- •1. Элементы конструкции имс.
- •2. Конструктивно-технологические типы имс.
- •3.1 Подложки плёночных и гибридных имс.
- •3.2 Подложки плёночных и гибридных имс.
- •4. Толстоплёночные имс.
- •5.1 Нанесение толстых плёнок: пасты и трафареты.
- •5.2 Нанесение толстых плёнок: пасты и трафареты.
- •6.1 Расчёт и проектирование плёночных резисторов.
- •6.2 Расчёт и проектирование плёночных резисторов.
- •7.1 Расчёт и проектирование плёночных конденсаторов.
- •7.2 Расчёт и проектирование плёночных конденсаторов.
- •7.3 Расчёт и проектирование плёночных конденсаторов.
- •8. Расчёт и проектирование плёночных проводников и контактных площадок.
- •9.1 Нанесение тонких плёнок в вакууме.
- •9.2 Нанесение тонких плёнок в вакууме.
- •10. Термическое вакуумное напыление.
- •11.1 Катодное распыление.
- •11.2 Катодное распыление.
- •12.1 Ионно-плазменное напыление.
- •12.2 Ионно-плазменное напыление.
- •13.1 Магнетронное распыление.
- •13.2 Магнетронное распыление.
- •14.1 Электролитическое осаждение.
- •14.2 Электролитическое осаждение.
- •15. Химическое осаждение.
- •16. 1Анодное окисление.
- •16. 2Анодное окисление.
- •17. 1Получение различных конфигураций тонкоплёночных структур.
- •17. 2Получение различных конфигураций тонкоплёночных структур.
- •17. 3Получение различных конфигураций тонкоплёночных структур.
- •18.1 Изготовление тонкоплёночных гибридных имс.
- •18.2Изготовление тонкоплёночных гибридных имс.
- •18.3 Изготовление тонкоплёночных гибридных имс.
- •18. 4Изготовление тонкоплёночных гибридных имс.
- •20.1 Проектирование бип. Транзисторов полупроводниковых имс.
- •20.2 Проектирование бип. Транзисторов полупроводниковых имс.
- •20.3 Проектирование бип. Транзисторов полупроводниковых имс.
- •21.1 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
- •21.2 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
- •21.3 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
- •21.4 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
- •22.1 Расчет и проектирование п/п конденсаторов.
- •22.2 Расчет и проектирование п/п конденсаторов.
- •23.1 Pасчет и проектирование диффузионных резисторов полупроводниковых имс.
- •23.2 Pасчет и проектирование диффузионных резисторов полупроводниковых имс.
- •23.3 Pасчет и проектирование диффузионных резисторов полупроводниковых имс.
- •23.4 Pасчет и проектирование диффузионных резисторов полупроводниковых имс.
- •24.1 Металлизация п/п структур.
- •24.2 Металлизация п/п структур.
- •24.3 Металлизация п/п структур.
- •25.1 Изготовление полупроводниковых биполярных имс с изоляцией р-п переходом.
- •25.2 Изготовление полупроводниковых биполярных имс с изоляцией р-п переходом.
- •25.3 Изготовление полупроводниковых биполярных имс с изоляцией р-п переходом.
- •25.4 Изготовление полупроводниковых биполярных имс с изоляцией р-п переходом.
- •25.5 Изготовление полупроводниковых биполярных имс с изоляцией р-п переходом.
- •26.1 Изготовление биполярных имс с диэлектрической изоляцией.
- •27.1 Изготовление биполярных имс с комбинированной изоляцией.
- •28. Изготовление мдп-имс.
- •30.1 Ограничения и проблемы при изготовлении бис.
- •30.2 Ограничения и проблемы при изготовлении бис.
- •30.3 Ограничения и проблемы при изготовлении бис.
- •31. Основные этапы расчёта и проектирования бис.
- •32. Методы и автоматизация проектирования бис.
- •33.1 Корпуса для имс.
- •33.2 Корпуса для имс.
- •34. Основные направления функциональной микроэлектроники.
- •35.1 Оптоэлектроника.
