Контактирующее устройство зондовых установок эм-6010:

1 - вилка, 2 - кабель, 3 - осветитель, 4, 15 - маркирующий и зондовый наконеч­ники, 5, 16 - коммутирующее и контактирующее устройства, 6, 7 - эксцентрики, 8 - винт, 9 - кольцо, 10 - стойка, 11 - манипулятор, 12 - экран, 13 - зонд-дат­чик, 14 - баллон

Контактирующее устройство служит для электрической связи контактных площадок структур полупроводнико­вой пластины с измерителем и состоит из кольца 9 с пазами для установ­ки манипуляторов 11 с зондовыми 15 и маркирующими 4 наконечниками, зондов-датчиков 13, осветителя 3 и устройств коммутации.

В установках ЭМ-6020 и ЭМ-6020-1 для защиты элементов контактирующего устройства от повышенной температуры служит экран, укрепленный к кольцу 9 через стойки 10, в котором имеется трубка {отверстиями для их обдува (охлаждения) сжатым газом. Все манипуляторы с зондовыми наконечниками являются унифицированными элементами контактирующего устройства и служат для создания электрического контакта с контактными площадками структур при усилии 0,07—0,01 Н. Электрическая емкость зондов относительно корпуса должна быть не более 3 пФ, а сопротивление изоляции - не менее 10¹¹ Ом.

В контактирующем устройстве предусмотрена индивидуальная настройка каждого зонда на контактные площадки структур, выполняемая по трем координатам: вдоль оси элемента контактирующего устройства — вращением эксцентрика 7; перпендикулярно оси в горизонтальной плоскости — вращением эксцентрика 6; по высоте — вин­том 8.

Зонды-датчики служат для определения краев (формы) полупро­водниковой пластины и предотвращают контактирование за ее предела­ми, а также обеспечивают одинаковые усилия контактирования на всех структурах полупроводниковых пластин. Установка рассчитана на рабо­ту не менее чем с двумя зондами-датчиками. Исполнение четырех зон­дов-датчиков расширяет возможности зондовых установок и позволяет контролировать полупроводниковые пластины любой формы. Наличие зондов-датчиков 13 предупреждает повреждение зондов 15, снижает их износ и исключает попадание маркировочной краски на поверхность предметного столика.

Зондовый маркирующий наконечник 4 служит для нанесения краски на бракованные структуры, устанавливается с помощью кронштейна на манипулятор и состоит из баллона для краски, корпуса, катушки и якоря со стержнем. При подаче импульса напряжения на катушку якорь втягивается в нее, выталкивает стержнем определенный объем краски на бракованную структуру и отходит в исходное положение.

Устройство визуального наблюдения (стереомикроскоп) предназначен для контроля точности совмещения контактных площадок структур микросхем с зондами установки. Механизмом подъема стереомикроскоп может перемещаться для получения необхо­димой резкости изображения контактируемой микросхемы и смещаться в сторону, когда необходимость в визуальном наблюдении не требуется. Установка ЭМ-6010-1 оснащена оптической головкой ОГ-1, которая вы­полняет те же функции, что и стереомикроскоп, и, кроме того, с ее по­мощью проецируют оптическую (тестовую) миру на плоскость контро­лируемой микросхемы.

Шкаф электрооборудования размещен на тележке, снабжен поворотным устройством и служит для электропитания уста­новки и управления координатным столом по сигналам, подаваемым из блока логики. Рассмотрим, как работает зондовая установка, пользуясь рисунком , на котором ее отдельные элементы для наглядности разнесены.