Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Полупроводниковая электроника / Киреев.Физика полупроводников.1975

.pdf
Скачиваний:
1443
Добавлен:
13.04.2015
Размер:
35.32 Mб
Скачать

е £ j — энергия ионизации атома водорода, соответствующая энергии основного состояния (/г = 1). При этом за нуль отсчета энергии принимается энергия покоящегося электрона, удаленного на беско- нечность. Если за начало отсчета принять другую величину, напри-

мер,

считать

за начало отсчета

энергию

нормального

состояния,

т. е.

=

то

 

 

 

 

 

 

=

ri2

=

 

(27.6)

Энергия Еэп свободной пары электрон—дырка может быть записана

в аналогичном (27.5) виде

 

 

 

 

 

 

/7Э _ _ __L.

т* е*

 

 

 

F? _ тпре

(ζ>77

Чтобы указать положение уровней экситона относительно начала

отсчета энергии для кристалла

в целом, необходимо учесть, что при

η = оо и ρ = оо Elo = EO-\-Ect

а не нулю,

поэтому

 

 

 

=

+

 

 

(27.8)

Если отсчитывать энергию от потолка валентной зоны:

Е\

 

 

 

Ev = 0; Ес = АЕ0, то Еэп = АЕ—Основное

состояние

находится

в запрещенной зоне и имеет величину энергии E^ = AEQ — Е\, кото-

рую можно оценить следующим

образом:

 

 

£ ь э В = т„е*

=

13,5 / т*

λ

(27.9)

Если т * = т£ = т , то т%р =

,

и видим,

что уровни

экситона

лежат близко к дну зоны проводимости. Радиус боровских орбит Для экситона

а 1 ' л = - щ ; е = 0 > 5 2 8 Ш е ·

 

 

( 2 7 Л 0 )

Чем меньше эффективная масса носителей заряда

и больше

диэлек-

трическая проницаемость,

тем больше

радиус экситона и

меньше

энергия ионизации, поэтому

в веществах

с большим

ε

и малыми т*,

тР наблюдать экситоны трудно. Экситоны большого

радиуса

назы-

вают экситонами Мотта.

 

 

 

 

 

Мы получили для связанной пары электрон — дырка систему дискРатных водородоподобных уровней энергии. Однако не было учтено

6 Киреев

161

движение экситона в целом, т. е. движение его центра

инерции

Это движение характеризуется кинетической энергией

 

ft21 кэ I2

(27.11)

2 (т* + /и·)·

которую необходимо прибавить к Ε Т е м самым каждый уровень энергии Еэп должен превращаться в достаточно широкую полосу ^ экситонную зону. Однако экспериментально наблюдаются сравнительно узкие линии поглощения света, приписываемые экситонам.

Причина этого связана с правилами отбора для волнового вектора] В заключение укажем на существование еще одного вида возбужденного состояния, которое имеет место в веществах с большой долей ионной связи — поляронов. Полярон можно представить следующим образом. Электрон проводимости своим полем поляризует окружающее его. пространство. В результате появления индуцированного положительного заряда возникает взаимодействие электрона

с индуцированным

зарядом, что приводит к возникновению допол-

нительной потенциальной энергии

в виде потенциальной ямы, кото-

рая локализует электрон. При движении электрона

область

поляри-

зации перемещается вместе с ним. Система, состоящая

из элект-

рона и поляризованной им области,

носит

название

полярона.

 

Р е з ю м е

§ 26—27

 

 

1. Расчет зонной

структуры конкретных полупроводников пред-

ставляет собой сложную задачу.

Найти

зависимость Ε (к) удается

только для некоторых областей зоны Бриллюэна. Имеются расчеты

для германия

и кремния. На их основе ведется

расчет зонной струк-

туры соединений Α Ι Π Β ν

и Α π Β ν ι .

Основные

сведения

о

зонной

структуре получают из анализа экспериментальных данных.

 

2. Экстремумы

энергии

электронов

и дырок для германия и

кремния

находятся

в различных

точках

зоны Бриллюэна.

В

соеди-

нениях

Α Ι Π Β ν

они могут

быть

как

в

различных точках,

так и

водной и той же точке.

3.Валентная зона германия и кремния характеризуется тремя ветвями Е(к), которым соответствуют три типа дырок. Поверхности энергии имеют вид деформированных сфер (гофрированные поверхности).

