- •ПРЕДИСЛОВИЕ
- •ВВЕДЕНИЕ
- •Часть I. ПРОБОЙ ГАЗОВ
- •Глава 1. Электронные и ионные процессы в газовом разряде
- •1.1. Законы сохранения энергии при столкновении атомных частиц
- •1.2. Интегральные характеристики столкновения
- •1.3. Энергия взаимодействия атомных частиц
- •1.4. Подвижность заряженных частиц
- •1.5. Диффузия заряженных частиц
- •1.6. Возбуждение и ионизация атомов и молекул
- •1.7. Термическая ионизация
- •1.8. О возможности ионизации газа ионами
- •1.9. Рекомбинация заряженных частиц
- •1.10. Термоэлектронная, автоэлектронная, взрывная эмиссия. Фотоэффект на катоде
- •1.11. Элементы кинетического уравнения для электронов
- •Глава 2. Теория пробоя Таунсенда
- •2.1. Первый коэффициент Таунсенда
- •2.2. Прилипание электронов к атомам и молекулам. Отрыв электронов от отрицательных ионов
- •2.3. Второй коэффициент Таунсенда
- •2.4. Электронная лавина
- •2.5. Условие самостоятельности разряда. Закон Пашена
- •2.6. Отступления от закона Пашена
- •2.7. Время разряда
- •Глава 3. Пробой газа в различных частотных диапазонах
- •3.1. СВЧ-пробой
- •3.2. ВЧ-пробой
- •3.3. Оптический пробой
- •Глава 4. Искровой разряд в газах
- •4.1. Наблюдения за развитием разряда в ионизационной камере
- •4.2. Схемы развития лавинно-стримерных процессов
- •4.3. Граница таунсендовского и стримерного разрядов
- •4.4. Пробой газов в наносекундном диапазоне времени
- •4.5. Длинная искра, разряд в виде молнии
- •4.6. Главный разряд
- •Глава 5. Самостоятельные разряды в газах
- •5.1. Тихий разряд
- •5.2. Тлеющий разряд
- •5.3. Дуговой разряд
- •5.4. Коронный разряд
- •5.5. Разряд по поверхности твердого диэлектрика
- •5.6. Зависимость пробивного напряжения газа от межэлектродного расстояния
- •Список литературы к разделу «Пробой газов»
- •Часть II. ПРОБОЙ ТВЕРДЫХ ДИЭЛЕКТРИКОВ
- •Глава 1. Тепловой пробой твердых диэлектриков
- •1.1. Теория теплового пробоя Вагнера
- •1.2. Другие теории теплового пробоя
- •Глава. 2. Классические теории электрического пробоя
- •2.1. Теория Роговского. Разрыв ионной кристаллической решетки
- •2.2. Разрыв твердого диэлектрика по микротрещине. Теория Горовица
- •2.3. Теория А. Ф. Иоффе
- •2.4. Теория А.А. Смурова. Теория электростатической ионизации
- •Глава 3. Квантово-механические теории электрического пробоя неударным механизмом
- •3.1. Теория Зинера. Теория безэлектродного пробоя
- •3.2. Теория Фаулера. Пробой электродного происхождения
- •3.3. Теория Я.И. Френкеля. Теория термической ионизации
- •Глава 4. Теории пробоя твердых диэлектриков вследствие ударной ионизации электронами
- •4.1. Теории Хиппеля и Фрелиха
- •4.2. Теории пробоя, основанные на решении кинетического уравнения. Теория Чуенкова
- •4.3. Некоторые замечания по теориям пробоя, основанных на рассмотрении механизма ударной ионизации электронами
- •Глава 5. Экспериментальные данные, укладывающиеся в представления о пробое твердых диэлектриков ударной ионизацией электронами
- •5.1. Стадии пробоя твердых диэлектриков
- •5.2. Развитие разряда в однородном и неоднородном полях в твердых диэлектриках
- •5.3. Эффект полярности при пробое в неоднородном электрическом поле
- •5.4. Влияние материала электродов на пробой твердых диэлектриков
- •5.5. Зависимость времени разряда от толщины диэлектрика. Формирование многолавинно-стримерного механизма разряда
