- •Содержание
- •Предисловие
- •Список обозначений
- •Соотношения между величинами
- •1 Низкотемпературная плазма
- •Лекция 1
- •1.1.Введение
- •1.1.1.Определение низкотемпературной плазмы
- •1.1.2.Некоторые определения и оценки
- •1.1.3.Классификация плазм по степени равновесности
- •1.2.3.Теория элементарных процессов
- •1.2.4.Метод переходного состояния
- •Лекция 2
- •1.2.5.Неравновесные эффекты в реакциях
- •1.2.6.Мономолекулярные реакции
- •1.2.7.Бимолекулярные реакции
- •1.2.8.Вращательная и колебательная релаксация
- •Лекция 3
- •1.3.Основные процессы в низкотемпературной плазме
- •1.3.1.Упругие столкновения и перезарядка
- •1.3.2.Ионизация электронным ударом и ударная рекомбинация
- •1.3.3.Теория Томсона
- •1.3.4.Ионизация тяжелыми частицами и тройная рекомбинация
- •1.3.5.Пеннинговская ионизация
- •1.3.6.Отрицательные ионы
- •1.3.7.Принцип Франка-Кондона
- •1.3.10.Вычисление скорости диссоциативной рекомбинации
- •1.3.11.Состояние продуктов диссоциативной рекомбинации
- •1.3.12.Сравнение скоростей рекомбинации для гелиевой плазмы
- •Лекция 4
- •1.4.Излучательные процессы в низкотемпературной плазме
- •1.4.2.Тормозное излучение и поглощение
- •1.4.4.Доплеровское уширение. Фойгтовский профиль
- •1.4.5.Уширение давлением
- •1.4.6.Возбуждение и тушение электронных состояний
- •1.4.7.Диффузия связанного электрона в энергетичеcком пространстве; ударно-радиационная рекомбинация
- •1.4.8.Модифицированное диффузионное приближение
- •1.4.9.Ударно-диссоциативная рекомбинация и ударно-ассоциативная ионизация
- •Лекция 5
- •1.5.Радиационный перенос
- •1.5.2.Уравнение переноса возбуждения
- •1.5.3.Перенос излучения в плоско-параллельном слое
- •1.5.4.Перенос тормозного излучения
- •1.5.5.Перенос линейчатого излучения
- •1.6.1.Повверхность как источник примесей
- •1.6.2.Взаимодействие заряженных частиц с поверхностями
- •1.6.3.Фотоэлектронная эмиссия
- •1.6.4.Термо-автоэлектронная и взрывная эмиссия
- •Лекция 6
- •1.7.1.Кинетическое уравнение для плазмы
- •1.7.2.Столкновения электронов с газом в электрическом поле
- •1.7.3.Симметричная и асимметричная части ФР
- •1.7.4.Уравнение для энергетического спектра электронов
- •1.7.5.Уравнение для симметричной части функции распределения
- •1.7.6.Влияние неупругих столкновений
- •1.7.7.Стационарные ФРЭ в низкотемпературной плазме
- •Лекция 7
- •1.8.1.ФРЭ при наличии источника быстрых электронов
- •2 Электрический пробой газа
- •Лекция 8
- •2.1.1.Первый коэффициент Таунсенда
- •2.1.3.Токи носителей в плоском разрядном промежутке
- •2.1.4.Ток во внешней цепи
- •Лекция 9
- •2.1.5.Серии лавин
- •2.1.6.Статистика лавинного усиления
- •2.1.7.Статистика серии лавин
- •Лекция 10
- •2.3.1.Механизм пробоя
- •2.3.3.Переход пробоя от одного типа к другому
- •2.3.4.Искра
- •Лекция 11
- •2.4.Электрический пробой в неоднородных полях и длинных промежутках
- •2.4.1.Коронный разяд
- •Лекция 12
- •3.Установившийся ток в газе
- •3.1.Классификация разрядов
- •3.4.Тлеющий разряд
- •3.4.1.Феноменологическое описание тлеющего разряда
- •3.4.2.Формирование катодного слоя
- •Библиографический список
- •Предметный указатель
Ar + 15.8 эВ = Ar+ + e ,
то вероятность трансформации энергии в кинетическую низка (это общее правило), и один из образующихся атомов, как правило, оказывается возбужденным. Связанное с этим линейчатое излучение, называют “рекомбинационным”.
Для сильно связанных молекулярных ионов ситуация иная:
N2+ + 8.7 эВ = N+ + N ,
N + 14.5 эВ = N+ + e ,
поэтому вероятность образования невозбужденных продуктов велика.
1.3.12.Сравнение скоростей рекомбинации для гелиевой плазмы
В этом параграфе мы сравним скорости диссоциативной, ударной и тройной рекомбинации. В самом общем виде уравнение электрон-ионной рекомбинации имеет вид
|
|
|
|
dne |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(1.3.57) |
|
|
|
|
|
|
= β · ne2 |
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
dt |
|
|
|
|
|
|
||||||
При таком определении, в соответствии с результатами, полученными выше, можно записать |
|
|||||||||||||||
|
βd 0.01 · 20− |
|
см |
3 |
|
с |
|
|
|
|
||||||
|
|
10 |
|
6 3/ |
|
, |
|
|
|
|||||||
|
βe 5 · 10− ne см /с , |
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
βa 1.5 · 10− |
26 |
na |
|
|
3 |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
см |
/с . |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Тогда для коэффициентов ударной и тройной рекомбинации можно записать следующее отношение |
||||||||||||||||
|
βe |
|
5 · 10−20 ne |
|
|
|
3 |
|
106 |
ne |
. |
(1.3.58) |
||||
|
βa |
1.5 · 10−26 na |
|
|
· |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
na |
|
Отсюда видно,что βe > βa при ne/na > 10−7. Соответственно, для ударной и диссоциативной рекомбинации
βe |
|
5 |
· |
10−20 ne |
5 · 10−12 ne . |
(1.3.59) |
||
β |
|
|
10 |
− |
8 |
|||
d |
|
|
|
|
|
|
|
Отсюда βe > βd при ne > 0.2 · 1012 1011 см−3. Если βd 10−6 см3/с, то при ne > 1013 см−3. Т.к. в низкотемпературной плазме обычно ne 1010 ÷ 1012 см−3, то диссоциативная рекомбинация часто является определяющей.
55