книги из ГПНТБ / Хокс П. Электронная оптика и электронная микроскопия
.pdf
п р е д м е т н ы й у к а з а т е л ь
Аберрации 93 Автоэмиссионный ионный микроскоп
254
Автоэмиссионный электронный ми кроскоп 239— 242
Алмазный нож 288 Амплитудно-контрастный объект 11 Анализаторы
Иш инокава 269— 271 Молленштедта 264—268 с задерживающим полем 259 энергии 256— 275
Анод 114 Апертурная диафрагма объективной
линзы 19, 21, 80, 168
Апертурная ф ункция пропускания
186— 190
Аралдит 287, 288 Артефакты 295
Асимптотические главные плоскости
64— 67
Астигматизм 82, 134 Атомный форм-фактор
для рентгеновских лучей 130 для электронов 127
Биологические материалы 284 Буферное вещество 285 Буферный баллон 140
Вакуумные насосы 140 Ванна Лэнгмю ра 292 Венельт 114 Вестопал 287, 288
Вибрирующая катуш ка 86 «Внутренний потенциал» объекта 172
Возбуждение магнитной линзы 83— 86 Возникновение контраста 80, 128
впросвечивающем микроскопе
166— 202
врастровом микроскопе 232— 239, 312
Волновая ф ункция 128, 169 Вращающаяся система координат 52 Вторичные электроны 24, 37, 218, 224 Выращивание эпитаксиальных пле
нок 280, 283
Высоковольтные электронные микро скопы 33— 35, 143— 148, 304, 309
Высокочастотные линзы 209
Гексаборид лантана 220 Генераторы
Грейнахера 143, 147 Кокрофта — Уолтона 143, 146,
147
Главные плоскости
впространстве изображений 65, 69
впространстве объекта 65, 69 Гликольметакрилат 287, 288 Глутаральдегид 285, 301 Гольмий 153
Датчики э. д. с. Холла 86 Двухлинзовы й конденсор 120, 121 Декорированные отпечатки 280 Держатель объекта 80, 121— 125 Дефокусировка 168 Диаметр внутреннего канала 77, 81
Диафрагма |
|
контраста |
155 |
|
||||
Динод |
224 |
|
153 |
|
|
|
|
|
Диспрозий |
|
95, |
137 |
|
|
|||
Дисторсии |
|
93, |
|
|
||||
анизотропная 96, |
97 |
|
|
|||||
изотропная |
96, |
97, 99 |
135, |
|||||
Диф ракционная |
картина |
24, |
||||||
137, |
158, |
|
159, |
308 |
|
|
|
|
Дифференциальное |
сечение рассея |
|||||||
ния |
128 |
|
|
|
|
|
14 |
|
Д лина |
волны электронов |
|
||||||
Д лина |
камеры |
137 |
|
|
|
|
||
Д ю р купа н |
287 |
|
|
|
|
|
||
ЕМ 300 |
фирмы «Филипс» 22, 23, |
122, |
||||||
124, |
125, |
133— 136 |
|
|
|
|||
EM M A |
43, |
|
252, |
253 |
|
|
|
|
Ж ивой |
материал, |
наблюдение |
122, |
|||||
144 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Загрязнение |
апертурных |
диафрагм |
||||||
123 |
|
81 |
|
|
|
|
|
|
Зазор 77, |
|
|
|
|
|
|||
Заливка 287, 288 |
|
и |
коррекция |
|||||
Зеркальные |
системы |
|||||||
сферической аберрации |
210 |
|
||||||
Зеркальный |
электронный |
м икроскоп |
||||||
253— 256 |
|
|
|
212— 215 |
|
|||
Зонные |
пластинки |
|
||||||
316 |
Предметный указатель |
Измерение B(z) 86 |
|
Изображения |
кристаллической ре |
ш етки 165, |
166 |
Интерференционные полосы [Ю нга
156, 157
Ионная бомбардировка 283
Калибровка увеличения 123 Камеры для исследования живы х
объектов 123, 144 Картина каналирования 236, 237
Катод «ланцет» См. Острозаточенный
катод |
|
|
|
|
|
|
|
238 |
|
Катодолюминесцентный режим |
|||||||||
К а туш ки развертки 37, 218, 219 |
|||||||||
Квадруполи |
204— 209 |
|
пучка |
||||||
Когерентность |
электронного |
||||||||
12, |
156 |
280 |
|
|
|
|
|
||
Коллодий |
|
поле |
|
Глазера |
|||||
Колоколообразное |
|
||||||||
71, |
85, |
86, |
101, |
104 |
|
|
со |
||
Комбинированный |
анализатор, |
||||||||
стоящий |
из |
магнитной |
призмы и |
||||||
электростатического зеркала |
269— |
||||||||
277 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Конденсорные линзы 23, 58, 120 |