4.Зона проводимости германия имеет восемь эквивалентных

минимумов, лежащих на границечзоны Бриллюэна вдоль направлений типа [111]. Изоэнергетические поверхности являются эллипсоидами вращения, ось вращения совпадает с направлением типа [ПП· На первую зону Бриллюэна приходится четыре полных эллипсоид9 энергии.

Зона проводимости кремния имеет шесть эквивалентных минимумов, лежащих в направлении типа [100] недалеко от границы

162

зоны Бриллюэна. Изоэнергетические поверхности— эллипсоиды

вра-

щ е н и я , · оси

вращения направлены вдоль оси [100].

 

5. Все выводы зонной теории, касающиеся зависимости ширины

запрещенной

зоны . от состава вещества, связи эффективной

массы

электрона с зоной и другие выводы, качественно находятся в хорошем согласии с экспериментом.

6.Зонная структура спектра энергии вытекает как из дальнего, Так и из ближнего порядка.

7.Все результаты зонной теории относятся по существу к квазичастйцам, которые являются носителями определенных свойств, отражающих свойства твердого тела.

Г л а в а III СТАТИСТИКА ЭЛЕКТРОНОВ И ДЫРОК

ВПОЛУПРОВОДНИКАХ

§28. ПЛОТНОСТЬ СОСТОЯНИЙ

Проводимость

вещества

определяется

концентрацией и подвиж-

ностью носителей заряда, поэтому, чтобы

понять

влияние внешних

условий

на

проводимость,

нужно выяснить зависимость концентра-

ции и подвижности от внешних условий,

и в первую очередь от

температуры.

Нас

будут

 

интересовать

свободные

носители заряда,

т. е. электроны в зоне проводимости и

дырки

в

валентной

зоне.

Чтобы подсчитать их число, необходимо

знать

число состояний и

вероятность нахождения носителей заряда в этих состояниях.

 

Пусть

вероятность

нахождения

электронов в единичном объеме

фазового

пространства,

построенного вокруг точки этого простран-

ства с координатой г,

к

в

момент

времени

равна / (г, к, t);

г и к

(или г и Р) рассматриваем в качестве канонически сопряженных величин, удовлетворяющих обычным перестановочным соотношениям Гейзенберга:

 

 

riPm-Pmri

=

ihdlm;

(/,

т = х, у, ζ).

 

 

(28.1)

В элементе

объема

dT

фазового

пространства

имеется

dT/h3

фазовых ячеек,

в которых

содержится

2dT/h3

состояний (множитель 2

означает,

что

в каждой

ячейке

может

быть

2 электрона

с противо-

положно направленными спинами). Число электронов

dn,

находящихся

в объеме

dT,

равно

произведению

числа

состояний

на

вероятность

нахождения

электронов

в этих

состояниях:

 

 

 

 

 

 

dn = dn(г,

к,

t)=f(r,

 

к,

t)2§.

 

 

(28.2)

Если выразить dT через объем обычного пространства dxr

и про-

странства

квазиимпульсов dxp = ft3dxK,

то

 

 

 

 

 

 

dT =

dxr

dx ρ =

dx

dy dz άκχ

dKydK2h3.

 

 

(28.3)

Интегрируя

по

объему кристалла

V и первой

зоны

Б р и л л ю э н а

VK, получим полное число электронов N, находящихся в н е к о т о р о й

энергетической

зоне

кристалла:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

Ц

( (

/ (

г

,

к,

0 d r .

 

 

(28.4)

 

 

 

 

 

С М

 

 

 

 

 

 

 

 

164

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ι

Средняя концентрация электронов

S S /(г ' к'

ί ) ά Γ = = τΑν S [f(r > к> Orftrdt,.

(28.5)

(V М

 

(V Vk)

 

 

 

Число электронов dnt

в элементе

объема

drt

равно

 

dnr

= η (г, t) dxr = ί!τΓ ~

С / (г,

к,

/) dxp.

(28.6)

«

 

 

( Μ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Другими словами, концентрация

электронов

 

 

 

=

5

 

t) drK.

(28.7)

 

 

( Μ

 

 

 

 

Через VK мы обозначили объем первой зоны Бриллюэна незави-

симо от того,

в каком

пространстве —к или

Р —она построена.^

Если кристалл однороден, то вероятность f от координаты не зави-

сит, и

интегрирование

по άτΤ дает объем

кристалла, в результате

чего η

(28.5) равно истинной концентрации

η (28.7):

 

 

S S

= i

J

/("> О Л ^ я й .