- •Глава 6. Процессы, наблюдаемые в диэлектриках в области сверхсильных электрических полей
- •6.1. Электрическое упрочнение
- •6.2. Электронные токи в микронных слоях ЩГК в сильных электрических полях
- •6.3. Свечение в микронных слоях ЩГК
- •6.4. Дислокации и трещины в ЩГК перед пробоем
- •Глава 7. Другие теории пробоя твердых диэлектриков
- •7.2. Энергетический анализ электрической прочности твердых диэлектриков по теории Ю.Н. Вершинина
- •7.4. Термофлуктуационная теория разрушения твердых диэлектриков электрическим полем В.С. Дмитревского
- •7.5. Особенности пробоя полимерных диэлектриков. Теория электрического пробоя Артбауэра
- •7.6. Теория электромеханического пробоя Старка и Гартона
- •Глава 8. Некоторые особенности и закономерности электрического пробоя твердых диэлектриков
- •8.1. Статистический характер пробоя твердых диэлектриков
- •8.2. Минимальное пробивное напряжение
- •8.3. Неполный пробой и последовательный пробой
- •8.4. Кристаллографические эффекты при пробое кристаллов
- •8.5. Зависимость электрической прочности от температуры
- •8.6. Зависимость электрической прочности от времени воздействия напряжения
- •8.7. Пробой диэлектрических пленок
- •8.8. Формованные системы металл–диэлектрик–металл (МДМ)
- •8.9. Заключение по механизму электрического пробоя твердых диэлектриков
- •Глава 9. Электрохимический пробой
- •9.1. Электрическое старение органической изоляции
- •9.2. Кратковременное пробивное напряжение
- •9.3. Старение бумажной изоляции
- •9.4. Старение неорганических диэлектриков
- •Список литературы к разделу «Пробой твердых диэлектриков»
- •Часть III. ПРОБОЙ ЖИДКИХ ДИЭЛЕКТРИКОВ
- •Глава 1. Пробой жидкостей высокой степени очистки
- •1.1. Проводимость жидких диэлектриков
- •1.2. Пробой жидкостей вследствие ударной ионизации электронами
- •1.3. Пробой жидкостей неударным механизмом
- •Глава 2. Пробой жидких диэлектриков технической очистки
- •2.1. Влияние влаги
- •2.2. Влияние механических загрязнений
- •2.3. Влияние газовых пузырьков
- •2.4. Теории теплового пробоя жидких диэлектриков
- •2.5. Вольтолизационная теория пробоя жидких диэлектриков
- •2.6. Влияние формы и размеров электродов, их материала, состояния поверхности и расстояния между ними на пробой жидкостей
- •2.7. Развитие разряда и импульсный пробой в жидкостях
- •2.8. Влияние ультразвука на электрическую прочность
- •2.9. Внедрение разряда в твердый диэлектрик, погруженный в изолирующую жидкость
- •Список литературы к разделу «Пробой жидких диэлектриков»
- •ОГЛАВЛЕНИЕ
Часть I. Глава 1. Электронные и ионные процессы в газовом разряде
|
|
h |
2 |
o |
|
где ao |
= |
|
= 0.529 A – радиус боровской орбиты. |
||
me q2 |
|||||
|
|
|
|||
Здесь |
me – масса электрона; h – постоянная Планка. |
1.4. Подвижность заряженных частиц
Заряженная частица в слабоионизованной плазме имеет скорость теплового движения υt и скорость движения под действием электриче-
ского поля, называемая дрейфовой скоростью υдр. Подвижностью за-
ряженной частицы называют отношение ее средней скорости в направ-
лении поля (дрейфовая скорость) υдр к напряженности электрического поля Е, т.е. μ =υдр Е [4]. Понятно, что чем больше μ , тем быстрее за-
ряженная частица ускоряется в электрическом поле. Величина подвижности электронов и ионов определяется различными процессами, поэтому рассмотрим их отдельно.