|||||||||
Конденсор-объектив 58, 79, 133 |
|||||||||
Коррекция |
сферической |
аберрации |
|||||||
202—214 |
|
|
обратного |
рассеяния |
|||||
Коэффициент |
|
||||||||
233, |
234 |
|
|
сферической |
аберра |
||||
Коэффициенты |
|||||||||
ции |
95, |
98, |
99 — 104, 203 |
|
|
||||
в форме многочленов 99, 105, 223 |
|||||||||
для |
уменьшающих систем |
220— |
|||||||
|
223 |
|
|
|
|
|
|
140 |
|
Кривая Хертера — Дриффилда |
|||||||||
«Крионасос» |
124 |
|
|
|
|
||||
Кристаллические материалы 282 |
|||||||||
Критическая |
температура |
293 |
|
||||||
высушивания |
объекта |
|
|||||||
сверхпроводников 149 |
толщина |
||||||||
Критическая |
эффективная |
||||||||
131 |
|
|
|
поле |
сверхпроводников |
||||
Критическое |
|||||||||
149 |
|
|
115, |
220 |
|
|
|
||
Кроссовер |
|
|
|
||||||
Линзы зондоформирующая 221, 242, 248
магнитные 16, 71, 98 «плоская» 249
проекционная 21, 59, 135 промежуточная 21, 59, 135
стонкими пленками или сетками
211
Лучи g, G, ft, Н 55, 56, 60
Люминесцентный экран 21, 59, 138
М агнитная цепь линзы 84, 85 Малоугловая дифракция 162, 163 Масляный диффузионный насос 140,
141
Методика распыления 292
М икродиф ракция с селекторной диа
фрагмой 159, |
160 |
|
«М икроскан |
5» |
(CSI) 247 |
М икротом ия |
34, 288— 291 |
|
Микрофотография 23, 294, 295, 300—
314 |
|
121, 248, |
249 |
М инилинза 43, |
|||
М ногократное рассеяние |
126, 131 |
||
Мовитал |
280 |
|
72, 86, 101 |
Модель |
Гриве — Ленца |
||
Модель |
распределения |
потенциала |
|
по Вентцелю |
129 |
|
|
Модуляция вертикального отклоне ния 219, 313
Наблюдение микрофотографий по средством стереоскопа 155
Негативное окрашивание 293, 302,
303
Некогерентное освещение 12
Нсупругое столкновение 80, 126
Нить накала, испускающ ая элек тронный пучок 19, 22, 113, 119
Обезвоживание объектов 286 Обратная пространственная частота
191
Общие методики препарирования 292 Объективная линза 19, 58, 71, 77—
80, 98, 132
Объектодержатель микроскопа 281 Одиночная линза 106— 109 Однократное рассеяние 126 Окрашивание 291, 301 О ктуполи 207— 209
Оператор Вронского 67, 68 Оптическая плотность 139 Острозаточенный катод И З , 119 Остроконечный катод 113, 119 Отвердитсли заливочного вещества
287
Отклоняющие ка туш ки 133, 134, 224
Отпечатки |
279, 306 |
с извлечениями 280 |
|
Оттенение |
отпечатков 281, 293 |
Параксиальная аппроксимация 49, 52 Передаточная функция
амплитудного контраста 191, 194— 196
микроскопа 194, 202 фазового контраста 191, 196— 198
Плазмонные потери энергии 131 Плоскость Фраунгофера 186 Поворот изображения 58 П одложка для исследуемого веще
ства 282 Показатель преломления в электрон
ной оптике 171 Полиномиальные формы асимптоти
ческих коэффициентов аберрации
99— 105
Послефиксирование 285, 301 Предел Лэнгмюра 116 Предел разрешения 13, 200, 215
Предметный указатель |
317 |
Приготовление объектов
для просвечивающего м икроско па 279
для растрового микроскопа 281 Призмы магнитные и электростати
ческие 258 П ринцип действия электронных линз
16
Пропорциональный счетчик 251, 253 Просвечивающий растровый элек тронный микроскоп 25, 36, 39,
217— 220, 239— 246, 259, 314
Пространственная частота 182 Пространственный заряд и коррек
ция |
сферической |
аберрации 211 |
||||||
Протонный м икроскоп |
32 |
|
|
|||||
Пульсации |
высокого |
напряжения |
||||||
вследствие |
выпрямления |
перемен |
||||||
ного |
тока |
140, |
148 |
|
|
|||
Разрешающая |
способность |
11, |
15, |
|||||
215 |
плоскости отпечатка |
281 |
|
|||||
в |
|
|||||||
