
- •В.Н. Игумнов физические основы микроэлектроники практикум
- •Оглавление
- •Глава 1 7
- •Глава 2 36
- •Глава 3 163
- •Указания по технике безопасности
- •Предисловие
- •Глава 1 Обработка результатов измерений
- •1.1. Основные понятия и определения метрологии
- •1.2. Погрешности прямых измерений
- •1.2.1. Поправки
- •1.2.2. Случайные погрешности
- •Коэффициенты Стьюдента
- •Обратный ток через p-n-переход
- •1.2.3. Погрешность прибора
- •1.2.4. Погрешность округления. Полная погрешность прямого измерения
- •Э.Д.С. Датчика Холла
- •1.3. Погрешность косвенных измерений
- •1.3.1. Вычисление абсолютной и относительной погрешности
- •Результаты наблюдений
- •1.3.2 Схемы и формулы расчета погрешностей
- •1.3.3. Планирование эксперимента и оценка погрешности
- •1.4. Приближенные вычисления
- •1.5. Единицы измерения физических величин
- •1.6. Оформление результатов измерений
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 2 Лабораторные работы
- •2.1. Исследование характеристических параметров полупроводников
- •Зонная структура полупроводников
- •Температурная зависимость электропроводности
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.2. Исследование полупроводников с помощью эффекта Холла
- •Основные сведения из теории
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.3. Исследование эффекта поля в полупроводниках на базе полевого транзистора
- •Поверхностные состояния
- •Порядок выполнения работы
- •Величина тока стока
- •Величина тока стока
- •Контрольные вопросы
- •2.4. Определение потенциала Ферми в полупроводниках с помощью коэффициента термоэдс
- •Основные сведения из теории
- •Задание и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.5. Определение коэффициента Пельтье компенсационным методом
- •Основные сведения из теории
- •Применение эффекта Пельтье для охлаждения радиоаппаратуры
- •Описание установки и порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.6. Контакт металл – полупроводник
- •Основные сведения из теории
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.7. Изучение электрофизических процессов вp-nпереходе
- •Основные сведения из теории
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.8. Исследование кинетики формовки оксидных пленок при электрохимическом окислении металлов
- •Основные сведения из теории
- •Плазменно-электролитическое анодирование
- •Состояние теории образования оксидных пленок
- •Свойства оксидных пленок
- •Описание установки и анодирование
- •Измерение динамики роста и свойств оксидной пленки
- •Задания и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.9. Исследование процессов в полупроводниковом фоторезисторе
- •Фотопроводимость и поглощение света полупроводниками
- •Процессы захвата, заряда, прилипания и рекомбинации носителей заряда
- •Время жизни носителей заряда. Квантовый выход
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.10. Полупроводники в сильных электрических полях
- •Теоретическая часть
- •Эффект Ганна
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.11. Свойства тонких проводящих пленок
- •Свойства тонких пленок
- •Контроль толщины тонких пленок
- •Порядок выполнения работы:
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 3 Решение задач
- •3.1. Структура твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.2. Энергетические состояния микрочастиц Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.3. Электрические свойства твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.4. Свойстваp-nперехода Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •Приложения п.1. Фундаментальные физические постоянные
- •П.2. Свойства полупроводников
- •П.3. Некоторые единицы системы си Основные единицы
- •Некоторые производные механические единицы
- •Некоторые производные единицы электрических величин
- •Некоторые производные единицы магнитных величин
- •П.4. Внесистемные единицы, допускаемые к применению
- •П.5. Плотность некоторых твердых тел
- •Библиографический список
- •424000 Йошкар-Ола, пл. Ленина,3
- •424006 Йошкар-Ола, ул. Панфилова,17
Глава 1 Обработка результатов измерений
Неотъемлемой частью всякого исследования является проведение эксперимента, физический эксперимент предполагает измерение. В силу ряда причин, измерения возможны с определенной ограниченной точностью. Какова эта точность, достаточна ли она для данного случая, как ее повысить? Эти и другие вопросы освещаются в данной главе. Поскольку эта глава в данном пособии несет обслуживающую функцию, изложение будет предельно кратким. Для более подробного изучения этих и сопутствующих им вопросов предлагается литература по метрологии [1,2].
1.1. Основные понятия и определения метрологии
В этом разделе для удобства сведены основные понятия и определения метрологии.
Физическая величина – одно из свойств объекта (физической системы, явления или процесса) общее в качественном отношении для многих объектов, но в количественном отношении индивидуальное для каждого объекта (масса тела, ток через проводник, сопротивление резистора).
