Многокомпонентные наноструктурированные покрытия на основе нитридов

68.Чихранов А.В. Повышение работоспособности режущего инструмента путем разработки и применения многоэлементных износостойких покрытий на основе модифицированного нитрида титана: дис. … канд. техн. наук / Ульян. гос. техн. ун-т. Ульяновск, 2006. 314 с.

69.Табаков В.П. Исследование износостойкости покрытий режущего инструмента, полученных с применением составных катодов //

СТИН. 1996. № 3. С. 14–17.

70.Агабеков Ю.В. Защитно-декоративные керамические покрытия на изделиях массового потребления – вакуумные технологии и оборудование с использованием несбалансированных магнетронов // Электровакуумная техника и технология: тр. пост. действ. науч.-техн. сем. (за 1999–2002 гг.). М., 2003. С. 24–31.

71.Кузьмичев А.И. Импульсные магнетронные распылительные системы // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий. Харьков, 2001. С. 221–245.

72.Строение и применение тонких покрытий AlN, полученных

73.Люминесценция покрытий AlN, активированных РЗЭ / А.Ф. Белянин, П.В. Зеленчук, В.К. Казарьян, О.Б. Пастощук, П.В. Пащенко // Техника средств связи. М.: ЭКОС, 1988. Вып. 1. С. 57−60.

74.CVD Diamond films on AlN/silicon substrates: growth, optical and photoelectrical properties / V.P. Varnin, I.G. Teremetskaya, A.V. Khomich,

V.I. Polyakov, P.I. Perov, N.M. Rossukanyi, A.I. Rukovishnikov, A.F. Belyanin // Diamond Films 95. The 6th European Conference on Diamond, Diamond-like and Related Materials. Barcelona. Spain, 1995. Abstr. Book. P. 8–124.

75.Auger electron spectroscopy/X-ray photoelectron spectroscopy study of Ti-B-N thin films / M.A. Baker, A. Steiner, J. Haupt [et al.] // J. Vac. Sci. Technol. A. 1995. Vol. 13, № 3. P. 1633–1638.

76.Раldеу S., Deevi S.C. Single layer and multilayer wear resistant coatings of (Ti,Al)N: a review // Materials Science and Engineering A. 2003. Vol. 342. P. 58–79.

77.Kameneva A.L. Model of Structural Zones of the TiN and TiAlN Coatings Formed by the Arc Evaporation of Metal in an Active Gas Medium // Russian Journal of Non_Ferrous Metals. 2013. Vol. 54, no. 6. Р. 541–547.

141

78.Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Изучение морфологических особенностей материалов катодов и мишеней в зависимости от их элементного состава, степени однородности температуры по сечению, способа изготовления, технологических особенностей и количества источников // Современные металлические материалы и технологии (СММТ’2013): тр. междунар. науч.- техн. конф., Санкт-Петербург, 25–29 июня 2013 г. / С.-Петерб. гос. политехн.

ун-т. СПб., 2013. С. 536–541.

79.Каменева А.Л. Влияние фазового и элементного состава

Ti1–хAlхN системы на ее трибологические свойства // Изв. Самар. науч.

центра РАН. 2013. Т. 15, № 4–1. С. 59–64.

80.Belyanin A.F., Semenov A.P., Spitsyn B.V. Device for growing and doping in the growth process of thin AlN films // Wide Band Gap Electronic Materials / eds. M.A. Prelas [et al.]. Netherlands. Kluwer Academic Publishers. NATO ASI Series. 3. High Technology. 1995. Vol. 1. Р. 297−303.

81.Семенов А.П. Техника распыления ионными пучками. УланУдэ: БНЦ СО РАН, 1996. 119 с.

82.Формирование структуры и свойств композиционных мишеней при безгазовом горении в системе Ti-Si-C. Структура и свойства магнетронных Ti-Si-C-N покрытий / А.Э. Григорян, P.Г. Рахбари, А.С. Рогачев, Е.А. Левашов, В.И. Пономарев, А.К. Шевейко, Д.В. Штанский, А.К. Иванов // Изв. вузов. Цветная металлургия. 2000. № 1. С. 55–69.

