Установка резки алмазными кругами:

а — общий вид; б — каретка поперечной подачи; в — узел коррекции; г — столик для крепления пластины

Затем визирную линию оптического устройства совмещают с линией отрезки. В дальней­шем визирная линия служит базой при ориентации рабо­чих пластин. Рабочую пла­стину 23 (рисунок выше г) закреп­ляют совместно с металли­ческим кольцом 25 на адге­зионной пленке 24 и уста­навливают на вакуумном столике. При этом металли­ческое кольцо притягивается к постоянным магнитам 26, встроенным в основание столика, и пленка облегает конус столика. В результате алмазный круг при надре­зании пластин не касается пленки и кольца.

После установки глуби­ны реза и величины шага в автоматическом режиме производится резка пласти­ны в одном направлении. Затем стол с пластиной по­ворачивают на 90°, ориентируют пластину по визирной линии и производят резку в перпендикулярном направлении.

Узел крепления алмазного круга и подачи СОЖ в зону реза­ния показан на рисунке ниже, а. Через окно 5 в корпус 3 подается де-ионизованная вода. Она захватывается периферийной поверхно­стью оправки 2 с кругом 1 и разгоняется по подводному каналу 4. Поток воды постепенно обжимается спиральной поверхностью ка­нала, и скорость его возрастает. При выходе из окна 6 поток име­ет скорость, близкую к линейной скорости круга. В зоне карма­нов 7 происходит резкое снижение скорости и соответствующее повышение давления жидкости за счет сопротивления течению по­тока, создаваемого наружной поверхностью корпуса. В результа­те СОЖ глубоко проникает в зону резания, что позволяет увели­чить подачу до 170 ...320 мм/с при частоте вращения круга 5Х 10⁴ мин^-1 и глубине врезания 250 мкм.

Оправка для закрепления алмазного круга (рисунок ниже,б) содер­жит корпус 2, на который последовательно устанавливаются коль­цевая эластичная прокладка 3, алмазный отрезной круг 1, мем­брана 4 с периферийным утолщением, прижимной фланец 5 и гайка 6. Наружные диаметры опорного фланца и мембраны пред­варительно обрабатываются совместно в собранном состоянии.

Узел крепления алмазного круга:

а — схема подачи СОЖ б – оправка для закрепления алмазного круга

Оправка для закрепления алмазного круга:

1.алмазный круг

2. корпус

3. эластичная прокладка

4. мембрана с переферийным утолщением

5. прижимной фланец

6. гайка

Модель	Число оборотов шпинделя в минуту	Скорость рабочей подачи, мм/с	Скорость холостого хода, мм/с	Скорость подачи шпинделя, им/ с	Число режимов резания
ЭМ-215	45000	3…100	100	20	100
04ПП100	10000…90000	2,5…150	100	20	100
ЭМ-225	30000…60000	1…250	250	50	150

Поэтому при завинчивании гайки 6 они точно совпадают, обеспе­чивая жесткое закрепление круга 1. Эластичная прокладка 3 по­зволяет уменьшить передачу вибраций от шпинделя к отрезному кругу.

Применяемые в промышленности круги на основе синтетиче­ских алмазов изготавливаются методом порошковой металлургии с использованием прокатки. Их толщина составляет 36... 180 мкм, высота режущего лезвия 0,4 ...3 мм, стойкость—14*10³ операций. Круги, армированные бронзовой сеткой имеют среднюю стойкость 22*10³ операций на пластинах кремния диаметром 100 мм и тол­щиной до 0,5 мм.

В современных установках резки алмазными кругами исполь­зуются системы управления на базе микропроцессоров. Например, использование в установке ЭМ-225 микропроцессора К580ИК80 и микросхем серии К589 позволяет гибко управлять приводами, про­граммировать режимы резания, рассчитывать оптимальные вари­анты обхода контура круглых пластин различных диаметров, уменьшая холостые пробеги круга. Микропроцессор установки УРП-150 М, кроме того, обеспечивает автоматический вывод кру­га на рабочий режим, корректировку глубины резания по мере ра­диального износа алмазного круга.