло жительным зарядом -\-е, ниже на эту же величину.
Следовательно, удаление электрона из нейтрального островка в бесконечность вызывает понижение его уровня Ферми на величину е2/а. Перемещение электрона на ко нечное расстояние х приводит к изменению уровня Фер-
ми на величину------------- .Наоборот, если электрон пере-
а х-\- а
местится из бесконечности на сферу 1, расположенную на некотором конечном расстоянии от другой сферы 2
(обе сферы первоначально нейтральны), то |
повысится |
|
уровень Ферми не только непосредственно |
заряженной |
|
сферы (на величину |
g2 |
|
— ) , но также и соседней сфе- |
||
|
а |
|
ры 2 (на величину — |
) относительно общего уровня |
Ферми цо (рис. 71).
На рис. 72 видно, что при переходе электрона с одно го нейтрального островка (/) на другой (2) происходит смещение их уровней Ферми в противоположных на правлениях. В результате такого перехода появляется пара разноименно заряженных островков. Изменение положения уровня Ферми каждого островка относитель но первоначального значения цо зависит от размера ос тровка и расстояния между островками:
о2 |
р2 |
|
(307) |
Q = ------■ |
а |
||
а |
о+ |
|
237
Нейтральные частицы, расположенные вблизи пары, испытывают воздействие обоих противоположных заря дов пары, которое отчасти скомпенсировано, по сравне нию с воздействием изолированного заряда.
Рис. 71. Влияние заряда на положение энергетических уровней ост ровков:
у |
е2 . |
л |
е2 |
ег |
1 M i M J |
----------------* |
2 |
д ,2 М о = --------------- |
* 3 — (Яд — Д о ---- ------------------------- |
|
а |
|
х + а |
2 (*+о) |
Ѳ |
Ѳ |
|
Мг |
ж . |
в |
M r |
|
2а |
|
Рис. 72. Смещение уровней при переходе электрона с одного нейтрального островка на другой (образование пары):
е2 Д2-Ио=- (Ш-Во) = а
ег
Ь + а
Туннелирование электронов происходит по постоянно му энергетическому уровню. Однако, в отличие от тун нелирования между массивными телами, когда уровни Ферми электронов не меняются, для малых частиц каж дый элементарный акт туннелирования приводит к из менению уровней Ферми эмиттирующего и коллекторно-
238
го островков, а также окружающих нейтральных ост ровков.
Известно, что туннелирование может осуществляться только между занятыми уровнями одного электрона и свободными уровнями другого [263, с. 1793]. В состоя нии после туннелирования (посттуннельное состояние) между двумя нейтральными островками уровень Ферми эмиттирующего островка с положительным зарядом по нижен, а коллекторного островка с отрицательным за рядом— повышен относительно нейтрального положе ния цо (ем. рис. 72). Для того чтобы электрон ів остров ке 1 смог туннелировать на островок 2, он должен нахо диться на энергетическом уровне не ниже уровня Ферми островка 2 (р2) в посттуннельном состоянии. Посколь ку наивысший занятый уровень островка 1 в исходном состоянии соответствует ц0,то минимальная энергия, ко торую должен получить электрон, чтобы «выйти на
старт», определяется величиной I— — -—J. Эта энергия
передается электрону обычным термическим активиро ванием. Таким образом, туннелирование в системе мик рочастиц, несмотря на то, что оно проходит по постоян ному энергетическому уровню, представляет собой тер мически активируемый процесс. Общая энергия системы двух островков эмиттер — коллектор в посттуннельном состоянии остается неизменной по сравнению с энерги ей нейтральных островков до туннелирования.
После образования пары заряженных островков си туация может измениться в двух направлениях. Во-пер вых, может произойти обратное туннелирование, приво дящее к аннигиляции зарядов. Этот процесс наиболее вероятен, так как он проходит без активирования. И, вовторых, заряды могут туннелировать по отдельности на соседние островки, что приведет в конечном счете к уве личению расстояния между зарядами пары.
При обратном туннелировании уровни Ферми обоих оетроівков приобретают первоначальное значение цоКаждый электрон островка 2 (рис. 72), в предтуннельном состоянии находящийся на уровне выше цо, гари тун нелировании попадает на свободный уровень островка /. Следовательно, все электроны островка 2 с энергией в интервале (р2—Цо) «имеют .право» туннелировать на частицу 1 без предварительной активации.
239
Заряды, расположенные на бесконечном расстоянии друг от друга, движутся взаимно независимо. При тун нелировании электрона с островка 1 на соседний ней тральный островок 2 (рис. 71) в посттуннельном состоя нии уровень Ферми островка 1 изменит положение от Рі до положения ц2, а уровень Ферміи островка 2, наобо рот, от исходного положения рг до положения рі. Сле
довательно, |
электрон, находящийся на |
уровне |
Ферми |
рі островка |
1 в предтуннельном состоянии, может тун |
||
нелировать без предварительной активации. |
|
||
Если заряженные островки пары находятся на конеч |
|||
ном расстоянии, то при туннелировании |
зарядов |
в на |
правлении друг от друга требуется определенная энер гия активации. На рис. 73 изображен случай вторичного
Рис. 73. Изменение уровней островков (/, 2, 3) при вторичном тунне лировании:
а — предтуннельное состояние; б — посттуннельное состояние
туннелирования дырки (электрон туннелирует с нейт рального островка 1 на положительно заряженный ост ровок 2). В предтуннельном состоянии
е2Ь |
|
h> ■ 2 (Ь + а) ’ |
|
Но а (Ь- f а) |
= |
(308) |
|
Рі определяется |
отчасти |
скомпенсированным |
воздей |
ствием обоих зарядов пары,
240