83.Левашов Е.А., Штанский Д.В. Перспективы создания композитных износостойких покрытий, осаждаемых с использованием СВСмишени // Cб. статей / Моск. ин-т стали и сплавов. М., 1997. С. 541–546.

84.Berg S., Katardjiev I.V. Preferential sputtering effects in thin film processing // Journal Vacuum Science & Technology A. 1999. Vol. 17,

№4. P. 1916–1925.

85.Формирование тонких покрытий магнетронным распылением металлических одно- и двухфазных мишеней / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, П.В. Пащенко, Н.Т. Ключник, Д.В. Александров, Н.В. Суетин, В.В. Дворкин, Н.Н. Дзбановский // Нанотехнологии и фотонные кристаллы: материалы 2-го межрегион. сем. / МГТУ им. Н.Э. Баумана.

М., 2004. С. 169–196.

86.Технология тонких покрытий / под ред. Л. Майссела и Р. Глэн-

га. М.: Советское радио, 1977. Т. 1. 662 с.; Т. 2. 768 с.

87.Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1986.

142

88.Белянин А.Ф., Самойлович М.И., Семенов А.П. Покрытия алмаза и алмазоподобных материалов: формирование, строение и применение в электронике // Материалы, оборудование и технологии наноэлектроники и микрофотоники. Улан-Удэ: БНЦ СО РАН, 2003. С. 77−180.

89.Алимов С.С. Динамика системы плазма–поверхность в разрядах магнетронного типа: дис. … канд. физ.-мат. наук / Харьк. нац. ун-т им. В.Н. Каразина. Харьков, 2003. 164 с.

90.Трехмерные образования на поверхности катода в плазме тлеющего и магнетронного разрядов / B.В. Бобков, С.С. Алимов, Ю.В. Слюсаренко, Р.И. Старовойтов // Изв. РАН. Сер. физическая. 2004. Т. 68, № 3. С. 332–335.

91.Морфологические особенности рельефа на поверхности мишеней при бомбардировке ионами / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Д.В. Александров, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев, А.Л. Каменева, А.Л. Талис // Тонкие покрытия в электронике: материалы XVI между-

нар. симп. М., 2004. С. 302–310.

92.Имшенник B.C., Боброва Н.А. Динамика столкновительной плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1997. 320 с.

93.К вопросу распыления оксида цинка ионным пучком / А.П. Семенов, А.Ф. Белянин, М.В. Мохосоев, Ю.Е. Манзанов, В.М. Халтанова // Поверхность. Физика, химия, механика. 1989. № 10. С. 78−80.

94.Wehner G.K. Cone formation as a result of whisker growth on ion bombarded metal surfaces // J. Vac. Sci. Technol. A. 1985. Vol. 3, № 4. P. 1821–1835.

95.Hauffe W. Development of the surface topography on polycrystalline metals by ion bombardment investigated by scanning electron microscopy // Phys. Stat. Sol.(a). 1971. Vol. 4. P. 111–120.

96.Эволюция конических новообразований на поверхности катода в тлеющем газовом разряде / С.С. Алимов, В.В. Бобков, Ю.В. Слюсаренко, Р.И. Старовойтов // Вестник Харьковского университета. Сер. физическая. Ядра, частицы, поля. 2000. Вып. 2, № 481. С. 71–78.

97.Эйзнер Б.А. Научные основы технологических процессов нанесения многокомпонентных покрытий различного функционального назначения вакуумным электродуговым методом: дис. … д-ра техн. наук / Белорус. гос. ун-т. Минск, 1993. 463 с.

98.Лейви А.Я. Моделирование динамики конденсированных сред, облучаемых мощными пучками заряженных частиц: дис. … канд. физ.- мат. наук / Ин-т электрофизики УрО РАН. Екатеринбург, 2008. 159 с.

143

99.Белянин А.Ф., Пащенко П.В., Ковальский К.А. Получение покрытий магнетронным распылением мишеней из эвтектического сплава Ag-Cu // Молекулярная биология, химия и физика неравновесных систем: материалы 6-й междунар. науч. конф. / Иван. гос. ун-т. Ивано-

во, 2002. С. 227−231.

