- •Содержание
- •Предисловие
- •Список обозначений
- •Соотношения между величинами
- •1 Низкотемпературная плазма
- •Лекция 1
- •1.1.Введение
- •1.1.1.Определение низкотемпературной плазмы
- •1.1.2.Некоторые определения и оценки
- •1.1.3.Классификация плазм по степени равновесности
- •1.2.3.Теория элементарных процессов
- •1.2.4.Метод переходного состояния
- •Лекция 2
- •1.2.5.Неравновесные эффекты в реакциях
- •1.2.6.Мономолекулярные реакции
- •1.2.7.Бимолекулярные реакции
- •1.2.8.Вращательная и колебательная релаксация
- •Лекция 3
- •1.3.Основные процессы в низкотемпературной плазме
- •1.3.1.Упругие столкновения и перезарядка
- •1.3.2.Ионизация электронным ударом и ударная рекомбинация
- •1.3.3.Теория Томсона
- •1.3.4.Ионизация тяжелыми частицами и тройная рекомбинация
- •1.3.5.Пеннинговская ионизация
- •1.3.6.Отрицательные ионы
- •1.3.7.Принцип Франка-Кондона
- •1.3.10.Вычисление скорости диссоциативной рекомбинации
- •1.3.11.Состояние продуктов диссоциативной рекомбинации
- •1.3.12.Сравнение скоростей рекомбинации для гелиевой плазмы
- •Лекция 4
- •1.4.Излучательные процессы в низкотемпературной плазме
- •1.4.2.Тормозное излучение и поглощение
- •1.4.4.Доплеровское уширение. Фойгтовский профиль
- •1.4.5.Уширение давлением
- •1.4.6.Возбуждение и тушение электронных состояний
- •1.4.7.Диффузия связанного электрона в энергетичеcком пространстве; ударно-радиационная рекомбинация
- •1.4.8.Модифицированное диффузионное приближение
- •1.4.9.Ударно-диссоциативная рекомбинация и ударно-ассоциативная ионизация
- •Лекция 5
- •1.5.Радиационный перенос
- •1.5.2.Уравнение переноса возбуждения
- •1.5.3.Перенос излучения в плоско-параллельном слое
- •1.5.4.Перенос тормозного излучения
- •1.5.5.Перенос линейчатого излучения
- •1.6.1.Повверхность как источник примесей
- •1.6.2.Взаимодействие заряженных частиц с поверхностями
- •1.6.3.Фотоэлектронная эмиссия
- •1.6.4.Термо-автоэлектронная и взрывная эмиссия
- •Лекция 6
- •1.7.1.Кинетическое уравнение для плазмы
- •1.7.2.Столкновения электронов с газом в электрическом поле
- •1.7.3.Симметричная и асимметричная части ФР
- •1.7.4.Уравнение для энергетического спектра электронов
- •1.7.5.Уравнение для симметричной части функции распределения
- •1.7.6.Влияние неупругих столкновений
- •1.7.7.Стационарные ФРЭ в низкотемпературной плазме
- •Лекция 7
- •1.8.1.ФРЭ при наличии источника быстрых электронов
- •2 Электрический пробой газа
- •Лекция 8
- •2.1.1.Первый коэффициент Таунсенда
- •2.1.3.Токи носителей в плоском разрядном промежутке
- •2.1.4.Ток во внешней цепи
- •Лекция 9
- •2.1.5.Серии лавин
- •2.1.6.Статистика лавинного усиления
- •2.1.7.Статистика серии лавин
- •Лекция 10
- •2.3.1.Механизм пробоя
- •2.3.3.Переход пробоя от одного типа к другому
- •2.3.4.Искра
- •Лекция 11
- •2.4.Электрический пробой в неоднородных полях и длинных промежутках
- •2.4.1.Коронный разяд
- •Лекция 12
- •3.Установившийся ток в газе
- •3.1.Классификация разрядов
- •3.4.Тлеющий разряд
- •3.4.1.Феноменологическое описание тлеющего разряда
- •3.4.2.Формирование катодного слоя
- •Библиографический список
- •Предметный указатель
wавто >> wстаб и мы имеем |
|
|
|
βd = kзахв · |
wстаб |
, |
(1.3.43) |
wавто |
т.е. “узкое место” – стабилизация продукта реакции. Поскольку в этом случае kзахв и wавто находятся в состоянии термодинамического равновесия, то
d |
|
стаб g+AT |
3/2 |
|
− kT |
|
|
||
β |
= w |
|
g |
|
exp |
|
∆E |
. |
(1.3.44) |
|
|
|
|
Если wавто << wстаб, то “узкое место” – захват электрона. В результате каждый захват ведет к рекомбинации, и ее скорость
βd kзахв
весьма велика.
