книги из ГПНТБ / Дьяконов В.П. Лавинные транзисторы и их применение в импульсных устройствах
.pdfЭлектроны Ti дырки могут не только вводится в
р-п-переход извне, но и генерироваться в обедненном слое. Это создает генерационные составляющие плотно стей дырочного и электронного тока, равные qGdx, где G — скорость генерации электронно-дырочных пар в еди нице объема перехода.
Приращения плотности дырочного и электронного то ка на отрезке пути dx равны
Jp(х + dx) — Jр(х) = а (х) Jп (х) dx + ß (х) Jр(х) dx -f- qGdx
(1.1)
Jn(x -f dx) — Jn(x) = — а (x) Jn(x) dx — ß (x) Jp(x) dx —qGdx.
(1.2)
Знак минус в правой части уравнения (1.2) показывает, что в направлении поля плотность электронной состав ляющей тока убывает.
Из этих уравнений |
|
|
|||
-d ^ |
= |
а (X) Л, (X) + |
ß(X) Jp (X) +qG, |
(1.3) |
|
dx |
|
|
|
|
|
^ |
= |
- |
а (X) Jn(X) ~ ß (X) Jp (X) - q G . |
(1.4) |
|
dx |
|
|
|
|
|
После сложения |
|
|
|
||
|
dJ (x) |
dJp (x) I |
dJn (x) Q |
|
|
|
dx |
|
dx |
dx |
|
откуда видно, что плотность общего тока, протекающе
го через переход, не зависит |
от координаты х, т. е. |
|
J (х) = Jp (х) + |
Jn(х) = const |
(1.5) |
и уравнение (1.5) отражает закон непрерывности обще го тока для р-п-перехода при ударной ионизации носи телей. Из уравнений і(1.3) и (1.4) можно получить
d- ^ |
+ |
[а (X) - |
ß (X)] Jp (X) = |
а (х) J + |
qG, |
(1.6) |
dx |
|
|
|
|
|
|
|
+ |
[а {х) _ |
ß {х)] j n {х) = _ р {х) j _ |
qG. |
(1.7) |
|
Интегрируя |
уравнения |
(1.6), (1.7) |
в пределах от |
х = 0 |
до x=W, можно найти составляющую плотности общего тока J, если известны зависимости а'(х) и ß(x). Однако интегрирование связано с большими трудностями. По этому рассмотрим частные случаи, когда ионизация
10
Происходит под влиянием носителей одного знака. Эти случаи удобно относить к резко несимметричным пере ходам, например к переходам сплавных транзисторов.
Рассмотрим Р+-П переход, полагая, что ионизация вы зывается дырками. Из-за резкой зависимости и и ß от Е область перехода, в которой наблюдается умножение, располагается вблизи металлургической границы пере хода и может считаться бесконечно тонкой. Тогда плот ность дырочного тока Jp в остальной области перехода будет постоя иной и в соответствии с (1.3)
ww
:Jp jß (х) dx -f- J gGdx /,po, где постоянная интегри
рования JPo есть плотность тока первичных дырок, иницирующих умножение. Последнее выражение удобно за писать в виде
w |
|
|
W |
|
|
Jp = i^Jpo + j |
qGdxj j 1^1 — J ${x)dxj = |
MpJot |
|||
где J0 — плотность |
обратного тока с учетом |
его' генера |
|||
ционной составляющей, |
|
|
|||
|
|
1 |
W |
"]-1 |
( . ) |
Мр — Jp/Jо — |
j |
ß(х) dx |
|||
|
|
|
1 8 |
— коэффициент лавинного умножения дырок, равный отношению плотности общего тока Jv при наличии иони зации к плотности дырочной составляющей обратного тока при отсутствии ионизации.
