Многокомпонентные наноструктурированные покрытия на основе нитридов

вольтных импульсов / В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань,

В.А. Столбовой // ФИП. 2007. Т. 5, № 1–2. С. 94–97.

171.Mayrhofer P.H., Mitterer C., Musil J. Structure property relationships in singleand dual-phase nanocrystalline hard coatings // Surface and Coatings Technology. 2003. Vol. 174–175. Р. 725–731.

172.Manory R.R., Kimmel G. X-ray characterization of TiNx films with CaF2-type structure // Thin Solid Films. 1987. Vol. 150. Р. 277–282.

173.Шулаев В.М. Новые результаты исследований причин прироста твердости в наноструктурных покрытиях нестехиометрического кубического нитрида титана // Вестник ХНАДУ. 2010. Вып. 51. С. 130– 134.

174.Musil J. Hard and superhard nanocomposite coatings // Surf. Coat. Technol, 2000. Vol. 125. Р. 322–330.

175.Mechanical properties of nano-structured Ti-Si-N films synthesized by cathodic arc evaporation / Yang Sheng-Min, Chang Yin-Yu, Wang Da-Yung, Lin Dong-Yih, Wu WeiTe // Journal of Alloys and Compaunds. 2007. Vol. 440. P. 375–379.

176.Вакуумно-дуговые наноструктурные TiN покрытия / А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, В.М. Шулаев // Вестник МГТУ «Станкин». 2010. № 3. С. 14–17.

177.PalDey S., Deevi S.C. Single layer and multilayer wear resistant coatings of (Ti,Al)N: a review // Materials Science and Engineering. 2003. Vol. A342. Р. 58–79.

178.Arc plasma deposition of TiN/ZrN and TiN/(Ti,Zr)N superlattice

hard coatings / M. Balaceanu, V. Braic, M. Braic, A. Manea, I. Tudor, A. Popescu, G. Pavelescu // Materials of 16th International sysposium on Plasma Chemistry. Taormina, Italy, June 22–27 2003.

179.Pproperties of titanium based hard coatings deposited by the cathodic arc method. Microchemical and microstructural characteristics / M. Balaceanu, M. Braic, D. Macovei, M. Genet, A. Manea, D. Pantelica, V. Braic, F. Negoita // Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. 2002. № 4. Р. 107–114.

180.Табаков В.П., Чихранов А.В. Определение механических характеристик износостойких ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана // Изв. Самар. науч. центра Рос. академии наук. 2010.

Т. 12, № 4. С. 292–297.

151

181.Табаков В.П. Многоэлементные нитридные покрытия режущего инструмента [Электронный ресурс]. URL: http://www.nbuv.gov.ua/ portal/natural/Rits/ 2008_75/articles/51.htm.

182.Табаков В.П., Чихранов А.В. Износостойкие покрытия режущего инструмента, работающего в условиях непрерывного резания / Ульян. гос. техн. ун-т. Ульяновск, 2007. 255 с.

183.Табаков В.П., Езерский В.И. Повышение работоспособности режущего инструмента путем направленного изменения состава износостойкого покрытия // Вестник машиностроения. 1989. № 12.

С. 43–46.

184.Табаков В.П., Рандин A.B. Влияние конструкции ионноплазменных покрытий на величину остаточных напряжений и проч-

ность сцепления с инструментальной основой // Фундаментальные и прикладные проблемы технологии машиностроения: материалы междунар. науч.-техн. интернет-конф. Орел, 2002. С. 192–195.

185.Dobrzański L.A., Staszuk M., Pawlyta M., Kwaśny W., Pancielejko M. Characteristics of Ti(C,N) and (Ti,Zr)N gradient PVD coatings deposited ontosinter // Journal of Achievements in Materials and Manufacturing Engineering. 2008. Vol. 31, № 2. Р. 629–634.

186.Эйзнер А.Б. Трибологические свойства вакуумно-плазменных покрытий (Ti,Zr)N, осажденных при различных значениях опорного напряжения [Электронный ресурс]. URL: http://rudocs.exdat.com/docs/ index-47361.html.

