_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 1 / 2(3)

2(3). Позитивный и негативный процессы фотолитографии

Фотолитография - это в общем случае процесс формирования в актиночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложки, изо­бражения, соответствующего топологии элементов ИС, с последующим переносом его на нижележащие слои.

К актиночувствительным относят материалы, которые изменяют свои свойства, например растворимость или химическую стойкость, под действием актиничного излучения.

По характеру происходящих в актиночувствительном слое измене­ний различают (рис.6.2):

- процессы негативные (актиночувствительный слой или резнетназывают негативным);

- процессы позитивные (актиночувствительный слой или резист называют позитивным).

Рис.6.2. Негативный (а) и позитивный (б) процессы литографии:

1- фоторезист; 2 - подложка; 3 - фотошаблон