книги из ГПНТБ / Пузырев В.А. Тонкие ферромагнитные пленки в радиотехнических цепях
.pdfХвп и Rm, полного вносимого сопротивления через пара метры полосковой линии и пленки, получаем уравнение д л я коэффициента передачи в следующем виде:
* o " ( l - 4 r i ) ' ( l - - « . + * / / ? w | ) . |
(2-69) |
где величина RB]l определяется соотношением (2.68), а выражение для модуля функции коэффициента отра жения .
' |
(Яви + |
2Д„)г + Х2В„ |
|
||
/?н — сопротивление |
нагрузки. |
|
F' = ш2 /ш2 |
|
|
При выполнении |
условия |
резонанса |
и мак |
||
симальном значении относительного потокосцепления |
Ф - = 1 |
||||
уравнение для коэффициента передачи приводится |
к виду |
||||
"° = |
(Яви + 2/?и )2 (/?„„ + Яы) |
• |
( 2 , 7 0 ) |
||
И з полученного |
в ы р а ж е н и я |
видно, |
что для уменьше |
||
ния коэффициента |
передачи |
в |
закрытом состоянии не |
обходимо уменьшать сопротивление нагрузки Ru, т. е. делать полосковую линию иизкоомной с соответствую щим согласованием, и увеличивать вносимое сопротив
ление Rmt. |
Соотношение д л я максимально |
вносимого со |
|||||||||
противления, |
выраженное через |
характеристики пленки |
|||||||||
и параметры |
полосковой |
линии, имеет вид |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
R.„^flMVla, |
|
|
|
|
(2.71) |
||
где |
V — объем |
пленки. Несмотря |
на то что в |
этом |
вы |
||||||
ражении коэффициент fx входит |
в квадрате, |
изменение |
|||||||||
его |
величины |
ограничивается |
различными |
|
факторами . |
||||||
Это |
объясняется следующим. |
Величину |
коэффициента |
||||||||
fx дл я низкоомных полосковых линий с достаточной |
сте |
||||||||||
пенью точности |
можно |
аппроксимировать |
как |
fx^l/b, |
|||||||
где b — ширина |
полосковой линии. |
|
|
|
|
||||||
Следовательно, дл я увеличения коэффициента fx не |
|||||||||||
обходимо |
уменьшить ширину |
полоски, а |
это |
приводит |
|||||||
к уменьшению рабочего объема пленки V и увеличению |
|||||||||||
волнового |
сопротивления |
(при |
одинаковой |
высоте |
по |
||||||
лосковой линии, так как она определяется толщиной |
под |
л о ж к и пленки) . Уменьшение ширины полосковой линии
приводит к |
возрастанию неоднородности высокочастот |
ного поля, |
воздействующего на пленку. Это обстоятель |
н о |
|
ство |
т а к ж е |
заставляет уменьшать геометрические раз |
меры |
пленки |
в плоскости, что, в свою очередь, приводит |
куменьшению объема магнитной массы.
Др у г и м параметром, за счет которого можно увели чить величину вносимого сопротивления и тем самым повысить эффективность управления погонными пара метрами полосковой линии при воздействии внешних
магнитных полей, является объем пленки. Т а к как ши |
|||
рина пленки определяется |
шириной |
полосковой |
линии, |
а ее толщина — потерями |
в пленке, |
то увеличение |
объе |
ма пленки можно осуществлять за счет увеличения ее
длины и за счет создания многослойной |
структуры. |
|||||
Используя формулы (2.70) и (2.71), можно |
рассчи |
|||||
тать длину пленки, |
необходимую дл я обеспечения зату |
|||||
хания |
порядка 30 д Б . Оказывается, что дл я полосковой |
|||||
линии |
с волновым |
сопротивлением |
5 |
Ом |
длина |
пленки |
д о л ж н а составлять |
примерно 10 |
см. |
Низкое |
волновое |
сопротивление участка полосковой линии с пленкой при
водит |
к тому, |
что длина согласующих переходов оказы |
||||
вается |
т а к ж е |
порядка 10—12 см. Поэтому потери в пе |
||||
реходах и низкоомном |
участке |
при отсутствии внешнего |
||||
магнитного поля (открытое состояние ключа) |
будут в не |
|||||
сколько раз превышать допустимые. |
|
|||||
Чтобыувеличить объем магнитной массы пленки, не |
||||||
очень |
сильно |
увеличивая при этом затухание в линии |
||||
от побочных |
потерь |
в |
пленке, |
необходимо |
применять |
|