187.Циркин А.В. Новое износостойкое многослойное покрытие как способ многократного повышения стойкости торцовых фрез

[Электронный ресурс]. URL: http://www.sciteclibrary. ru/rus/catalog/ pages/6069.html.

188.Thermal treatment effects on microstructure and mechanical properties of TiAlN thin films / A.E. Santana, A. Karimi, V.H. Derflinger, A. Schuёtze // Tribology Letters. 2004. Vol. 17, № 4. Р. 689–695.

189.Трибомеханические свойства и структура нанокомпозитных

покрытий Ti1–xAlxN / В.П. Сергеев, М.В. Федорищева, А.В. Воронов, О.В. Сергеев, В.П. Яновский , С.Г. Псахье // Известия ТПУ. 2006.

Т. 309, № 2. С. 149–153.

190. Musil J., Hrubý H. Superhard nanocomposite Ti1−xAlxN films prepared by magnetron sputtering // Thin Solid Films. 2000. Vol. 365, № 1. Р. 104–109.

152

191.Musil J., Vcek J. Магнетронное осаждение твердых наноком-

позитных покрытий и их свойства // Surface and Coatings Technology. 2001. Vol. 142–144. Р. 557–566.

192.Influence of bilayer period and thickness ratio on the mechanical and tribological properties of CrSiN/TiAlN multilayer coatings / Meng-Ko Wu, Jyh-Wei Lee, Yu-Chen Chan, Hsien-Wei Chen, Jenq-Gong Duh // Surface and Coatings Technology. 2011. Vol. 206, № 7. Р. 1886–1892.

193.Structural and mechanical properties of titanium–aluminium– nitride films deposited by reactive close-field unbalanced magnetron sputtering / P.W. Shum, K.Y. Li, Z.F. Zhou, Y.G. Shen // Surface and Coatings Technology. 2004. Vol. 185, № 2–3. Р. 245–253.

194.Mechanical properties and machining performance of Ti1–xAlxN- coated cutting tools / A. Hörling, L. Hultman, M. Oden, J. Sjölen, L. Karlsson // Surface Coatings Technology. 2005. Vol. 191. Р. 384–392.

195.Structure and properties of Ti-Al-Y-N coatings deposited from filtered vacuum-arc plasma / V.A. Belous, V.V. Vasyliev, V.S. Goltvyanytsya, S.K. Goltvyanytsya, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel'nitskij, G.N. Tolmacheva, O. Danylina // Surface and Coatings Technology. 2011. Vol. 206. Р. 1720–1726.

196.Structure, mechanical and tribological properties of sputtered

Ti1–xAlxN coatings with 0,5 ≤ x ≤ 0,75 / K. Kutschej, P.H. Mayrhofer, M. Kathrein, P. Polcik, R. Tessadri, C. Mitterer // Surface and Coatings Technology. 2005. Vol. 200, № 7. P. 2358–2365.

197.Локтев Д., Ямашкин Е. Основные виды износостойких покрытий // Наноиндустрия. 2007. № 5. С. 24–30.

198.Береснев В.М. Влияние многокомпонентных и многослойных покрытий на процессы трения и износа // ФИП. 2004. Т. 2, № 4. С. 214– 219.

199.Applied tool coating technology. URL: www.star-su.com.

200.PLATIT. URL: http://www.technopolice.ru/index.php/platit.html

201.Chu K., Shum P.W., Shen Y.G. Substrate bias effects on mechanical and tribological properties of substitutional solid solution (Ti, Al)N films prepared by reactive magnetron sputtering // Materials Science and Engineering: B. 2006. Vol. 131, № 1–3. Р. 62–71.

202.Influence of substrate roughness on structure and mechanical property of TiAlN coating fabricated by cathodic arc evaporation / Ruoxuan Huanga, Zheng-bing Qib, Peng Sunb, Zhou-cheng Wangb, Chong-hu

153

Wuc // The Fourth International Conference on Surface and Interface Science and Engineering. 2011. Vol. 160–167. Р. 1875–1892.

203.Plasma Immersion Ion Charge State and Mass Spectrometer / A.I. Ryabchikov, I.A. Ryabchikov, I.B. Stepanov, D.O. Sivin, S.E. Eremin // Изв. вузов. Физика. 2006. № 8. С. 530–533.