100.Григорьев Ф.И. Осаждение тонких покрытий из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники: учеб. пособие / Моск. гос. ин-т электроники и математики. М., 2006. 36 с.

101.Richtmyer R.D. Taylor instability in shock acceleration of compressible fluids // Comm. Pure. Appl.Math. 1960. Vol. 13. P. 297–319.

102.Ройх И.Л., Колтунова Л.Н., Федосов С.Н. Нанесение защитных покрытий в вакууме. М.: Машиностроение, 1976. 368 с.

103.Хирс Д., Паунд Г. Испарение и конденсация. М.: Металлур-

гия, 1966. 195 с.

104.Bias voltage and incidence angle effects on the structure and properties of vacuum arc deposited TiN coatings / V.N. Zhitomirsky, I. Grimberg, L. Rapoport, R.L. Boxman, N.A. Travitzky, S. Goldsmith, B.Z. Weiss // J. Surf. Coat. Technol. 2000. Vol. 133–134. Р. 114–120.

105.Combined Vacuum-Arc Deposition of Protective Coatings on Basis of Transition Metals Nitrides Solid Solution / V.V. Uglov, A.K. Kuleshov, V.M. Anishchik, V.V. Khodasevich, M.M. Danilionok, S.V. Zlotski. URL: http://conferences-2008.hcei. tsc.ru/cat/proc_2008/cmm/491-494.pdf.

106.Богданович В.И., Барвинок В.А. Системный анализ технологических методов обработки: учеб. пособие / Куйб. авиац. ин-т. Куй-

бышев, 1989. 68 с.

107.Клебанов Ю.Д., Мусатов В.Н., Сумароков В.Н. О предельной температуре подложки при нанесении покрытий испарением и конденсацией в вакууме // Физико-химическая обработка материалов. 1980.

№ 3. С. 60–63.

108.Бобров Г.В., Ильин А.А. Нанесение неорганических покрытий (теория, технология, оборудование). М.: Интермет Инжиниринг, 2004. 624 с.

109.Анищенко Л.М., Лавренюк С.Ю. Тепловые режимы подложек при нанесении пленочных покрытий // Физика и химия обработки ма-

териалов. 1981. № 2. C. 21–25.

110.Марков А.А., Внуков Ю.Н. К вопросу об оптимизации технологического процесса напыления на установках типа «БУЛАТ» // Со-

144

вершенствование методов обработки в станкостроении: тез. докл. Всесоюз. науч.-техн. конф. / НИИМАШ. М., 1983. С. 107–109.

111.Мрочек Ж.А., Вершина А.К., Латушкина С.Д. Влияние технологических параметров процесса осаждения TiN-покрытий на их защитные свойства // Технология ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки: материалы 5-й междунар. практ. конф.-выставки.

СПб., 2003. С. 36–39.

112.Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. 2007. Т. 5,

№3–4. С. 203–206.

113.Закономерности формирования покрытий в вакууме / В.А. Барвинок, В.М. Богданович, Б.С. Митин, Г.В. Бобров // Физика и химия обработки материалов. 1985. № 5. С. 128–135.

114.Мизина В.В. Моделирование начальных стадий роста покрытий на подложках: дис. … канд. физ.-мат. наук / Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т. Ставрополь, 2006. 138 с.

115.Enhancement of mechanical properties of TiN/AIN multilayers by modifying the number and the quality of interfaces / A. Thobor, C. Rousselot, C. Clement, J. Takadoum, N. Martin, R. Sanjines, F. Levy // Surface and Coatings Technology. 2000. № 124. Р. 210–221.

116.Нанокомпозитные покрытия на основе нитридов переходных металлов / А.А. Дробышевская, Г.А. Сердюк, Е.В. Фурсова, В.М. Бе-

реснев // ФИП. 2008. Т. 6, № 1–2. С. 81–88.

117.Способ упрочнения инструмента и деталей: пат. 2019575 РФ: МПК C23C14/32 / Стрелюхин В.А., Базыма В.И., Абрагимович В.В.

Опубл. 15.09.1994.

118.Ройтбурд А.Л. Теория формирования гетерофазной структуры при фазовых превращениях в твердом состоянии // Успехи физических наук. 1974. Т. 113, вып. 1. С. 69–104.

