Описание принципа действия и работы механизма

Автоматизированное устройство загрузки-выгрузки кварцевых лодочек с кремниевыми пластинами в реактор с целью термической обработки характеризуется двумя степенями подвижности:

• линейное перемещение кареток с держателями в горизонтальной плоскости;

• поворот кронштейнов кареток вокруг горизонтальной оси параллельно направлению предыдущему движению.

МЕХАНИЗМ ГОРИЗОНТАЛЬНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ состоит из кареток (поз.173), винта ходового (поз.18), валов (поз.49,50), винта ходового (поз.62),приводов Y2, Y4 (поз.14) и предназначен для загрузки-выгрузки лодочек с кварцевыми пластинами в реактор установки.

МЕХАНИЗМ ПОВОРОТА состоит из приводов Y1, Y3 (поз.15), валов(поз.49,50 ), рычагов (поз.193,197), кронштейнов кареток (поз.24), поводков (поз.55,56).

Загрузка происходит в два этапа. При вращении ходового винта (поз.18) каретка (поз.173) совершает поступательное движение, при этом она скользит по валу (поз.50). В кронштейне каретки закреплен толкатель предварительной загрузки, который вводит лодочку с пластинами в начало реактора. Далее, при работе привода Y1 поводок (поз.55) совершает вращательное движение. При этом он передает это движение рычагу (поз.193), который жестко закреплен с валом (поз.50). Хотя каретка и скользит по валу, в валу есть паз, в который каретка тоже входит. При повороте вала кронштейны каретки поворачиваются, и толкатель предварительной загрузки опускается вниз. В тоже время сверху опускается толкатель технологической загрузки и захватывает лодочку с пластинами. Это - второй этап загрузки. Толкатель технологической загрузки вводит лодочку в реактор таким образом, чтобы середина лодочки находилась точно в центре средней зоны нагревательного элемента. Далее толкатель поднимается вверх на расстояние при котором он не заденет стенки реактора и выдвигается из реактора где он поднимается еще и возвращается в начальное положение. Принцип действия механизмов горизонтального перемещения и поворота на втором этапе тот же самый, что и на первом. То есть, при работе привода Y2 происходит вращение ходового винта (поз.62). При этом каретке (поз.173) передается поступательное движение. Каретка также скользит и по валу (поз.49). Это - механизм линейного перемещения. При работе привода Y3 происходит поворот поводка (поз.56) и рычага (поз.197). Рычаг жестко скреплен с валом. При повороте вала кронштейны кареток совершают угловые перемещения, в результате чего толкатель захватывает или же отпускает ушко лодочки. Это - механизм поворота.

Линейные перемещения кареток и угловые перемещения кронштейнов кареток устанавливаются магнитоуправляемыми датчиками.

Применение такой конструкции загрузчика, где загрузка-выгрузка производится в два этапа, позволяет снизить площадь под установку. Ведь известно, что производственные площади в чистых помещениях дорогие.

Использование автоматизированного загрузчика снижает образование дефектов пластин улучшает воспроизводимость процесса и является примером более рационального проведения технологического (производственного) процесса по термической обработке кремниевых пластин.