1.3.10.Вычисление скорости диссоциативной рекомбинации
Следуя [4, 2], оценим скорости рекомбинации для двух рассмотренных в предыдущем разделе предельных случаев. Сечение процесса, проходящего через квазистационарное промежуточное состояние состояние, описывается формулой Брейта-Вигнера [10]
σ = |
π 2 |
|
ΓнΓ |
, |
(1.3.45) |
2mE |
|
(E − Ea)2 + Γ2/4 |
где E – энергия рекомбинирующего электрона, Ea – энергия автоионизационного уровня, Γ = Γн + Γупр
– ширина автоионизационного уровня, Γупр – упругая часть ширины автоионизационного уровня (определяет автоионизационный распад промежуточного комплекса на исходные частицы), а Γн – неупругая часть ширины автоионизационного уровня (определяет завершение рекомбинации за счет диссоциации промежуточного комплекса на атомы)
Γн = wao . |
(1.3.46) |
Здесь wao – частота перехода из автоионизационного состояния молекулы в связанное (в нашем случае – отталкивательное) состояние. Для рассматриваемого случая wao можно с хорошей точностью оценить как величину, обратную характерному времени разлета ядер на расстояние порядка боровского радиуса
wao |
vT a |
(1.3.47) |
a0 . |
Для характерных тепловых скоростей атомов порядка 105 см/с wao 1014 c−1, то есть много больше, чем время радиационной стабилизации.
51
Усредняя величину σv по максвелловскому распределению по скоростям, найдем выражение для коэф-
фициента рекомбинации
d |
0 |
|
|
|
|
M |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
m |
|
|
M |
|
E |
|
E |
|
|
|
||||||||||||
β |
= |
∞ σvϕ |
|
|
(v)dv = |
|
|
|
∞ σ |
|
|
|
2E |
n |
|
|
( |
|
) d |
|
|
= |
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
∞ σ |
|
|
|
|
|
2√ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
2E |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
= |
|
|
|
|
E |
|
exp |
|
|
|
E |
|
|
d |
|
|
= |
|
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
m |
|
√ |
πT 3/2 |
|
|
|
|
−T |
|
|
E |
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
∞ π 2 wao Γ |
|
|
|
|
2e−E/T |
√ |
|
d |
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
2 /m |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
( |
|
|
|
|
a) |
E |
|
|
|
· |
|
|
√ |
|
|
|
E |
|
|
E . |
|
||||||||||||||
|
0 |
|
|
|
|
E |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
πT |
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
E − E |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(1.3.48) |
||||||||||||
|
= |
|
2m |
|
|
|
|
|
|
· |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 + Γ2/4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3/2 |
|
|
|
|||||||||||||||
И окончательно |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
3/2 |
|
|
|
∞ d Γwao e−E/T |
|
|
|
||||||||||||||||||||||
|
βd = √2π |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
( |
|
|
E |
|
|
a)2 |
+ Γ2/4 |
. |
(1.3.49) |
|||||||||||||||||||||||
|
mT |
|
|
|
|
|
|
E − E |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 19: Зависимость подинтегрального выражения (в условных единицах) в формуле (1.3.49)
как функция безразмерной энергии электрона x = E/T , при энергии автоионизационного уровня
x0 ≡ Ea/T = 10. а) Случай большой скорости автоионизации (∆x ≡ Γ/2T = 0.2); б) Случай
малой скорости автоионизации (∆x ≡ Γ/2T = 0.001).
Предположим сначала, что вероятность “упругих” процессов wавто (т.е. автоионизации промежуточного комплекса ) достаточно велика по сравнению с wao, так что параметр Γ/2T достаточно велик. В этом случае подинтегральное выражение в (1.3.49) имеет вид, показанный на рис. 19,а. Можно оценить (хотя логарифмический масштаб оси ординат затрудняет визуальную оценку площадей), что площадь под пиком, благодаря экспоненте под интегралом, для указанных параметров оказывается примерно в 30 раз меньшей, чем под кривой вблизи нуля. Следовательно, основную роль в процессе рекомбинации играют низкоэнергичные электроны. Положив тогда в знаменателе E = 0 и учитывая, что Γ << Ea, перепишем интеграл в виде
|
− |
0 |
∞ Γe−E/T T d( /T ) |
|
− |
|
ΓT |
|
ΓT |
|
|||||||
|
|
· |
|
a |
−E |
|
|
|
a |
0 |
|
a |
|
|
|||
I = |
|
wao |
|
|
E |
2 |
|
= |
|
wao |
E |
2 |
e−E/T ∞ = wao |
E |
2 |
. |
(1.3.50) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
52
Отсюда получаем скорость рекомбинации, обратно пропорциональную корню из температуры
(βd)1 = wao |
2π 2 |
|
3/2 ΓT |
T −1/2 . |
(1.3.51) |
|
mT |
|
2πEa2 |
Рис. 20: Экспериментальная зависимость коэффициента диссоциативной рекомбинации в неоне от
температуры.