Аналогичным образом для р-п+ перехода полагая, что ионизация обусловлена электронами, из (1.4) на ходим
ХР |
—1 |
М* = JJJо = — j* a(x)dx |
( 1.9) |
Интегрирование (1.6), (1.7) упрощается, если прене бречь генерационной составляющей обратного тока, т. е. положить G = 0. Тогда уравнения (1.6) и і( 1.7) сводятся к следующим уравнениям непрерывности:
dx |
dxB=*(E)Jn + HE)Jp. |
(1-Ю) |
где Jn= qnvn, Jp=qpvp — плотности электронного и ды
14
рочного |
токов, |
п, |
р — концентраций |
электронов |
й дкЬ |
||||||||
рек, vn, |
üp— екорооти движения электронов |
и дырок. |
|||||||||||
В [12] |
выполнено |
решение |
(1.10) |
в пределах |
запор* |
||||||||
ново слоя |
— W „<x<W p обратно .смещенного перехода |
||||||||||||
При ГраНИЧНЫХ |
УСЛОВИЯХ |
Х = — W n , |
Jp=Jps, Jn= J—Jns', |
||||||||||
x = W p , Jp = J—JpS, Jn= Jns, |
где Jns, Jps — плотности элек |
||||||||||||
тронного и дырочного токов насыщения. |
|
|
|
||||||||||
Это решение дает следующие эквивалентные значе |
|||||||||||||
ния для |
коэффициента |
лавинного умножения M — |
|||||||||||
равного |
|
отношению |
суммарной |
плотности |
тока |
||||||||
J—\(Jp-\~Jn)= const |
|
к |
полному |
току |
насыщения |
||||||||
Л« = l(Jns~\~Jps) ’■ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
М_! = Mn' + Мр' = |
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
exp |
|
j |
(a —P) dx' |
dx |
|
|
|
|
|
|
|
|
~ |
|
|
? |
(a. — ß) dx |
|
|
|
|
|
|
|
|
+ |
exp |
( |
|
|
|
||||
|
|
|
JS |
|
^ S |
|
|
J |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
~ V n |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
Wcp |
г |
|
ff/P |
|
|
|
|
||
|
|
1 — |
exp |
\ |
( ß — a) dx' |
dx |
|
|
|||||
|
|
|
|
I |
|
a |
|
X |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
-*n |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
Jns . |
Jps exp |
W P |
|
|
|
|
||||
|
|
|
l |
( ß — a) dx |
|
|
|
||||||
|
|
|
Js |
+ |
J , |
|
~wn |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Условие пробоя М-уоо имеет вид |
|
|
|
|
|||||||||
|
|
\\7р |
exp |
X |
(a — |
p ) dx' |
dx = |
|
|
||||
|
|
1 |
ß |
f |
|
|
|||||||
|
|
|
- K |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
- к |
|
Г |
|
|
|
. |
J |
|
|
||
|
|
WP |
|
W P |
|
( p |
— a) dx' |
dx-*- |
|
|
|||
|
|
= |
|
exp |
j |
|
|
|
|||||
|
|
I “ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
~ W n |
_ |
|
X |
|
|
|
|
|
|
|
При a(x) = ß(x) —a.i(x) либо при ионизации носите лями одного знака из приведенных выражений для М получаем
w,
М == Мр = Мп = 1 — aі (X) dx
12
|
|
( 1. 1 1) |
а для условия .пробоя і(Л4= оо) |
|
|
Wp |
w |
|
j щ (x) dx — j ас (X) d x = 1. |
(1.12) |
|
- w n |
0 |
|
Уравнение (1.12) показывает, что лавинный пробой нас тупает, если каждый носитель, прежде чем уйти из обед
ненного слоя, произведет в среднем |
|
|
|
хотя бы один акт ионизации. С по |
|
|
|
мощью этого уравнения можно вы |
|
|
|
числить напряжение Uм лавинного |
|
|
|
пробоя перехода при известной за |
|
|
|
висимости ас(х) или при известных |
|
|
|
зависимостях ас(Е) и Е(х). Послед |
|
|
|
нее легко найти для двух распро |
|
|
|
страненных типов переходов: резко |
Рис. |
1.1. |
Зависимость |
несимметричного и плавного. |
£ (* ) |
для резкого несим |
|
метричного |
перехода. |
Для зависимости Е(х) резко несимметричного пере
хода'(рис. 1.1) справедливы выражения [12, 13]: |
|
|
E = Em(l +XIW), |
(1.13) |
|
Em = 2U/W, |
|
(1.14) |
W = |
|
(1.15) |
где Ет— максимальное значение |
Е на границе |
%= 0, |
117і — характеристическая ширина |
перехода, показываю |
щая, насколько меняется ширина перехода W при изме нении напряжения на нем на 1 В.