многослойные |
пленочные |
структуры, напыленные в ва |
кууме на подложке в несколько слоев, разделенных прослойками диэлектрика. Многослойные структуры тон ких ферромагнитных пленок дают не только простое увеличение объема ферромагнитного материала . Б л а г о д а ря магнитному взаимодействию м е ж д у слоями пленок через р а з д е л я ю щ у ю их диэлектрическую прослойку, су щественно меняются свойства всей структуры по срав нению со свойствами одиночных пленок. Пр и этом сила взаимодействия слоев, а следовательно, и степень изме нения свойств структуры зависит от многих факторов . Существенную роль, например, играют условия напыле
ния |
(напыление всей системы |
в одном |
цикле |
откачки |
или |
с нарушением в а к у у м а ) , выбор материалов |
магнит |
||
ных |
пленок и диэлектрических |
прослоек, |
геометрические |
размеры |
пятен |
и толщина |
промежуточных слоев. Влия |
||
ние |
всех |
факторов на |
свойства многослойных структур |
||
еще |
далеко не |
изучено. |
В |
настоящее время накаплива - |
111
ются экспериментальные результаты по исследованию физических свойств многослойных систем, выдвигаются различные теории, с помощью которых можно было бы объяснить природу взаимодействия слоев. Многослой ные пленки о б л а д а ю т гораздо большими возможностями и перспективами применения по сравнению с однослой
ными, а |
т а к ж е |
по ряду параметров превосходят их |
[13, 32—35]. |
|
|
Д р у г и м |
путем |
преодоления указанных трудностей |
при увеличении величины вносимого сопротивления явля ется использование тонкой ферромагнитной пленки в ка
честве неоднородности в ступенчатом |
фильтре. |
Ступен |
||||||
|
чатый фильтр позволяет уве |
|||||||
|
личить взаимодействие плен |
|||||||
|
ки с |
передающей |
линией |
|||||
|
примерно |
в Q |
раз |
(Q — доб |
||||
|
ротность |
р е з о н а т о р а ) . |
По |
|||||
|
добный метод находит ши |
|||||||
|
рокое |
применение в |
тонко- |
|||||
Пленка |
пленочных |
п а р а м е т р о н а х |
||||||
[36] . Конструктивно |
фильтр |
|||||||
А-А |
выполнен в виде неоднород |
|||||||
ной |
полосковой |
линии, |
со |
|||||
Пленка |
стоящей из широких и узких |
|||||||
|
||||||||
С |
участков |
с одинаковым |
за |
|||||
Р и с . 2.29 |
зором. |
|
|
|
|
|
||
Преимуществом |
такой |
|||||||
|
||||||||
|
конструкции |
является |
то, |
|||||
что при одинаковой полосе |
пропускания |
(с |
переходами |
длиной четверть волны) размеры всего устройства зна чительно сокращаются .
Р а с с м а т р и в а е м ы й |
в этом п а р а г р а ф е вариант |
ключа |
использует пленку, |
помещенную в индуктивный |
участок |
ступенчатого фильтра на полосковой линии. Ступенча тый фильтр представляет собой последовательное соеди нение отрезков несимметричной полосковой линии с раз личными волновыми сопротивлениями, имеющих разную
ширину полоски, рис. 2.29. В такой конструкции |
электри |
ческое поле сосредоточено в широких отрезках |
(эквива |
лентные п а р а л л е л ь н ы е емкости), а магнитное |
поле — в |
узком отрезке (эквивалентная последовательная индук тивность) . М а г н и т н а я пленка помещается в индуктивном
отрезке |
полосковой линии |
таким |
образом, |
чтобы ее |
лег |
к а я ось |
была направлена |
или |
вдоль или |
поперек |
про- |
112
дольной оси фильтра . |
У п р а в л я ю щ е е поле |
в обоих, |
слу |
чаях прикладывается |
вдоль трудного направления |
н а |
|
магничивания пленки. |
Принцип действия |
СВЧ ключа |
V
6
Ри с . 2.30
дл я двух случаев расположения пленки в полосковой
линии |
поясняется на рис. 2.30, а |
и б. |
|
|
Д л я |
анализа ключа |
на неоднородной линии |
способ |
|
расположения пленки не |
имеет |
принципиального |
значе- |
113
/
ния, поэтому рассмотрим один из них. Пусть тонкая маг нитная пленка помещена в индуктивном участке таким
