Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Дьяконов В.П. Лавинные транзисторы и их применение в импульсных устройствах

.pdf
Скачиваний:
86
Добавлен:
24.10.2023
Размер:
9.42 Mб
Скачать

Электроны Ti дырки могут не только вводится в

р-п-переход извне, но и генерироваться в обедненном слое. Это создает генерационные составляющие плотно­ стей дырочного и электронного тока, равные qGdx, где G — скорость генерации электронно-дырочных пар в еди­ нице объема перехода.

Приращения плотности дырочного и электронного то­ ка на отрезке пути dx равны

Jp(х + dx) (х) = а (х) Jп (х) dx + ß (х) (х) dx -f- qGdx

(1.1)

Jn(x -f dx) Jn(x) = — а (x) Jn(x) dx — ß (x) Jp(x) dx qGdx.

(1.2)

Знак минус в правой части уравнения (1.2) показывает, что в направлении поля плотность электронной состав­ ляющей тока убывает.

Из этих уравнений

 

 

-d ^

=

а (X) Л, (X) +

ß(X) Jp (X) +qG,

(1.3)

dx

 

 

 

 

 

^

=

-

а (X) Jn(X) ~ ß (X) Jp (X) - q G .

(1.4)

dx

 

 

 

 

 

После сложения

 

 

 

 

dJ (x)

dJp (x) I

dJn (x) Q

 

 

dx

 

dx

dx

 

откуда видно, что плотность общего тока, протекающе­

го через переход, не зависит

от координаты х, т. е.

 

J (х) = Jp (х) +

Jn(х) = const

(1.5)

и уравнение (1.5) отражает закон непрерывности обще­ го тока для р-п-перехода при ударной ионизации носи­ телей. Из уравнений і(1.3) и (1.4) можно получить

d- ^

+

[а (X) -

ß (X)] Jp (X) =

а (х) J +

qG,

(1.6)

dx

 

 

 

 

 

 

 

+

{х) _

ß {х)] j n {х) = _ р {х) j _

qG.

(1.7)

Интегрируя

уравнения

(1.6), (1.7)

в пределах от

х = 0

до x=W, можно найти составляющую плотности общего тока J, если известны зависимости а'(х) и ß(x). Однако интегрирование связано с большими трудностями. По­ этому рассмотрим частные случаи, когда ионизация

10

Происходит под влиянием носителей одного знака. Эти случаи удобно относить к резко несимметричным пере­ ходам, например к переходам сплавных транзисторов.

Рассмотрим Р+-П переход, полагая, что ионизация вы­ зывается дырками. Из-за резкой зависимости и и ß от Е область перехода, в которой наблюдается умножение, располагается вблизи металлургической границы пере­ хода и может считаться бесконечно тонкой. Тогда плот­ ность дырочного тока Jp в остальной области перехода будет постоя иной и в соответствии с (1.3)

ww

:Jp (х) dx -f- J gGdx /,po, где постоянная интегри­

рования JPo есть плотность тока первичных дырок, иницирующих умножение. Последнее выражение удобно за­ писать в виде

w

 

 

W

 

Jp = i^Jpo + j

qGdxj j 1^1 — J ${x)dxj =

MpJot

где J0 — плотность

обратного тока с учетом

его' генера­

ционной составляющей,

 

 

 

 

1

W

"]-1

( . )

Мр Jp/Jо

j

ß(х) dx

 

 

 

1 8

— коэффициент лавинного умножения дырок, равный отношению плотности общего тока Jv при наличии иони­ зации к плотности дырочной составляющей обратного тока при отсутствии ионизации.

Аналогичным образом для р-п+ перехода полагая, что ионизация обусловлена электронами, из (1.4) на­ ходим

ХР

—1

М* = JJJо = — j* a(x)dx

( 1.9)

Интегрирование (1.6), (1.7) упрощается, если прене­ бречь генерационной составляющей обратного тока, т. е. положить G = 0. Тогда уравнения (1.6) и і( 1.7) сводятся к следующим уравнениям непрерывности:

dx

dxB=*(E)Jn + HE)Jp.

(1-Ю)

где Jn= qnvn, Jp=qpvp — плотности электронного и ды­

14

рочного

токов,

п,

р — концентраций

электронов

й дкЬ

рек, vn,

üp— екорооти движения электронов

и дырок.