Напряжение на .переходе равно алгебраической сум ме внешнего напряжения и контактной разности потен циалов фи. Последней в дальнейшем пренебрегаем, так
как |
в рассматриваемой |
предпробойной |
области |
|||
Д » |
і/дг^іфк. Характеристическая ширина перехода |
Wi |
||||
определяется |
концентрацией примеси N. Согласно [13] |
|||||
|
^ |
f 3,63-103/7V1/z |
для |
германия |
^ |
^ |
|
|
I 4,25-103/іѴ'/2 |
для |
кремния. |
|
|
Заменим, воспользовавшись (1.13), переменную х пере менной Е. Тогда из (1.Ы) и >(-1.15)
13
|
|
M H |
Em)dE, |
(1-17) |
|
|
|
= |
\ M E , |
||
где M E , En) — at {W l(E/Em) — 1]}. |
|
|
|||
Дифференцируя обе части (1.17) |
по Ет, находим |
||||
« / {Ет) |
2 |
d{ 1 — м~') |
- - з ( 1 - У И - ‘ ) dlpy |
(1.18) |
|
|
V? |
dEm |
г |
d E m |
|
Уравнение |
(1.18) |
позволяет |
найти |
зависимость |
щ(Ет) |
двумя методами. .При первом исследуется переход, ха рактеризующийся значением № 1 = const ів соответствии с
(1.16). Тогда из 1(1.18) |
|
at (Em) = 2 d ( l - A T ' ) / W U E m. |
(1.19) |
Экспериментально зависимость М от Ет легко получить с помощью соотношений і(іІ.Ю) и (1.13)—'(1.15) и ВАХ перехода. По известной зависимости М от Ет легко оп ределять аі(Ет).
При другом методе вычислений а,(Ет) исследуется ряд переходов с различными напряжениями лавинного пробоя и различной степенью легирования высокоомной области. В этом случае Ц71= ѵаг. Если вычислять Ет, из
меряя напряжения лавинного пробоя |
UM каждого |
пере |
||||||
хода, соответствующего М= оо, то из |
(1.18) |
|
||||||
|
|
ai (Em) = - 4 d W 1/W*dEm. |
|
(1.20) |
||||
|
|
|
Аналогично |
можно найти |
зави |
|||
|
|
|
симость аі(Ет) для линейного пе |
|||||
|
|
|
рехода с градиентом примеси А. |
|||||
|
|
|
Распределение |
напряженности по |
||||
|
|
|
ля в линейном переходе показано |
|||||
|
|
|
на рис. 1.2. При совмещении коор |
|||||
|
|
|
динаты |
х = 0 |
с |
металлургической |
||
|
|
|
границей |
перехода, |
-соответствую |
|||
Рис. |
1.2. |
Зависимость |
щей максимальной |
-напряженности |
||||
Е{х) |
для |
плавного пе |
поля, можно использовать для Е(х) |
|||||
|
|
рехода |
-выражения: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
E = Em[\-(2x/W )% |
|
|
( 1. 21) |
|||
|
|
|
Ет — \ ,bUIW, |
|
i/з |
|
( 1.22) |
|
|
|
|
|
|
|
|
(1.23) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
14
W1 = (\,5zB0/qA)m,
где so — диэлектрическая проницаемость ‘вакуума, е — относительная диэлектрическая проницаемость полупро водника.
Заменив, как это делалось при анализе >резкого пере
хода, переменную |
ж на |
£, из (1.11) |
и |
(1.21) — (1-23) по |
|
лучаем |
|
|
|
|
|
|
Г |
і —л г 1) |
|
_Д5 Ѵ/2 |
|
аі (Ет) = |
( 1 - / |
2 - |
|
dE. (1.24) |
|
dEn |
(Ет-Е) 1/2 |
|
|||
л |
|
W3, |
|
Для линейного перехода также известны два метода нахождения зависимости аі(Ет). Определив зависи мость М от ‘или U при U^i=const на одном переходе, найдем
о-і (Ет) |
2 - ( 1,5 )1/2 d |
Г |
(1 - М |
- ' ) d E |
(1.25) |
|||
л Wf2 |
dE<n jJ |
(Ет - |
£)1/2 |
|||||
|
|
|
||||||
или, исследуя |
|
несколько |
переходов |
с различными UM и |
||||
и оценивая Ет при U = U M и М= оо, получаем |
|
|||||||
|
|
2 ( 1 ,5)1/2 |
d |
т |
|
dE |
(1.26) |
|
“t(Ет) |
- |
|
|
|||||
л |
dEn |
[W\'2 (Em - E ) 1/2 |
||||||
|
|
|
Вычисления зависимости щ(Ет) рассмотренными ме тодами дают практически одинаковые результаты, при водимые в ряде работ [7—13]. При этом оказывается, что зависимость щ(Ет) хорошо аппроксимируется экс поненциальной функцией {43]
|
|
а{(Е) = с ехр ( - Ц Е ), |
(1.27) |
||
где |
с= 1,2-іІО7 см-1, |
Ь —1,4- 106‘В/см для |
германия и |
||
с= 0,9-'106см_1, é = 1,8-Т06.В/см для кремния. |
про |
||||
Теперь, |
подставив |
(1.27) в условие лавинного |
|||
боя |
I(іі .12), |
можно после интегрирования |
получить |
вы |
ражения, из которых находятся 'напряжения лавинного пробоя ■им для резкого и плавного переходов соответ ственно:
7Ѵ = ее0 b*/2qUM\tf(2cUMlb), |
|
U „ = m w l r t n V?**dtlqA f , VK\, |
(1.28) |
где di=12eeo/qA.