Если время жизни автоионизационного уровня велико (т.е. Γ/2T −→ 0), то мы имеем другой предельный случай, изображенный на рис. 19,б. Для параметров, указанных на рисунке площадь под пиком примерно на порядок больше, чем под остальной частью кривой. В этом случае основной вклад в рекомби-
нацию дают электроны с энергией E Ea. Тогда экспонента выносится в прединтегральный множитель
∞ |
d Γwaoe−E/T |
|
|
|
|
|
|
|
∞ |
d |
|
|
|
0 |
E |
= w |
e |
|
a/T |
· |
0 |
E |
|
. |
(1.3.52) |
||
(E − Ea)2 + Γ2/2 |
|
(E − Ea)2 + Γ2 |
/2 |
||||||||||
|
ao |
|
−E |
|
|
|
|||||||
Последний интеграл равен 2π/Γ, и коэффициент рекомбинации преобретает вид |
|
|
|
||||||||||
|
(βd)2 = |
2π 2 |
|
3/2 |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
waoe−Ea/T . |
|
|
(1.3.53) |
||||||||
|
mT |
|
|
|
|
Это же выражение можно получить из константы равновесия. При этом в выражении появятся статвеса автоионизационного состояния, электрона и иона (которые в формуле Брейта–Вигнера полагались равными единице)
|
ga |
|
2π 2 |
|
3/2 |
|
|
(βd)2 = |
waoe−Ea/T . |
(1.3.54) |
|||||
gegi |
mT |
На рис. 20 приведены значения коэффициента диссоциативной рекомбинации в неоне как функция электронной температуры. Набор данных, аппроксимируемых верхней кривой, соответствует плазме с постоянной температурой тяжелых компонентов, равной 300 К. Это означает, что величина wao, определяемая временем разлета атомов, постоянна для всей кривой. Зависимость T −1/2 говорит о том, что реализуется
53
вариант рис. 19,а. При росте температуры наклон exp (−x) уменьшается, и площадь под кривой растет, но по-прежнему основной вклад в интеграл дают низкоэнергичные электроны.
Если же температура газа также растет, то вероятность стабилизации возрастает, пик сужается, и ситуация станосится ближе к рис. 19,б. При этом, если показатель экспоненты становится достаточно малым, то экспонента близка к единице в рассматриваемом интервале температур, и зависимость от температуры приобретает вид
(βd)2 T −3/2 . |
(1.3.55) |
Заметим, что вероятность неупругого распада wao может, кроме того, расти с температурой из-за заселения верхних колебательных уровней молекулярного иона.
Типичные значения β видны из следующих оценок. Для азота при комнатной температуре тяжелых частиц
|
a |
|
|
10−8 |
|
|
|
|
|
|
||
wa0 |
|
|
|
|
|
= 5 · 1012 c−1 , |
|
|||||
v |
5 · 104 |
|
||||||||||
Тогда |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3/2 |
|
|
|
|
|
|
|
2π |
10 |
54 |
|
|
|||
T = 1 эВ, β2 = 5 · 1012 · |
10−27 · |
· |
− |
|
|
· 1 10−8 см3/с , |
||||||
1.6 |
· 10−12 |
|
||||||||||
|
|
|
|
2π 10−54 |
|
|
|
3/2 |
||||
|
|
|
|
|
|
|||||||
T = 0, 03 эВ, β1 = 5 · 1012 |
· |
· (10−1 ÷ 10−2) |
||||||||||
10−27 · 0.03 · 1.6 · 10−12 |
||||||||||||
10−7 ÷ 10−8 см3/с. |
|
|
|
|
Результаты хорошо согласуются с экспериментальными данными, представленными в таблице 5.
Ион |
H2+ |
He2+ |
Ne2+ |
Ar2+ |
Xe2+ |
O2+ |
O4+ |
CO2+ |
Na+·O2 |
|
βd, |
0.3 |
0.013 |
1.1 |
5 |
20 |
2 |
23 |
3.5 |
50 |
|
10−7 см3/с |
|
÷ |
2.3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 5: Экспериментальные значения коэффициента диссоциативной рекомбинации при комнатной температуре газа и электронов; данные имеют значительный разброс, поэтому для большинства атомов здесь приведены средние значения.
1.3.11.Состояние продуктов диссоциативной рекомбинации
При диссоциативной рекомбинации выделяется энергия
∆Q = Iатома − Eсвязи молек. иона . |
(1.3.56) |
Если эта энергия очень велика, как в случае инертных газов
Ar2+ + 1.4 эВ = Ar+ + Ar ,
54