(28.8)

 

(v VK) .

 

( M

 

 

Как было указано в первой главе, функция распределения есть

функция от энергии и температуры,

для

стационарных состояний

она не зависит и от времени. Так

как

энергия есть собственное

значение оператора Гамильтона квантовой системы, то она не зависит от координаты, поэтому не будет зависеть от координаты и

функция распределения /о = /о (£> Т), где /0 (£,

Т) — функция Ферми —

Дирака (или Максвелла —Больцмана).

 

 

 

 

В интервале энергии dE может

быть различное число

состояний

dS

(без

учета

спина),

отнесенное

к

единичному объему

кристалла,

в зависимости от величины энергии. Пусть

между dS и ^

сущест-

вует

равенство

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dS = dS(E)

=

N(E)dE.

 

 

 

(28.9)

Ν (Ε)

равно

числу состояний

в

единичном

 

интервале

энергии для

единичного объема

кристалла,

Ν (Е)

называют

плотностью

 

состояний:

 

 

 

 

 

Ν (Е) =

dS/dE.

 

 

 

(28.10)

Если

вероятность

заполнения

состояний

с энергией

Ε равна

/о(£, 71), то число электронов dn

в

этих состояниях равно

 

dn = dn (Εу Г) = 2/о(£, T)dS

= 2f0(E,

 

Τ) Ν (Ε) dE.

(28.11)

Концентрация

электронов

будет определяться величиной

 

 

 

П==П(Т)

= 2

(Ε)$ / 0 ( £ ,

T)N(E)dE.

 

(28.12)

165

 

Интегрирование

необходимо провести

от дна

зоны проводимости

Ес

до

ее потолка. Учитывая

резкую зависимость

f0(E>

Τ) от энер.

гни, верхний предел можно положить

равным

бесконечности, т а к

что

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

п = 2 5

Τ) Ν (Ε)

dE.

 

 

(28.13)

 

Величина

Ν (Ε)

тесным образом

связана

с формой

изоэнергети*

ческих

поверхностей.

Действительно,

построим

в

зоне

Бриллюэна

две

изоэнергетические поверхности

Ε

и

E + dE.

Они выделяют

некоторый

слой пространства

квазиимпульса (рис. 45). Пусть объем

 

 

 

 

этого сл.оя 4τρ ,

ему

соответствует

объем фазо-

 

 

 

 

вого пространства

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ά Γ = ν ά τ ρ ;

 

(28.14)

Рис. 45. Объем слоя в зоне Бриллюэна, заключенного между двумя изоэнергетическими поверхностями Ε и

E + dE

. число фазовых ячеек в нем dT/h3,

число состоя-

ний для единичного объема dS = dT/Vhs.

С дру-

гой стороны, dS = N(E)dE,

поэтому

 

1 dT

άτη

άτυ

(28.15)

dS = N (E)dE

= ^

=

Входящую в выражение (28.15) величину άτκ(Ε, E + dE) можно найти, если известно уравнение изоэнергетических поверхностей. Заметим, что величины

1/Λ3, 1/1/Л3 и 1/V ·8π3

(28.16)

можно рассматривать как плотности состояний соответственно в фазовом пространстве, в пространстве квазиимпульса и волнового вектора.

Рассмотрим некоторые, частные случаи.

1. Сферические изоэнергетические поверхности^ с Ет\п в центре зоны Бриллюэна. Пусть

 

 

Ε — Ρ 4-

 

(28.17)

 

 

 

Пс~г

2т*'

 

 

Две

изоэнергетические

поверхности Ε и E + dE

выделяют сфе-

рический

слой

толщиной άκ

и объемом άτκ(Ε,

E + dE)

(см. рис. 45):

 

 

 

άτκ = 4ηκ2άκ.

 

(28.18)

Выразим к

через Ε

 

 

 

 

 

К* = Щ1{Е-ЕС)·,

К =

 

 

(28.19)

Дифференцируя по к первое выражение в

(28.19),

получим

 

 

2 κ ά κ = %

dE.

 

(28.20)

166

Учитывая соотношение (28.18), (28.19) и (28.20), можем записать

 

 

άτκ

(£,

Ε + dE) = 4я/с2 άκ = 2πκ2κ άκ =

 

- 2 я ( 2 Я 1

/

2 -

W Щ - d E - T n ( Щ У 2 (Ε -Ес ) ·/«rffi.