204.Исследование фрикционных свойств композиционных покрытий, полученных вакуумно-дуговым методом / В.М. Береснев, А.И. Федоренко, В.И. Гриценко, Д.Л. Перлов // ФИП. 2003. Т. 1, № 2. С. 180– 183.

205.Новые материалы / В.Н. Анциферов, Ф.Ф. Бездудный, Л.Н. Белянчиков, С.Я. Бецофен, Г.Г. Бондаренко [и др.]. М.: Изд-во МИСИС, 2002. 736 с.

206.Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Покрытия алмаза и алмазоподобных материалов: формирование, строение и применение в электронике // Высокие технологии в промышленности России (материалы

иустройства электронной техники): моногр. сб. М.: Изд-во ЦНИТИ

«Техномаш», 2003. С. 19−110.

207.Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Изучение процессов формирования покрытий на основе Ti-Al-N в неравновесных условиях электродугового испарения // Высокие технологии в промышленности России: материалы XIV междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ

«Техномаш», 2008. С. 430–438.

208.Марков В.Ф., Маскаева Л.Н. Определение периода кристаллической решетки и состава химически осажденных покрытий твердых растворов замещения: учеб. электрон. текст. изд. / под ред. Ю.Н. Макурина. Екатеринбург: Изд-во УГТУ−УПИ, 2005. 20 с.

209.Phase stability and alloy-related trends in Ti-Al-N, Zr-Al-N and Hf-Al-N systems from first principles / D. Holec, R. Rachbauer, L. Chen, L. Wang, D. Luef, P.H. Mayrhofer // Surface Coatings Technology. 2011. Vol. 206. Р. 1698–1704.

210.Decomposition kinetics in Ti1–xAlxN coatings as studied by in-situ X-ray diffraction during annealing / Ch. Wüstefeld, D. Rafaja, M. Dopita, M. Motylenko, C. Baehtz, C. Michotte, M. Kathrein // Surface Coatings Technology. 2011. Vol. 206. Р. 1727–1734.

211.Straumanis M.E., Faunce C.A., James W.J. The defect structure and bonding of zirconium nitride containing excess nitrogen // Inorg. Chem. 1966. Vol. 5, № 11. p. 2027–2030.

154

212.Лоладзе Т.Н. Прочность и износостойкость режущего инструмента. М.: Машиностроение, 1982. 320 с.

213.Андриевский Р.А. Синтез и свойства фаз внедрения // Успехи химии. 1997. № 66 (1). С. 57–76.

214.Höglund C. Growth and Phase Stability Studies of Epitaxial Sc-Al-N and Ti-Al-N Thin Films: Dissertation. Linköping University, Sweden, 2010. 118 p.

215.Procopio A.T., El-Raghy T. and Barsoum M.W. Synthesis of

Ti4AlN3 and Phase Equilibria in the Ti-Al-N System // Met. Mater. Trans. 2000. Vol. 31A. Р. 373–378.

216.Каменева А.Л., Караваев Д.М. Улучшение трибологических характеристик покрытий на основе ZrN путем оптимизации технологических условий процесса магнетронного распыления // Освоение минеральных ресурсов Севера: проблемы и решения: сб. тр. 9-й междунар. науч.-практ. конф. / Филиал СПГГИ (ТУ) «Воркутинский горный институт». Воркута, 2011. С. 289–293.

217.Baptista A.P.M. Friction and wear of TiN coatings contribution of CETRIB / INEGI to the TWA 1-1993 VAMAS round-robin // Wear. 1996. Vol. 192. Р. 237–240.

218.Петржик М.И., Штанский Д.В., Левашов Е.А. Современные методы оценки механических и трибологических свойств функциональных поверхностей // Высокие технологии в промышленности России: материалы X междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ

«Техномаш», 2004. С. 311–318.

219.Milošev I., Strehblow H.-H., Navinšek B. Oxidation of ternary TiZrN hard coatings studied by XPS // Surface and Interface Analysis. 1998. Vol. 26, № 4. Р. 242–248.