119.Буравихин В.А., Попов В.П., Горохов В.И. О причинах изменения температуры покрытий в процессе конденсации их в вакууме //

Физико-химическая обработка материалов. 1970. Т. 29, вып. 6.

С. 1314–1316.

120. Хирс Дж. П., Хруска С. Дж., Паунд Г.М. Теория образования зародышей при осаждении на подложках // Монокристаллические покрытия / под ред. З.Г. Пинскера. М.: Мир, 1966. С. 15–43.

145

121.Ohring M. Materials Science of Thin Films: Deposition and Structure // The materials science of thin films. San Diego: Academic press. 1992. Р. 724.

122.Microstructural evolution during film growth / I. Petrov, P.B. Barna, L. Hultman, J.E. Greene // J. of Vacuum Science and Technology. 2003. Vol. A 21, № 5. Р. 117–128.

123.Barna P.B., Radnoczi G., Reicha F.M. Surface growth topography of grain boundaries in Al thin films // Vacuum. 1988. Vol. 38. P. 527–532.

124.Problems of structure evolution in polycrystalline films: correlation between grain morphology and texture formation mechanisms / M. Adamik, P.B. Barna, L. Tomov, D. Biro // Pkys. Stat. Sol. (a). 1994. Vol. 145. P. 275.

125.Barna P.B., Adamik M. Formation and characterisation of the structure of surface coatings in protective coatings and thin films: synthesis, characterisation and applications // Kluwer Academic Publisher. 1997. Vol. 21. Р. 279–297.

126.Смоланов Н.А., Панькин Н.А. Влияние ионно-плазменной обработки на механические свойства изделий для производства кабеля // Вестник СГТУ. Физико-математические науки. 2004. № 27. С. 175–178.

127.Особенности формирования наноструктурированных покрытий иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Н.Н. Дзбановский, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Высокие технологии в промышленности России: материалы XIII междунар. науч.- техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2007. С. 22–35.

128.Григорьев Ф.И. Осаждение тонких покрытий из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники: учеб. пособие / Моск. гос. ин-т электроники и математики. М., 2006. 36 с.

129.Панькин Н.А. Влияние условий конденсации ионноплазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана: дис. … канд. физ.-мат. наук / Морд. гос. ун-т им. Н.П. Огарева. Са-

ранск, 2008. 118 с.

130.Сильнотекстурированные покрытия A1N, выращенные методом высокочастотного магнетронного распыления / А.Ф. Белянин, H.A. Бульенков, Г.И. Корсун, А.А. Тер-Маркарян // Техника средств связи. М.: ЭКОС, 1987. Вып. 1. С. 35–44.

131.Колесник Л.Л. Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на

146

поверхностях большого размера: дис. … канд. техн. наук / МГТУ им. Н.Э. Баумана. М., 2009. 143 с.

132.Flink A. Growth and Characterization of Ti-Si-N Thin Films: PhD thesis. Linköping, Sweden: Linköping University, 2008. 70 p.

133.Формирование нанокристаллических Ti-Cu-N-покрытий в плазме дуговых разрядов низкого давления / И.М. Гончаренко, Ю.Ф. Иванов, Ф.А. Колубаева [и др.]. // Вакуумные нанотехнологии и оборудование: сб. докл. VII междунар. конф. / ННЦ ХФТИ. Харьков: Контраст, 2006. С. 221–225.

134.Kaelson L., Haltman L., Sundgren J.E. Influence of residual

stresses on mechanical properties TiCxNi1–x // Thin Solid Films. 2000. Vol. 371, № 1–2. Р. 167–177.

135.Упрочнение твердосплавных пластин под воздействием ионов средних энергий / В.Н. Аникин, И.В. Блинков, Р.В. Кратохвил, Н.Г. Левкович, В.Ф. Пацюра // Технология ремонта, восстановления и упрочне-

ния деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки: материалы 5-й междунар. практ. конф.-

выставки. СПб., 2003. С. 334–340.

136. О выборе оптимальных режимов нанесения покрытий с помощью электродинамического квазистационарного ускорителя плазмы / В.Н. Аникеев, А.М. Дороднов, А.Б. Ивашкин [и др.] // Физика

ихимия обработки материалов. 1982. № 4. С. 56–60.