образом, что ее легкая ось |
п а р а л л е л ь н а оси |
полосково- |
го резонатора . Угол ' м е ж д у |
направлением |
намагничен |
ности (при отсутствии внешних с м е щ а ю щ и х полей) и высокочастотным магнитным полем равен я/2 . При этом взаимодействие м е ж д у полем и намагниченностью мак симальное, в результате чего реализуется закрытое со стояние ключа. Механизм взаимодействия можно пред ставить в виде следующей модели. В первую четверть периода высокочастотного поля намагниченность откло няется под действием поля от легкой оси и пленка отби рает энергию от внешней цепи. В течение второй четвер ти периода, когда высокочастотное поле уменьшается, намагниченность в о з в р а щ а е т с я к легкой оси и отдает энергию во внешнюю цепь. При этом во внешней цепи
наводится |
ток, который |
направлен |
навстречу току, |
воз |
||||||
б у ж д а ю щ е м у |
магнитное |
поле |
в резонаторе, и, следова |
|||||||
тельно, создает отраженную волну. Во |
вторую |
половину |
||||||||
периода процесс повторяется. Так как |
колебания намаг |
|||||||||
ниченности |
совершаются |
с некоторым |
«трением», |
т. е. |
||||||
с релаксационными |
потерями |
в самой |
пленке, |
то |
отра |
|||||
ж е н н а я волна |
не компенсирует |
п а д а ю щ у ю |
и часть |
высо |
||||||
кочастотной |
энергии |
приходит |
на |
выход |
ключа. |
Н а и |
большее отклонение вектора намагниченности от легкой оси под действием поля имеет место при резонансе, т. е. при совпадении частоты изменения поля и частоты фер
ромагнитного |
резонанса |
( Ф М Р ) . Этот режим и |
исполь |
||
зуется в ключе, для чего |
выбираются пленки с таким |
Нк, |
|||
чтобы частота |
естественного Ф М Р была равна |
частоте |
|||
высокочастотного поля. |
|
|
|
|
|
В различных точках неоднородной пленки из-за нали |
|||||
чия, /неоднородных локальных анизотропных полей |
(мик |
||||
ро- и м а к р о м а с ш т а б о в ) |
частоты Ф М Р отличаются |
и |
ко |
лебания векторов намагниченности в отдельных точках имеют различные фазовые сдвиги. П р и этом происходит «расфазировка» отраженной волны, которая будет в меньшей степени компенсировать падающую, в резуль тате чего на выход ключа будет проходить дополнитель ная энергия.
Таким образом, уменьшение затухания ключа в за крытом состоянии связано не только с потерями энергии в пленке, но и с интерференцией отраженных от неодно родностей волн.
114
Открытое |
состояние ключа |
реализуется при подаче |
|||||
с м е щ а ю щ е г о |
поля Ни — Я т в трудном |
направлении |
(при |
||||
подаче |
тока |
в у п р а в л я ю щ у ю |
цепь) . В идеальной |
одно |
|||
родной |
пленке при |
поле Я т ^ |
Я к |
вектор намагниченно |
|||
сти устанавливается |
вдоль трудной |
оси, т. е. п а р а л л е л ь н о |
|||||
высокочастотному полю, и перестает |
взаимодействовать |
с ним; ослабление в этом случае зависит только от по терь во внешней цепи.
В неоднородной пленке векторы намагниченности от дельных участков образуют при поле Я т = Я к еще до вольно большие углы с трудной осью и, следовательно, взаимодействуют с высокочастотным полем. Д л я умень шения углов отклонения областей от направления, пер
пендикулярного |
высокочастотному полю, |
приходится |
прикладывать смещающие поля, в несколько |
раз превы |
|
ш а ю щ и е поле |
анизотропии, что значительно |
у с л о ж н я е т |
у п р а в л я ю щ у ю цепь. |
|
Р и с . 2.31
Теоретическое исследование ключа было проведено Волощенко Ю. И. и Злочевским Е. М. [22]. Конструк ция ключа такова, что электрическое и магнитное поля в нем фактически разделены и сосредоточены в различ ных участках, поэтому для анализа ключа можно вос пользоваться моделью пленки в виде эквивалентной схе мы с сосредоточенными, параметрами . Эквивалентную схему ключа можно представить в виде, показанном на