Щ
Аппроксимация полученных зависимостей для резко го перехода 'позволила получить простые зависимости, связывающие напряжение лавинного пробоя V М(В) с удельным сопротивлением слаболегированной области перехода рі(Ом-см) '(табл. 1.1 [13]).
|
|
|
|
|
Таблица 1.1 |
Материал |
Германий |
|
Кремнии |
||
Тип перехода |
п ^ -р |
|
/і+-р |
|
Р+-П |
Значение (JM |
5 2 p ° f |
83,4р °л61 |
OQn0 ,75 |
86Р°-П64 |
|
p |
|
Напряжение лавинного пробоя переходов с экспонен циальным распределением примеси может быть также найдено по второй формуле (1.28), если принять, что А — градиент концентрации примеси в плоскости инвер сии заряда. Согласно [13] это дает ошибку порядка ГО% даже в том случае, когда концентрация примеси на гра нице обедненного слоя со слаболегированной областью полупроводника из-за отклонения экспоненциальной за висимости распределения примеси от линейной отлича ется от соответствующей концентрации примеси в ли нейном переходе более чем в 10 раз.
Этот результат объясняется резкой зависимостью аі(Ет) от поля (1.27). Поэтому для расчета Ѵм важно знать распределение примеси в сравнительно узкой об ласти перехода, где напряженность поля близка к мак симальной и где в основном наблюдается ударная иони зация. В этой области экспоненциальное распределение примеси с достаточно высокой точностью аппроксими руется линейным.
■На практике удобно использовать зависимость М от U, впервые эмпирически полученную в [9], а затем ана литически (в [М7],
М = [1 - {UIUMY}-' , |
( 1-29) |
где л ~ 6 для германиевых п+-р переходов, л ~ 3 для гер маниевых р+-п переходов, п т 3,5 для кремниевых р+-п
Щ |
\ * |
переходов |
и |
пяі2 |
для |
м |
|
|
|
|
|
||
кремниевых п+-р перехо |
|
|
|
|
|
|
|||||
дов |
(рис. |
1.3). |
|
видно, |
|
|
|
|
|
|
|
Из сказанного |
|
|
|
|
|
|
|||||
что |
анализ зависимостей |
|
|
|
|
|
|
||||
коэффициентов ионизации |
|
|
|
|
|
|
|||||
от 'напряженности |
поля в |
|
|
|
|
|
|
||||
переходе |
является |
|
слож |
|
|
|
|
|
|
||
ной |
физической задачей, |
|
|
|
|
|
|
||||
решение которой возмож |
|
|
п=2у |
у з /6 |
|||||||
но лишь в рамках различ |
|
|
|||||||||
ных |
допущений. |
Между |
|
|
|
|
|
|
|||
тем |
искомый |
результат |
1 |
|
|
|
П = оо |
||||
этого анализа |
— величи |
о |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|||||||
ны |
пробивных |
напряже |
0,2 |
ОЛ |
0,6 |
0,s |
if |
||||
ний U M — довольно про |
|
|
|
|
|
им |
|||||
сто |
определяются |
экспе |
Рис. |
1.3. Зависимость |
коэффициен |
||||||
риментально. |
Для |
этого |
та |
лавинного |
умножения |
М |
от |
||||
|
напряжения. |
|
|
достаточно снять ВАХ пе рехода и вычислить напряжение, при котором обратный
ток резко возрастает. Поэтому при анализе лавинных
транзисторов удобно |
использовать формулу (1.29), оп |
||
ределяя UM экспериментально. |
можно уточнить уравне |
||
■С помощью формулы '(1.29) |
|||
ние іВАХ идеального |
р-п перехода, записав его |
в виде |
|
/ = МІ0 ( eU/vr - 1) |
= [1 - (U/UMy r l / 0 ( *т т- |
1) , |
|
|
|
|
(1.30) |
где іфт— тепловой потенциал, |
I0 = SJ0 — обратный ток |
||
перехода без учета лавинного |
умножения носителей в |
переходе, 5 — площадь перехода. ,В .(1.30) £/>0 для прямой полярности включения приложенного напряже
ния |
и U< 0 для |
обратной |
полярности |
(рис. 1.4а). Так |
как |
напряжение |
лавинного |
пробоя U M |
характеризует |
обратную ветвь ВАХ, то і/7н<0.
