- •Введение
- •Глава 1. ПРОВОДИМОСТЬ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
- •1.1. Проводимость беспримесных полупроводниковых кристаллов
- •1.2. Донорные и акцепторные примеси
- •1.3. Возбуждение и инжекция
- •Глава 2. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ р-п ДИОДЫ
- •2.1. Запорный слой р-п перехода
- •2.2. Вольтамперная характеристика
- •2.3. Барьерная емкость р-п перехода
- •2.5. Туннельный диод
- •Глава 3. БИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ
- •3.1. Принципы действия
- •3.2. Аналитический вывод вольтамперных характеристик
- •3.3. Вольтамперные характеристики.
- •3.4. Транзистор на высоких частотах
- •3.5. Дрейфовые, транзисторы
- •3.6. Конструкция и технология
- •Глава 4. КОНТАКТ МЕТАЛЛ-ПОЛУПРОВОДНИК И
- •ДИОДЫ ШОТТКИ
- •4.1. Образование контакта металл-полупроводник
- •4.2. Вольтамперная характеристика контакта
- •металл - полупроводник
- •4.2. Конструкция и высокочастотные свойства
- •4.3. Применения
- •Глава 5. ПОЛЕВЫЕ ПРИБОРЫ
- •5.1. Транзистор с управляющим р-п переходом
- •5.2. Вольтамперная характеристика
- •5.3. Параметры и эквивалентные схемы
- •5.4. Полевой транзистор с изолированный затвором (МОП - транзистор)
- •5.5. Энергетические диаграммы МОП-структуры
- •5.6. Вольтамперные характеристики МОП-транзисторов
- •СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
включении, обратном обычному. Отсюда произошло его название - обращенный диод. Сопротивление обратной ветви характеристики мало и диод обладает в этой области хорошими высокочастотными свойствами. Такой диод в устройствах хорошо согласуется с туннельными диодами, эффективен при детектировании малых высокочастотных колебаний.
Если концентрацию примесей сделать меньше, чем в обращенном диоде, то участок характеристики с туннельным механизмом переноса носителей тока отодвинется в область отрицательных смещений. Это туннельный пробой р-п диода, обсуждавшийся ранее.
Глава 3. БИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ
3.1. Принципы действия
Изучение основного полупроводникового прибора – биполярного транзистора – начнем на модели в виде монокристалла полупроводника, в которой введением примесей образована р-п-р или п-р-п структура (рис. 3.1). Будем считать, что примеси распределены в каждой области структуры равномерно.
Э |
|
|
К |
|
iЭ |
|
uКЭ |
iК |
К |
|
|
Э |
|
– |
+ |
||||
p |
n |
p |
|
|
|||||
|
|
|
|
||||||
|
+ |
|
|
|
+ |
|
|||
|
|
|
|
uЭ |
|
|
uК |
||
|
|
Б |
|
– |
|
iБ |
– |
||
|
|
|
|
|
|
|
Б |
|
|
Э |
|
|
К |
Э |
|
|
|
|
К |
p |
n |
p |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
Б
Б
Рис. 3.1. Структура биполярного транзистора (а) и его схемное обозначение с указанием положительных направлений токов и напряжений.
Вопросы технологии и технологические разновидности транзисторов будут рассмотрена позднее в связи с анализом и уточнением свойств приборов. Характерна для транзисторов всех типов малая ширина средней, базовой, области: от единиц микрон для высокочастотных до десятков микрон для низкочастотных высоковольтных транзисторов.
На рис. 3.2 изображена одномерная транзисторная р-п-р структура (рис. 3.2 а), распределение некомпенсированного заряда примесей (рис. 3.2 б) и поле в ней. Образуются два р-п перехода с потенциальными барьерами, препятствующими движению основных носителей. Высота потенциальных барьеров определяется в отсутствие внешних напряжений концентрацией примесей [см. (2.3)]. Концентрация примесей наибольшая в эмиттере транзистора. Поэтому контактная разность потенциалов больше на эмиттерном переходе, чем на коллекторном (u0Э > u0К).