220.Каменева А.Л. Износостойкое и коррозионностойкое покрытие на основе TiC-(Ti,Zr)N- TiC для повышения стойкости режущего инструмента в горнодобывающей промышленности // Народное хозяйство Республики Коми: науч.-техн. журн. / Воркут. горн. ин-т. Воркута, 2011. Т. 20, № 1. С. 93–97.

221.Каменева А.Л. Установление корреляционной связи процесса формирования покрытий на основе Ti-Al-N методом электродугового испарения с процессами, протекающими на поверхности испаряемых катодов // Вестник МГТУ им. Г.И. Носова. Магнитогорск, 2010. № 3.

С. 42–44.

155

222.Каменева А.Л. Установление корреляционной связи процесса формирования покрытий на основе Ti-Al-N методом электродугового испарения и процессами, протекающими на поверхности испаряемых катодов Ti-Al-N // Вестник ПГТУ. Машиностроение, материаловеде-

ние. 2010. Т. 12, № 4. С. 138–145.

223.Белянин А.Ф., Каменева А.Л., Самойлович М.И. Изучение рельефа областей распыления мишеней из экзотермической смеси Ti-B-Si и сплава системы Ti-B-Si, развивающегося в условиях ограниченного охлаждения под воздействием ионов в процессе формирования тонких покрытий методом магнетронного распыления // Молодежная наука Верхнекамья: материалы четвертой регион. конф. / Березн. фил. ПГТУ. Березники, 2007. С. 140–152.

224.Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Изучение морфологических особенностей рельефа на поверхности титановой мишени при бомбардировке ионами // От наноструктур, наноматериалов и нанотехнологий

кнаноиндустрии: тез. докл. всерос. конф. с междунар. интернетучастием. Ижевск, 2007. С. 15.

225.Каменева А.Л. Изучение свойств наноразмерных покрытий, наследуемых в процессе формирования // Конструкции из композиционных материалов. 2006. № 4. С. 231–234.

226.Каменева А.Л., Гусельникова Л.Н., Сошина Т.О. Изучение стадий формирования поликристаллических покрытий нитрида титана методом электродугового испарения в зависимости от концентрации азота в газовой смеси // Нанотехнологии функциональных материалов (НФМ'10): материалы междунар. науч.-техн. конф. СПб.: Изд-во Поли-

техн. ун-та, 2010. С. 409–411.

227.Каменева А.Л., Сошина Т.О., Гусельникова Л.Н. Установление зависимости стадий формирования поликристаллических покрытий нитрида титана методом электродугового испарения от напряжения смещения на подложке // Нанотехнологии функциональных материалов (НФМ'10): материалы междунар. науч.-техн. конф. СПб.: Издво Политехн. ун-та, 2010. С. 86–88.

228.Каменева А.Л., Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Изучение морфологических особенностей формирования покрытий на основе ZrN, Ti-Zr-N и Ti-B-Si-N, осажденных методами вакуумного испарения и магнетронного распыления // Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов. Функциональные покрытия для

156

повышения качества поверхностей изделий машиностроения: сб. докл. 7-й междунар. конф. Харьков, 2006. C. 47–58.

229.Каменева А.Л., Сошина Т.О. Низкотемпературные способы осаждения ионно-плазменных покрытий // Высокие технологии в промышленности России: материалы XVII междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2011. С. 241–246.

230.Каменева А.Л., Сушенцов Н.И., Клочков А.Ю. Установление зависимости морфологии, свойств, теплового и напряженного состояния покрытий от технологических параметров магнетронного распыления // Технология металлов. 2010. № 11. С. 38–42.

231.Каменева А.Л., Сушенцов Н.И., Клочков А.Ю. Установление зависимости морфологии, свойств, теплового и напряженного состояния покрытий от технологических параметров электродугового испарения // Технология металлов. 2010. № 10. С. 41–47.

232.Каменева А.Л. Изучение влияния технологических условий формирования покрытий методом магнетронного распыления на их реальную структуру // Высокие технологии в промышленности России: материалы XV междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Тех-

номаш», 2009. С. 500–515.

