Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Хокс П. Электронная оптика и электронная микроскопия

.pdf
Скачиваний:
95
Добавлен:
27.10.2023
Размер:
32.62 Mб
Скачать

п р е д м е т н ы й у к а з а т е л ь

Аберрации 93 Автоэмиссионный ионный микроскоп

254

Автоэмиссионный электронный ми­ кроскоп 239— 242

Алмазный нож 288 Амплитудно-контрастный объект 11 Анализаторы

Иш инокава 269— 271 Молленштедта 264—268 с задерживающим полем 259 энергии 256— 275

Анод 114 Апертурная диафрагма объективной

линзы 19, 21, 80, 168

Апертурная ф ункция пропускания

186— 190

Аралдит 287, 288 Артефакты 295

Асимптотические главные плоскости

64— 67

Астигматизм 82, 134 Атомный форм-фактор

для рентгеновских лучей 130 для электронов 127

Биологические материалы 284 Буферное вещество 285 Буферный баллон 140

Вакуумные насосы 140 Ванна Лэнгмю ра 292 Венельт 114 Вестопал 287, 288

Вибрирующая катуш ка 86 «Внутренний потенциал» объекта 172

Возбуждение магнитной линзы 83— 86 Возникновение контраста 80, 128

впросвечивающем микроскопе

166— 202

врастровом микроскопе 232— 239, 312

Волновая ф ункция 128, 169 Вращающаяся система координат 52 Вторичные электроны 24, 37, 218, 224 Выращивание эпитаксиальных пле­

нок 280, 283

Высоковольтные электронные микро­ скопы 33— 35, 143— 148, 304, 309

Высокочастотные линзы 209

Гексаборид лантана 220 Генераторы

Грейнахера 143, 147 Кокрофта — Уолтона 143, 146,

147

Главные плоскости

впространстве изображений 65, 69

впространстве объекта 65, 69 Гликольметакрилат 287, 288 Глутаральдегид 285, 301 Гольмий 153

Датчики э. д. с. Холла 86 Двухлинзовы й конденсор 120, 121 Декорированные отпечатки 280 Держатель объекта 80, 121— 125 Дефокусировка 168 Диаметр внутреннего канала 77, 81

Диафрагма

 

контраста

155

 

Динод

224

 

153

 

 

 

 

 

Диспрозий

 

95,

137

 

 

Дисторсии

 

93,

 

 

анизотропная 96,

97

 

 

изотропная

96,

97, 99

135,

Диф ракционная

картина

24,

137,

158,

 

159,

308

 

 

 

Дифференциальное

сечение рассея­

ния

128

 

 

 

 

 

14

 

Д лина

волны электронов

 

Д лина

камеры

137

 

 

 

 

Д ю р купа н

287

 

 

 

 

 

ЕМ 300

фирмы «Филипс» 22, 23,

122,

124,

125,

133— 136

 

 

 

EM M A

43,

 

252,

253

 

 

 

Ж ивой

материал,

наблюдение

122,

144

 

 

 

 

 

 

 

 

Загрязнение

апертурных

диафрагм

123

 

81

 

 

 

 

 

Зазор 77,

 

 

 

 

 

Заливка 287, 288

 

и

коррекция

Зеркальные

системы

сферической аберрации

210

 

Зеркальный

электронный

м икроскоп

253— 256

 

 

 

212— 215

 

Зонные

пластинки

 

316

Предметный указатель

Измерение B(z) 86

Изображения

кристаллической ре­

ш етки 165,

166

Интерференционные полосы [Ю нга

156, 157

Ионная бомбардировка 283

Калибровка увеличения 123 Камеры для исследования живы х

объектов 123, 144 Картина каналирования 236, 237

Катод «ланцет» См. Острозаточенный

катод

 

 

 

 

 

 

 

238

Катодолюминесцентный режим

К а туш ки развертки 37, 218, 219

Квадруполи

204— 209

 

пучка

Когерентность

электронного

12,

156

280

 

 

 

 

 

Коллодий

 

поле

 

Глазера

Колоколообразное

 

71,

85,

86,

101,

104

 

 

со­

Комбинированный

анализатор,

стоящий

из

магнитной

призмы и

электростатического зеркала

269—

277

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Конденсорные линзы 23, 58, 120

Конденсор-объектив 58, 79, 133

Коррекция

сферической

аберрации

202—214

 

 

обратного

рассеяния

Коэффициент

 

233,

234

 

 

сферической

аберра­

Коэффициенты

ции

95,

98,

99 — 104, 203

 

 

в форме многочленов 99, 105, 223

для

уменьшающих систем

220—

 

223

 

 

 

 

 

 

140

Кривая Хертера — Дриффилда

«Крионасос»

124

 

 

 

 

Кристаллические материалы 282

Критическая

температура

293

 

высушивания

объекта

 

сверхпроводников 149

толщина

Критическая

эффективная

131

 

 

 

поле

сверхпроводников

Критическое

149

 

 

115,

220

 