В [12]

выполнено

решение

(1.10)

в пределах

запор*

ново слоя

W „<x<W p обратно .смещенного перехода

При ГраНИЧНЫХ

УСЛОВИЯХ

Х = — W n ,

Jp=Jps, Jn= JJns',

x = W p , Jp = JJpS, Jn= Jns,

где Jns, Jps — плотности элек­

тронного и дырочного токов насыщения.

 

 

 

Это решение дает следующие эквивалентные значе­

ния для

коэффициента

лавинного умножения M —

равного

 

отношению

суммарной

плотности

тока

J—\(Jp-\~Jn)= const

 

к

полному

току

насыщения

Л« = l(Jns~\~Jps) ’■

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

М_! = Mn' + Мр' =

 

 

 

 

 

 

 

 

 

exp

 

j

(a —P) dx'

dx

 

 

 

 

 

 

 

~

 

 

?

(a. — ß) dx

 

 

 

 

 

 

 

+

exp

(

 

 

 

 

 

 

JS

 

^ S

 

 

J

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

~ V n

 

 

 

 

 

 

 

 

Wcp

г

 

ff/P

 

 

 

 

 

 

1 —

exp

\

( ß — a) dx'

dx

 

 

 

 

 

 

I

 

a

 

X

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-*n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Jns .

Jps exp

W P

 

 

 

 

 

 

 

l

( ß — a) dx

 

 

 

 

 

 

Js

+

J ,

 

~wn

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Условие пробоя М-уоо имеет вид

 

 

 

 

 

 

\\7р

exp

X

(a

p ) dx'

dx =

 

 

 

 

1

ß

f

 

 

 

 

 

- K

 

 

 

 

 

 

 

 

 

- к

 

Г

 

 

 

.

J

 

 

 

 

WP

 

W P

 

( p

a) dx'

dx-*-

 

 

 

 

=

 

exp

j

 

 

 

 

 

I “

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

~ W n

_

 

X

 

 

 

 

 

 

 

При a(x) = ß(x) —a.i(x) либо при ионизации носите­ лями одного знака из приведенных выражений для М получаем

w,

М == Мр = Мп = 1 — aі (X) dx

12

 

 

( 1. 1 1)

а для условия .пробоя і(Л4= оо)

 

Wp

w

 

j щ (x) dx — j ас (X) d x = 1.

(1.12)

- w n

0

 

Уравнение (1.12) показывает, что лавинный пробой нас­ тупает, если каждый носитель, прежде чем уйти из обед­

ненного слоя, произведет в среднем

 

 

 

хотя бы один акт ионизации. С по­

 

 

 

мощью этого уравнения можно вы­

 

 

 

числить напряжение Uм лавинного

 

 

 

пробоя перехода при известной за­

 

 

 

висимости ас(х) или при известных

 

 

 

зависимостях ас(Е) и Е(х). Послед­

 

 

 

нее легко найти для двух распро­

 

 

 

страненных типов переходов: резко

Рис.

1.1.

Зависимость

несимметричного и плавного.

£ (* )

для резкого несим­

метричного

перехода.

Для зависимости Е(х) резко несимметричного пере­

хода'(рис. 1.1) справедливы выражения [12, 13]:

 

E = Em(l +XIW),

(1.13)

Em = 2U/W,

 

(1.14)

W =

 

(1.15)

где Ет— максимальное значение

Е на границе

%= 0,

117і — характеристическая ширина

перехода, показываю­

щая, насколько меняется ширина перехода W при изме­ нении напряжения на нем на 1 В.

Напряжение на .переходе равно алгебраической сум­ ме внешнего напряжения и контактной разности потен­ циалов фи. Последней в дальнейшем пренебрегаем, так

как

в рассматриваемой

предпробойной

области

Д »

і/дг^іфк. Характеристическая ширина перехода

Wi

определяется

концентрацией примеси N. Согласно [13]

 

^

f 3,63-103/7V1/z

для

германия

^

^

 

 

I 4,25-103/іѴ'/2

для

кремния.

 

 

Заменим, воспользовавшись (1.13), переменную х пере­ менной Е. Тогда из (1.Ы) и >(-1.15)

13

 

 

M H

Em)dE,

(1-17)

 

 

=

\ M E ,

где M E , En) — at {W l(E/Em) — 1]}.