233.Получение и изучение механизма роста ионно-плазменных наноструктурированных покрытий на основе ZrN / В.Н. Анциферов, А.Л. Каменева, А.А. Сметкин, М.Ф. Торсунов // Нанотехнологии и наноматериалы Пермского края / Перм. ЦНТИ. Пермь, 2009. С. 11–20.

234.Каменева А.Л., Ханов А.М. Влияние технологических и конструктивных особенностей источника плазмы на процесс формирования и стадии роста плазменных покрытий // Технология ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки: материалы 8-й междунар. практ. конф.-выставки. СПб., 2006. С. 45–56.

235.Изучение условий формирования многослойных тонкопленочных покрытий на основе Ti-Zr-N / А.Л. Каменева, Д.Ю. Демин, П.С. Гриднев, Е.А. Чебукин, Е.М. Трофимов // Молодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион. конф. / Березн. фил. ПГТУ.

Березники, 2005. С. 64–67.

236.Изучение структуры наноразмерных покрытий на основе

Ti-Zr-N на всех стадиях процесса вакуумно-дугового осаждения / А.Л. Каменева, В.Н. Анциферов, С.М. Вдовин, Е.А. Шестаков, Е.М. Тро-

157

фимов // Пленки и покрытия – 2007: тр. 8-й междунар. конф. СПб., 2007. C. 154–156.

237.Изучение структуры ионно-плазменных наноструктурированных покрытий на всех стадиях процесса осаждения / В.Н. Анциферов, А.Л. Каменева, Н.В. Пименова, А.Ю. Клочков // Новые перспективные материалы и технологии их получения: сб. науч. тр. междунар. конф. Волгоград: Изд-во ВолгГТУ, 2007. С. 20–22.

238.Анциферов В.Н., Каменева А.Л., Пименова Н.В. Изучение структуры и формирования наноразмерных ионно-плазменных покрытий // Высокие технологии в промышленности России: материалы XIII междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2007. С. 328–335.

239.Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Экспериментальное исследование строения многокомпонентных наноразмерных покрытий, сформированных ионно-плазменными методами // Изв. вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. 2007. № 1. С. 53–61.

240.Каменева А.Л., Штейникова В.В. Изучение неравновесных метастабильных состояний покрытий на основе Ti-Al-N, формируемых

спомощью различных источников плазмы // Конструкции из композиционных материалов. 2009. № 4. С. 64–70.

241.Каменева А.Л. Установление условий формирования поликристаллических покрытий на основе Ti-Al-N // НАНО-2011: материалы 4-й всерос. конф. по наноматериалам / Ин-т металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова РАН. М., 2011. С. 339.

242.Каменева А.Л., Сушенцов Н.И., Трофимов Е.М. Изучение влияния технологических и температурных условий формирования покрытий на основе Ti-Al-N методом электродугового испарения на их структуру, свойства, механизм и стадии формирования // Вестник ПГТУ. Машиностроение, материаловедение. 2010. Т. 12, № 1. С. 63–75.

243.Исследование стадий роста многокомпонентных наноструктурированных покрытий на основе Ti-B-Si-N, формируемых методом магнетронного распыления / А.Л. Каменева, Е.М. Трофимов, Е.А. Шестаков, С.М. Вдовин // Материалы и технологии XXI века: материалы IV междунар. науч.-техн. конф. Пенза, 2006. C. 10–13.

244.Каменева А.Л. Влияние технологических и конструктивных особенностей источника плазмы на процесс формирования и стадии роста наноструктурированных покрытий на основе Ti-B-Si-N при маг-

158

нетронном распылении // Вестник ПГТУ. Механика и технология материалов и конструкций. 2006. № 9. С. 7–16.

245.Формирование многокомпонентных наноструктурированных покрытий методом магнетронного распыления / А.Л. Каменева, С.М. Вдовин, Е.А. Шестаков, Е.М. Трофимов // Современные технологии в машиностроении: материалы IX науч.-практ. конф. / Приволж.

дом знаний. Пенза, 2005. C. 54–56.

246.Изучение особенностей формирования многокомпонентных тонкопленочных покрытий на основе TiBSiN / А.Л. Каменева, А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, П.В. Пащенко, А.Л. Каменева, Е.М. Трофимов // Тонкие покрытия в электронике: материалы XVII междунар.