(28.21)

Для dS

из

(28.15)

и (28.21) получим

 

 

(28.22,

или

 

N(E) = 2 n ( ^ - J / 2 ( E - E c ) U 2 .

(28.23)

2. Сферические изоэнергетические поверхности с минимумом энергии в точках к0. Пусть минимумы энергии лежат не в центре

зоны Бриллюэна, а в некоторых

точ-

 

 

ках к0, и число их равно Μ.

По-

E+dE

E+dE

строив

изоэнергетические

поверхности

Я, £ +

получим

Μ сфер (рис.

46).

f

r \

Уравнение одной из

них

имеет вид

 

х&Х/

 

 

 

 

 

 

 

Ε - = Е С + П2 (2~*К°)2 ·

(28.24)

Радиусы сфер |к —к0|, толщина сферического слоя dK = d\ к — к0 |; но число сфер равно теперь Μ, поэтому, интервалу энергии dE соответствует объем Μ слоев:

dxK } Ε + dE) =

= /И · 4π (к — к0)2 d | к — к01. (28.25)

A

E+dE/ \ E+dE

( f f H i .

\s3lJJ vfev

Рис. 46. Объем слоя в зоне Бриллюэна, соответствующий интервалу энергии dE при Μ экстремумах

Выражая | к — к01 , и d | к — к01

через

энергию,

получим

Ν(Ε) = Μ< 2π ( ^ - ) 3 / 2

-

£с)1/2 .

(28.26)

3. Эллипсоидальные изоэнергетические поверхности. Рассмотрим более общий случай, когда изоэнергетические поверхности имеют вид эллипсоида:

+

+

(28.27,

ИЛИ, в канонической форме,

и-2 и-2 к>2

У + Й + F - ( 2 8 - 2 8 )

гАе полуоси эллипсоида

а , = [ 2 О Т ' ( 1 " £ с ) Г ·

(28.29)

167

Объем одного эллипсоида с полуосями а, &, с равен

τϊ' = f abc = (Вт^^з)1 /2 (Я - £с)3/2, (28.30)

а объем одного слоя между двумя эллипсоидальными изоэнергети*

ческими поверхностями

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dti" = ^

(8m1m2m3)1/2 -

£с)!/2

 

 

 

(28.31)

Подставляя

άτϊ*

 

в выражение для

dS

и учитывая,

что миниму.

мов энергии может

быть М,

получим

 

 

 

 

 

 

 

Mdx(1)

Μ · 2π

 

(E-Ecy/*dE,

 

(28.32)

dS = -

^

= -]jr-(8m1m2m3yv

 

 

или

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ЛГ ( Ε ) =

 

( S M ^ M ^ 2

( Я - £ С ) 1 / 2 .

 

( 2 8 . 3 3 )

Напомним, что,

например, для германия М = 4, а для кремния

М = 6.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таким образом, плотность

состояний пропорциональна

(Е — Ес)1/2

и (т^тз) 1 / 2 ,

где

mi,

т 2 ,

т3 — компоненты

тензора

эффективной

массы (в главных осях). При малых

 

Ν (Е)

будет малой величи-

ной. Очевидно,

Ν (Е)

должно

быть малой для

интерметаллов.

Если положить

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ai2(m1m2m3) = m f ,

 

 

 

(28.34)

где т% — носит

название

эффективной

массы для

плотности

состоя-

ния, то в общем случае

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N (Е) = 2п(2тЖ)3/2

(Е -Есу/\

 

 

 

(28.35)

что совершенно

аналогично

(28.23) для

случая

изотропной

массы

с одним минимумом.

Выражение (28.35) является наиболее общим, поскольку из него

вытекают. (28.23),

(28.26)

как

частные случаи.

Необходимо только

помнить,

что зависимость

Ν (Е)

от энергии вида

Ν (Ε) ~

(Е — ЕС)Х1

справедлива до тех пор, пока энергия

является квадратичной функ-

цией квазиимпульса.,

другими

словами,

выражение

(28.35)

справедливо

только для состояний вблизи минимума энергии,

т. е. у дна зоны-

Найдем выражение для плотности состояний у потолка зоны

энергии,

где энергия также является

квадратичной функцией энер-

гии. Если максимумы энергии находятся в точках к0 зоны Бриллю-

эна, а их число равно М, то Ε (к) (для

каждого максимума) моЖН°

представить в общем

виде:

 

 