 

 

Дифференцируя обе части (1.17)

по Ет, находим

« / {Ет)

2

d{ 1 м~')

- - з ( 1 - У И - ‘ ) dlpy

(1.18)

 

V?

dEm

г

d E m

 

Уравнение

(1.18)

позволяет

найти

зависимость

щ(Ет)

двумя методами. .При первом исследуется переход, ха­ рактеризующийся значением № 1 = const ів соответствии с

(1.16). Тогда из 1(1.18)

 

at (Em) = 2 d ( l - A T ' ) / W U E m.

(1.19)

Экспериментально зависимость М от Ет легко получить с помощью соотношений і(іІ.Ю) и (1.13)—'(1.15) и ВАХ перехода. По известной зависимости М от Ет легко оп­ ределять аі(Ет).

При другом методе вычислений а,(Ет) исследуется ряд переходов с различными напряжениями лавинного пробоя и различной степенью легирования высокоомной области. В этом случае Ц71= ѵаг. Если вычислять Ет, из­

меряя напряжения лавинного пробоя

UM каждого

пере­

хода, соответствующего М= оо, то из

(1.18)

 

 

 

ai (Em) = - 4 d W 1/W*dEm.

 

(1.20)

 

 

 

Аналогично

можно найти

зави­

 

 

 

симость аі(Ет) для линейного пе­

 

 

 

рехода с градиентом примеси А.

 

 

 

Распределение

напряженности по­

 

 

 

ля в линейном переходе показано

 

 

 

на рис. 1.2. При совмещении коор­

 

 

 

динаты

х = 0

с

металлургической

 

 

 

границей

перехода,

-соответствую­

Рис.

1.2.

Зависимость

щей максимальной

-напряженности

Е{х)

для

плавного пе­

поля, можно использовать для Е(х)

 

 

рехода

-выражения:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E = Em[\-(2x/W )%

 

 

( 1. 21)

 

 

 

Ет — \ ,bUIW,

 

i/з

 

( 1.22)

 

 

 

 

 

 

 

(1.23)

 

 

 

 

 

 

 

 

14

W1 = (\,5zB0/qA)m,

где so — диэлектрическая проницаемость ‘вакуума, е — относительная диэлектрическая проницаемость полупро­ водника.

Заменив, как это делалось при анализе >резкого пере­

хода, переменную

ж на

£, из (1.11)

и

(1.21) — (1-23) по­

лучаем

 

 

 

 

 

 

Г

і —л г 1)

 

_Д5 Ѵ/2

 

аі (Ет) =

( 1 - /

2 -

 

dE. (1.24)

dEn

(Ет-Е) 1/2

 

л

 

W3,

 

Для линейного перехода также известны два метода нахождения зависимости аі(Ет). Определив зависи­ мость М от ‘или U при U^i=const на одном переходе, найдем

о-і (Ет)

2 - ( 1,5 )1/2 d

Г

(1 - М

- ' ) d E

(1.25)

л Wf2

dE<n jJ

(Ет -

£)1/2

 

 

 

или, исследуя

 

несколько

переходов

с различными UM и

и оценивая Ет при U = U M и М= оо, получаем

 

 

 

2 ( 1 ,5)1/2

d

т

 

dE

(1.26)

“t(Ет)

-

 

 

л

dEn

[W\'2 (Em - E ) 1/2

 

 

 

Вычисления зависимости щ(Ет) рассмотренными ме­ тодами дают практически одинаковые результаты, при­ водимые в ряде работ [7—13]. При этом оказывается, что зависимость щ(Ет) хорошо аппроксимируется экс­ поненциальной функцией {43]

 

 

а{(Е) = с ехр ( - Ц Е ),

(1.27)

где

с= 1,2-іІО7 см-1,

Ь 1,4- 106‘В/см для

германия и

с= 0,9-'106см_1, é = 1,8-Т06.В/см для кремния.

про­

Теперь,

подставив

(1.27) в условие лавинного

боя

I(іі .12),

можно после интегрирования

получить

вы­

ражения, из которых находятся 'напряжения лавинного пробоя ■им для резкого и плавного переходов соответ­ ственно:

7Ѵ = ее0 b*/2qUM\tf(2cUMlb),

 

U „ = m w l r t n V?**dtlqA f , VK\,

(1.28)

где di=12eeo/qA.

