_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 1 / 1(3)

1(3) Классификация процессов фотолитографии

Фотолитография - это в общем случае процесс формирования в актиночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложки, изо­бражения, соответствующего топологии элементов ИС, с последующим переносом его на нижележащие слои.

К актиночувствительным относят материалы, которые изменяют свои свойства, например растворимость или химическую стойкость, под действием актиничного излучения.

По типу используемого актиничного излучения процессы литогра­фии делятся на:

- фотолитографические, использующие видимый спектр излучения

с длинами волн 250 - 440 нм;

- рентгенолитаграфические, применяющие рентгеновское излучение

с длинами волн 0,5 - 2 нм;

- электронолитографические, использующие пучок электронов в каче­стве актиничного излучения с характеристической длиной волны на уровне 0,05 нм, соответствующей энергиям электронов 10 - 100 кэВ;

- ионолитографические, использующие пучок ионов для переноса изображения в актиночувствительный слой с длинами волн 0,05 - 0,1 нм.

По конструктивному оформлению различают (рис.6.1):

- контактную литографию, для которой характерен непосредствен­ный контакт фотошаблона (оригинала изображения) и подложки с нане­сенным на нее актиночувствительным слоем;

- проекционную литографию, для которой характерны разделение в пространстве оригинала изображения и подложки с актиночувстви­ тельным слоем и перенос этого изображения как с изменением масштаба изображения, так и без него;

процессы печати с микрозазором (или бесконтактные), которые появились в результате попыток преодолеть основные недостатки двух других процессов, а именно, разрушение шаблонов в контактной лито­ графии и искажение изображения из-за дифракционных явлений в про­екционной литографии;

- непосредственную генерацию изображения на поверхности подлож­ки, возможную при использовании в качестве оригинала изображения ком­пьютерной программы, например, в процессах электронолитографии.

По характеру происходящих в актиночувствительном слое измене­ний различают:

процессы негативные (актиночувствительный слой или резист называют негативным);

процессы позитивные (актиночувствительный слой или резист называют позитивным).

Процессы фотолитографии

Контактная фотолитография Проекционная фотолитография

Печать с микрозатвором Непосредственная генерация изображения

Классификация литографических процессов