 

 

Кроссовер

 

 

 

Линзы зондоформирующая 221, 242, 248

магнитные 16, 71, 98 «плоская» 249

проекционная 21, 59, 135 промежуточная 21, 59, 135

стонкими пленками или сетками

211

Лучи g, G, ft, Н 55, 56, 60

Люминесцентный экран 21, 59, 138

М агнитная цепь линзы 84, 85 Малоугловая дифракция 162, 163 Масляный диффузионный насос 140,

141

Методика распыления 292

М икродиф ракция с селекторной диа­

фрагмой 159,

160

«М икроскан

(CSI) 247

М икротом ия

34, 288— 291

Микрофотография 23, 294, 295, 300—

314

 

121, 248,

249

М инилинза 43,

М ногократное рассеяние

126, 131

Мовитал

280

 

72, 86, 101

Модель

Гриве — Ленца

Модель

распределения

потенциала

по Вентцелю

129

 

Модуляция вертикального отклоне­ ния 219, 313

Наблюдение микрофотографий по­ средством стереоскопа 155

Негативное окрашивание 293, 302,

303

Некогерентное освещение 12

Нсупругое столкновение 80, 126

Нить накала, испускающ ая элек­ тронный пучок 19, 22, 113, 119

Обезвоживание объектов 286 Обратная пространственная частота

191

Общие методики препарирования 292 Объективная линза 19, 58, 71, 77—

80, 98, 132

Объектодержатель микроскопа 281 Одиночная линза 106— 109 Однократное рассеяние 126 Окрашивание 291, 301 О ктуполи 207— 209

Оператор Вронского 67, 68 Оптическая плотность 139 Острозаточенный катод И З , 119 Остроконечный катод 113, 119 Отвердитсли заливочного вещества

287

Отклоняющие ка туш ки 133, 134, 224

Отпечатки

279, 306

с извлечениями 280

Оттенение

отпечатков 281, 293

Параксиальная аппроксимация 49, 52 Передаточная функция

амплитудного контраста 191, 194— 196

микроскопа 194, 202 фазового контраста 191, 196— 198

Плазмонные потери энергии 131 Плоскость Фраунгофера 186 Поворот изображения 58 П одложка для исследуемого веще­

ства 282 Показатель преломления в электрон­

ной оптике 171 Полиномиальные формы асимптоти­

ческих коэффициентов аберрации

99— 105

Послефиксирование 285, 301 Предел Лэнгмюра 116 Предел разрешения 13, 200, 215

Предметный указатель

317

Приготовление объектов

для просвечивающего м икроско­ па 279

для растрового микроскопа 281 Призмы магнитные и электростати­

ческие 258 П ринцип действия электронных линз

16

Пропорциональный счетчик 251, 253 Просвечивающий растровый элек­ тронный микроскоп 25, 36, 39,

217— 220, 239— 246, 259, 314

Пространственная частота 182 Пространственный заряд и коррек­

ция

сферической

аберрации 211

Протонный м икроскоп

32

 

 

Пульсации

высокого

напряжения

вследствие

выпрямления

перемен­

ного

тока

140,

148

 

 

Разрешающая

способность

11,

15,

215

плоскости отпечатка

281

 

в

 

просвечивающего

микроскопа

 

197— 202

 

 

 

229,

230,

растрового микроскопа

 

244

 

электронный микроскоп

Растровый

 

25,

36,

220

элементы

150,

153

Редкоземельные

Режим

дифракции

24, 137

 

 

Режим проводимости,

обусловленный

воздействием

луча

238

49, 53

Релятивистские

поправки

«Релятивистское» ускоряющее напря­ жение 49, 83

Рентгеновский микроанализатор 25. 41, 238, 246— 252

Рентгеновские спектрометры 249— 253

Ртутный диффузионный насос 141

Сверхпроводники 148, 306 второго рода 150

Сверхпроводящая линза 148— 154 Сверхструктура 184 Светопроводящая трубка 225 Ссгнетоэлектрики 233, 305 Сетка для объекта 121, 290, 291

Сетка-держатель объекта 121, 289— 292

Серии срезов 290, 291 Сечение рассеяния 127

Система сцинтиллятор — фотоумно­ житель 37, 225, 243

Собирательное действие электронных линз 57

Состояние насыщения 143, 153 «Спрямляющая» ф ункция 213

Стабильность тока объективной линзы и ускоряющ его напряжения 140

Стеклянный нож

288

133,

134,

204

Стигматор

80,

82,

83,

Стриоскопическое

освещение

121,

134,

163

 

 

 

 

 

 

Стробоскопический метод в растровой

электронной микроскопии 235

132

Сферическая аберрация 94— 95,

и

контраст

168, 169

199— 203

и

предел разрешения

Телесный уго л

115

121,

134,

Темнопольное изображение

160,

309

 

 

 

Теория рассеяния 126

 

 

Теория толстых линз 67, 68

 

Термоэмиссия

113

 

 

