Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
4
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
30.21 Кб
Скачать

2(3). Позитивный и негативный процессы фотолитографии

Фотолитография - это в общем случае процесс формирования в актиночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложки, изо­бражения, соответствующего топологии элементов ИС, с последующим переносом его на нижележащие слои.

К актиночувствительным относят материалы, которые изменяют свои свойства, например растворимость или химическую стойкость, под действием актиничного излучения.

По характеру происходящих в актиночувствительном слое измене­ний различают (рис.6.2):

- процессы негативные (актиночувствительный слой или резнетназывают негативным);

- процессы позитивные (актиночувствительный слой или резист называют позитивным).

Рис.6.2. Негативный (а) и позитивный (б) процессы литографии:

1- фоторезист; 2 - подложка; 3 - фотошаблон

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Мы не исправляем ошибки в тексте (почему?), но будем благодарны, если вы все же напишите об ошибках.

Соседние файлы в папке 1