137.Microstructural design of hard coatings / P.H. Mayrhofer, C. Mitterer, L. Hultman, H. Clemens // Progress in Materials Science, 2006. Vol. 51. Р. 1032–1114.

138.Тополянский П.А. Электроплазменные процессы нанесения упрочняющих покрытий на режущий инструмент и технологическую оснастку // Технология ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки: материалы 8-й междунар. практ. конф.-выставки. СПб., 2006.

С. 92–111.

139.Kadlec S., Musil J., Vyskoĉil J. Growth and properties of hard coating prepared by physical vapor deposition methods // Surface and Coatings Technology. 1992. № 54/55. Р. 287–296.

140.Thompson C.V. Structure evolution during processing of polycrystalline films // Annu. Rev. Mater. Sci. 2000. Vol. 30. Р. 159–190.

147

141.Наноматериалы, нанопокрытия, нанотехнологии / Н.А. Азаренков, В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, Л.В. Маликов, П.В. Турбин; Харьк. нац. ун-т им. В.Н. Каразина. Харьков, 2009. 209 с.

142.Synthesis of diamond by use of microwave plasma chemicalvapor deposition; morphology and growth of diamond films / K. Kobashi, K. Nishimura, Y. Kawate, T. Horiuchi // Phys. Rev. 1988. Vol. 38. Р. 4067– 4084.

143.Установка для получения тонких покрытий методом ионноплазменного распыления: пат. 2046840 РФ: МПК C23C14/32, C23C14/00 / Бочкарев В.Ф., Горячев А.А., Наумов В.В. Опубл. 27.10.1995.

144.Способ нанесения сложнолегированного покрытия на изделия ионно-плазменным методом в реактивной среде: пат. 2022058 РФ:

МПК C23C14/32 / Григорьев С.Н., Волин Э.М. Опубл. 30.10.1994.

145. Многослойное композиционное покрытие на режущий и штамповый инструмент: пат. № 2096518 РФ: МПК С23С14/32 / Верещака А.С., Болотников Г.В., Кириллов А.К., Волин Э.М., Куванов М.К.

Опубл. 20.11.1997.

146.Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2253694 РФ: МПК C23C14/06, C23C14/32 / Таба-

ков В.П., Циркин А.В., Чихранов А.В. Опубл. 10.06.2005.

147.Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2260633 РФ: МПК C23C14/06, C23C30/00, B23B27/14 / Табаков В.П., Циркин А.В., Чихранов А.В. Опубл. 20.09.2005.

148.Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента: пат. 2266350 РФ: МПК C23C14/06, C23C14/24 / Табаков В.П., Циркин А.В. Опубл. 20.12.2005.

149.Способ повышения стойкости режущего инструмента: пат. 2219281 РФ: МПК C23C14/00, C23C14/06 / Табаков В.П., Ширма-

нов Н.А., Смирнов М.Ю., Циркин А.В. Опубл. 20.12.2003.

150.Способ повышения стойкости режущего инструмента: пат. 2266974 РФ: МПК C23C14/06, C23C14/24 / Табаков В.П., Циркин А.В. Опубл. 27.12.2003.

151.Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2266975 РФ: МПК C23C14/06, C23C14/48 / Таба-

ков В.П., Ширманов Н.А., Циркин А.В., Чихранов А.В., Порохин С.С.

Опубл. 27.12.2005.

148

152.Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2253693 РФ: МПК C23C14/06, C23C14/32 / Таба-

ков В.П., Циркин А.В., Чихранов А.В. Опубл. 10.06.2005.

153.Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2253694 РФ: МПК C23C14/06, C23C14/32 / Таба-

ков В.П., Циркин А.В., Чихранов А.В. Опубл. 10.06.2005.

154.Разработка технологического процесса нанесения покрытия TiN на осевой инструмент из быстрорежущей стали: отчет о НИР / Ульян. гос. техн. ун-т; рук. В.П. Табаков. Ульяновск, 1986. № ГР 0184 0058717. 113 с.