Подвижность ионов
В не очень сильных полях полная скорость иона мало отличается от его тепловой скорости υи , т.е. ион будет лишь слегка отклоняться в
сторону поля. Поэтому время его свободного пробега τ = λи υи , где
λи |
– длина свободного пробега иона. Средняя скорость дрейфа частиц |
|||||
υдр |
= |
1 |
аτ . Здесь |
а = |
qE |
– ускорение, где q – заряд иона, равный по |
2 |
|
|||||
|
|
|
|
mи |
величине элементарному заряду (будем рассматривать однократно ионизованные частицы), mи – масса иона. Тогда
υдр = |
|
1 |
|
|
qEλи |
. |
(1.13) |
||
|
|
|
|
|
|||||
|
|
2 mиυи |
|
||||||
Отсюда подвижность иона |
|
||||||||
μи = |
1 |
|
qλи |
. |
(1.14) |
||||
|
|
||||||||
|
2 mиυи |
|
В уравнении (1.14) взяты среднеарифметические значения υи и λи . Если учесть распределение ионов по скоростям коэффициентом α , то можно записать
μи =α |
qλи |
, |
(1.15) |
|
|||
|
mиυи |
|
где α = 0.5÷1. Подсчет показывает, что подвижность ионов в воздухе при давлении 1 мм рт.ст. составляет 7.62 см2/В с, а эксперимент дает μи = 2 см2/В с. Это объясняется поляризующим действием иона на ок-
13
Часть I. Глава 1. Электронные и ионные процессы в газовом разряде
ружающие частицы, т.к. ион создает собственное электрическое поле с напряженностью
Еи |
= |
|
q |
, |
(1.16) |
|
εo r 2 |
||||||
|
|
|
|
|||
где εo |
= 8,85 10−12 , Ф/м – электрическая постоянная, |
r – расстоя- |
ние.
Под действием этого поля Еи в близко расположенных к иону частицах (молекулах) возникают индуцированные электрические моменты. В результате взаимодействия эти частицы могут притягиваться к нему, образуя при этом более крупный ион. Расчет показывает, что к иону может примкнуть до 10 нейтральных частиц. При этом масса такого иона возрастает, и, согласно уравнению (1.15), μи , естественно,
падает. В свою очередь, образуемый крупный ион будет взаимодействовать с поляризованными дальними частицами, за счет чего длина его свободного пробега также будет уменьшаться, а подвижность μи па-
дать. Из этого следует, что подвижность μи должна уменьшаться с
увеличением массы иона. Это подтверждают данные, приведенные в табл. 1.1 для ионов щелочных металлов, двигающихся в азоте.
Таблица 1.1
|
|
Ион |
|
|
|
|
|
Li+ |
|
Nа+ |
|
K+ |
Rb+ |
|
Cs+ |
||
|
μ |
2 |
|
|
4.3 |
|
3.3 |
|
2.8 |
|
2.4 |
|
2.25 |
||||
|
|
и , см /В с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
В табл. 1.2 приведены экспериментальные значения подвижности |
|||||||||||||||
ионов в различных газах. |
|
|
|
|
|
|
Таблица 1.2 |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
Газ |
|
|
|
|
|
Водород |
|
Кислород |
|
Азот |
|
Пары |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
воды |
|
|
μи− , см2/В с |
|
|
7.9 |
|
|
1.8 |
|
1.7 |
0.43 |
||||||
|
|
μи+ , см2/В с |
|
|
6.7 |
|
|
1.36 |
|
1.6 |
0.47 |
||||||
|
|
Подвижность электронов |
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
Учитывая формулу (1.15) для скорости дрейфа электронов, можно |
|||||||||||||||
записать: |
|
qλe E |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
υдр =α |
, |
|
|
|
|
|
|
(1.17) |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
meυe |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
где скорость υe |
складывается из тепловой скорости и скорости, обу- |
||||||||||||||||
словленной силой поля, me |
– масса электрона. |
|
|
|
14
Часть I. Глава 1. Электронные и ионные процессы в газовом разряде
При не очень сильных полях электрон не производит ионизацию, а испытывает упругие столкновения с атомами и молекулами газа, в результате которых он теряет часть энергии.
W ' = |
m υ |
2 |
|
υ |
|
|
|
m |
e |
υ |
3 |
|
|
||
e e |
|
|
f |
|
|
e = f |
|
|
e |
|
, |
(1.18) |
|||
|
|
|
|
|
|
2λe |
|
||||||||
|
2 |
|
|
|
λe |
|
|
|
|
||||||
при f = 2me |
M . |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
Приобретаемая электроном энергия от поля в 1 с |
|
||||||||||||||
W '' = qEυдр . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(1.19) |
||||
В случае равновесия W ′ =W ′′ = qEυдр . |
|
||||||||||||||
|
|
|
m |
υ |
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
qEυдр = f |
|
|
е |
е |
. |
|
|
|
|
|
|
(1.20) |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
2λе |
|
|
|
|
|
|
|
||||
Решая совместно уравнения (1.17) и (1.20), получаем |
|
||||||||||||||
υдр = α1 |
|
|
qλe Е 4 |
f , |
|
|
|
|
(1.21) |
||||||
|
|
|
|
me |
|
|
|
|
|
|
|
где α1 = 4 α3 / 2 . Здесь α = 0.5÷1.