Из сопоставления ВАХ перехода, описываемой фор мулой (1.30) (рис. 1.4а), и осциллограммы обратной ветви реальной ВАХ (рис. 1.46) видно, что в области пробоя у экспериментальных характеристик наблюдает ся заметно большее дифференциальное сопротивление, чем ожидаемое из (1.30). Такой результат нельзя объяс нить только объемным сопротивлением областей р- и /г.-
перехода, так как это сопротивление |
намного меньше |
дифференциального на участке nnnfag |
м ------ |
т |
! • |
д а н |
м и |
17 |
|
'-Дк -^OTF-KA |
CCGT---- 1 |
|
Детальное исследование [12] показало, что указанные расхождения объясняются резкой зависимостью коэф фициентов ударной ионизации от напряженности поля и влиянием динамического объемного заряда подвижных носителей тока. .Первое приводит к тому, что процесс ударной ионизации развивается неравномерно по всей ширине перехода, а локализуется в довольно узком, так
Рис. 1.4. Реальная ( - - - ) и идеальная (—) ВАХ /з-я перехода (я) н осцилло грамма ВАХ коллекторного перехода транзистора П416Б (О):
Масштаб 5 В/дел по горизонтали и 1 мА/дел по вертикали.
называемом эффективном, слое умножения, где напря женность поля максимальна. При лавинном пробое в этом слое зарождаются вторичные электронно-дырочные пары, носители которых разносятся полем по обе сто роны от эффективного слоя умножения. Например, если область п является 'базой, а р — коллектором, то вто ричные дырки переносятся в коллекторную область пе рехода, а вторичные электроны — в базовую. Двигаю щиеся в переходе вторичные носители создают в обла стях р и л динамические объемные заряды. При этом динамический объемный заряд вторичных дырок умень шает отрицательный объемный заряд акцепторной при меси в .коллекторной области перехода, а динамический объемный заряд электронов уменьшает положительный объемный заряд донорной .примеси в базовой области. Влияние вторичных носителей при больших плотностях тока эквивалентно уменьшению концентрации .примеси в областях р и п перехода и увеличению удельного со противления р. В соответствии с формулами табл. 1.1 это приводит к росту напряжения лавинного пробоя UM
W
при увеличении тока, протекающего через переход. Этот результат удобно трактовать как дополнительное паде ние напряжения на эквивалентном дифференциальном сопротивлении Rnp перехода при пробое. В [12] получено выражение для Rnp в виде суммы дифференциальных сопротивлений областей р и я
* п р |
І~р, П 2ее0 viS ’ |
(1.31) |
|
|
|
где т)і — коэффициент, |
характеризующий степень лока |
лизации умножения по ширине перехода; щ — дрейфовая
скорость |
носителей |
в |
переходе; |
— ширина |
перехо |
|
да, определяемая |
из |
выражений |
(1.15) |
и '(1.23) при |
||
U = :UM; |
і — индекс, принимающий |
вид р |
или п |
в зави |
симости от области полупроводника, для которой опре деляется дифференциальное сопротивление.
Принимая во |
внимание Rap, |
можно использовать |
|||
формулу I(1.30) |
при М^> 1. Так |
как в этом |
случае |
||
UTÜUM велико, уравнение (1.30) принимает вид |
|
||||
/ = |
Л4/0 = / 0[1-(£ ////„ )" ]-> , |
(1.32) |
|||
или и = и м / 1 |
- |
м ~ ' - |
и м У 1 - |
IJI. |
(1.33) |
Формулы (1.32) |
и .(1.33) |
справедливы при малом токе/. |
Учитывая падение напряжения на сопротивлении Rap, для участка пробоя получаем
и = UMy \ = T j T + I R np. |
(1.34) |
Сопротивление Rnp обычно не превышает десятков ом для переходов с UM порядка десятков вольт. Тем не ме нее оно играет существенную роль в ограничении тока лавинного пробоя перехода. С конечным сопротивлением на участке пробоя следует считаться и при эксперимен тальных измерениях напряжения Ѵм. При токе/да-ТОО/о погрешностью определения 'UM из-за конечного RnР мож но пренебречь (это справедливо для переходов мало мощных транзисторов).
Ранее мы рассматривали взятый отдельно р-п переход, в котором начальные токи обусловлены носителями, возникающими вследствие их термогенерации вне обед ненного слоя или их генерации внутри обедненного слоя. Особенностью работы транзисторов в активной области является то, что ток коллектора в основном обусловлен
19