155.Покрытия ALN, ZrN, TiZrN: технологические особенности формирования / А.Л. Каменева, Д.В. Александров, А.Ф. Белянин, В.Д. Житковский, М.И. Самойлович // Нанотехнологии и фотонные кристаллы: материалы II межрег. сем. Калуга, 2004. С. 232–249.

156.Структурные и морфологические особенности упрочняющих покрытий, получаемых методами магнетронного распыления и вакуумного испарения / А.Л. Каменева, Д.В. Александров, А.Ф. Белянин, В.Д. Житковский, М.И. Самойлович // Нанотехнологии и фотонные кристаллы: материалы II межрег. сем. Калуга, 2004. С. 126–168.

157. Использование термозащитных покрытий на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Д.В. Александров, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Тонкие покрытия в электронике: материалы XVI междунар. симп. М., 2004. С. 348–354.

158.Покрытия AlN как защитное покрытие измерительных датчиков / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Д.В. Александров, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Тонкие покрытия в электронике: материалы

XVI междунар. симп. М., 2004. С. 357–359.

159.Многослойные защитные покрытия термопечатающих матриц на основе AlN / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Д.В. Александров, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы междунар. науч.-практ.

конф. INTERMATIC–2004 / МГИРЭА (ТУ). М., 2004. С. 31–34.

160.Пленочные покрытия на основе AlN для измерительных датчиков / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Д.В. Александров, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы междунар. науч.-практ. конф. INTERMATIC−2004 / МГИРЭА (ТУ). М., 2004. С. 35–37.

149

161.Панфилов Ю.В. Электронные технологии и вакуумное технологическое оборудование – основа нанотехнологии // Высокие технологии в промышленности России: матералы XI междунар. науч.-техн.

конф. М., 2003. C. 124−130.

162.Каменева А.Л., Сушенцов Н.И., Клочков А.Ю. Модернизация

иавтоматизация промышленного вакуумного оборудования для получения многофункциональных покрытий // Технология металлов. 2010.

№ 9. С. 39–43.

163.Corrosion resistance of the biocompatible nitride and carbide thin films / C.M. Cotrut, A. Vladescu, I. Antoniac, A. Kiss, R. Zamfir, C.N. Zoita, M. Braic, V. Braic // European Cells and Materials, 2007. Vol. 13. Suppl. 3. Р. 1473–2262. http://www.ecmjournal.org/journal/supplements/ vol013supp03/pdf/vol013supp03a34.

164.Каменева А.Л., Клочков А.Ю. Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных покрытий с заданными свойствами: моногр. Пермь: Изд-во Перм. гос. техн. ун-та, 2010. 81 с.

165.Методики изучения трибологических характеристик покрытий / А.Л. Каменева, Д.М. Караваев, А.В. Пепелышев, Н.В. Пименова //

Технология металлов. 2012. № 2. С. 34–37; № 3. С. 48–52.

166.Разработка процессов получения наноструктурированных ионно-плазменных покрытий с заданными свойствами / А.М. Ханов, А.Л. Каменева, А.Ю. Клочков, Р.С. Новиков // Науч.-иссл. и опытноконстр. работы (НИОКР) / Перм. науч. центр Урал. отд-ния РАН, Администрация Перм. края, Совет ректоров вузов Перм. края. Пермь, 2010. [Перечень-вып. 7]. С. 34–35.

167.Разработка и оптимизация технологий получения упрочняющих и защитных покрытий: отчет о НИОКР: в 4 ч. / М-во пром. и природ. ресурсов Перм. края; Перм. гос. техн. ун-т; рук. Анциферов В.Н.; исполн. 1-й части: Ханов А.М., Каменева А.Л., Сушенцов Н.И.; исполн. 2, 3, 4-й частей: Ханов А.М., Каменева А.Л. Пермь, 2006.

168.Wen-Jun Chou. Processing and Properties of Metal Nitride Thin Films Deposited by PVD Methods: PhD thesis. The Republic of China: National Tsing Hua University, 1992. 177 с.

169.Dobrzañski L.A., Lukaszkowicz K. Mechanical properties of monolayer coatings deposited by PVD techniques // Materials Science and Engineering. 2007. Vol. 28. № 9. Р. 549–556.

170.Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоко-

150