просвечивающего |
микроскопа |
|||||||
|
197— 202 |
|
|
|
229, |
230, |
||
растрового микроскопа |
||||||||
|
244 |
|
электронный микроскоп |
|||||
Растровый |
|
|||||||
25, |
36, |
220 |
элементы |
150, |
153 |
|||
Редкоземельные |
||||||||
Режим |
дифракции |
24, 137 |
|
|
||||
Режим проводимости, |
обусловленный |
|||||||
воздействием |
луча |
238 |
49, 53 |
|||||
Релятивистские |
поправки |
|||||||
«Релятивистское» ускоряющее напря жение 49, 83
Рентгеновский микроанализатор 25. 41, 238, 246— 252
Рентгеновские спектрометры 249— 253
Ртутный диффузионный насос 141
Сверхпроводники 148, 306 второго рода 150
Сверхпроводящая линза 148— 154 Сверхструктура 184 Светопроводящая трубка 225 Ссгнетоэлектрики 233, 305 Сетка для объекта 121, 290, 291
Сетка-держатель объекта 121, 289— 292
Серии срезов 290, 291 Сечение рассеяния 127
Система сцинтиллятор — фотоумно житель 37, 225, 243
Собирательное действие электронных линз 57
Состояние насыщения 143, 153 «Спрямляющая» ф ункция 213
Стабильность тока объективной линзы и ускоряющ его напряжения 140
Стеклянный нож |
288 |
133, |
134, |
204 |
|||
Стигматор |
80, |
82, |
83, |
||||
Стриоскопическое |
освещение |
121, |
|||||
134, |
163 |
|
|
|
|
|
|
Стробоскопический метод в растровой
электронной микроскопии 235 |
132 |
|||
Сферическая аберрация 94— 95, |
||||
и |
контраст |
168, 169 |
199— 203 |
|
и |
предел разрешения |
|||
Телесный уго л |
115 |
121, |
134, |
|
Темнопольное изображение |
||||
160, |
309 |
|
|
|
Теория рассеяния 126 |
|
|
||
Теория толстых линз 67, 68 |
|
|||
Термоэмиссия |
113 |
|
|
|
Точечный катод См. Остроконечный
катод |
|
Увеличение 23, 56, |
68 |
Угловое увеличение 68 |
|
Ультрамикротомы |
288, 289 |
У пругое столкновение 80, 126
Уравнение |
|
|
|
Лапласа 87 |
|
67 |
|
линзы |
Ньютона 66, |
||
Ш редингера |
169 |
44 |
|
Уравнения |
траектории |
||
в магнитных |
полях |
50 |
|
всмешанных полях 46
вэлектростатических полях 46
Ускоритель полимеризации заливоч ных сред 287
Ускоряющее напряжение 15, 19
Фазово-контрастная микроскопия 166 Фазово-контрастный объект 11 Фазовый сдвиг, вызываемый С$ и де
фокусировкой 188, 194— 196 Фазовый сдвиг, вызываемый объек
том 169— 172
Фиксирование 285 замораживанием 286
Фиксирую щ ее вещество 285 Фильтр Вина 260— 263
Фо кус, объект или изображение 57,
58, 64, 65, 68, 69, 73— 75, 90, 91
Ф окус объективной линзы 69— 71, 76, 77
Фокусное расстояние 58, 67, 69, 74,
89— 91 |
линзы |
69, |
71, |
78 |
объективной |
||||
Ф орвакуумны й баллон |
См. |
Буфер |
||
ный баллон |
|
|
|
|
Формальдегид 285 |
|
|
|
|
Формвар 280 |
пластинка |
21, |
59, |
|
Фотографическая |
||||
138 |
|
21, |
59, |
138 |
Фотографическая пленка |
||||
Фотографическая эмульсия 138 Ф ун кц и я , определяющая изменения
амплитуды и фазы падающей волны при прохождении через объект
171
Фурье-преобразование 174— 184
«Холодный катод» 30 Хроматическая аберрация 93, 97—
102, 114, 133, 137, 138
318 |
Предметный указатеаъ |
Центробежный насос 140, 141
Частично экранированная линза 249, 250
Четырехокись осмия 285 Численный анализ 86 Числовая апертура 12
Электролитическая полировка объек
та 283 |
пуш ка |
19, |
113 |
Электронная |
|||
с автоионным источником элек |
|||
тронов 239— 242 |
24, |
37 |
|
Электронный |
зонд |
||
Электронный |
умножитель 37, 224 |
||
Электростатические линзы 17, 106 Электростатический спектрометр 243 Элементарная формула линзы 67 «Эльмископ-101» фирмы «Сименс» 20,
21, 31, 72, 141, 142, |
15 8 -1 6 0 |
||
Эмиссионный |
режим 238 |
|
|
