_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 1 / 16(3)

16(3). Проблемы рентгенолитографии

Рентгеношаблоны до настоящего времени остаются чрезвычайно хрупкими и дорогостоящими, что определяет использование для процессов рентгенолитографии только бесконтактных и "теневых" методов переноса изображения

Поскольку поток от точечного источника рентгеновского излуче­ния может находиться в диапазоне 1-10 мДж/см², то очевидно, что чув­ствительность материалов рентгенорезистов недостаточна для достижения высокой производительности процесса экспонирования для литографии с высоким разрешением. Для повышения чувствительности в состав резистов вводят металлоорганические добавки. Кроме того, не­гативные резисты имеют ограничения в разрешающей способности, свя­занные с их разбуханием в процессе проявления, что определяет необ­ходимость применения плазменного проявления.

Реали­зация технологического процесса рентгенолитографии требует:

-формирования мощного узкого пучка рентгеновского излучения с минимальной расходимостью;

-создания рентгеношаблонов;

-поиска рентгенорезистов или материалов с высокой чувствитель­ностью к рентгеновскому излучению, которые обеспечили бы высокую раз­решающую способность;

-создания систем мультипликации изображения;

-глубокого вакуума.