рис. 2.31, где С] и |
Сг — емкости широких отрезков филь |
||||
тра; L — эквивалентная индуктивность |
узкого |
участка; |
|||
г — сопротивление |
потерь, учитывающее |
потери |
в индук |
||
тивном |
участке; zmi |
— сопротивление, вносимое |
пленкой. |
||
Д л я |
исследования ключа в открытом |
и закрытом |
со |
||
стояниях воспользуемся теорией волновых матриц. |
К а к |
||||
известно, функция |
рабочего затухания |
четырехполюсни |
ка определяется |
элементом |
волновой матрицы передачи |
|||
[37]: |
Й5Р = [ Г ц ] 2 . Д л я |
схемы, |
представленной |
на |
|
рис. |
2.31, имеем |
|
|
|
|
1 1 |
|
2/RZ,-Z3 |
|
• ( _ |
> |
115
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
/ |
где использованы |
следующие |
обозначения: Z , = |
l/JwC^,; |
|||||||
Z 2 |
= |
(jvL, |
+ Z B 1 1 |
+ |
r)/p,; |
Z 3 |
= l/ywCapf, |
= p 2 / P l ; |
Z B 1 I = |
|
= |
- ^ D H + |
|
JXBH. |
|
|
|
симметричной, т. е. С\ — |
|||
|
Примем |
схему |
фильтра |
|||||||
= |
С2 |
= |
С, |
а волновые сопротивления подводящих ли |
||||||
ний |
на |
входе |
и |
выходе |
коммутатора |
равными р = |
=р, = р 2 . В ы д е л я я действительную и мнимую части
элемента Гц |
(2.72) |
и |
|
взяв |
модуль, |
получим |
в ы р а ж е н и е |
|||||
д л я |
функции |
рабочего |
|
затухания: |
|
|
|
|
||||
|
Хр |
= |
N {\ |
+ |
|
^ |
- |
шСА'В11 |
- |
»*LC |
+ |
|
|
+ |
4 ^ |
+ |
Х™ |
+ |
|
+ 2 |
* в „ ) ] } , |
(2-73) |
|||
г д е |
N = 1 + |
р 2 ш 2 С 2 ; |
|
Rs |
= |
RBll + |
г; |
|
г — сопротивление |
|||
учитывающее |
потери |
в |
индуктивном |
участке . |
|
|||||||
|
К а к это следует |
из |
уравнения |
(2.73), затухание оп |
ределяется не просто вносимым сопротивлением, а от ношением вносимого сопротивления к волновому сопро тивлению внешней цепи. Зависимостью затухания от волнового сопротивления объясняется, в частности, силь
ное влияние з а з о р а |
в |
полосковой |
линии |
на |
рабочее за |
||
тухание |
так как, несмотря на то, что |
при |
увеличении |
||||
з а з о р а |
в полосковой |
линии поле |
изменяется |
незначи |
|||
тельно, |
затухание |
резко падает |
вследствие |
|
возраста |
||
ния р. Поэтому д л я |
увеличения затухания м о ж н о исполь |
зовать широкую полосковую линию с м а л ы м зазором, которая неизбежно будет иметь низкое волновое со противление.
Если рассматривать устройство в целом, то |
т а к а я |
конструкция потребует согласующих переходов |
между |
низкоомиым участком полосковой линии и передающей линией со стандартным волновым сопротивлением. Оче видно, в дециметровом диапазоне волн такое устройство д о л ж н о иметь значительные размеры .
Д р у г и м в о з м о ж н ы м вариантом внешней цепи являет ся неоднородная полосковая линия, состоящая из широ ких и узких участков с одинаковым зазором . Э т а кон струкция и принята в качестве внешней цепи, рассмат риваемого здесь ключевого устройства. Преимуществом такой конструкции является то, что размеры всего уст
ройства |
значительно |
сокращаются . |
|
В ы р а ж е н и е (2.73) |
позволяет определить |
параметры |
|
ключа в |
открытом и |
з а к р ы т о м состояниях. |
Основными |
116
п а р а м е т р а м и ключа в открытом состоянии являются: ко эффициент отражения, который зависит от степени со гласования фильтра с передающей линией, и потери на пропускание £ £ р о , которые при отсутствии дисперсии оси легкого намагничивания состоят из мощности потерь на
токи проводимости |
и мощности потерь |
в диэлектрике, |
з а п о л н я ю щ е м зазор |
м е ж д у пластинами |
фильтра, при |
чем главную роль играют омические потери в индуктив ном отрезке фильтра . Д л я нормальной работы ключа в открытом состоянии коэффициент отражения и вели чина рабочего затухания ЗС р о д о л ж н ы иметь минималь ные значения. Принимая, что в открытом состоянии клю
ча полное |
