Защита от разгерметизации рабочей камеры

Источником опасности из-за наличия высокого давления является корпус силовой камеры с затвором, крышками и другими элементами уплотнения.

Опасность возникает в следующих ситуациях:

1. При несанкционированном открытии затвора при наличии в камере повышенного давления. В этом случае, как только зуб гайки затвора выйдет из зуба крышки, давлением может быть отброшена крышка затвора и выброшены из силовой камеры пробка испарителя и реактор.

Для предотвращения этой опасной ситуации перед открытием затвора необходимо убедиться в отсутствии давления в камере по манометру, находящемуся рядом с затвором, и в наличии разрешающей надписи на динамической мнемосхеме на экране монитора.

В установке также предусмотрено устройство механической блокировки возможности открытия затвора при наличии в силовой камере давления, превышающего 2000 Па.

2. При нарушении крепления крышек, пробок уплотнения электроводов, порче поверхности корпуса силовой камеры (в виде деформации, забоин и т.п.).

Для исключения этой опасности необходимо контролировать качество затяжки резьбовых элементов уплотнения и состояния корпуса силовой камеры.

3. При превышении допустимой величины давления в силовой камере или при нарушении теплового режима корпуса силовой камеры.

Для исключения опасности превышения допустимого давления предусмотрен постоянный контроль величины давления в силовой камере с автоматическим переходом на интервал "АВАРИЯ" и сброс давления.

На камере силовой также установлен предохранительный клапан, начинающий сбрасывать давление при его превышении 1,2 + 0,18 МПа.

Для обеспечения запаса прочности запрещается задавать рабочее давление выше 1 МПа (10 атм.).

Защита от теплового ожога.

В установке термокомпрессионного окисления источниками опасности ожогов могут быть испаритель и обрабатываемые изделия при выгрузке.

Указанные предметы не только нагреваются сами, но и вызывают нагрев деталей смежных с ними.

Для обеспечения безопасности персонала требуется использовать предупреждающие надписи и ограждения, ограничивающие человеку доступ в опасную зону. Также необходим постоянный контроль за системами охлаждения и слива нагретой воды. Во избежание ожогов не рекомендуется открывать технологическую камеру раньше времени, определенного в инструкции по эксплуатации. При ремонте установки необходимо использовать теплозащитную одежду и перчатки. Для предотвращения ожогов необходимо использовать при выгрузке специальные приспособления.

Защита от вибрации при работе установки.

Механические колебания - это процесс изменения какой-либо механической величины, определяющей положение материального тела или его точки, при котором эта величина поочередно то возрастает, то убывает во времени.

Вибрация - это малые механические колебания, возникающие в упругих телах или телах, находящихся под действием переменных сил.

Для процесса нанесения пленок окисла вибрация нежелательна вообще, т.к. она ухудшает качество наносимых покрытий, следовательно, влияет на процент выхода годных и на воспроизводимость процесса.

Также вибрация оказывает вредное воздействие на здоровье обслуживающего персонала: колебания с частотой 3 - 10 Гц вызывают резонанс внутренних органов и могут явиться причиной ряда заболеваний.

При работе компрессора возникает низкочастотная вибрация, для устранения которой можно применить ряд мероприятий. Компрессор устанавливается на виброзащитной платформе. Сам компрессор устанавливается на удалении от установки. При этом с установкой компрессор соединяется металлическим трубопроводом с резиновыми или пластиковыми гофрированными уплотнителями, выполняющими роль амортизаторов.

Применение комбинации указанных методов позволяет снизить уровень вибрации до безопасного уровня или полностью исключить ее.

Вывод.

Защита человека на производстве от различного рода травм и возникновения разного рода профессиональных заболеваний является одной из важнейших задач производственной безопасности.

Безопасность рабочего и обслуживающего персонала при работе с установкой нанесения толстых пленок достигается всесторонним выполнением мер безопасности, а также соблюдением правил обслуживания установки и вспомогательного оборудования.

В данном разделе были выявлены факторы, которые могут отрицательно влиять на здоровье персонала при эксплуатации установки, а также дан анализ методов и средств защиты человека от вредностей и опасностей, возникающих в процессе работы с оборудованием нанесения.

Не менее важной задачей ПЭБ является защита окружающей среды от загрязнения. В своей работе установка, представленная в данном дипломном проекте, не использует агрессивных жидкостей и газов.. Вода, используемая для охлаждения реактора протекает в изолированной системе из нержавеющей стали, поэтому вредных воздействий на окружающую среду не оказывает. Для защиты от высокого давления предусмотрены устройства механической блокировки открытия затвора силовой камеры и контроль за давлением системой управления.

Таким образом, установка нанесения толстых пленок окисла, не является источником вредных выбросов, а следовательно, является экологически безопасной.

Заключение.

В результате выполнения дипломного проекта были разработано устройство загрузки-выгрузки для установки влажного окисления кремниевых пластин при повышенном давлении. Было применено оригинальное конструкторское решение компоновки загрузчика, позволяющее уменьшить габариты загрузочного устройства. Произведен расчет привода.

Во втором разделе дипломного проекта разработан технологический процесс изготовления корпуса редуктора. Составлен технологический маршрут обработки и проведены расчеты режимов резания. Проведен расчет штучного и подготовительно-заключительного времени изготовления. Произведен расчет общего времени изготовления изделия. Опираясь на полученные данные была разработана технологическая документация изготовления корпуса.

В экономической части рассмотрена для установки «Термоком-V» рассчитан и промоделирован процесс выхода годной продукции на основе кривых освоения. Рассмотрена схема образования технологических потерь на стадиях изгоовления ИС и для процесса проводимом на установке «Термоком-V» рассчитаны затраты на технологические потери. По результатам расчетов построены графики.

Безопасность рабочего и обслуживающего персонала при работе с установкой термокомпрессионного окисления достигается всесторонним выполнением мер безопасности, а также соблюдением правил обслуживания установки и вспомогательного оборудования.

В разделе производственной и экологической безопасности были выявлены факторы, которые могут отрицательно влиять на здоровье персонала и окружающую среду при эксплуатации установки, а также дан анализ методов и средств защиты человека от опасностей, возникающих в процессе работы с оборудованием нанесения.