Эпон 287, 28Н, 301 |
|
||
Эффект |
Б ёрша 119 |
167 |
|
Эффект |
«верха — низа» |
||
Эффективная |
толщина |
объекта 126 |
|
Ю стировка |
133 |
|
|
Яркость |
114, |
119, 220, 241 |
|
|
ОГЛАВЛЕНИЕ |
|
|
|
|||
Предисловие редактора русского издания .............................. |
|
о |
|||||
Из предисловия автора ...................................................................... |
|
|
9 |
||||
Г л а в а |
1 . Пределы |
применимости |
светового |
микроскопа |
И |
||
|
и электронный микроскоп................................................ |
|
|
||||
|
1.1. |
Разрешающая способность............................................ |
|
11 |
|||
|
1.2. |
Электронные линзы ......................................................... |
|
|
16 |
||
|
1.3. |
Электронные микроскопы ............................................ |
|
18 |
|||
|
1.4. |
История |
электронного микроскопа ...................... |
|
25 |
||
Г л а в а |
2 . Электронные линзы ............................................................. |
|
|
44 |
|||
|
2.1. |
Уравнения |
траектории ................................................ |
|
|
44 |
|
|
2.2. |
Физический смысл уравнений траектории . . . . |
54 |
||||
|
2.3. |
Параксиальные свойства |
типичных |
магнитных |
71 |
||
|
|
линз ........................................................................................ |
|
электронных |
линз |
|
|
|
2.4. Аберрации |
|
93 |
||||
|
2.5. Аберрационные коэффициенты типичных магнит |
98 |
|||||
|
|
ных л и н з ............................................................................... |
электростатические линзы |
|
|||
|
2.6. Типичные |
.................. |
106 |
||||
Г л а в а |
3 . Электронный |
микроскоп ................................................ |
|
|
ИЗ |
||
|
3.1. Основные особенности электронного микроскопа |
ИЗ |
|||||
|
3.2. |
Высоковольтные электронные микроскопы . . . |
143 |
||||
|
3.3. |
Режимы |
работы ............................................................. |
|
|
155 |
|
3.4.Формирование электронного изображения . . . 166
3.5.Достижение очень высокого разрешения. Кор
|
|
рекция сферической аберрации или компенсация |
|||
|
|
ее влияния.............................................................. |
|
202 |
|
Г л а в а |
4 . Растровая |
электронная |
микроскопия и |
исследова |
|
|
ние поверхностей ................................................................. |
|
217 |
||
|
4.1. |
Растровыйэлектронный |
микроскоп.......................... |
217 |
|
|
4.2. |
Просвечивающий растровый электронный микро |
|||
|
4.3. |
скоп ....................................................................................... |
|
|
239 |
|
Рентгеновский микроанализатор............................... |
246 |
|||
|
4.4. |
Зеркальный электронный микроскоп...................... |
253 |
||
|
4.5. |
Анализаторы энергии..................................................... |
|
256 |
|
Г л а в а |
5 . Применения .................................................................. |
|
278 |
||
|
5.1. Металлы и другие кристаллические |
материалы 282 |
|||
|
5.2. |
Биологические материалы............................................ |
284 |
||
|
5.3. |
Подбор |
микрофотографий............................................ |
294 |
|
Литература................................................................................................ |
|
|
296 |
||
Предметный указатель.......................................................................... |
|
315 |
|||
