- •В.Н. Игумнов физические основы микроэлектроники практикум
- •Оглавление
- •Глава 1 7
- •Глава 2 36
- •Глава 3 163
- •Указания по технике безопасности
- •Предисловие
- •Глава 1 Обработка результатов измерений
- •1.1. Основные понятия и определения метрологии
- •1.2. Погрешности прямых измерений
- •1.2.1. Поправки
- •1.2.2. Случайные погрешности
- •Коэффициенты Стьюдента
- •Обратный ток через p-n-переход
- •1.2.3. Погрешность прибора
- •1.2.4. Погрешность округления. Полная погрешность прямого измерения
- •Э.Д.С. Датчика Холла
- •1.3. Погрешность косвенных измерений
- •1.3.1. Вычисление абсолютной и относительной погрешности
- •Результаты наблюдений
- •1.3.2 Схемы и формулы расчета погрешностей
- •1.3.3. Планирование эксперимента и оценка погрешности
- •1.4. Приближенные вычисления
- •1.5. Единицы измерения физических величин
- •1.6. Оформление результатов измерений
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 2 Лабораторные работы
- •2.1. Исследование характеристических параметров полупроводников
- •Зонная структура полупроводников
- •Температурная зависимость электропроводности
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.2. Исследование полупроводников с помощью эффекта Холла
- •Основные сведения из теории
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.3. Исследование эффекта поля в полупроводниках на базе полевого транзистора
- •Поверхностные состояния
- •Порядок выполнения работы
- •Величина тока стока
- •Величина тока стока
- •Контрольные вопросы
- •2.4. Определение потенциала Ферми в полупроводниках с помощью коэффициента термоэдс
- •Основные сведения из теории
- •Задание и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.5. Определение коэффициента Пельтье компенсационным методом
- •Основные сведения из теории
- •Применение эффекта Пельтье для охлаждения радиоаппаратуры
- •Описание установки и порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.6. Контакт металл – полупроводник
- •Основные сведения из теории
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.7. Изучение электрофизических процессов вp-nпереходе
- •Основные сведения из теории
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.8. Исследование кинетики формовки оксидных пленок при электрохимическом окислении металлов
- •Основные сведения из теории
- •Плазменно-электролитическое анодирование
- •Состояние теории образования оксидных пленок
- •Свойства оксидных пленок
- •Описание установки и анодирование
- •Измерение динамики роста и свойств оксидной пленки
- •Задания и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.9. Исследование процессов в полупроводниковом фоторезисторе
- •Фотопроводимость и поглощение света полупроводниками
- •Процессы захвата, заряда, прилипания и рекомбинации носителей заряда
- •Время жизни носителей заряда. Квантовый выход
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.10. Полупроводники в сильных электрических полях
- •Теоретическая часть
- •Эффект Ганна
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.11. Свойства тонких проводящих пленок
- •Свойства тонких пленок
- •Контроль толщины тонких пленок
- •Порядок выполнения работы:
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 3 Решение задач
- •3.1. Структура твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.2. Энергетические состояния микрочастиц Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.3. Электрические свойства твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.4. Свойстваp-nперехода Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •Приложения п.1. Фундаментальные физические постоянные
- •П.2. Свойства полупроводников
- •П.3. Некоторые единицы системы си Основные единицы
- •Некоторые производные механические единицы
- •Некоторые производные единицы электрических величин
- •Некоторые производные единицы магнитных величин
- •П.4. Внесистемные единицы, допускаемые к применению
- •П.5. Плотность некоторых твердых тел
- •Библиографический список
- •424000 Йошкар-Ола, пл. Ленина,3
- •424006 Йошкар-Ола, ул. Панфилова,17
1.2. Погрешности прямых измерений
Прямые измерения – измерения, при которых искомое значение физической величины получают непосредственно из опытных данных. К прямым измерениям относятся нахождения напряжения тока, мощности по шкале прибора. Если же мощность определяется по величине напряжения и тока, такое измерение не относится к прямым. В задачу прямого измерения входит определениенаиболее вероятного значения измеряемой величины, учетпоправок насистематическую ошибку вычислениеслучайной иприборной погрешности прямого измерения.