Единица измерения физической величины– физическая величина фиксированного размера, которой присвоено числовое значение, равное единице, и применяемая для количественного выражения однородных с ней физических величин (кг, А, Ом).
Значение физической величины– выражение размера физической величины в виде некоторого числа принятых для нее единиц (0,5 кг, 0,1 А, 100 Ом).
Истинное значение физической величины– значение, котороеидеальнымобразом характеризует физическую величину.
Действительное значение физической величины– значение, полученное экспериментальным путем и настолько близкое к истинному, что может быть использовано вместо него.
Измерение физических величин– совокупность операций по применению технического средства, хранящего единицу физической величины, обеспечивающих нахождение соотношения (в явном или не явном виде) измеряемой величины с ее единицей и получение значения ее величины (взвешивание – сравнение с эталонной массой – 1 кг. Измерение тока – сравнение с эталонным ампером через градуированную шкалу прибора). Измерение характеризуют по нижеследующим признакам.
Принцип измерений– физическое явление или эффект лежащий в основе измерений. Так измерение массы на рычажных весах использует третий закон Ньютона, измерение силы тока может использовать закон Ампера и т.д.
Метод измерений– прием или совокупность приемов сравнения физической величины с ее единицей в соответствии с принципом измерений, например, измерение массы на рычажных весах с помощью гирь определенной массы.
Результат измерений– значение величины, полученное в результате измерения и усреднения полученных величин.
Ошибка измерения– отклонение результата измеренияхизмот истинного значения величиныхист.
. (1.1)
Различают случайные,систематическиеошибки ипромахи.
Случайные ошибки– это ошибки, величина и знак которых изменяются от опыта к опыту непредсказуемым образом. Например, при взвешивании вследствие колебаний установки не абсолютно одинаковой тщательности измерений и т.д. Эти ошибки, как правило вызываются большим количеством одновременно действующих факторов, характер которых изменяется со временем.
Систематические ошибки– это ошибки, величина и знак которых изменяется закономерно или сохраняются. Они вызываются постоянно действующими причинами, односторонне влияющими на результат измерений, например неточный вес гирь, величина сопротивления, емкость, индуктивность, зависимость их от температуры и др. Такие ошибки можно уменьшить путем совершенствования измерительных приборов, уточнения методик измерений и обработки результатов.
Промахами называют грубые ошибки, существенно превышающие ожидаемую в данных условиях погрешность. Они вызываются невнимательностью экспериментатора, резким изменением условий опыта, поломкой прибора. Например, экспериментатор положил на весы не 200 мг, а 500 мг или прочитал по шкале 18 мА вместо 13 мА. Наблюдения, содержащие промахи, отбрасываются как не заслуживающие доверия.
Погрешность результата измерений– Δхявляется количественной мерой неизвестной экспериментатору (посколькухистнеизвестна) истинной ошибкиδх
. (1.2)
Погрешность определяют в зависимости от вероятности Pвыполнения (1.2).
Интервал
называютдоверительным интервалом,
а вероятностьP –доверительной вероятностью. Кромеабсолютной погрешностиΔxиспользуютотносительную погрешностьизмерения.
Отличие ошибки измерения от погрешности измерения в том, что первая отсчитывается от неизвестного истинного значениявеличины в случае единичного измерения, а вторая использует реальныерезультаты измерении при повторяющихся измерениях и близких условиях опытов.
Также как и ошибки измерения, существуют систематические и случайные погрешности. Кроме того, существуют погрешности округленияиприборные погрешности.
Точность результатов измеренийодна из характеристик качеств измерений, отражающая близость к нулю погрешности результата измерения. Количественно точность оценивают обратной величиной модуляотносительной погрешности.
Сходимость результатов измерений – близость друг к другу результатов измерений одной и той же величины, полученных в разных местах, разными методами и средствами, разными операторами в разное время, но в одних условиях (давление, температура, влажность и др.)
Достоверность – характеристика качества измерений, отражающая доверие к их результатам, которая определяется вероятностью (доверительной) того, что истинное значение измеряемой величины находится в указанных границах (доверительных).
Измерения делят на достоверные и недостоверные в зависимости от того, насколько известны вероятные характеристики их отклонений от действительного значения величины.
Приведенные в этом разделе понятия и определения метрологии близки по формулировкам к принятым в основополагающих стандартах но, естественно, представляют собой лишь выборку из последних.