а) |
|
p |
|
п |
|
p |
|
ρ(x)=e[ND(x)-NA(x)] |
|
|
|
|
|||
б) |
|
|
|
|
|
|
х |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
в) |
|
-eNAЭ |
|
|
в0 |
|
-eNAК |
|
|
|
в |
|
|||
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
E |
1 |
x dx |
|
|
|
|
|
|
|
Э |
|
х |
|||
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
К |
|
|
u Edx |
|
|
|
|
|||
г) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
u0Э |
|
|
|
u0К |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
uЭ |
|
|
|
х |
|
|
|
|
|
|
|
|
uК |
Рис. 3.2. Распределение зарядов и поле в р-п-р транзисторе
При нормальном включении транзистора на эмиттерный переход подается прямое смещение uЭ > 0, а на коллекторный обратное uК < 0. Это понижает потенциальный барьер эмиттерного перехода, что вызывает инжекцию дырок из эмиттера в базу. Высота потенциального барьера коллекторного перехода увеличена, что вызывает расширение коллекторного запорного слоя и соответственное уменьшение ширины базы с в0 до в .
Инжектированные дырки диффундируют через базу от эмиттера к коллектору и, достигая коллектора, подхватываются полем коллекторного перехода.
Распределение неосновных носителей в р-п-р структуре изображено на рис. 3.3. Поведение концентрации в области запорных слоев не детализировано.
Рисунок 3.3 соответствует небольшому прямому смещению на эмиттерном и обратному смещению на коллекторном переходах.
Ток через эмиттерный переход такой же, как в диоде с короткой слаболегированной (базовой) областью. В транзисторе ширина базы в много меньше диффузионной длины неосновных носителей, в данном случае дырок (в « Lp). Вследствие этого градиент концентрации инжектированных дырок обратнопропорционален ширине базы. Ток через эмиттерный переход равен сумме тока дырок и встречного тока электронов
iЭ ipn 0 inp 0 ipЭ inЭ |
(3.1) |
|
|
р |
п |
р |
|
|
|
рп(0) |
|
пЭ0 |
пЭ |
|
||
рп0 |
|
|||
|
|
|
пК0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 3.3. Распределение концентрации неосновных носителей в p-n-р структуре
В процессе диффузии через базу часть дырок рекомбинирует и число дырок, достигающих коллекторного запорного слоя уменьшается ( ipК < ipЭ). Если не учитывать возможное размножение носителей в коллекторном
запорном слое, то ток коллектора равен |
|
iК ipК inК ipК IК 0 |
(3.2) |
где ipК – ток электронов из р – коллектора в n - базу. Приближенно [–inК] равен току IК0 через коллекторный переход при разорванной цепи эмиттера.
Ток базы равен |
|
|
|
|
iБ iЭ |
iК inЭ |
ipЭ |
ip К |
IК 0 ; (3.3) |
|
|
|
|
|
ток [– inЭ] восполняет инжекцию электронов из базы в эмиттер, а ток [– ( ipЭ – ipК)] восполняет электроны, рекомбинирующие с диффундирующими от эмиттера к базе дырками.