- •35.2 Оптоэлектроника.
- •36.1 Акустоэлектроника.
- •36.2 Акустоэлектроника.
- •36.2 Акустоэлектроника.
- •37.1 Магнетоэлектроника.
- •37.2 Магнетоэлектроника.
- •38.1 Проборы на эффекте Ганна.
- •38.2 Проборы на эффекте Ганна.
- •39.1 Диэлектрическая электроника.
- •39.2 Диэлектрическая электроника.
- •40.1 Криогенная электроника.
- •41.1 Молекулярная электроника и биоэлектроника.
- •4 1.2 Молекулярная электроника и биоэлектроника.
21.1 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
Полупроводниковые диоды представляют собой электропреобразовательные элементы, имеющие два вывода от р- и n -областей соответственно. В ИМС диоды чаще всего используют в качестве выпрямителей, или элементов с односторонней электропроводностью. Это свойство присуще р-n-переходу, на котором возникает потенциальный барьер, препятствующий перемещению основных носителей заряда. Значение возникающего при этом контактного потенциала φ K возрастает с повышением концентраций примесных атомов с обеих сторон р-n-перехода.Если контактирующие р- и n-облас-ти являются невырожденными, то
Максимально возможное значение контактного потенциала φ K для этого случая определяется шириной запрещенной зоны полупроводника:
Температурная зависимость контактного потенциала определя-ется в основном изменением собственной концентрации подвижных носителей заряда, которая сильно зависит от температуры:
где А — некоторая постоянная величина, определяемая свойствами полупроводникового материала.
Зависимость постоянного тока , протекающего через р-n-переход, от приложенного к нему постоянного напряжения описывается идеализированным теоретическим соотношением:
21.2 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
где I S — ток насыщения.
Этот ток обусловлен дрейфовым перемещением через р-n-переход неосновных носителей заряда:
При достаточно большом напряжении обратного смещения в р-n-переходах могут проявляться три механизма пробоя:
− лавинный,
− туннельный,
− тепловой.
Для маломощных диодов, используемых в качестве выпрямителей ИМС, наиболее типичным является лавинный пробой, обусловленный размножением носителей заряда в области переходного слоя р-n-перехода при высокой напряженности электрического поля за счет ударной ионизации.Туннельный пробой возникает непосредственно при воздействии сильного электрического поля на кристаллическую решетку полупроводникового материала. Для возникновения туннельного пробоя необходим высокий уровень легирования хотя бы одного из контактирующих материалов, образующих диодный р-n-переход. Для кремниевых р-n-переходов этот механизм пробоя наблюдается при уровне легирования порядка 1019 см −3 и напряжении обратного смещения U>5 В.
Тепловой пробой чаще всего наблюдается в мощных выпрямительных диодах и связан с нарушением теплового
21.3 Расчет и проектирование диодов полупроводниковых имс.
равновесия, при котором выделяемое в р-n-переходе количество теплоты превышает отдаваемое окружающей среде.
Частотные свойства диода в первую очередь зависят от емкости С I , шунтирующей р-n-переход. Эта емкость складывается из, барьерной емкости С бар , обусловленной наличием в области объемного заряда ионизированныхпримесных атомов, заряд которых не скомпенсирован основными носителями, и диффузионной емкости С диф , связанной с инерционностью установления распределения концентраций неравновесных носителей заряда внутри р- и n-областей структуры.
где К — постоянная величина, пропорциональная площади р-n-
перехода; n — показатель степени, определяемый характером распределения концентраций примесных атомов вблизи р-n-перехода.
Важным параметром диода, характеризующим его работу на переменном токе, является дифференциальное сопротивление, которое определяется выражением:
При проектировании диодных структур, предназначенных для использования в полупроводниковых ИМС, должны быть известны параметры, определяющие уравнение в.а.х., быстродействие, емкость диодного перехода, емкость диода на подложку и паразитный ток утечки на подложку.
Из анализа типовой структуры интегрального транзистора следует, что для формирования диода полупроводниковой ИМС