Точечный катод См. Остроконечный

катод

 

Увеличение 23, 56,

68

Угловое увеличение 68

Ультрамикротомы

288, 289

У пругое столкновение 80, 126

Уравнение

 

 

 

Лапласа 87

 

67

линзы

Ньютона 66,

Ш редингера

169

44

Уравнения

траектории

в магнитных

полях

50

всмешанных полях 46

вэлектростатических полях 46

Ускоритель полимеризации заливоч­ ных сред 287

Ускоряющее напряжение 15, 19

Фазово-контрастная микроскопия 166 Фазово-контрастный объект 11 Фазовый сдвиг, вызываемый С$ и де­

фокусировкой 188, 194— 196 Фазовый сдвиг, вызываемый объек

том 169— 172

Фиксирование 285 замораживанием 286

Фиксирую щ ее вещество 285 Фильтр Вина 260— 263

Фо кус, объект или изображение 57,

58, 64, 65, 68, 69, 73— 75, 90, 91

Ф окус объективной линзы 69— 71, 76, 77

Фокусное расстояние 58, 67, 69, 74,

89— 91

линзы

69,

71,

78

объективной

Ф орвакуумны й баллон

См.

Буфер­

ный баллон

 

 

 

 

Формальдегид 285

 

 

 

Формвар 280

пластинка

21,

59,

Фотографическая

138

 

21,

59,

138

Фотографическая пленка

Фотографическая эмульсия 138 Ф ун кц и я , определяющая изменения

амплитуды и фазы падающей волны при прохождении через объект

171

Фурье-преобразование 174— 184

«Холодный катод» 30 Хроматическая аберрация 93, 97—

102, 114, 133, 137, 138

318

Предметный указатеаъ

Центробежный насос 140, 141

Частично экранированная линза 249, 250

Четырехокись осмия 285 Численный анализ 86 Числовая апертура 12

Электролитическая полировка объек­

та 283

пуш ка

19,

113

Электронная

с автоионным источником элек­

тронов 239— 242

24,

37

Электронный

зонд

Электронный

умножитель 37, 224

Электростатические линзы 17, 106 Электростатический спектрометр 243 Элементарная формула линзы 67 «Эльмископ-101» фирмы «Сименс» 20,

21, 31, 72, 141, 142,

15 8 -1 6 0

Эмиссионный

режим 238

 

Эпон 287, 28Н, 301

 

Эффект

Б ёрша 119

167

Эффект

«верха — низа»

Эффективная

толщина

объекта 126

Ю стировка

133

 

Яркость

114,

119, 220, 241

 

ОГЛАВЛЕНИЕ

 

 

 

Предисловие редактора русского издания ..............................

 

о

Из предисловия автора ......................................................................

 

 

9

Г л а в а

1 . Пределы

применимости

светового

микроскопа

И

 

и электронный микроскоп................................................

 

 

 

1.1.

Разрешающая способность............................................

 

11

 

1.2.

Электронные линзы .........................................................

 

 

16

 

1.3.

Электронные микроскопы ............................................

 

18

 

1.4.

История

электронного микроскопа ......................

 

25

Г л а в а

2 . Электронные линзы .............................................................

 

 

44

 

2.1.

Уравнения

траектории ................................................

 

 

44

 

2.2.

Физический смысл уравнений траектории . . . .

54

 

2.3.

Параксиальные свойства

типичных

магнитных

71

 

 

линз ........................................................................................

 

электронных

линз

 

 

2.4. Аберрации

 

93

 

2.5. Аберрационные коэффициенты типичных магнит­

98

 

 

ных л и н з ...............................................................................

электростатические линзы

 

 

2.6. Типичные

..................

106

Г л а в а

3 . Электронный

микроскоп ................................................

 

 

ИЗ

 

3.1. Основные особенности электронного микроскопа

ИЗ

 

3.2.

Высоковольтные электронные микроскопы . . .

143

 

3.3.

Режимы

работы .............................................................

 

 

155

3.4.Формирование электронного изображения . . . 166

3.5.Достижение очень высокого разрешения. Кор­

 

 

рекция сферической аберрации или компенсация

 

 

ее влияния..............................................................

 

202

Г л а в а

4 . Растровая

электронная

микроскопия и

исследова­

 

ние поверхностей .................................................................

 

217

 

4.1.

Растровыйэлектронный

микроскоп..........................

217

 

4.2.

Просвечивающий растровый электронный микро­

 

4.3.

скоп .......................................................................................

 

 

239

 

Рентгеновский микроанализатор...............................

246

 

4.4.

Зеркальный электронный микроскоп......................

253

 

4.5.

Анализаторы энергии.....................................................

 

256

Г л а в а

5 . Применения ..................................................................

 

278

 

5.1. Металлы и другие кристаллические

материалы 282

 

5.2.

Биологические материалы............................................

284

 

5.3.

Подбор

микрофотографий............................................

294

Литература................................................................................................

 

 

296

Предметный указатель..........................................................................

 

315

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