- •Роль физико-химических процессов в технологии и конструировании электронных средств.
- •Основные термодинамические понятия.
- •Законы термодинамики.
- •Энтропия.
- •Условия равновесия термодинамических систем. Правило фаз.
- •Диаграммы состояния различных систем и их роль при проектировании технологических процессов.
- •Однокомпонентные системы.
- •Объемные диаграммы состояния.
- •Многокомпонентные системы.
- •Основные типы диаграмм равновесия бинарных систем.
- •Статистический характер второго закона термодинамики.
- •Характеристические функции и термодинамические потенциалы системы.
- •Явления и процессы на поверхности раздела двух фаз. Адсорбция физическая и химическая.
- •Термодинамическое равновесие поверхностного слоя с объемными фазами.
- •Растворы и их применение в технологии эс.
- •Виды химической связи между атомами. Равновесное состояние системы атомов. Основные свойства материалов, определяемые особенностями химической связи.
- •Металлическая связь:
- •Молекулярная связь:
- •Пространственное расположение частиц при образовании кристалла.
- •Кристаллические решётки. Типы симметрии и виды решёток. Индексы Миллера.
- •Структура жидкости.
- •Структура полимеров.
- •Жидкие кристаллы.
- •Образование и структура пленок.
- •2. Ионно-плазменное распыление:
- •3. Электрохимическое осаждение:
- •Получение тонких пленок на ориентирующих подложках (эпитаксия).
- •Особенности структуры пленок. Влияние физико-химических факторов на структуру и свойства пленок.
- •Влияние физико-химических факторов на свойства пленок.
- •Закономерности и механизмы диффузии в полупроводниковых и планарных структурах.
- •Диффузия в твердых телах. Механизмы диффузии.
- •Законы диффузии Фика.
- •Использование диффузии для введения примеси в полупроводниковые кристаллы. Диффузия из ограниченного и неограниченного источника.
- •Физические основы ионной имплантации.
Условия равновесия термодинамических систем. Правило фаз.
Фазовые равновесия – это равновесия в системах, в которых не происходит химического взаимодействия между компонентами, а имеют место лишь фазовые переходы компонентов из одной фазы в другую.
Условие равновесия гетерогенной системы: во всех фазах гетерогенной термодинамической системы, Т и Р одинаковы и химические потенциалы каждого из компонентов равны.
Химический потенциал – это величина, характеризующая способность компонента выделятся из данной фазы в рассматриваемых условиях.
Химический потенциал – это частная производная от энергии Ферми по концентрации данного компонента:
Одним из самых общих законов физической химии является закон равновесия фаз, называемый правилом фаз. Правило фаз основывается на втором законе термодинамики и относится к системам, находящимся в равновесии.
Возьмем систему, содержащую n – независимых компонентов и состоящую из k – фаз, находящихся в устойчивом равновесии между собой.
Составим уравнения выражающие условия равновесия для наиболее общего случая, когда все компоненты входят во все фазы, из которых состоит гетерогенная система:
n – число компонентов (1…n),
к – число фаз (1…к)
(1)
Выражение (1) ряды тождеств, т.к. Т и Р независимые переменные.
(2)
Выражение (2) это не ряды тождеств, т.к. химический потенциал одного компонента в различных фазах описывается различными функциями от Р, С, Т.
На основании (2) можно составить систему независимых уравнений.
Вид функции меняется от одной фазы к другой и в общем случае неизвестен, каждое из равенств является независимым уравнением.
Общее количество уравнений составляющих систему будет равно:
Т, Р, С – независимые переменные входящие в систему независимых уравнений.
Для выражения состава любой фазы, содержащей n – компонентов, достаточно указать процентное содержание (n-1) компонентов. Следовательно для описания состава всех к – фаз нам может потребоваться к*(n-1) данных и для полного описания еще Т и Р т.е. всего к*(n-1)+2 данных.
Если число независимых переменных равно числу уравнений их связывающих, то каждая переменная принимает некоторое, строго определенное значение и вся система может существовать при этом единственно возможном сочетании Т, Р и С во всех фазах, если же число уравнений меньше числа независимых переменных то разность (f) – это число переменных которым можно придавать произвольные значения при имеющихся уравнениях, а следовательно при данном числе фаз:
(3)
f – число термодинамических степеней свободы системы, или вариантность системы определяется как число условий ( температура, давление, концентрации), которые можно произвольно менять ( в известных пределах ), не изменяя этим числа или вида фаз системы.
Если f=1, то система моновариантная.
Если f=2, то система бивариантная.
Если f=0, то система нонвариантна.
Преобразуя (3) можно получить:
(4)
Это соотношение называется правилом фаз Гиббса: число степеней свободы равновесной термодинамической системы, на которую из внешних факторов влияют только температура и давление, равно числу независимых компонентов системы минус число фаз плюс два.
При классификации систем принято разделять их по числу фаз на однофазные, двухфазные, трехфазные и.т.д. По числу независимых компонентов системы на однокомпонентные, двухкомпонентные (двойные или бинарные), трехкомпонентные (тройные) и т.д..