_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 1 / 11(3)

11(3). Разрешающая способность фотолитографии

Фотолитография - это в общем случае процесс формирования в актиночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложки, изо­бражения, соответствующего топологии элементов ИС, с последующим переносом его на нижележащие слои.

Процесс литографии предполагает два этапа:

формирование изображения в актиночувствительном слое;

перенос изображения на нижележащие слои.

В результате основными характеристиками фоторезистивных пле­нок становятся:

1) светочувствительность

2) разрешающая способность 3) кислотоустойчивость 4) адгезия 5) технологичность

Разрешающая способность - число линий равной ширины, разде­ленных промежутками такой же ширины, воспроизводимых на одном миллиметре. Величина, обратная разрешающей способности, называет­ся разрешением и соответствует минимальному размеру, воспроизводимому в данном процессе.

Различают разрешающую способность фоторезиста и разрешаю­щую способность фотолитографического процесса. Последняя обычно ниже, что связано с влиянием на эту величину толщины фоторезиста, а также особенностей процесса травления. При толщинах фоторезиста, составляющих доли микрометра, в современных процессах фотолитогра­фии удается достигать разрешающей способности до 2000 линий на мм;