2.7 Оборудование для контактной фотопечати
Установки бывают: контактной и проекционной фотопечати. Установки контактной фотопечати применяются в тех случаях, когда к разрешающей способности и качеству получаемых на пластинах рисунков предъявляют сравнительно низкие требования.
Существенный недостаток - быстрый износ фотошаблонов из-за контакта с п/п.
Чем сложнее структура м/с тем меньше дефектов должно быть на фотошаблоне, а также фотошаблоны из-за сложности рисунков быстрее выходят из строя и изготовление их довольно долгое. Установка ЭМ-576 служит как для контактной фотопечати (экспонирования), так и для фотопечати с зазором, может эксплуатироваться автономно или в линии фотолитографии и состоит из стола
Компоновочная схема эм-576
1 - кассета
2,9 - пневмолоток
3 - позиция предварительной ориентации
4 - планка
5,6 - ролик
7 - калибратор
8 - вакуумный подложкодержатель
10 - приёмная кассета
Блочная схема эм-576
1 - Узел автоматической загрузки-выгрузки
2 - Микроскоп совмещения
3 - Осветитель
4 - Пульт задачи цикла работы установки
5 - Блок электро-пневматики
6 - Манипулятор
7 – Стол
Механизм выравнивания поверхности подложки и фотошаблона
Трение лишь между сегментом и гнездом в виде полусферы исключает смещение подложки при переключении воздуха и вакуума - разворот незначительный с тремя самоустанавливающимися фиксирующимися опорами
Конструкция сложна и долго внедряется но обеспечивает надёжную фиксацию.
Для уменьшения износа фотошаблона выравнивание поверхности подложки ведут не по всей её поверхности, а лишь по периферийной части. Для этого между подложкой и фотошаблоном вводят калибратор.
После предварительной ориентации п/п перемещается с устройством ориентации до упора в калибратор. Поднятая полупроводниковая пластина удерживается на калибраторе вакуумом. Подвижная каретка позволяет калибратору перемещаться кривошипом и шатуном по направлению в зону совмещения. Положение каретки контролируется датчиком.
Механизм вертикального подъёма
Служит для подъёма или опускания стола с целью создания плотного контакта и заданного зазора с фотошаблоном. Основным элементом задающим зазор является кулачок, имеющий срез в виде горизонтальных площадок, образованных между п/п и ф/ш размеры зазора (от 6 до 50 мкм), каждое положение кулачка контролируется датчиками.
Манипулятор служит для точного перемещения по взаимно перпендикулярным осям X и У.
Шаблонодержатель предназначен для установки фотошаблона (закрепления), некоторого перемещения во взаимно перпендикулярных направлениях и поворота на угол +/-.
Блок экспонирования
В качестве источника осветителя используется ртутно-кварцевая лампа (ДРШ-350) излучение которой рефлектором направляется на зеркало и далее в блок линзовых растров.
1 - лампа
2 - рефлектор
3,5-зеркало
4 - линзовые растры
6 - фотоприёмник
7 - микроскоп
8 – конденсор
9- фотошаблон
10- пластина
Фотоприёмник служит для контроля дозы экспонирующего излучения.
Производительность установка ЭМ – 576 teкcn =5c=160 шт.
Ø 60, 75,100, h = от 0,4 +1,0 мм.
Неравномерность освещённости рабочего поля ф/ш Ø 0 75,100 5-7%.
Усилитель от 12В, лампа 11В, э/д ДПМ 24В, Ф/Д 5В,