Щ

Аппроксимация полученных зависимостей для резко­ го перехода 'позволила получить простые зависимости, связывающие напряжение лавинного пробоя V М(В) с удельным сопротивлением слаболегированной области перехода рі(Ом-см) '(табл. 1.1 [13]).

 

 

 

 

 

Таблица 1.1

Материал

Германий

 

Кремнии

Тип перехода

п ^ -р

 

/і+-р

 

Р+-П

Значение (JM

5 2 p ° f

83,4р °л61

OQn0 ,75

86Р°-П64

p

 

Напряжение лавинного пробоя переходов с экспонен­ циальным распределением примеси может быть также найдено по второй формуле (1.28), если принять, что А — градиент концентрации примеси в плоскости инвер­ сии заряда. Согласно [13] это дает ошибку порядка ГО% даже в том случае, когда концентрация примеси на гра­ нице обедненного слоя со слаболегированной областью полупроводника из-за отклонения экспоненциальной за­ висимости распределения примеси от линейной отлича­ ется от соответствующей концентрации примеси в ли­ нейном переходе более чем в 10 раз.

Этот результат объясняется резкой зависимостью аі(Ет) от поля (1.27). Поэтому для расчета Ѵм важно знать распределение примеси в сравнительно узкой об­ ласти перехода, где напряженность поля близка к мак­ симальной и где в основном наблюдается ударная иони­ зация. В этой области экспоненциальное распределение примеси с достаточно высокой точностью аппроксими­ руется линейным.

■На практике удобно использовать зависимость М от U, впервые эмпирически полученную в [9], а затем ана­ литически (в [М7],

М = [1 - {UIUMY}-' ,

( 1-29)

где л ~ 6 для германиевых п+-р переходов, л ~ 3 для гер­ маниевых р+-п переходов, п т 3,5 для кремниевых р+-п

Щ

\ *

переходов

и

пяі2

для

м

 

 

 

 

 

кремниевых п+-р перехо­

 

 

 

 

 

 

дов

(рис.

1.3).

 

видно,

 

 

 

 

 

 

Из сказанного

 

 

 

 

 

 

что

анализ зависимостей

 

 

 

 

 

 

коэффициентов ионизации

 

 

 

 

 

 

от 'напряженности

поля в

 

 

 

 

 

 

переходе

является

 

слож­

 

 

 

 

 

 

ной

физической задачей,

 

 

 

 

 

 

решение которой возмож­

 

 

п=2у

у з /6

но лишь в рамках различ­

 

 

ных

допущений.

Между

 

 

 

 

 

 

тем

искомый

результат

1

 

 

 

П = оо

этого анализа

— величи­

о

 

 

 

 

 

 

 

 

ны

пробивных

напряже­

0,2

ОЛ

0,6

0,s

if

ний U M — довольно про­

 

 

 

 

 

им

сто

определяются

экспе­

Рис.

1.3. Зависимость

коэффициен­

риментально.

Для

этого

та

лавинного

умножения

М

от

 

напряжения.

 

 

достаточно снять ВАХ пе­ рехода и вычислить напряжение, при котором обратный

ток резко возрастает. Поэтому при анализе лавинных

транзисторов удобно

использовать формулу (1.29), оп­

ределяя UM экспериментально.

можно уточнить уравне­

■С помощью формулы '(1.29)

ние іВАХ идеального

р-п перехода, записав его

в виде

/ = МІ0 ( eU/vr - 1)

= [1 - (U/UMy r l / 0 ( *т т-

1) ,

 

 

 

(1.30)

где іфт— тепловой потенциал,

I0 = SJ0 — обратный ток

перехода без учета лавинного

умножения носителей в

переходе, 5 — площадь перехода. ,В .(1.30) £/>0 для прямой полярности включения приложенного напряже­

ния

и U< 0 для

обратной

полярности

(рис. 1.4а). Так

как

напряжение

лавинного

пробоя U M

характеризует

обратную ветвь ВАХ, то і/7н<0.