Удовлетворительное согласие с экспериментом получается при α1 = 0.705 . Из формулы (1.21) получим выражение для подвижности
электронов:
μe |
= |
υдр |
=α1 |
qλ |
e |
|
4 f |
. |
(1.22) |
E |
|
E |
|||||||
|
|
|
me |
|
|
μе составляет |
|||
По |
данным |
Л.И. |
|
Сиротинского [4] значение |
(5 ÷10 ) 103 см2/В с, что в 103 раз превосходит μи . Как следует из выражения (1.22), подвижность μе падает с увеличением напряженности поля. Тем не менее величина μе остается больше μи . Следовательно,
это еще один фактор, указывающий, что электрон в электрическом поле разгоняется быстрее, чем ион.
1.5. Диффузия заряженных частиц
Диффузия заряженных частиц, как и рекомбинация, является одним из механизмов уноса заряженных частиц из разрядного промежутка. Она также определяет расширение канала разряда после спада напряжения [3,4].
Концентрация заряженных частиц в газоразрядной плазме обычно составляет 1012 см -3, а расстояние между ними порядка 10-4 см. При таком расстоянии силы электростатического (кулоновского) взаимо-
15
Часть I. Глава 1. Электронные и ионные процессы в газовом разряде
действия между заряженными частицами очень малы, поэтому заряженные частицы в плазме могут рассматриваться как чужеродный газ, а их диффузия будет обусловлена градиентом концентрации.
Диффузия происходит по шести координатным направлениям. Рассмотрим простейший случай, когда концентрация заряженных частиц изменяется по линейному закону от расстояния х. При этом dndx = const . Время свободного пробега τ = λυ , а концентрация за-
ряженных частиц в каждой точке оси х равна:
nx = no + |
dn |
x . |
|
|
|
|
|
(1.23) |
|||
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
dx |
|
|
|
|
|
|
|
|
Число частиц проходящих в направлении оси х за время τ : |
|
||||||||||
|
1 0 |
dn |
|
1 |
|
dn λ2 |
|
||||
n = |
|
∫ no + |
|
x dx = |
|
|
|
|
(1.24) |
||
|
|
|
|
||||||||
6 |
dx |
6 |
no λ − |
|
. |
||||||
|
−λ |
|
|
dx 2 |
|
Средний поток частиц, определяемый этим движением:
dn |
|
n |
|
1 |
|
dn λυ |
|
||||
|
|
|
= |
|
= |
|
n υ − |
|
. |
(1.25) |
|
|
|
|
|
||||||||
dt |
→ |
τ |
|
6 |
o |
dx 2 |
|
Средний поток частиц, движущихся в противоположном направлении:
dn |
|
n |
|
1 |
|
dn λυ |
|
||||
|
|
|
= |
|
= |
|
n υ + |
|
. |
(1.26) |
|
|
|
|
|
||||||||
dt |
← |
τ |
|
6 |
o |
dx 2 |
|
Суммарный поток частиц, движущихся в направлении оси х:
|
dn |
|
dn |
|
dn |
|
dn λυ |
= −D |
dn |
. |
(1.27) |
||||||
|
|
= |
|
|
|
− |
|
|
= − |
|
|
|
|||||
|
dt |
|
|
|
dx 6 |
dx |
|||||||||||
|
|
dt |
→ |
dt ← |
|
|
|
|
|||||||||
Здесь D = |
λυ |
– коэффициент диффузии. |
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Данное выражение является законом Фика. Если пользоваться не |
|||||||||||||||||
средними значениями υ |
и х, а учесть их действительные распределе- |
||||||||||||||||
ния, то |
|
λυ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
D = |
, [см2/с]. |
|
|
|
|
|
|
(1.28) |
||||||||
|
3 |
|
|
|
|
|
|
||||||||||
Эйнштейн получил соотношение между μ и D в следующем ви- |
|||||||||||||||||
де: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
D μ = KT q , |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(1.29) |
||||||
где КТ – энергия заряженной частицы, эВ, |
q – элементарный за- |
ряд, μ – подвижность заряженных частиц, см2/В с.
16