вносимое сопротивление |
Z B |
n |
в идеальном |
слу |
|||
чае равно |
нулю, |
в ы р а ж е н и е |
(2.73) |
преобразуем |
к |
виду |
||
|
г , - ( 1 |
+ « [ | + ( | |
+ |
|
^ ) ' + |
|
|
|
|
+ ( « |
£ . _ ! ) • + |
4 ( * : • |
+ |
£ ) ] . |
(2.74) |
Это в ы р а ж е н и е позволяет рассчитать частотную харак
теристику |
ключа |
|
в открытом |
состоянии, |
определить |
||||||||
резонансную частоту и потери на |
пропускание. |
|
|||||||||||
|
П о л о ж и м |
г = |
0. |
Р а б о ч е е |
затухание имеет |
три экстре |
|||||||
мума на |
частотах |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
ш1 = |
0, |
|
ш2 = |
у ( 2 Р 2 С — |
|
L)/p2LC2, |
|
|
||
|
|
|
ш3 |
= |
V(2Р2С |
- |
Z)/3p 2 ZC 2 . |
|
|
||||
Д в а из них |
имеют |
минимальное значение и один — мак |
|||||||||||
симальное: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
•ро |
|
• j ^ j - (L — 2 p 2 C ) 2 > 0 |
—минимум, |
|
|||||||
|
|
|
|
|
9 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
da* |
|
|
|
(L |
— 2p2 C)2 > |
0 |
— минимум, |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
da1 |
|
= - f - p3 |
(L — 2 P 2 C ) 2 |
< |
0 — максимум. |
|
||||||
|
|
|
|
|
|||||||||
|
Теоретическая зависимость рабочего затухания от |
||||||||||||
частоты показана на рис. 2.32, |
а. |
Экстремум |
на частоте |
||||||||||
coi |
не представляет |
интереса. |
И з |
оставшихся |
двух |
час |
|||||||
тот |
значение затухания |
£6ро |
д л я нас |
представляет |
инте |
||||||||
рес |
на |
частоте |
« 2 . |
Без учета потерь (/- = 0) на этой |
|||||||||
частоте |
она |
имеет |
минимальное |
значение, равное |
еди- |
117
нице. С учетом сопротивления г в ы р а ж е н и е для потерь в открытом состоянии на резонансной частоте co2 запи сывается как
^ Р О = ( 1 + - ^ ) 2 . |
(2.75) |
^Pib /
Р и с . 2.32
где $^=УЫС — волновое сопротивление фильтра. Н а рис. 2.32, б приведены теоретическая и экспериментально-
снятые зависимости потерь |
на пропускание от |
частоты. |
В ключе д л я реализации |
закрытого состояния |
исполь |
зуется активная составляющая вносимого сопротивления на частоте ферромагнитного резонанса пленки, с о в п а д а ю щ е й с резонансной частотой фильтра . С учетом того,
что |
на частоте Ф М Р реактивная |
с о с т а в л я ю щ а я |
вноси |
мого |
сопротивления равна нулю, |
выражение д л я |
затуха - |
118
ния |
ключа (2.73) |
в закрытом |
состоянии |
можно |
записать |
||||
к а к |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
# , = |
( 1 + р ^ - ) 2 . |
|
(2.76) |
||||
К а к |
правило, |
величина |
сопротивления |
затухания г |
мно |
||||
го меньше величины вносимого сопротивления |
RBll, |
т. е. |
|||||||
выполняется |
условие г «С Rm, |
которое |
может |
быть |
ис |
||||
пользовано для упрощения в ы р а ж е н и я |
(2.76). |
|
|
||||||
И з выражений |
(2.75) |
и |
(2.76) видно, что |
волновое |
|||||
сопротивление фильтра |
р( |( |
о к а з ц в а е т существенное |
вли |
яние на величину затухания в открытом и закрытом со стояниях £б0 и : £ 3 соответственно. Н а рис. 2.33, а при-
Р и с . 2.33
ведены зависимости ослабления в открытом и закрытом состояниях от волнового сопротивления фильтра . При уменьшении р,|, ослабление в закрытом состоянии воз растает, но при этом одновременно .растет и 2£/0. Обычно необходимо получить максимальное затухание Л#э при минимальном ослаблении i60, поэтому рф необходимо выбирать минимально в о з м о ж н ы м по допустимому ££>0.
После |
этого можно определить требуемую |
величину /?в н |
по заданному £С3. |
|
|
Н а |
рис. 2.34 приведены теоретические |
и эксперимен |
тальные зависимости функции рабочего затухания от частоты дл я различных значений вносимого сопротив ления.
Вопрос влияния неоднородностей пленок на парамет ры ключа был исследован Злочевским Е. М. [22]. По -
119