Управляемая входным (базовым или эмиттерным) током составляющая выходного (коллекторного) тока является ipК. В связи с этим вводятся параметры эффективность эмиттера
|
|
|
|
|
ipЭ |
|
|
|
ipЭ |
|
|
|
(3.4) |
||||||
|
|
i |
pЭ |
i |
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
i |
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
nЭ |
|
|
|
|
|
Э |
|
|
|
|||
и коэффициент переноса |
|
|
|
|
ipК |
|
|
(3.5) |
|||||||||||
T |
ipЭ |
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Коэффициент усиления (передачи) по току по определению равен |
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
ipК |
|
i |
|
I |
К 0 |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
К |
|
|
|
(3.6) |
|||||||||
|
T |
|
ipЭ |
|
|
|
iЭ |
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
или |
Т |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(3.7) |
|||||||
Если учесть |
лавинное |
|
|
|
|
размножение носителей в поле коллекторного |
|||||||||||||
перехода, то |
М |
|
|
(М – коэффициент лавинного размножения). В |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
Т |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
соответствии с (3.6) |
|
|
iК iЭ IК 0 |
|
|||||||||||||||
Ток эмиттера сильно зависит |
от изменений прямого смещения. Ток |
||||||||||||||||||
же коллектора почти не зависит от изменений большого обратного смещения на коллекторном переходе. Транзистор преобразует ток в малом входном
сопротивлении в пропорциональный ток в большом выходном сопротивлении, что дает эффекты усиления.
3.2. Аналитический вывод вольтамперных характеристик
Полный ток эмиттера есть (3.1). Ток электронов из базы в эмиттер
такой же, как и в диоде [см. (2.9) и (2.11)] . Т.е. |
|
|
||||
inp 0 SeDn |
dnp x |
|
SeDn |
nЭ |
0 |
(3.8) |
|
||||||
dx |
|
LЭ |
||||
|
|
x 0 |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
Здесь предполагается, что протяженность эмиттера больше диффузионной длины инжектируемых электронов и, следовательно, градиент концентрации обратен Lэ. Инжектированная концентрация
nЭ 0 nЭ0euЭ uT nЭ0 |
|
(3.9) |
|||
и inp 0 inЭ |
|
SeDn nЭ0 |
euЭ uT |
1 |
(3.10) |
|
|||||
|
|
LЭ |
|
|
|
Вычислим вторую |
составляющую |
тока |
эмиттерного перехода. |
||
Близкое расположение эмиттерного и коллекторного переходов влияет на условия диффузии неосновных носителей в базе. Следует решить уравнение непрерывности (1.28) с учетом граничных условий на двух переходах. Общее
|
|
|
d 2 p |
|
|
|
p |
p |
|
|||
решение уравнения |
|
|
n |
|
|
n |
|
n0 |
|
|||
|
|
2 |
|
|
|
2 |
|
|
|
|||
|
|
|
dx |
|
|
|
|
|
Lp |
|
|
|
имеет вид |
p |
p |
|
c e x Lp |
c ex Lp . |
(3.11) |
||||||
|
n |
|
n0 |
|
|
1 |
|
2 |
|
|||
Граничные условия на эмиттерном переходе (X = 0) |
|
|||||||||||
|
pn 0 pn0euЭ uT , |
|
|
(3.12) |
||||||||
а на коллекторном (х = в) |
|
|
|
|
|
|
||||||
|
pn 0 pn0euК uT |
. |
(3.13) |
|||||||||
Предполагая, что имеем дело с нормальным транзистором, в котором специально база делается тонкой в << Lб = Lp (3.14) можем (3.11) представить первыми членами разложения в степенной ряд. При ограничении двумя членами ряда
pn x pn0 C3 C4 x (3.15)
Коэффициенты С3 и С4 находим из граничных условий (3.12 и 3.13)
С3 pn 0 pn0 pn0 euЭ
uT 1 ,
С4 1в pn0 euК
uT 1 euЭ
uT 1 .
Ток диффузии дырок в базе равен
i |
|
SeD |
|
dpn |
SeD |
C |
|
, |
|
||
|
|
|
|
|
|
||||||
|
pn |
|
|
p |
dx |
p |
|
4 |
|
|
|
или |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ipn |
|
SeDp pn0 |
|
euК uT 1 |
euЭ uT 1 |
. (3.16) |
|||||
|
|||||||||||
|
|
|
в |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
В соответствии с аппроксимацией (3.15) ток дырок в базе не зависит от X и одинаков у эмиттерного и коллекторного переходов. Это эквивалентно тому, что в рассматриваемой модели коэффициент переноса
αТ = 1.