симп. МГТУ им. Н.Э. Баумана. М., 2005. C. 481–487.

247.Каменева А.Л. Особенности получения наноструктурированных покрытий методом магнетронного распыления // Пленки и покры-

тия – 2007: тр. 8-й Междунар. конф. СПб., 2007. С. 157–159.

248.Каменева А.Л., Сапегин Г.А. Особенности формирования наноструктурированных покрытий ионно-плазменными методами // Физикохимия ультрадисперсных (нано-) систем: материалы VIII Всерос. конф. Белгород: Изд-во МИФИ, 2008. С. 118–119.

249.Каменева А.Л., Александров Д.В. Исследование дефектности поверхности с помощью системы микроанализа «Видео-Тест-Мастер» // Проблемы и перспективы развития железнодорожного транспорта: материалы всерос. науч.-техн. конф. Екатеринбург, 2003. С. 150–154.

250.Использование компьютерной металлографии при исследовании структуры тонкопленочного покрытия / А.Л. Каменева, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, Д.В. Александров, А.Ф. Белянин // Высокие технологии в промышленности России и особенности преподавания в техническом вузе: материалы регион. науч.-практ. конф.

Березники, 2004. С. 117–119.

251.Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Структурообразование (наноструктурирование) покрытий ионно-плазменными методами (обзор) // Высокие технологии в промышленности России: материалы XIV междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2008.

С. 448–453.

252.Каменева А.Л. Изменение процесса структурообразования, фазового состава и механических свойств ионно-плазменных покрытий TiN под влиянием тока дуги // Конструкции из композиционных материалов. 2011. № 2. С. 60–70.

159

253.Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Изучение процесса структурообразования ионно-плазменных покрытий на основе тугоплавких соединений в зависимости от температурных условий формирования // Материаловедение тугоплавких соединений: тр. II междунар. Самсоновской конф. Киев, 2010. С. 133.

254.Каменева А.Л., Анциферов В.Н. Изучение особенностей строения пленочных покрытий, полученных в условиях ионноплазменных методов // Современные информационные и электронные технологии (СИЭТ–2007): тр. 8-й междунар. науч.-практ. конф. / Одес. нац. политехн. ун-т. Одесса, 2007. С. 382.

255. Каменева А.Л. Функциональные упрочняющие покрытия и проблемы наноструктурирования // Материалы, оборудование и технологии наноэлектроники и микрофотоники. Улан-Удэ: БНЦ СО РАН, 2003. С.223−356.

256.Antsiferov V.N., Kameneva A.L. Experimental study of the structure of multicomponent nanostructured coatings on the basis of Ti-Zr-N alloys formed by ionic plasma methods (статья) // Russian journal of Nonferrous metals. Vol. 48, no. 6. Р. Allerton press, Inc. 2007. P. 485–499.

257.Каменева А.Л. Закономерности структурообразования наноструктурированных покрытий на основе сложных нитридов, получаемых вакуумно-дуговым испарением // Конструкции из композиционных материалов. 2007. № 3. С. 49–57.

258.Каменева А.Л., Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Изучение процесса формирования наноструктурированных покрытий на основе

Ti-B-Si-N при магнетронном распылении // Высокие технологии

впромышленности России: материалы XII междунар. науч.-техн. конф.

М., 2006. C. 211–221.

259.Изучение закономерностей процессов структурообразования

внеравновесных металлических системах и покрытиях: отчет о НИР (заключ.) / Перм. гос. техн. ун-т; рук. Клейнер Л.М.; исполн. Каме-

нева А.Л., Язовских В.М. Пермь, 2006. 103 с. № ГР 01200606741. Инв. № 02200802473.

260.Изучение процессов наноструктурирования функциональных покрытий на основе Ti-B-Si-N и других сложных нитридов: информ. к НИР / Березн. фил. Перм. гос. техн. ун-та; рук. Каменева А.Л. Берез-

ники, 2005. 2 с. № ГР 01200503527.

261.Каменева А.Л., Каменева Д.В. Изучение процесса структурообразования ионно-плазменных покрытий в зависимости от темпера-

160