Окончательный результат прямого измерения это наиболее вероятное значение измеряемой величины определяется как среднее арифметическое значение найденных в многократно повторенных наблюдениях.
, (1.3)
где n– число измерений.
При достаточном числе наблюдений в достаточно одинаковых условиях ошибки разного знака будут встречаться одинокого часто и при суммировании почти компенсируют друг друга. Поэтому (1.3) рассматривают, как конченный результат измерения.
1.2.1. Поправки
Если установлена причина какой-нибудь систематической ошибкиxсист.и найдены ее величины и значения, можно вывестипоправкуxпопр.=-xсист.и устранить влияние ошибки.
хиспр=хизм+хпопр(1.4)
Природа систематических ошибок может быть различной.
1. Точное взвешивание гири номиналом 1кг. показало, что действительная ее масса 1,02 кг. При использовании такой гири необходимо ввести поправку
-0,02 кг (1.5)
2. Сопротивление резистора имеет номинал Rн= 20 кОм, однако измерения идут в жидком азоте и сопротивление резистора оказывается больше на 200 Ом. Необходимо учитывать систематическую ошибку введением поправки.
(1.6)
Если величина поправки существенно меньше (менее 0,1) любой погрешности, вызванной другими погрешностями, то его можно пренебречь.
1.2.2. Случайные погрешности
Случайные ошибки, как мы уже говорили, вызываются одновременными действиями очень большого числа факторов. Влияние каждого из них невелико, оно может изменяться хаотично или по какому-либо закону, поэтому суммарные действия всех факторов совершенно хаотично.
В каждом конкретном наблюдении случайная ошибка δхнепредсказуема ни по знаку, ни по величине, однако, она подчиняется статическим закономерностям. Они проявляются при большом числе наблюдений.
Предположим, что проводится измерение некоторой величины х. Пусть систематические погрешности малы и ими можно пренебречь. Для надежной оценки случайных ошибок получены результатых1, х2, …, хn(n-наблюдений). Наиболее вероятное значение измеряемой величины (результат) определяется из (1.3).
Случайное отклонениерезультатаi-го наблюдения от среднегоможет быть большим и малым, положительным или отрицательным, однако, чем больше отклонение, тем оно встречается реже и распределение Δxiбудет симметричным относительно нулевого значения (рис. 1.1).
При этом оказывается, что приблизительно в 68% случаев отклонения |Δxi| не превышают некоторую величинуσназываемуюстандартным отклонением, а 32% превышают её. Иначе говоря, с вероятностью 68% отклонение хiлежит в интервале [-σ; σ]. Для интервала [-2σ; 2σ] эта вероятность составляет 95%, а для [-3σ; 3σ] – 99,7% (рис. 1.1). Соответственно, для любой вероятностиР доверительный интервал [-λPσ;λPσ] определяется числовым множителемλP зависящим отР. Например,
λ0,68=1,0,λ0,95=2,0,λ0,997=3,0.
Рис. 1.1. Функция распределения для случайного отклонения
В теории вероятности показано, что можно оценить величину σпо отклонениям Δxi
, (1.7)
где S– средняя квадратичная погрешность отдельного наблюдения.
Среднее арифметическое совокупности результатов, безусловно, точнее характеризует значение измеренной величины, чем результат только одного наблюдения, поэтому стандартное отклонение среднего результата σnменьшеσ. В теории вероятности показано, что, следовательно, средняя квадратичная погрешностьокончательного результата опыта
, (1.8)
а полуширина доверительного интервала
. (1.9)
Чем больше число наблюдений n, тем точнее приближенное равенство (приσ=S), однако, практически нецелесообразно проводить большее число измерений для определения одной величины. В учебных лабораториях, как правило,n~ 10. Это приводит к тому, что при заданной погрешности расширяется интервал Δх, т.е. увеличивается множительλP. Причем для различныхnэто увеличение будет различным. Таким образом,λPтрансформируется в новый коэффициентtn,p– коэффициент Стьюдента (табл. 1.1), причем, в пределе приn→∞;.
Таблица 1.1