* » - £ <

+

+

( 2 8 . 3 0

168

ч

Учитывая, что тензор эффективной массы электронов в максимуме энергии отрицателен, и вводя вместо него тензор эффективной массы дырок условием mip =min, можем записать

' Ε (к) =

£ ( к

0 ) - У Г ( " * - * ° * ) 2 ' +

+

J '

(28.37)

w

v

2 I mlp

щр ^ щр

v

>

ИЛИ

 

 

 

 

 

 

Ш Шх-«ох)*

{Ку-Чу)*

fe-^)2]

 

 

 

Г

где Εν^β (ко) — энергия в данном случае потолка валентной зоны. Опуская ' совершенно очевидные выкладки, найдем, что выражение для плотности состояний у потолка зоны имеет вид

N(E) =

/2т*А \з/2

{Ev-EyP,

(28.39)

2n[-1f)

где через mPd обозначена

эффективная масса дырок для

плотности

состояний:

 

 

 

mpd = (М2тр1тргтргу/\

(28.40)

Плотность состояний у дна и потолка зон имеет совершенно аналогичный вид, поскольку найденные выражения для Ν (Е) являются следствием квадратичной зависимости энергии от квазиимпульса в окрестности экстремумов, различный знак подкоренного выражения — Е — Ес и Εν — Ε — является следствием различия в знаках эффективной массы в минимуме и максимуме энергии. Одно из выражений для Ν (Е) справедливо до тех пор, пока применима квадратичная зависимость энергии от квазиимпульса. Вдали от границ зон выражение для Ν (Е) не может быть записано, пока неизвестна зависимость Ε (к). Полное число состояний в зоне с учетом спина равно или 2Ng (здесь g —кратность вырождения состояния), поэтому

 

 

 

 

. ^шах

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

\

N(E)dE

= 2Ng.

 

 

 

 

(28.41)

 

 

 

 

 

^min

 

 

 

 

 

 

 

На

рис.

47

представлен

ход функции Ν (Е) в

общем

виде. Для

запрещенных

зон

N (Е) = 0,

если не считать

локализованных

состо-

яний электрона.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Плотность состояния

для локализованных состояний

находится

Из следующих

простых

соображений. У каждого

примесного

атома

может

быть

по

одному

электрону,

поэтому

полное число

 

состояний

будет

равно

NA

и

соответственно. Если

предположить,

что при-

с н а я

зона

не

возникает

и примесные уровни

остаются

дискрет-

ным^ то для каждого уровня плотность должна быть равной бесконечности, с тем, однако, чтобы интеграл от плотности по всем воз-

169

можным состояниям (для одного уровня) был равен единице. ДЛя этого необходимо выразить плотность состояний в виде δ-функциц·

Л^д(£) = Л/д б(£-Яд ), '

(28.42)

Na (E) = N £ ( E - E & ) ,

(28.43)

где через ΝΛ(Ε), Να(Ε) обозначена плотность состояний

на донор,

ном и акцепторном уровнях, характеризуемых энергией £ д и £ соответственно. На рис. 47 плотность состояний МЖ (Е) и Wa(£\ изображена вертикальной линией. Если при возрастании концент' рации примеси образуется примесная зона, то в этом случае выра. жения (28.42) и (28.43) должны быть заменены выражением (28.35) или (28.39).

т

E/min ftmaxftmin'ftшах ftmin max ftz

Efmax £

Рис. 47. Плотность состояний в различных зонах и на локальных уровнях энергии

Рассмотрим общий способ нахождения плотности состояний Ν (Е). Он состоит в том, что интегрирование по объему зоны Бриллюэна проводят в два приема: вначале по площади изоэнергетической

поверхности,

затем по энергии. Удобство этого метода

проявляется

в том случае,

когда под интегралом

стоят

величины,

зависящие от

энергии, которые принимают постоянное

значение на

изоэнергети-

ческой поверхности. Элемент объема

dxK можно выразить через эле-

мент площади

dSs и нормальный компонент волнового вектора άκη'-

 

 

dxK = άΞβ

άκη.

 

(28.44)

 

 

 

 

Но άκη выражается через

 

 

 

 

dE = (^ άκ) =

κΕ\άκη

(28.45)

 

 

 

άκη--

dE

dSF

dE

(28.46)

 

I V ? ' а Т н

\ V„£ I •

 

после чего для η получим

dSBdE

 

 

 

 

 

(28.47)

 

П= АНФTW

 

 

170