Далее будут выяснены необходимые поправки в решение для αТ < 1. Суммируя токи дырок (3.16) и электронов (3.10), находим полный
ток эмиттера (3.1). Ток коллектора будет иметь такой же вид вследствие принципиальной симметрии транзистора. Достаточно заменить параметры, характеризующие эмиттер nЭ0 и LЭ на параметры, характеризующие коллектор, nК0 , LК и напряжение uЭ на uК в (3.10)
|
inp в inК |
SeDn nК 0 |
euК uT |
1 |
|
(3.17) |
|||||||
|
|
LК |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ток дырок в базе (3.16) является общим для коллектора и для эмиттера. |
|||||||||||||
Таким образом, вольтамперные характеристики транзистора |
|||||||||||||
описываются следующей системой уравнений |
|
|
|
||||||||||
|
iЭ a11 euЭ uT |
1 a12 euК uT |
1 , |
|
(3.18) |
||||||||
|
iК а21 euЭ uT |
1 а22 euК uT |
1 , |
|
|||||||||
|
|
|
|
||||||||||
|
|
Dp pn0 |
|
D n |
|
|
|
Dp pn0 |
|
D n |
|
||
a11 |
Se |
|
|
|
n Э0 |
, а22 |
Se |
|
|
n К 0 |
, |
||
|
|
|
|
|
LК |
||||||||
где |
|
в |
|
LЭ |
|
|
|
в |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
а |
а |
|
SeDp pn0 |
. |
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
||||||||
12 |
21 |
|
|
в |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Система (3.18) описывает транзистор при любой полярности напряжений. Для нормального включения (uЭ > 0, uК < 0) нагяднее
представляется запись, получаемая исключением uЭ из уравнений: |
|||||||||
|
iК iЭ I0 |
euК uT |
1 |
(3.19) |
|||||
где |
|
а21 |
, I |
|
|
|
а21 а12 |
а . |
|
|
К 0 |
|
|||||||
|
|
а11 |
|
|
а11 |
22 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|||
Рассмотрим зависимость коэффициента усиления по току α от параметров материала транзистора и от ширины базы. Поскольку в рассматриваемой модели коэффициент переноса αТ = 1, то в соответствии с (3.7) α = γ. Следовательно,
|
a21 |
|
|
в |
|
Dn nЭ0 |
1 |
|
|
|
1 |
|
|
|
(3.20) |
||||
|
|
|
|||||||
|
a11 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
LЭ Dp pn0 |
|
|||||
Учитывая соотношение Эйнштейна D = uT μ, зависимость равновесной концентрации носителей от концентрации примесей [см. (1.13), (1.15)] и выражение для проводимости в (1.2), получаем для отношения
|
|
|
|
e n |
n2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
i |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
D n |
|
N |
A |
|
e |
n |
N |
D |
|
e n |
|
|
n |
|
|
Б |
|
||||
|
n 0 |
|
|
|
|
|
|
n n |
|
|
||||||||||||
|
D p |
e p |
n2 |
e N |
|
e p |
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
p n0 |
|
i |
|
|
p |
|
A |
|
p p |
|
|
p |
|
|
Э |
||||||
|
|
|
|
|
ND |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
в |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|||
Следовательно, |
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
Б |
|
|
|
|
|
(3.21) |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
LЭ Э |
|
|
|
|
|
|
|
||||
Следовательно, для увеличения γ нужно делать базу тонкой и с малой концентрацией примесей. Концентрация примесей в эмиттере должна быть большой.