Из сопоставления ВАХ перехода, описываемой фор­ мулой (1.30) (рис. 1.4а), и осциллограммы обратной ветви реальной ВАХ (рис. 1.46) видно, что в области пробоя у экспериментальных характеристик наблюдает­ ся заметно большее дифференциальное сопротивление, чем ожидаемое из (1.30). Такой результат нельзя объяс­ нить только объемным сопротивлением областей р- и /г.-

перехода, так как это сопротивление

намного меньше

дифференциального на участке nnnfag

м ------

т

! •

д а н

м и

17

 

'-Дк -^OTF-KA

CCGT---- 1

 

Детальное исследование [12] показало, что указанные расхождения объясняются резкой зависимостью коэф­ фициентов ударной ионизации от напряженности поля и влиянием динамического объемного заряда подвижных носителей тока. .Первое приводит к тому, что процесс ударной ионизации развивается неравномерно по всей ширине перехода, а локализуется в довольно узком, так

Рис. 1.4. Реальная ( - - - ) и идеальная (—) ВАХ /з-я перехода (я) н осцилло­ грамма ВАХ коллекторного перехода транзистора П416Б (О):

Масштаб 5 В/дел по горизонтали и 1 мА/дел по вертикали.

называемом эффективном, слое умножения, где напря­ женность поля максимальна. При лавинном пробое в этом слое зарождаются вторичные электронно-дырочные пары, носители которых разносятся полем по обе сто­ роны от эффективного слоя умножения. Например, если область п является 'базой, а р — коллектором, то вто­ ричные дырки переносятся в коллекторную область пе­ рехода, а вторичные электроны — в базовую. Двигаю­ щиеся в переходе вторичные носители создают в обла­ стях р и л динамические объемные заряды. При этом динамический объемный заряд вторичных дырок умень­ шает отрицательный объемный заряд акцепторной при­ меси в .коллекторной области перехода, а динамический объемный заряд электронов уменьшает положительный объемный заряд донорной .примеси в базовой области. Влияние вторичных носителей при больших плотностях тока эквивалентно уменьшению концентрации .примеси в областях р и п перехода и увеличению удельного со­ противления р. В соответствии с формулами табл. 1.1 это приводит к росту напряжения лавинного пробоя UM

W

при увеличении тока, протекающего через переход. Этот результат удобно трактовать как дополнительное паде­ ние напряжения на эквивалентном дифференциальном сопротивлении Rnp перехода при пробое. В [12] получено выражение для Rnp в виде суммы дифференциальных сопротивлений областей р и я

* п р

І~р, П 2ее0 viS ’

(1.31)

 

 

где т)і — коэффициент,

характеризующий степень лока­

лизации умножения по ширине перехода; щ — дрейфовая

скорость

носителей

в

переходе;

— ширина

перехо­

да, определяемая

из

выражений

(1.15)

и '(1.23) при

U = :UM;

і — индекс, принимающий

вид р

или п

в зави­

симости от области полупроводника, для которой опре­ деляется дифференциальное сопротивление.

Принимая во

внимание Rap,

можно использовать

формулу I(1.30)

при М^> 1. Так

как в этом

случае

UUM велико, уравнение (1.30) принимает вид

 

/ =

Л4/0 = / 0[1-(£ ////„ )" ]-> ,

(1.32)

или и = и м / 1

-

м ~ ' -

и м У 1 -

IJI.

(1.33)

Формулы (1.32)

и .(1.33)

справедливы при малом токе/.

Учитывая падение напряжения на сопротивлении Rap, для участка пробоя получаем

и = UMy \ = T j T + I R np.

(1.34)

Сопротивление Rnp обычно не превышает десятков ом для переходов с UM порядка десятков вольт. Тем не ме­ нее оно играет существенную роль в ограничении тока лавинного пробоя перехода. С конечным сопротивлением на участке пробоя следует считаться и при эксперимен­ тальных измерениях напряжения Ѵм. При токе/да-ТОО/о погрешностью определения 'UM из-за конечного RnР мож­ но пренебречь (это справедливо для переходов мало­ мощных транзисторов).

Ранее мы рассматривали взятый отдельно р-п переход, в котором начальные токи обусловлены носителями, возникающими вследствие их термогенерации вне обед­ ненного слоя или их генерации внутри обедненного слоя. Особенностью работы транзисторов в активной области является то, что ток коллектора в основном обусловлен

19

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