_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 1 / 14(3)

14(3) Источники рентгеновского излучения.

В качестве источников рентге­новского излучения используются электронно-лучевые, плазменные и синхротронные источники.

Схема электронно-лучевого источ­ника представлена на рис.6.9. В этом устройстве, называемом рентгеновской трубкой, электроны с высокой энергией бомбардируют металлическую мишень, возбуждая характеристическое рентге­новское и непрерывное фоновое излуче­ние невысокой интенсивности.

Схема источника рентгеновского излучения:

1 - электрон

2 - мишень

3 - рентгеновская трубка

4 - пучок электронов

5 - рентгеновский пучок;

6 - окно.

7 - рентгеношаблон

8 - рентгенорезист;

9 - подложка

В плазменных источниках для возбуждения рентгеновского излучения используют частицы плазмы.

Наиболее перспективными являются синхротронные источники. Ускоренные в магнитном поле электроны при их движении по криволи­нейным траекториям испускают излучение непрерывного спектра. Это мягкое рентгеновское излучение высокой интенсивности обладает при­родной коллимацией, или малой расходимостью пучка, что дает воз­можность преодолеть проблемы, связанные с оптическими дефектами, рассмотренными выше. Синхротронное излучение характеризуется дли­нами волн диапазона 1- 5 нм.