Если учесть третий член разложения (3.11) в степенной ряд, то получим выражение для αТ , учитывающее уменьшение тока дырок при их прохождении через базу вследствие рекомбинации с электронами
T |
1 |
1 |
|
в |
2 |
(3.22) |
|
|
|
|
|||
|
|
|||||
|
|
2 |
|
LЭ |
|
|
Видно, что эффект рекомбинации ослабляется при тонкой базе. В результате, получаем аппроксимацию для коэффициента усиления по току
T |
1 |
в |
|
Б |
|
1 |
|
в |
2 |
|
|
|
|
|
|
. |
(3.23) |
||||
|
Э |
|
|
|||||||
|
|
LЭ |
|
2 |
|
LЭ |
|
|||
Рассматриваемая модель учитывает основные эффекты, влияющие на параметры транзистора. Так, изменение коллекторного напряжения изменяет ширину коллекторного перехода и тем модулирует ширину базы (эффект Ирли). Увеличение коллекторного напряжения уменьшает ширину базы и увеличивает α. Качественно учитывается и модуляция проводимости базы при изменении тока эмиттера. Увеличение тока эмиттера сопровождается повышением концентрации носителей тока в базе (повышенный уровень инжекции), что увеличивает проводимость базы ζБ и в соответсвии с (3.23) уменьшает α.
В то же время есть эффекты, не учитываемые рассматриваемой моделью. Так, при уменьшении тока эмиттера выражение (3.23) не обнаруживает падение α , которое обнаруживается экспериментально. Дело в том, что в модели не учтен ток, вызываемый явлениями генерации носителей в запорной слое. При малых токах эта составляющая становится ощутимой, что проявляется в уменьшении эффективности эмиттера γ. При
i 0 0,9 меньше для кремниевых транзисторов, чем для германиевых.
В нормальных режимах α = 0,9 – 0,999.
Рассмотрим коэффициент усиления по току в инверсном включении αI , когда, c учетом симметрии чередования легирования в р-п-р или п-р-п структурах, коллектор используется в качестве эмиттера (для нормального включения сохраним обозначение α без дополнительного индекса). Инверсное αI отличается от нормального α даже для симметричной геометрии транзистора вследствие меньшей концентрации примесей в коллекторе по сравнению с эмиттером. В соответствии с (3.18) при uЭ = 0 получаем с учетом перехода от (3.20) к (3.21)
|
|
|
a |
|
|
в |
1 |
|
|
I |
I |
|
12 |
1 |
|
|
|
Б |
(3.24) |
a22 |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
LК К |
|
|||
Меньшее ζК приводит к меньшим значениям αI.
Привлекая (3.22), можно написать выражение для αI , учитывающее рекомбинацию инжектированных носителей в базе αI = γIαTI . Однако, реальные транзисторы несимметричны по геометрической структуре: площадь эмиттера делается меньше, чем площадь коллектора именно с целью приблизить нормальное α к единице. Это вызывает неблагоприятные траектории для носителей при инверсном включении. Значительная часть носителей движется к поверхности прибора, где расположено большое число рекомби-национных ловушек. Вследствие этого коэффициент переноса при инверсном включении αIT < αT .
Таким образом, инверсный коэффициент усиления по току может быть много меньше нормального (αI < α ).
Систему уравнений (3.18) можно написать в другом виде, исключая uК и выражая iЭ в функции от i К аналогично (3.19),
iК iЭ IК 0 euК
uT 1 ,
iЭ I iК IЭ0 euЭ
uT 1 .
(3.25)
Система уравнений (3.25) позволяет представить транзистор в виде эквивалентной схемы двух идеальных р-п диодов, шунтированных зависимыми источниками тока (рис. 3.4).
|
iЭ |
|
iК |
|
αI iЭ |
|
α iЭ |
Э |
i |
iБ |
К |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
Б |
|
I0 = IЭ0 |
|
I = I0 (eu/uT–1) |
Рис. 3.4. Эквивалентная схема транзистора для произвольных постоянных токов
Используя параметры α, αI, IК0, IЭ0 можно систему уравнений (3.18) переписать в новых обозначениях
