_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 1 / 18(3)

18(3). Длина волны электронного луча

В основе электронолитографии лежит непосредственная генерация, или проекционный перенос изображения с помощью электронного луча.

Электронный пучок, ускоренный электрическим полем при разности потен­циалов U(B), характеризуется длиной волны актиничного излучения

λ=0.1*

или при U= 15 кВ это составит 0,01 нм, т.е. в десять тысяч раз меньше, чем длины волн процесса фотолитографии. Такие величины длин волн позволяют преодолеть проблемы, связанные с дифракционными и интер­ференционными явлениями, искажающими результаты литографическо­го процесса, и сформировать топологические элементы минимальных размеров. Поскольку при этом энергия электронов в 10⁵ раз выше энер­гии кванта видимой части спектра, появляется возможность уменьшить продолжительность экспонирования.